JP2010037822A - Working platform - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、例えば液晶パネル製造工場の製造ラインの高所においてメンテナンス等の作業を行うための作業台に関する。 The present invention relates to a workbench for performing work such as maintenance at a high place in a production line of a liquid crystal panel manufacturing plant, for example.
従来、作業者が高所で作業を行うための作業台として、長方形の作業床面を構成する天板部と、この天板部の両端を支え作業者が上り下りできるようにステップを備えた２つの支持脚部とを備える門型形状の作業台が知られている。（例えば、特許文献１参照）。 Conventionally, as a work table for an operator to work at a high place, a top plate part that forms a rectangular work floor surface, and steps are provided so that the operator can support both ends of the top plate part so that the operator can go up and down. 2. Description of the Related Art A portal work table having two support legs is known. (For example, refer to Patent Document 1).
液晶パネル製造工場では、レジストコート、ベーク、露光、現像などのフォトリソグラフィ工程によりガラス基板（マザーガラス）にレジストパターニングを行って液晶パネルを製造している。さらに液晶パネル製造ラインには、フォトリソグラフィ工程で製造されたガラス基板を検査するための基板検査装置が配置されている。 In a liquid crystal panel manufacturing factory, a liquid crystal panel is manufactured by performing resist patterning on a glass substrate (mother glass) by a photolithography process such as resist coating, baking, exposure, and development. Furthermore, a substrate inspection apparatus for inspecting a glass substrate manufactured in a photolithography process is arranged in the liquid crystal panel manufacturing line.
現在、液晶パネル製造工場では、生産性を高めるために一辺が３０００ｍｍを超える大型基板が採用され、この大型ガラス基板を搬送する搬送ラインの高さが１７００ｍｍと高くなっている。基板製造装置や検査装置は、搬送ラインよりも高い位置に配置されるため、高所でのメンテナンス作業を強いられることになる。 Currently, in order to increase productivity, liquid crystal panel manufacturing factories employ a large substrate with a side exceeding 3000 mm, and the height of a conveyance line for conveying the large glass substrate is as high as 1700 mm. Since the substrate manufacturing apparatus and the inspection apparatus are arranged at a position higher than the transfer line, maintenance work at a high place is forced.
メンテナンス作業を行う際には、ガラス基板を搬入・搬出させる基板搬送路を跨ぐように門型形状の作業台を配置し、作業台を移動させながら搬送面や処理ヘッドのメンテナンスの作業を行っている。作業台の天板部の高さは、基板搬送面をメンテナンスするために、基板搬送面に接触せず作業者の手の届く高さに設定されている。 When performing maintenance work, place a gate-shaped work table so as to straddle the substrate transfer path for loading and unloading glass substrates, and perform work to maintain the transfer surface and processing head while moving the work table. Yes. The height of the top plate portion of the workbench is set to a height that can be reached by the operator without contacting the substrate transfer surface in order to maintain the substrate transfer surface.
作業台は、メンテナンス作業が終わると、ダウンフローの邪魔にならないように搬送路から外れた位置に退避される。
ところで、作業台の天板部は、作業者を載せるのに十分な広さを確保するために大型のものとなり、作業台を基板搬送路上に置いておくと天板部によりダウンフローが遮られて良好に流れないという問題が生ずる。この問題を回避するために、作業終了後に作業台を搬送路から外れた位置に退避させると大きな退避スペースが必要となり、製造装置または検査装置の設置スペースが大きくなるという問題が生ずる。 By the way, the top plate of the work table is large in order to secure a sufficient area for placing an operator. If the work table is placed on the substrate transfer path, the down flow is blocked by the top plate. The problem of poor flow. In order to avoid this problem, if the work table is retreated to a position off the conveyance path after the work is completed, a large retreat space is required, resulting in a problem that the installation space for the manufacturing apparatus or the inspection apparatus becomes large.
本発明の課題は、上記従来の実情に鑑み、不使用時においてダウンフローの妨げにならず製造装置や検査装置の省スペース化を図ることができる作業台を提供することである。 An object of the present invention is to provide a work table that can save space of a manufacturing apparatus and an inspection apparatus without obstructing downflow when not in use, in view of the above-described conventional situation.
上記課題を解決するために、本発明の作業台は、天板部と、この天板部の両端を支える少なくとも２つの支持脚部とを備える門型形状の作業台において、上記天板部を、作業床面を構成する水平状態の位置と、この水平状態の位置から回転し立ち上がった位置とに移動させる天板回動機構を備える構成とする。 In order to solve the above-described problems, a worktable according to the present invention is a portal-type worktable including a top plate portion and at least two support legs that support both ends of the top plate portion. In addition, a top plate rotating mechanism that moves to a horizontal position that constitutes the work floor and a position that rotates from the horizontal position and rises is provided.
本発明によれば、天板回動機構により天板部を立ち上がらせることで、不使用時においてダウンフローの流れを阻害することなく製造装置や検査装置の省スペース化を図ることができる。 According to the present invention, it is possible to save the space of the manufacturing apparatus and the inspection apparatus without hindering the flow of downflow when not in use by raising the top plate portion by the top plate rotation mechanism.
以下、本発明の一実施の形態に係る作業台について、図面を参照しながら説明する。
図１Ａ〜図１Ｄは、本発明の一実施の形態に係る作業台１を示す斜視図、右側面図、正面図及び平面図である。
Hereinafter, a workbench according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.
1A to 1D are a perspective view, a right side view, a front view, and a plan view showing a workbench 1 according to an embodiment of the present invention.
図２は、上記作業台１の天板回動機構６を説明するための右側面図である。
図３は、上記作業台１の天板２が立ち上がった状態を示す斜視図である。
作業台１は、長い矩形状の天板部２と、この天板部２の両端を支える２つ（少なくとも２つ）の支持脚部３，３と、天板部２の長手方向の一辺に沿って配置された手摺り部５と、天板部２をほぼ垂直に立ち上げる天板回動機構６等を備える。
FIG. 2 is a right side view for explaining the top plate rotation mechanism 6 of the work table 1.
FIG. 3 is a perspective view showing a state in which the top plate 2 of the work table 1 is raised.
The work table 1 has a long rectangular top plate portion 2, two (at least two) support leg portions 3 and 3 that support both ends of the top plate portion 2, and one longitudinal side of the top plate portion 2. A handrail portion 5 disposed along the top plate 2 and a top plate rotating mechanism 6 for raising the top plate portion 2 almost vertically are provided.
各支持脚部３は、４本の脚柱３ａ、脚部上面板３ｂ、踏板３ｃ、支持枠３ｄ、４つの車輪３ｅ，４つのガイド用ローラ３ｆを有する。
４本の脚柱３ａは、脚部上面板３ｂの４隅から下方に向かって作業台移動方向（矢印Ｄ１）へ徐々に下広がりになるように傾斜して配設され、側面視台形・正面視長方形を呈する。
Each support leg 3 includes four leg posts 3a, a leg top plate 3b, a tread plate 3c, a support frame 3d, four wheels 3e, and four guide rollers 3f.
The four pedestals 3a are arranged so as to be gradually inclined downward in the work table moving direction (arrow D1) from the four corners of the leg upper surface plate 3b, and are trapezoidal and front-viewed in a side view. Presents a visual rectangle.
４本の脚柱３ａのうち正面側の２本の脚柱３ａの間には、作業者が昇り降りするための梯子を構成するように水平方向に延びる踏板３ｃが一定間隔で配設されている。４本の脚柱３ａのうち両側面側及び背面側の脚柱３ａの間には、水平方向に延びる補強部材３ｄが数箇所に配設されている。なお、４本の脚柱３ａの下部には、それぞれ車輪３ｅが固定されている。 Between the two pillars 3a on the front side among the four pillars 3a, treads 3c extending in the horizontal direction are arranged at regular intervals so as to form a ladder for the operator to ascend and descend. Yes. Among the four pillars 3a, reinforcing members 3d extending in the horizontal direction are arranged at several positions between the pillars 3a on both side surfaces and the back surface. In addition, the wheel 3e is being fixed to the lower part of the four leg posts 3a, respectively.
内側（他方の支持脚部３に対向する側）の最下部の補強部材３ｄには、作業台進行方向（矢印Ｄ１）に延びるガイド部４を挟むように位置する一対のガイド用ローラ３ｆが２箇所に配設されている。ガイド部４，４は、図３に示すようにフォトリソグラフィ製造ラインに配置される各種製造装置（基板修正装置を含む）または検査装置など作業対象装置１３が設置されるクリーンルームの床面に平行に一対敷設されている。 The lowermost reinforcing member 3d on the inner side (the side facing the other support leg 3) has two pairs of guide rollers 3f positioned so as to sandwich the guide portion 4 extending in the work table traveling direction (arrow D1). It is arranged at the place. As shown in FIG. 3, the guide parts 4 and 4 are parallel to the floor surface of a clean room in which the work target apparatus 13 such as various manufacturing apparatuses (including a substrate correcting apparatus) or inspection apparatus arranged in the photolithography manufacturing line is installed. A pair is laid.
作業台１は、例えば図３に示す基板検査装置（作業対象装置）１３のメンテナンス作業に用いる際に、基板検査装置１３の基板搬入・搬出用の基板搬送路を跨ぐように配置される。ガイド部４，４は、基板搬送路の両側に沿って床面に敷設され、このガイド部４，４に沿うようにして作業台１が作業台進行方向Ｄ１に移動できるようになっている。本実施の形態では、作業者が作業台を押して移動させるようにしているが、作業台１がガイド用ローラ３ｆのモータなどの駆動機構を備え、遠隔操作により駆動機構を駆動させてガイド部４に沿って作業台１を任意の位置に移動させてもよい。 For example, when the work table 1 is used for the maintenance work of the substrate inspection apparatus (work target apparatus) 13 illustrated in FIG. 3, the work table 1 is disposed so as to straddle the substrate carrying path for carrying in / out the substrate of the substrate inspection apparatus 13. The guide portions 4, 4 are laid on the floor along both sides of the substrate transport path, and the work table 1 can move in the work table advancing direction D 1 along the guide portions 4, 4. In this embodiment, the operator pushes and moves the work table. However, the work table 1 includes a drive mechanism such as a motor for the guide roller 3f, and the guide mechanism 4 is driven by driving the drive mechanism by remote operation. The work table 1 may be moved to any position along the line.
作業台１は、不使用時に基板検査装置１３の端または作業台１よりも狭い装置外装との間の退避領域に退避させるようになっている。
図２に示すように、本実施の形態の天板回動機構６は、直線運動を回転運動に変換する回転駆動部として伸縮自在なロッドを有する伸縮ステー７と回動アーム８とからなる。伸縮ステー７の下端は、支持脚部３の退避位置側に突出して設けられた支持部材９ａにブラケット７ａを介して揺動可能に固定されている。また、伸縮ステー７の上端は、回動アーム８の底面にブラケット７ｂを介して揺動可能に固定されている。
When not in use, the work table 1 is retracted to a retreat area between the end of the substrate inspection device 13 or an apparatus exterior narrower than the work table 1.
As shown in FIG. 2, the top plate rotation mechanism 6 of the present embodiment includes an expansion / contraction stay 7 and a rotation arm 8 each having a telescopic rod as a rotational drive unit that converts linear motion into rotational motion. The lower end of the telescopic stay 7 is fixed to a support member 9a provided so as to protrude toward the retracted position side of the support leg 3 via a bracket 7a. The upper end of the telescopic stay 7 is fixed to the bottom surface of the rotating arm 8 so as to be swingable via a bracket 7b.
回動アーム８の一端は、伸縮ステー７の下端の固定揺動軸（ブラケット７ａ）より高い位置で、かつ水平に位置させた天板部２の端から退避側に所定距離Ｌだけ離れた位置に設けられた支持部材９ｂに揺動可能に接続されており、この接続位置が回動アーム８の回動中心となる第１の回動軸部１０となっている。 One end of the rotating arm 8 is higher than the fixed swing shaft (bracket 7a) at the lower end of the telescopic stay 7, and is a position separated by a predetermined distance L from the end of the top plate portion 2 positioned horizontally to the retract side. The connecting member 9 b is swingably connected to the support member 9 b, and the connecting position serves as the first rotation shaft portion 10 that is the rotation center of the rotation arm 8.
また、回動アーム８の他端は、天板部２の下部に配置され天板部２を支持する側面視略直角三角形状の天板支持部１２に接続されており、この接続位置が天板支持部１２の回動中心となる第２の回動軸部１１となっている。天板支持部１２は、回転アーム８に対して第２の回転軸部１１を中心に図２の実線で示す水平位置から二点破線で示す退避側に回動可能になっている。 Further, the other end of the rotating arm 8 is connected to a top plate support portion 12 that is disposed at a lower portion of the top plate portion 2 and supports the top plate portion 2 and has a substantially right triangle shape in side view. This is a second rotation shaft portion 11 serving as a rotation center of the plate support portion 12. The top plate support portion 12 is rotatable with respect to the rotary arm 8 from the horizontal position indicated by the solid line in FIG.
各脚部上面板３ｂ、３ｂの各内側側縁部には、脚部上面板３ｂの前端部から退避側に延出する第１のガイドレール１５ａが設けられている。また、各脚部上面板３ｂ、３ｂの各外側側縁部より延出する第２のガイドレール１５ｂが設けられている。第１のガイドレール１５ａ、１５ａには、天板部２が載置される天板載置部１６,１６が移動可能に設けられている。天板載置部１６、１６の退避側の端部には、天板部２が揺動可能に連結され、天板回動機構６、６により天板部２を水平状態から垂直状態までに立ち上げる動作に連動して天板載置部１６が第１のガイドレール１５ａに沿って移動可能になっている。この両天板載置部１６の退避側の端部には、手摺り部５が固定されている。さらに、手摺り部５の両端は、第２のガイドレールに移動可能に設けられたスライダに固定されている。天板部２が水平位置から垂直に立ち上がって退避位置まで移動する際に、この動作に連動して天板載置部１６が第１のガイドレール１５ａに沿って移動することにより、手摺り部５が天板載置部１６により押されて退避位置まで移動する。 A first guide rail 15a extending from the front end of the leg upper surface plate 3b to the retracting side is provided at each inner side edge of each leg upper surface plate 3b, 3b. Moreover, the 2nd guide rail 15b extended from each outer side edge part of each leg part upper surface board 3b, 3b is provided. The first guide rails 15a and 15a are provided with movably provided top plate placement portions 16 and 16 on which the top plate portion 2 is placed. The top plate portion 2 is slidably connected to end portions on the retraction side of the top plate placement portions 16 and 16, and the top plate portion 2 is moved from a horizontal state to a vertical state by the top plate rotation mechanisms 6 and 6. The top plate mounting portion 16 is movable along the first guide rail 15a in conjunction with the startup operation. A handrail portion 5 is fixed to the end portion on the retracting side of both the top plate placement portions 16. Furthermore, both ends of the handrail portion 5 are fixed to sliders that are movably provided on the second guide rail. When the top plate portion 2 rises vertically from the horizontal position and moves to the retracted position, the top plate mounting portion 16 moves along the first guide rail 15a in conjunction with this operation, so that the handrail portion 5 is pushed by the top plate mounting portion 16 and moves to the retracted position.
支持脚部３の退避側には、天板部２より退避側に延出する第１のガイドレール１５ａ及び第２のガイドレール１５ｂを支える補助用の支持枠１７が設けられている。
なお、第１の回動軸部１０は、天板部２の退避側側面を中心にして垂直に立ち上げて後退した位置とほぼ同じ位置に取り付けられる。また、第１の回動軸部１０は、作業台１が図３に示すように基板検査装置１３の端まで移動した際に、基板検査装置１３の上部空間から退避する位置となっている。このように第１の回動軸部１０を退避側に設けることにより、この第１の回動軸部１０を回転中心として回転アーム８が回動することにより天板部２が基板検査装置１３から外れた退避領域に位置することになる。
An auxiliary support frame 17 that supports the first guide rail 15 a and the second guide rail 15 b extending from the top plate 2 to the retract side is provided on the retract side of the support leg 3.
The first rotating shaft portion 10 is attached at substantially the same position as the position where the first rotating shaft portion 10 is vertically raised and retracted around the retracting side surface of the top plate portion 2. Further, the first rotating shaft portion 10 is in a position for retreating from the upper space of the substrate inspection apparatus 13 when the work table 1 moves to the end of the substrate inspection apparatus 13 as shown in FIG. By providing the first rotation shaft portion 10 on the retracting side in this way, the top arm 2 is rotated by the rotation arm 8 about the first rotation shaft portion 10 as the center of rotation, whereby the board inspection apparatus 13 is moved. It will be located in the evacuation area that is out of range.
ここで、天板部２の回動動作について説明する。
まず、図示しない駆動手段により伸縮ステー７を上方に伸ばし（７´）、回動アーム８を第１の回動軸部１０を中心に上方に回転させる（８´）。そして、回動アーム８の回転動作により天板支持部１２が回動しながら退避側に移動する。このとき、天板部２の移動に連動して天板載置部１６が第１のガイドレール１５aに沿って退避側に移動する。天板支持部１２は、天板載置部１６と回転アーム８との連結関係により回転アーム８の回転角度よりも大きな角度で立ち上がる。
Here, the rotation operation of the top plate part 2 will be described.
First, the extendable stay 7 is extended upward (7 ′) by a driving means (not shown), and the rotating arm 8 is rotated upward about the first rotating shaft portion 10 (8 ′). And the top-plate support part 12 moves to the retreating side while rotating by the rotating operation of the rotating arm 8. At this time, in conjunction with the movement of the top plate portion 2, the top plate mounting portion 16 moves to the retract side along the first guide rail 15a. The top plate support portion 12 rises at an angle larger than the rotation angle of the rotary arm 8 due to the connection relationship between the top plate mounting portion 16 and the rotary arm 8.
これにより、天板部２は、天板支持部１２と共に第２の回動軸部１１を中心に回動するのに加え、天板支持部１２及び回動アーム８と共に第１の回動軸１０を中心に回動することで、作業床面が鉛直方向に立ち上がった位置（２´）に移動する。なお、天板部２が立ち上がった位置（２´）に到達した際には、天板部２或いは天板支持部１２がロック部材１８により手摺り部５に固定される。図示例では、回転フック式の手動ロック部材１８を採用したが、天板部２の立ち上げを検出して自動でロックする電動式ロック部材を採用してもよい。 Thereby, the top plate portion 2 rotates together with the top plate support portion 12 around the second rotation shaft portion 11, and in addition to the top plate support portion 12 and the rotation arm 8, the first rotation shaft. By rotating about 10, the work floor is moved to the position (2 ′) where the work floor rises in the vertical direction. In addition, when the top plate portion 2 reaches the position (2 ′) where the top plate portion 2 stands, the top plate portion 2 or the top plate support portion 12 is fixed to the handrail portion 5 by the lock member 18. In the illustrated example, the rotary hook type manual lock member 18 is employed, but an electric lock member that detects the rising of the top plate 2 and automatically locks it may be employed.
図３に示すように、天板部２は、垂直に立ち上がった位置（２´）に移動すると、手摺り部５も天板載置部１６の移動に連動して天板部２と同じ位置まで移動する。なお、天板部２は、基板検査装置１３の基板載置面（基板搬送面）に対して鉛直方向まで立ち上げる必要はなく、ダウンフローの流れを損なわない程度の傾斜角度、例えば鉛直方向から±２０°の範囲に立ち上げることでも、後述する省スペース化を図ることは可能でなる。 As shown in FIG. 3, when the top plate portion 2 moves to a vertically rising position (2 ′), the handrail portion 5 is also moved to the same position as the top plate portion 2 in conjunction with the movement of the top plate placement portion 16. Move up. The top plate 2 does not need to be raised up to the vertical direction with respect to the substrate placement surface (substrate transfer surface) of the substrate inspection apparatus 13, and has an inclination angle that does not impair the flow of downflow, for example, from the vertical direction. It is also possible to save space, which will be described later, by starting up within a range of ± 20 °.
また、天板部２の回動動作は、作業台１の退避領域への移動開始前又は移動終了後に行ってもよいが、作業台１が退避領域に移動している間に行うことで、天板部２の基板検査装置１３からの退避動作を迅速に行うことができる。 In addition, the pivoting operation of the top plate part 2 may be performed before or after the movement of the workbench 1 to the retreat area, but is performed while the workbench 1 is moved to the retreat area. The retraction | saving operation | movement from the board | substrate inspection apparatus 13 of the top-plate part 2 can be performed rapidly.
天板部２を、立ち上がった位置（２´）から作業床面を構成する水平状態の位置に移動させる場合には、図示しない駆動手段により、回動アーム８が水平に延びる位置まで伸縮ステー７を縮ませ、第１の回動軸部１０及び第２の回動軸部１１を中心に、上述の立ち上げ動作と反対方向に天板部２を回動させればよい。なお、天板部２が水平状態の位置に到達した際にも、天板部２或いは天板支持部１２がロック部材１８により固定されるようにするとよい。 When the top plate portion 2 is moved from the raised position (2 ') to the horizontal position constituting the work floor surface, the telescopic stay 7 is moved to a position where the rotating arm 8 extends horizontally by a driving means (not shown). The top plate portion 2 may be rotated around the first rotation shaft portion 10 and the second rotation shaft portion 11 in the direction opposite to the above-described startup operation. The top plate 2 or the top support 12 may be fixed by the lock member 18 even when the top 2 reaches the horizontal position.
以上説明した本実施の形態によれば、天板回動機構６により天板部２を立ち上がらせることで、ダウンフローの流れを損なうことなく作業台１の省スペース化を図ることができる。 According to the present embodiment described above, the top plate portion 2 is raised by the top plate rotation mechanism 6, so that the space for the work table 1 can be saved without impairing the flow of the downflow.
また、本実施の形態では、作業台１をガイド部４に沿って移動できるため、広い領域で作業を行うことができると共に、不使用時において作業台１を基板検査装置１３の端または退避領域に移動させることでスペースを有効活用することができる。 Further, in the present embodiment, the work table 1 can be moved along the guide portion 4, so that work can be performed in a wide area, and the work table 1 can be moved to the end of the substrate inspection apparatus 13 or the retreat area when not in use. You can make effective use of space by moving to.
また、本実施の形態によれば、天板回動機構６は、作業台１が退避領域に移動している間に、天板部２を、図１Ａ等に示す水平状態の位置から図３に示す立ち上がった位置（２´）に回転させるため、天板部２の基板検査装置１３からの退避動作を迅速に行うことができる。 Further, according to the present embodiment, the top plate rotating mechanism 6 moves the top plate portion 2 from the horizontal position shown in FIG. 1A and the like while the work table 1 is moved to the retreat area. Therefore, the retracting operation of the top panel 2 from the board inspection apparatus 13 can be performed quickly.
また、本実施の形態では、作業台１は、基板検査装置１３を跨ぐように配置され、図３に示す退避領域に移動すると共に天板回動機構６により天板部２を立ち上がった位置に移動させることで、天板部２を基板検査装置１３の上方から退避させる。したがって、基板検査装置１３へのダウンフローを妨げないようにすることができると共に、天板部２周辺から発生する塵埃が基板検査装置１３へ落下するのを防ぐことができる。 Further, in the present embodiment, the work table 1 is arranged so as to straddle the board inspection apparatus 13, moves to the retreat area shown in FIG. 3, and rises to the position where the top plate portion 2 is raised by the top plate rotation mechanism 6. By moving, the top plate part 2 is retracted from above the substrate inspection apparatus 13. Therefore, it is possible to prevent the downflow to the board inspection apparatus 13 from being hindered, and it is possible to prevent the dust generated from the periphery of the top plate portion 2 from falling to the board inspection apparatus 13.
また、本実施の形態では、第１の回動軸１０は、作業台１が図３に示すように退避領域に位置する際に基板検査装置１３の上部空間から退避した位置に配置される。そのため、より有効に天板部２の退避動作を行うことができる。 In the present embodiment, the first rotating shaft 10 is disposed at a position retracted from the upper space of the substrate inspection apparatus 13 when the work table 1 is positioned in the retracted area as shown in FIG. Therefore, the retracting operation of the top plate part 2 can be performed more effectively.
また、本実施の形態では、天板部２は、天板支持部１２と共に第２の回動軸部１１を中心に回動するのに加え、天板支持部１２及び回動アーム８と共に第１の回動軸１０を中心に回動することで、作業床面を構成する水平状態の位置と、この位置から回転し立ち上がった位置とに移動する。そのため、図２に二点鎖線で示すように、天板部２´及びその周辺構造（天板支持部１２´、回動アーム８´及び伸縮ステー７´）の配置スペースを小さく抑えることができ、不使用時において作業台１の更なる省スペース化を図ることができる。 In the present embodiment, the top plate portion 2 rotates together with the top plate support portion 12 around the second rotation shaft portion 11, and in addition to the top plate support portion 12 and the rotation arm 8, By rotating about one rotation shaft 10, the position is moved to a horizontal position that constitutes the work floor and a position that is rotated from this position and rises. Therefore, as shown by a two-dot chain line in FIG. 2, the arrangement space for the top plate portion 2 'and its peripheral structure (top plate support portion 12', rotating arm 8 'and telescopic stay 7') can be kept small. Further, it is possible to further reduce the space of the work table 1 when not in use.
なお、本実施の形態では、作業台１の支持脚部３には車輪３ｅが設けられ、作業台１はガイド部４に沿って移動可能に構成されているが、作業台１は床面に固定されるものであってもよく、その場合でも、天板部２を立ち上がらせることで、不使用時に作業台１の省スペース化を図ることは可能である。 In the present embodiment, the support leg 3 of the work table 1 is provided with wheels 3e, and the work table 1 is configured to be movable along the guide unit 4. However, the work table 1 is placed on the floor surface. Even in that case, it is possible to save the space of the work table 1 when not in use by raising the top plate 2.
また、本実施の形態では、作業対象物として基板検査装置１３を例に説明したが、作業台１を用いて作業を行う対象物であれば、クリーンルーム内で使用される露光装置、現像装置、リペア装置、レビュー装置などダウンフロー下で用いられるその他の作業対象物であってもよい。 Further, in the present embodiment, the substrate inspection apparatus 13 has been described as an example of the work object, but an exposure apparatus, a developing apparatus, Other work objects used under a downflow, such as a repair device or a review device, may be used.
また、本実施の形態では、回動駆動部として伸縮ステー７を用いる例について説明したが、ギヤーなどの伝達機構を介して回転モータで回動させることも可能である。更には、天板回動機構としては、天板部２を水平状態から回転し立ち上げるだけでもダウンフローの流れを阻害することがないため、製造処理や検査処理の邪魔にならない位置に移動させることも可能である。 In the present embodiment, an example in which the telescopic stay 7 is used as a rotation drive unit has been described. However, it is also possible to rotate the rotation motor via a transmission mechanism such as a gear. Further, as the top plate rotation mechanism, the top plate part 2 is moved from a horizontal state to a position that does not interfere with the manufacturing process and the inspection process because it does not impede the flow of the down flow even when it is raised. It is also possible.
また、本実施の形態では、第１の回動軸部１０は、作業台１が図３に示すように退避領域に位置する際に基板検査装置１３の上部空間から退避した位置にある例を説明したが、第１の回動軸部１０は、天板部２の中央や端部に配置してもよい。 Further, in the present embodiment, an example in which the first rotating shaft portion 10 is in a position retracted from the upper space of the substrate inspection apparatus 13 when the work table 1 is positioned in the retracting area as shown in FIG. As described above, the first rotation shaft portion 10 may be disposed at the center or end of the top plate portion 2.
１ 作業台
２ 天板部
３ 支持脚部
３ａ 脚柱
３ｂ 脚部上面板
３ｃ 踏板
３ｄ 補強部材
３ｅ 車輪
３ｆ ガイド用ローラ
４ ガイド部
５ 手摺り部
６ 天板回動機構
７ 伸縮ステー
８ 回動アーム
９ａ，９ｂ 支持部材
１０ 第１の回動軸部
１１ 第２の回動軸部
１２ 天板支持部
１３ 基板検査装置（作業対象装置）
１５a 第１のガイドレール
１５b 第２のガイドレール
１６ 天板載置部
１７ 支持枠
１８ ロック部材
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Working table 2 Top plate part 3 Support leg part 3a Leg column 3b Leg part upper surface board 3c Tread board 3d Reinforcement member 3e Wheel 3f Guide roller 4 Guide part 5 Handrail part 6 Top plate rotation mechanism 7 Telescopic stay 8 Rotation arm 9a, 9b Support member 10 First rotation shaft portion 11 Second rotation shaft portion 12 Top plate support portion 13 Substrate inspection device (work target device)
15a 1st guide rail 15b 2nd guide rail 16 Top plate mounting part 17 Support frame 18 Lock member
Claims (5)
前記天板部を、作業床面を構成する水平状態の位置と、該水平状態の位置から回転し立ち上がった位置とに移動させる天板回動機構を備える、
ことを特徴とする作業台。 In a gate-shaped work table comprising a top plate portion and at least two support legs that support both ends of the top plate portion,
A top plate rotating mechanism for moving the top plate portion to a horizontal position that constitutes a work floor and a position that is rotated and raised from the horizontal position;
A workbench characterized by that.
前記天板回動機構は、前記天板部を、前記水平状態の位置から前記立ち上がった位置に回転させることで、前記作業対象物の上方から退避させる、
ことを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項記載の作業台。 The work table is arranged so as to straddle the work object,
The top plate rotation mechanism retreats the top plate portion from above the work object by rotating the top plate portion from the horizontal position to the raised position.
The workbench according to any one of claims 1 to 3, wherein
前記天板回動機構は、一端に第１の回動軸部が設けられ該第１の回動軸部を中心に回動する回動アームと、該回動アームを回動させる回動駆動部とを有し、
前記天板支持部は、前記回動アームの残る他端に設けられた第２の回動軸部に接続され、
前記天板部は、前記天板支持部と共に前記第２の回動軸部を中心に回動するのに加え、前記天板支持部及び前記回動アームと共に前記第１の回動軸を中心に回動することで、前記水平状態の位置と前記立ち上がった位置とに移動する、
ことを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項記載の作業台。 Further comprising a top plate support portion for supporting the top plate portion,
The top plate rotation mechanism includes a rotation arm that is provided with a first rotation shaft portion at one end and rotates around the first rotation shaft portion, and a rotation drive that rotates the rotation arm. And
The top plate support is connected to a second rotation shaft provided at the other end of the rotation arm,
In addition to rotating the top plate portion around the second rotation shaft portion together with the top plate support portion, the top plate portion centers around the first rotation shaft together with the top plate support portion and the rotation arm. To move to the horizontal position and the raised position,
The workbench according to any one of claims 1 to 4, wherein
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|---|---|---|---|
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|---|---|---|---|
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010116718A (en) * | 2008-11-13 | 2010-05-27 | Olympus Corp | Workbench |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPH0348247Y2 (en) * | 1987-03-30 | 1991-10-15 | ||
| JPH06248794A (en) * | 1993-02-26 | 1994-09-06 | Maeda Corp | Large-sized assembled-type moving scaffold |
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| JP2546846Y2 (en) * | 1989-03-22 | 1997-09-03 | 小糸工業 株式会社 | Step board device for road information boards |
-
2008
- 2008-08-05 JP JP2008202416A patent/JP5394671B2/en not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP5394671B2 (en) | 2014-01-22 |
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