JP2010062213A - 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】少なくとも2本の溝と、前記2本の溝に挟まれたストライプ状の凸部と、を有するチップ基本単位が複数配列されたウエハを準備するウエハ準備ステップと、前記ウエハ上に、第一導電型クラッド層と、活性層と、第二導電型クラッド層と、を含む窒化物半導体層を結晶成長させる結晶成長ステップと、前記ウエハを前記チップ基本単位に分割するチップ分割ステップと、を備えることを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。
【選択図】図1
Description
図4は、試験例にかかる窒化物半導体発光素子を示す断面図である。試験例にかかる窒化物半導体発光素子は、サファイアウエハ10上にGaNテンプレート11を設けた試験基板を備え、この試験基板は、エッチングにより幅20μm、深さ580μmの溝が形成されている。この試験基板上に、n−GaNバッファー層12、In0.02Ga0.98N障壁層13とSiがドープされたIn0.1Ga0.9N井戸層14とが積層された活性層(4つの障壁層と3つの井戸層からなる多重量子井戸活性層)と、GaN層15と、Al0.3Ga0.7N層16と、が順次積層されている。
(1)幅の広い領域では、均質な組成、厚みの活性層により、安定した光が発振される。
(2)幅の狭いレーザ出射端面近傍では、組成、厚みの変化により、幅の広い領域で発振した光の吸収率が低下し、レーザ出射端面の端面破壊が抑制されるので、素子寿命を長寿命化できる。
ストライプ状の凸部の幅、領域ごとの長さは、上記第1の本発明と同様でよい。
以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。なお、本発明の図面において、同一の参照符号は、同一部分または相当部分を表わすものとする。
なお、本実施の形態では、E1+E2<E3であり、幅の狭い領域と幅の広い領域との間に移行領域を設けているが、これを設けなくてもよい。
なお、ストライプ状の凸部32の幅を一定としてもかまわない。
まず、予めSiO2マスク、フォトリソグラフィー技術およびRIE(reactiveion etching)を使用することにより、図2に示すような段差構造を有するチップ基本単位が複数配列されたウエハ(図3参照)を作製する。
このウエハ上に、n型Al0.1Ga0.9Nクラッド層21、GaInN多重量子井戸活性層22、p型Al0.1Ga0.9Nクラッド層23を、MOCVD(有機金属気相成長)装置を用いて結晶成長させる。
まず、全面に膜厚1μmのSiO2などをスパッタ蒸着する。次に、開口部を備えるストライプ形状のフォトレジストパターンを形成する。次に、RIE(Reactive Ion Etching)技術などのドライエッチング技術を用い、フォトレジストパターン及びフォトレジストパターンの開口部における幅1.4μmのストライプ状にSiO2ブロック層24を除去し、その上にp型GaNコンタクト層を形成する。その後、エッチャントとしてHF(フッ酸)などを用いてフォトレジストパターンを除去することで、図1に示すように、その表面にストライプ状の溝が周期的に形成される。尚、上述したSiO2などの蒸着方法はスパッタ蒸着に限定されるものではなく、電子ビーム蒸着法、プラズマCVD法などの方法を用いても構わない。
半導体層が形成されたウエハを、図3に示す分割ラインでチップ基本単位にチップ分割(へき開)し、半導体レーザ素子を得る。
10 サファイアウエハ
11 GaNテンプレート
12 n−GaNバッファー層
13 In0.02Ga0.98N障壁層
14 In0.1Ga0.9N井戸層
15 GaN層
16 Al0.3Ga0.7N層
20 GaN基板
21 AlGaN下クラッド層
22 InGaN活性層
23 AlGaN上クラッド層
24 SiO2ブロック層
25 上コンタクト層
26 下コンタクト層
27 リッジストライプ
30 チップ基本単位
31 溝
32 ストライプ状の凸部
33 凸領域
Claims (16)
- 少なくとも2本の溝と、前記2本の溝に挟まれたストライプ状の凸部と、を有する基板と、
前記基板上に結晶成長された、第一導電型クラッド層と、活性層と、第二導電型クラッド層と、を含む窒化物半導体層と、
を備えることを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 請求項1に記載の窒化物半導体発光素子において、
前記窒化物半導体発光素子は、片端面出射型半導体レーザ素子であり、
レーザ出射端面における前記ストライプ状の凸部の幅は、レーザ反射端面よりも小さい、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 請求項2に記載の窒化物半導体発光素子において、
前記レーザ出射端面における前記ストライプ状の凸部の幅が0.5〜10μmであり、
前記レーザ反射端面における前記ストライプ状の凸部の幅が50〜600μmである、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 請求項3に記載の窒化物半導体発光素子において、
前記ストライプ状の凸部の幅が0.5〜10μmである領域のストライプ方向長さが、前記半導体発光素子のストライプ方向長さの5〜50%であり、
前記ストライプ状の凸部の幅が50〜600μmである領域のストライプ方向長さが、前記半導体発光素子のストライプ方向長さの50〜95%である、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 請求項1ないし4いずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子において、
前記活性層は、障壁層と井戸層とからなる多重量子井戸活性層であり、
前記障壁層と前記井戸層の少なくとも一方は、2種以上のIII族元素及び/又は2種以上のV族元素を含む、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 請求項1ないし5いずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子において、
前記溝の幅が1〜300μmであり、
前記溝の高さが0.5〜10μmである、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 請求項1ないし6いずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子において、
前記基板が、GaN基板、サファイア基板又はサファイア基板上にGaNテンプレートが形成された基板である、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 少なくとも2本の溝と、前記2本の溝に挟まれたストライプ状の凸部と、を有するチップ基本単位が複数配列されたウエハを準備するウエハ準備ステップと、
前記ウエハ上に、第一導電型クラッド層と、活性層と、第二導電型クラッド層と、を含む窒化物半導体層を結晶成長させる結晶成長ステップと、
前記ウエハを前記チップ基本単位に分割するチップ分割ステップと、
を備えることを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項8に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記窒化物半導体発光素子は、片端面出射型半導体レーザ素子であり、
レーザ出射端面における前記ストライプ状の凸部の幅は、レーザ反射端面よりも大きい、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項9に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記レーザ出射端面における前記ストライプ状の凸部の幅が0.5〜10μmであり、
前記レーザ反射端面における前記ストライプ状の凸部の幅が50〜600μmである、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項10に記載の窒化物半導体発光素子において、
前記ストライプ状の凸部の幅が0.5〜10μmである領域のストライプ方向長さが、前記半導体発光素子のストライプ方向長さの5〜50%であり、
前記ストライプ状の凸部の幅が50〜600μmである領域のストライプ方向長さが、前記半導体発光素子のストライプ方向長さの50〜95%である、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子。 - 請求項8ないし11いずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記ウエハ準備ステップは、ウエハ表面をエッチングして前記溝を形成するステップである、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項8ないし12いずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記ウエハが、GaN、サファイア又はサファイア上にGaNテンプレートが形成されたものからなる、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項8ないし13いずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記活性層は、障壁層と井戸層とからなる多重量子井戸活性層であり、
前記障壁層と前記井戸層の少なくとも一方は、2種以上のIII族元素及び/又は2種以上のV族元素を含む、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項8ないし14いずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記溝の幅が1〜100μmであり、
前記溝の高さが0.5〜10μmである、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。 - 請求項8ないし15いずれか1項に記載の窒化物半導体発光素子の製造方法において、
前記活性層成長ステップは、有機金属気層成長法により行われる、
ことを特徴とする窒化物半導体発光素子の製造方法。
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