JP2010020855A - Reflection type diffraction grating for a plurality of wavelengths and optical pickup device including the same - Google Patents

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宜司 川村
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain a low-cost reflection type diffraction grating for a plurality of wavelengths which allows a desired diffraction efficiency and diffraction direction to be set for each wavelength and matches three or more multiple wavelengths. <P>SOLUTION: The reflection type diffraction grating for the plurality of wavelengths is formed by layering a first reflection type diffracting grating 10, a second reflection type diffraction grating 20 and a third reflection type diffraction grating 30 in this order on a substrate 3. The first reflection type diffraction grating 10 has first reflection diffracting layers 12 reflecting and diffracting a first light beam of first to third light beams having wavelengths different from each other and transmitting other light beams and first phase adjusting layers 13 adjusting a phase of a wavefront of at least the second light beam of the transmitted second and third light beams. The second reflection type diffraction grating 20 has second reflection diffracting layers 22 reflecting and diffracting the second light beam and transmitting the third light beam and second phase adjusting layers 23 adjusting a phase of a wavefront of the transmitted third light beam. The third reflection type diffraction grating 30 has third reflection diffracting layers 32 reflecting and diffracting the third light beam. <P>COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT

Description

本発明は、互いに異なる波長帯域に属する複数個の光ビームが選択的に出力される光路上において、各々の光ビームを所定の方向に反射回折せしめるために配設される複数波長用反射型回折格子およびこれを備えた光ピックアップ装置に関する。   The present invention provides a reflection diffraction for multiple wavelengths arranged to reflect and diffract each light beam in a predetermined direction on an optical path where a plurality of light beams belonging to different wavelength bands are selectively output. The present invention relates to a grating and an optical pickup device including the same.

従来、CDやDVD等の光記録媒体に対するデータの記録および/または再生用の光ピックアップ装置において、トラッキング制御や出力光のパワー制御等を行うために回折格子が用いられている。
このような回折格子として、CD用およびDVD用等の互いに異なる波長帯域に属する2つの光ビームに対し共用される2波長対応型のものが知られている(下記特許文献1〜4参照)。
Conventionally, in an optical pickup device for recording and / or reproducing data on an optical recording medium such as a CD or a DVD, a diffraction grating is used for tracking control, power control of output light, and the like.
As such a diffraction grating, there is known a two-wavelength compatible type shared by two light beams belonging to different wavelength bands such as for CD and DVD (see Patent Documents 1 to 4 below).

下記特許文献1、2に記載された回折格子は、透明な基板の両面に互いに異なる回折格子を形成したものであり(以下「両面タイプ」と称する)、基板の一方の面に形成された回折格子は、2つの光ビームのうちの一方のみを回折し、基板の他方の面に形成された回折格子は、2つの光ビームのうちの他方のみを回折するように構成されている。   The diffraction gratings described in the following Patent Documents 1 and 2 are obtained by forming different diffraction gratings on both surfaces of a transparent substrate (hereinafter referred to as “double-sided type”), and diffraction formed on one surface of the substrate. The grating is configured to diffract only one of the two light beams, and the diffraction grating formed on the other surface of the substrate is configured to diffract only the other of the two light beams.

下記特許文献3に記載された回折格子は、透明基板の片面領域を2群に分け、各群の領域に互いに異なる回折格子をそれぞれ形成したものであり(以下「片面タイプ」と称する)、2群の領域のうちの一方の群の領域に形成された回折格子は、2つの光ビームのうちの一方のみを回折し、他方の群の領域に形成された回折格子は、2つの光ビームのうちの他方のみを回折するように構成されている。   The diffraction grating described in the following Patent Document 3 is obtained by dividing a single-sided region of a transparent substrate into two groups and forming different diffraction gratings in each grouped region (hereinafter referred to as “single-sided type”). A diffraction grating formed in one of the group regions diffracts only one of the two light beams, and a diffraction grating formed in the other group of the two light beams Only the other of them is diffracted.

下記特許文献4に記載された回折格子は、光ビームの波長および偏光状態に応じて回折作用が異なるようにするために、複屈折材料を用いて形成されている。   The diffraction grating described in the following Patent Document 4 is formed using a birefringent material so that the diffractive action differs depending on the wavelength and polarization state of the light beam.

特開2003−6891号公報JP 2003-6891 A 特開2007−334975号公報JP 2007-334975 A 特開2004−327005号公報JP 2004-327005 A 国際公開WO2004/097819International Publication WO2004 / 097819

上述の両面タイプの回折格子は、回折効率の波長依存性が大きく、波長毎に所望の回折効率を得ることが困難である。また、近年、青色光域の光ビームを用いるブルーレイディスク(BD)が実用化されており、これに伴い3波長対応型の回折格子の実用化も望まれているが、両面タイプの回折格子によりこれを実現することは困難である。   The double-sided diffraction grating described above has a large wavelength dependency of diffraction efficiency, and it is difficult to obtain a desired diffraction efficiency for each wavelength. In recent years, Blu-ray Discs (BD) using a light beam in the blue light range have been put into practical use, and along with this, the practical application of a three-wavelength compatible diffraction grating is desired. It is difficult to realize this.

また、上述の片面タイプの回折格子では、3波長対応型のものも提案されているが、不要な回折光が生じ易く、また波長毎に所望の回折方向を設定することが困難である。
また、複屈折材料を用いる回折格子は高価であるため、製造コストが嵩むという問題がある。
Further, although the above-mentioned single-sided diffraction grating has been proposed for three wavelengths, unnecessary diffracted light is likely to be generated, and it is difficult to set a desired diffraction direction for each wavelength.
Moreover, since the diffraction grating using a birefringent material is expensive, there exists a problem that manufacturing cost increases.

本発明は上記事情に鑑みなされたものであり、波長毎に所望の回折効率および回折方向を設定することが可能であり、かつ3波長以上の多波長にも対応可能な低コストの複数波長用反射型回折格子およびこれを備えた光ピックアップ装置を提供することを目的とする。   The present invention has been made in view of the above circumstances, and it is possible to set a desired diffraction efficiency and diffraction direction for each wavelength, and it can be used for a plurality of wavelengths at a low cost capable of dealing with multiple wavelengths of three or more wavelengths. It is an object of the present invention to provide a reflective diffraction grating and an optical pickup device including the same.

本発明に係る複数波長用反射型回折格子は、第1から第NまでのN個(Nは2以上の整数)の互いに異なる波長帯域にそれぞれ属する第1から第NまでのN個の光ビームが、選択的に出力される光路上に配設される複数波長用反射型回折格子であって、
第1から第NまでのN個の反射型回折格子が、前記N個の光ビームの入射側からこの順に積層され、
第j反射型回折格子(jは1からN−1までの任意の整数)は、該第j反射型回折格子に入射した第j光ビームから第N光ビームまでのうち該第j光ビームは反射回折せしめ他の光ビームは透過せしめる第j反射回折層を有してなり、
第N反射型回折格子は、該第N反射型回折格子に入射した前記第N光ビームを反射回折せしめる第N反射回折層を有してなり、
前記第j反射型回折格子は、該第j反射型回折格子を透過する第(j+1)光ビームから前記第N光ビームまでのうち少なくとも該第(j+1)光ビームの波面の位相を整える第j位相調整層を有してなる、ことを特徴とする。
The multi-wavelength reflective diffraction grating according to the present invention includes first to Nth light beams belonging to first to Nth (N is an integer of 2 or more) different wavelength bands, respectively. Is a reflective diffraction grating for a plurality of wavelengths disposed on a selectively output optical path,
N reflective diffraction gratings from 1 to N are stacked in this order from the incident side of the N light beams,
The jth reflection type diffraction grating (j is an arbitrary integer from 1 to N-1) is the jth light beam out of the jth light beam to the Nth light beam incident on the jth reflection type diffraction grating. A j-th reflection diffractive layer for reflecting and diffracting other light beams;
The Nth reflection type diffraction grating has an Nth reflection diffraction layer for reflecting and diffracting the Nth light beam incident on the Nth reflection type diffraction grating,
The jth reflection type diffraction grating adjusts the phase of the wavefront of at least the (j + 1) th light beam from the (j + 1) th light beam to the Nth light beam transmitted through the jth reflection type diffraction grating. It has a phase adjustment layer.

ここで、前記第j反射回折層は、第j波長帯域の光から第N波長帯域の光までのうち該第j波長帯域の光は反射せしめ他の波長帯域の光は透過せしめる特性を有する第jダイクロイック膜を、周期的な凹凸状に配設してなるものであり、
前記第N反射回折層は、前記第N波長帯域の光を反射せしめる特性を有する第Nダイクロイック膜または全反射膜を、周期的な凹凸状に配設してなるものである、とすることができる。
Here, the j-th reflection diffraction layer has a characteristic of reflecting light in the j-th wavelength band and transmitting light in other wavelength bands from light in the j-th wavelength band to light in the N-th wavelength band. j dichroic film is arranged in a periodic uneven shape,
The Nth reflection diffractive layer is formed by periodically disposing an Nth dichroic film or a total reflection film having a characteristic of reflecting light in the Nth wavelength band. it can.

また、前記第j反射型回折格子と第(j+1)反射型回折格子との間に、第(j+1)反射回折層により反射回折せしめられた第(j+1)光ビームの0次回折光の軸の位置を、前記第j反射回折層により反射回折せしめられた前記第j光ビームの0次回折光の軸の位置に一致させる第j軸位置調整層が設けられている、とすることができる。   Further, the position of the axis of the 0th-order diffracted light beam of the (j + 1) th light beam reflected and diffracted by the (j + 1) th reflection diffraction layer between the jth reflection type diffraction grating and the (j + 1) th reflection type diffraction grating. Is provided with a j-th axis position adjustment layer that matches the position of the 0th-order diffracted light axis of the j-th light beam reflected and diffracted by the j-th reflection diffraction layer.

また、特に3波長対応型としての、本発明に係る複数波長用反射型回折格子は、第1波長帯域に属する第1光ビームと、該第1波長帯域とは異なる第2波長帯域に属する第2光ビームと、該第1波長帯域および該第2波長帯域とは異なる第3波長帯域に属する第3光ビームとが、選択的に出力される光路上に配設される複数波長用反射型回折格子であって、
第1反射型回折格子と第2反射型回折格子と第3反射型回折格子とが、前記第1光ビーム、前記第2光ビームおよび前記第3光ビームの入射側からこの順に積層され、
前記第1反射型回折格子は、該第1反射型回折格子に入射した前記第1光ビームから前記第3光ビームまでのうち該第1光ビームは反射回折せしめ他の光ビームは透過せしめる第1反射回折層と、透過せしめた前記第2光ビームおよび前記第3光ビームのうち少なくとも該第2光ビームの波面の位相を整える第1位相調整層とを有してなり、
前記第2反射型回折格子は、該第2反射型回折格子に入射した前記第2光ビームと前記第3光ビームのうち該第2光ビームは反射回折せしめ該第3光ビームは透過せしめる第2反射回折層と、透過せしめた該第3光ビームの波面の位相を整える第2位相調整層とを有してなり、
前記第3反射型回折格子は、該第3反射型回折格子に入射した前記第3光ビームを反射回折せしめる第3反射回折層を有してなり、
前記第1反射回折層は、前記第1波長帯域の光は反射せしめ前記第2波長帯域の光および前記第3波長帯域の光は透過せしめる特性を有する第1ダイクロイック膜を、周期的な凹凸状に配設してなるものであり、
前記第2反射回折層は、前記第2波長帯域の光は反射せしめ前記第3波長帯域の光は透過せしめる特性を有する第2ダイクロイック膜を、周期的な凹凸状に配設してなるものであり、
前記第3反射回折層は、前記第3波長帯域の光を反射せしめる特性を有する第3ダイクロイック膜または全反射膜を周期的な凹凸状に配設してなるものである、ことを特徴とするものである。
Further, the reflective diffraction grating for multiple wavelengths according to the present invention, particularly as a three-wavelength compatible type, includes a first light beam belonging to the first wavelength band and a second wavelength band belonging to a second wavelength band different from the first wavelength band. A reflection type for multiple wavelengths in which two light beams and a third light beam belonging to a third wavelength band different from the first wavelength band and the second wavelength band are selectively output. A diffraction grating,
A first reflective diffraction grating, a second reflective diffraction grating, and a third reflective diffraction grating are stacked in this order from the incident side of the first light beam, the second light beam, and the third light beam,
The first reflection type diffraction grating reflects and diffracts the first light beam among the first light beam to the third light beam incident on the first reflection type diffraction grating and transmits the other light beam. A reflection diffraction layer, and a first phase adjustment layer for adjusting a phase of a wave front of at least the second light beam of the transmitted second light beam and the third light beam,
The second reflection type diffraction grating reflects and diffracts the second light beam of the second light beam and the third light beam incident on the second reflection type diffraction grating and transmits the third light beam. A second reflection diffraction layer and a second phase adjustment layer for adjusting the phase of the wavefront of the transmitted third light beam,
The third reflective diffraction grating has a third reflective diffraction layer that reflects and diffracts the third light beam incident on the third reflective diffraction grating,
The first reflective diffractive layer has a periodic concavo-convex shape on a first dichroic film having a characteristic of reflecting light in the first wavelength band and transmitting light in the second wavelength band and light in the third wavelength band. It is arranged in the
The second reflection diffraction layer is formed by arranging a second dichroic film having a characteristic of reflecting the light of the second wavelength band and transmitting the light of the third wavelength band in a periodic uneven shape. Yes,
The third reflective diffractive layer is formed by arranging a third dichroic film or a total reflection film having a characteristic of reflecting the light in the third wavelength band in a periodic uneven shape. Is.

ここで、前記第1反射型回折格子と前記第2反射型回折格子との間に、前記第2反射回折層により反射回折せしめられた前記第2光ビームの0次回折光の軸の位置を、前記第1反射回折層により反射回折せしめられた前記第1光ビームの0次回折光の軸の位置に一致させる第1軸位置調整層が設けられ、
前記第2反射型回折格子と前記第3反射型回折格子との間に、前記第3反射回折層により反射回折せしめられた前記第3光ビームの0次回折光の軸の位置を、前記第2反射回折層により反射回折せしめられた前記第2光ビームの0次回折光の軸の位置に一致させる第2軸位置調整層が設けられている、とすることができる。
Here, the position of the axis of the 0th-order diffracted light of the second light beam reflected and diffracted by the second reflective diffraction layer between the first reflective diffraction grating and the second reflective diffraction grating, A first axis position adjusting layer is provided to match the position of the axis of the 0th-order diffracted light of the first light beam reflected and diffracted by the first reflective diffraction layer;
The position of the axis of the 0th-order diffracted light beam of the third light beam reflected and diffracted by the third reflective diffraction layer between the second reflective diffraction grating and the third reflective diffraction grating is defined as the second reflective diffraction grating. It can be assumed that a second axis position adjusting layer is provided that matches the position of the axis of the 0th-order diffracted light of the second light beam reflected and diffracted by the reflection diffraction layer.

また、本発明に係る光ピックアップ装置は、上述の本発明に係る複数波長用反射型回折格子を備えてなることを特徴とするものである。   An optical pickup device according to the present invention includes the above-described reflection diffraction grating for multiple wavelengths according to the present invention.

本発明に係る複数波長用反射型回折格子は、属する波長帯域が互いに異なるN個の光ビームにそれぞれ対応するN個の反射型回折格子を積層してなるものであり、各々の光ビームは、対応する所定の反射型回折格子において反射回折され、その反射型回折格子よりも入射側の位置に配設された他の反射型回折格子は透過するように構成されている。また、第j反射型回折格子を透過する第(j+1)光ビームから第N光ビームまでのうち少なくとも該第(j+1)光ビームは、第j反射型回折格子が有する第j位相調整層により波面の位相を整えられて、次の第(j+1)反射型回折格子に入射するようになっている。   The multi-wavelength reflection diffraction grating according to the present invention is formed by stacking N reflection diffraction gratings corresponding to N light beams having different wavelength bands, and each light beam includes: The other reflection type diffraction gratings are reflected and diffracted by a corresponding predetermined reflection type diffraction grating, and are disposed at a position closer to the incident side than the reflection type diffraction grating. In addition, at least the (j + 1) th light beam from the (j + 1) th light beam to the Nth light beam transmitted through the jth reflection type diffraction grating is wavefronted by the jth phase adjustment layer of the jth reflection type diffraction grating. Are adjusted to be incident on the next (j + 1) th reflective diffraction grating.

このように、N個の反射型回折格子を積層するとともに、各々の反射型回折格子において反射回折層および位相調整層を設けてなる本発明に係る複数波長用反射型回折格子によれば、各反射型回折格子における反射回折層と位相調整層を適宜形成することにより、各々の光ビームに対する回折効率および回折方向を所望の値に設定することが可能となる。   As described above, according to the reflection diffraction grating for a plurality of wavelengths according to the present invention in which N reflection diffraction gratings are stacked and each of the reflection diffraction gratings is provided with a reflection diffraction layer and a phase adjustment layer, By appropriately forming the reflection diffraction layer and the phase adjustment layer in the reflection type diffraction grating, the diffraction efficiency and the diffraction direction for each light beam can be set to desired values.

また、各々の反射型回折格子における反射回折層と位相調整層は、汎用性のある一般的な膜材料を用いて形成することができるので、複屈折材料を用いた回折格子と比較して本発明に係る複数波長用反射型回折格子は、低コストで作製することが可能となる。   In addition, the reflection diffraction layer and the phase adjustment layer in each reflection type diffraction grating can be formed using a general-purpose film material having general versatility, so this is compared with a diffraction grating using a birefringent material. The reflective diffraction grating for multiple wavelengths according to the invention can be manufactured at low cost.

また、本発明に係る光ピックアップ装置によれば、互いに異なる複数(特に3以上の)波長帯域の光ビームを用いて、各光ビームに対応した光記録媒体へのデータの記録や再生を行う際のトラッキング制御等を、本発明に係る複数波長用反射型回折格子を用いて高精度に行うことが可能となる。   In addition, according to the optical pickup device of the present invention, when recording and reproducing data on an optical recording medium corresponding to each light beam using light beams of a plurality of (especially three or more) wavelength bands different from each other. Tracking control and the like can be performed with high accuracy using the reflection diffraction grating for multiple wavelengths according to the present invention.

以下、本発明の実施形態について図面を参照しつつ詳細に説明する。図1は本発明の第1実施形態に係る複数波長用反射型回折格子の概略構成を示す断面図である。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a schematic configuration of a reflection diffraction grating for multiple wavelengths according to a first embodiment of the present invention.

図1に示す第1実施形態の複数波長用反射型回折格子1は、第1波長帯域(例えば、青色光帯域)に属する第1光ビーム(例えば、波長405nm)と、第2波長帯域(例えば、緑色光帯域)に属する第2光ビーム(例えば、波長655nm)と、第3波長帯域(例えば、赤色光帯域または近赤外光帯域)に属する第3光ビーム(例えば、波長785nm)とが、選択的に出力される光路上に配設される3波長対応型のものであり、光学硝材等により形成される透明な基板3上に、第1反射型回折格子10、第2反射型回折格子20および第3反射型回折格子30が上記各光ビームの入射側(基板3側)からこの順に積層されてなる。   A multi-wavelength reflective diffraction grating 1 of the first embodiment shown in FIG. 1 includes a first light beam (for example, a wavelength of 405 nm) belonging to a first wavelength band (for example, a blue light band) and a second wavelength band (for example, a blue wavelength band). A second light beam (for example, wavelength 655 nm) belonging to the green light band) and a third light beam (for example, wavelength 785 nm) belonging to the third wavelength band (for example, red light band or near infrared light band). The first reflection type diffraction grating 10 and the second reflection type diffraction are provided on a transparent substrate 3 formed of an optical glass material, etc. The grating 20 and the third reflection type diffraction grating 30 are laminated in this order from the light incident side (substrate 3 side).

上記第1反射型回折格子10は、上記基板3上に形成された第1ベース層11(具体的には例えば、厚さ50〜100nm程度のSiOの単一層からなる)を介して、図中左右方向に周期的な凹凸を形成するように設けられた第1反射回折層12と、該第1反射回折層12上に形成された第1位相調整層13とを備えてなる。なお、第1ベース層11、第1反射回折層12および第1位相調整層13は、図中左右方向に周期的な構成を有しており、番号はそれらの一部のみに付している。 The first reflective diffraction grating 10 is formed through a first base layer 11 (specifically, for example, a single layer of SiO 2 having a thickness of about 50 to 100 nm) formed on the substrate 3. The first reflection diffraction layer 12 is provided so as to form periodic irregularities in the middle and right and left directions, and the first phase adjustment layer 13 is formed on the first reflection diffraction layer 12. In addition, the 1st base layer 11, the 1st reflection diffraction layer 12, and the 1st phase adjustment layer 13 have a periodic structure in the left-right direction in a figure, and the number is attached | subjected only to those parts. .

上記第1反射回折層12は、第1反射型回折格子10に入射した上記各光ビームのうち第1光ビームは所定方向に反射回折せしめ他の光ビームは透過せしめるように形成されたものであり、具体的にはTiOとSiOとの交互層からなる第1ダイクロイック膜から構成されている。 The first reflection diffraction layer 12 is formed so that the first light beam is reflected and diffracted in a predetermined direction and the other light beams are transmitted through the respective light beams incident on the first reflection type diffraction grating 10. Specifically, it is composed of a first dichroic film composed of alternating layers of TiO 2 and SiO 2 .

上記第1位相調整層13は、第1反射型回折格子10に入射した上記各光ビームのうち該第1反射型回折格子10を透過する第2光ビームおよび第3光ビームのうち少なくとも第2光ビームの波面の位相を整える(第2反射型回折格子20に入射する時点での第2光ビームの波面の位相を揃える)ように形成されたものであり(第3光ビームも波面の位相調整を受けるが、第2反射型回折格子20に入射する時点では波面の位相は揃っていない)、具体的にはSiOの単一層から構成されている。なお、図1では、第1位相調整層13が第1反射回折層12の段差部分(凹んだ部分)のみに設けられているが、この段差部分だけではなく、第1反射型回折格子10と第2反射型回折格子20との間全体に亘って第1位相調整層13を設けるようにしてもよい。 The first phase adjustment layer 13 includes at least a second light beam and a third light beam transmitted through the first reflective diffraction grating 10 among the light beams incident on the first reflective diffraction grating 10. The phase of the wavefront of the light beam is adjusted (the phase of the wavefront of the second light beam at the time of incidence on the second reflective diffraction grating 20 is aligned) (the phase of the wavefront of the third light beam is also the same). Although adjusted, the phase of the wave front is not aligned at the time of incidence on the second reflective diffraction grating 20). Specifically, it is composed of a single layer of SiO 2 . In FIG. 1, the first phase adjustment layer 13 is provided only on the stepped portion (recessed portion) of the first reflective diffraction layer 12, but not only the stepped portion but the first reflective diffraction grating 10 and You may make it provide the 1st phase adjustment layer 13 over the whole between the 2nd reflective diffraction gratings 20. FIG.

上記第2反射型回折格子20は、上記第1反射型回折格子10上に形成された第2ベース層21(上記第1ベース層11と同様に構成される)を介して、図中左右方向に周期的な凹凸を形成するように設けられた第2反射回折層22と、該第2反射回折層22上に形成された第2位相調整層23とを備えてなる。なお、第2ベース層21、第2反射回折層22および第2位相調整層23は、図中左右方向に周期的な構成を有しており、番号はそれらの一部のみに付している。   The second reflective diffraction grating 20 is arranged in a horizontal direction in the figure through a second base layer 21 (configured in the same manner as the first base layer 11) formed on the first reflective diffraction grating 10. A second reflection diffraction layer 22 provided so as to form periodic irregularities, and a second phase adjustment layer 23 formed on the second reflection diffraction layer 22. In addition, the 2nd base layer 21, the 2nd reflection diffraction layer 22, and the 2nd phase adjustment layer 23 have a periodic structure in the left-right direction in a figure, and the number is attached | subjected only to those parts. .

上記第2反射回折層22は、第2反射型回折格子20に入射した上記第2光ビームおよび上記第3光ビームのうち第2光ビームは反射回折せしめ第3光ビームは透過せしめるように形成されたものであり、具体的にはNbとSiOとの交互層からなる第2ダイクロイック膜から構成されている。 The second reflection diffraction layer 22 is formed so that the second light beam of the second light beam and the third light beam incident on the second reflection type diffraction grating 20 is reflected and diffracted and the third light beam is transmitted. It is those which are, in particular and a second dichroic film made of alternating layers of Nb 2 O 5, SiO 2.

上記第2位相調整層23は、第2反射型回折格子20に入射した上記2光ビームおよび上記第3光ビームのうち該第2反射型回折格子20を透過する第3光ビームの波面の位相を整える(第3反射型回折格子30に入射する時点での第3光ビームの波面の位相を揃える)ように形成されたものであり、具体的にはSiOの単一層から構成されている。なお、図1では、第2位相調整層23が第2反射回折層12の段差部分(凹んだ部分)のみに設けられているが、この段差部分だけではなく、第2反射型回折格子20と第3反射型回折格子30との間全体に亘って第2位相調整層23を設けるようにしてもよい。 The second phase adjustment layer 23 includes a phase of a wavefront of a third light beam transmitted through the second reflective diffraction grating 20 out of the two light beams and the third light beam incident on the second reflective diffraction grating 20. (The phase of the wavefront of the third light beam at the time of incidence on the third reflective diffraction grating 30 is made uniform), specifically, it is composed of a single layer of SiO 2 . . In FIG. 1, the second phase adjustment layer 23 is provided only on the stepped portion (recessed portion) of the second reflective diffraction layer 12, but not only the stepped portion but also the second reflective diffraction grating 20. You may make it provide the 2nd phase adjustment layer 23 over the whole between the 3rd reflective diffraction gratings 30. FIG.

また、上記第3反射型回折格子30は、上記第2反射型回折格子20上に形成された第3ベース層31(第1ベース層11および第2ベース層21と同様に構成される)を介して、図中左右方向に周期的な凹凸を形成するように設けられた第3反射回折層32を備えてなる。なお、第3ベース層31および第3反射回折層32は、図中左右方向に周期的な構成を有しており、番号はそれらの一部のみに付している。   The third reflective diffraction grating 30 includes a third base layer 31 (configured in the same manner as the first base layer 11 and the second base layer 21) formed on the second reflective diffraction grating 20. Accordingly, a third reflective diffraction layer 32 is provided so as to form periodic irregularities in the left-right direction in the figure. The third base layer 31 and the third reflective diffraction layer 32 have a periodic configuration in the left-right direction in the figure, and numbers are given to only a part of them.

上記第3反射回折層32は、第3反射型回折格子30に入射した上記第3光ビームを所定方向に反射回折せしめるように形成されたものであり、具体的にはTiOとSiOとの交互層からなる第3ダイクロイック膜から構成されている。 The third reflective diffractive layer 32 is for the third light beam incident on the third reflecting type diffraction grating 30 is formed so as allowed to reflectively diffracted in a predetermined direction, particularly TiO 2 and SiO 2 The third dichroic film is composed of alternating layers.

なお、上述の第1ダイクロイック膜、第2ダイクロイック膜および第3ダイクロイック膜は、いずれも10から20層(厚さ1000〜2000nm)程度の多層膜とされている。   Note that each of the first dichroic film, the second dichroic film, and the third dichroic film described above is a multilayer film of about 10 to 20 layers (thickness 1000 to 2000 nm).

ここで、上述の第1ダイクロイック膜、第2ダイクロイック膜および第3ダイクロイック膜の反射特性について図3〜図5を用いて説明する。図3は第1ダイクロイック膜の反射特性を示す図であり、図4は第2ダイクロイック膜の反射特性を示す図であり、図5は第3ダイクロイック膜の反射特性を示す図である。なお、各図の反射特性は入射角度が23度の場合であり、S偏光に対する特性が実線で示され、P偏光に対する特性が1点鎖線で示されている。   Here, the reflection characteristics of the first dichroic film, the second dichroic film, and the third dichroic film will be described with reference to FIGS. 3 is a diagram showing the reflection characteristics of the first dichroic film, FIG. 4 is a diagram showing the reflection characteristics of the second dichroic film, and FIG. 5 is a diagram showing the reflection characteristics of the third dichroic film. In addition, the reflection characteristic of each figure is a case where an incident angle is 23 degree | times, the characteristic with respect to S polarized light is shown as the continuous line, and the characteristic with respect to P polarized light is shown with the dashed-dotted line.

図3に示すように上記第1ダイクロイック膜は、上記第1波長帯域の光は反射せしめ上記第2波長帯域の光および上記第3波長帯域の光は透過せしめる特性を有しており、上記第1光ビームに対する反射率はS偏光およびP偏光共に100%に近い高反射率となっている。   As shown in FIG. 3, the first dichroic film has a characteristic of reflecting the light of the first wavelength band and transmitting the light of the second wavelength band and the light of the third wavelength band. The reflectivity for one light beam is a high reflectivity close to 100% for both S-polarized light and P-polarized light.

一方、図4に示すように上記第2ダイクロイック膜は、上記第2波長帯域の光は反射せしめ上記第3波長帯域の光は透過せしめる特性を有しており、上記第2光ビームに対する反射率はS偏光およびP偏光共に略100%となっている。   On the other hand, as shown in FIG. 4, the second dichroic film has a characteristic of reflecting the light of the second wavelength band and transmitting the light of the third wavelength band, and has a reflectivity with respect to the second light beam. Is approximately 100% for both S-polarized light and P-polarized light.

また、図5に示すように上記第3ダイクロイック膜は、上記第3波長帯域の光を反射せしめる特性を有しており、上記第3光ビームに対する反射率はS偏光およびP偏光共に略100%となっている。   Further, as shown in FIG. 5, the third dichroic film has a characteristic of reflecting the light in the third wavelength band, and the reflectance for the third light beam is approximately 100% for both S-polarized light and P-polarized light. It has become.

このように構成された複数波長用反射型回折格子1は、低コストで作製することが可能であり、かつ第1光ビーム、第2光ビームおよび第3光ビーム毎に所望の回折効率および回折方向を設定することが可能である。   The multi-wavelength reflective diffraction grating 1 configured in this way can be manufactured at low cost, and has a desired diffraction efficiency and diffraction for each of the first light beam, the second light beam, and the third light beam. It is possible to set the direction.

次に、本発明の第2実施形態に係る複数波長用反射型回折格子について説明する。図2は本発明の第2実施形態に係る複数波長用反射型回折格子の概略構成を示す断面図である。   Next, a reflection diffraction grating for multiple wavelengths according to a second embodiment of the present invention will be described. FIG. 2 is a sectional view showing a schematic configuration of a reflection diffraction grating for multiple wavelengths according to a second embodiment of the present invention.

図2に示す第2実施形態の複数波長用反射型回折格子2は、上述の第1光ビーム、第2光ビームおよび第3光ビームが選択的に出力される光路上に配設される3波長対応型のものであり、光学硝材等により形成される透明な基板3A上に、第1反射型回折格子10A、第1軸位置調整層5、第2反射型回折格子20A、第2軸位置調整層7および第3反射型回折格子30Aが、上記各光ビームの入射側(基板3A側)からこの順に積層されてなる。なお、図1と同様に、周期的な構成を有するものには番号の一部を省略している。   The multiple-wavelength reflective diffraction grating 2 of the second embodiment shown in FIG. 2 is disposed on an optical path through which the first light beam, the second light beam, and the third light beam are selectively output. A wavelength-corresponding type, on a transparent substrate 3A formed of an optical glass material or the like, a first reflective diffraction grating 10A, a first axis position adjusting layer 5, a second reflective diffraction grating 20A, a second axis position The adjustment layer 7 and the third reflective diffraction grating 30A are laminated in this order from the light incident side (substrate 3A side). As in FIG. 1, some of the numbers are omitted for those having a periodic configuration.

上記第1反射型回折格子10Aは、上記基板3A上に形成された第1ベース層11A(上記第1ベース層11と同様に構成される)を介して、図中左右方向に周期的な凹凸を形成するように設けられた第1反射回折層12Aと、該第1反射回折層12A上に形成された第1位相調整層13Aとを備えてなる。なお、図2では、第1位相調整層13Aが第1反射回折層12Aの段差部分(凹んだ部分)のみに設けられているが、この段差部分だけではなく、第1反射型回折格子10Aと後述する第1軸位置調整層5との間全体に亘って第1位相調整層13Aを設けるようにしてもよい。   The first reflective diffraction grating 10A has periodic irregularities in the horizontal direction in the figure via a first base layer 11A (configured in the same manner as the first base layer 11) formed on the substrate 3A. And a first phase adjustment layer 13A formed on the first reflection diffraction layer 12A. In FIG. 2, the first phase adjustment layer 13A is provided only on the stepped portion (the recessed portion) of the first reflective diffraction layer 12A, but not only the stepped portion and the first reflective diffraction grating 10A. The first phase adjustment layer 13 </ b> A may be provided over the entire area between the first axis position adjustment layer 5 described later.

上記第1反射回折層12Aは、第1反射型回折格子10Aに入射した上記各光ビームのうち第1光ビームは所定方向に反射回折せしめ他の光ビームは透過せしめるように形成されたものであり、具体的にはTiOとSiOとの交互層からなる上記第1ダイクロイック膜から構成されている。 The first reflective diffraction layer 12A is formed so that the first light beam is reflected and diffracted in a predetermined direction and the other light beams are transmitted through the respective light beams incident on the first reflective diffraction grating 10A. Specifically, the first dichroic film is composed of alternating layers of TiO 2 and SiO 2 .

上記第1位相調整層13Aは、第1反射型回折格子10Aに入射した上記各光ビームのうち該第1反射型回折格子10Aを透過する第2光ビームの波面の位相を整える(第1軸位置調整層5に入射する時点での第2光ビームの波面の位相を揃える)ように形成されたものであり、具体的にはSiOの単一層から構成されている。 The first phase adjustment layer 13A adjusts the phase of the wavefront of the second light beam that passes through the first reflective diffraction grating 10A among the light beams incident on the first reflective diffraction grating 10A (first axis). The phase of the wavefront of the second light beam at the time of entering the position adjusting layer 5 is made uniform, and specifically, it is composed of a single layer of SiO 2 .

上記第2反射型回折格子20Aは、第1反射型回折格子10上に形成された第2ベース層21A(上記第2ベース層21と同様に構成される)を介して、図中左右方向に周期的な凹凸を形成するように設けられた第2反射回折層22Aと、該第2反射回折層22A上に形成された第2位相調整層23Aとを備えてなる。なお、図2では、第2位相調整層23Aが第2反射回折層22Aの段差部分(凹んだ部分)のみに設けられているが、この段差部分だけではなく、第2反射型回折格子20Aと後述する第2軸位置調整層7との間全体に亘って第2位相調整層23Aを設けるようにしてもよい。   The second reflective diffraction grating 20A is arranged in the left-right direction in the figure via a second base layer 21A (configured in the same manner as the second base layer 21) formed on the first reflective diffraction grating 10. A second reflection diffraction layer 22A provided so as to form periodic unevenness and a second phase adjustment layer 23A formed on the second reflection diffraction layer 22A are provided. In FIG. 2, the second phase adjustment layer 23A is provided only on the stepped portion (recessed portion) of the second reflective diffraction layer 22A, but not only the stepped portion but the second reflective diffraction grating 20A. You may make it provide the 2nd phase adjustment layer 23A over the whole between the 2nd axis position adjustment layers 7 mentioned later.

上記第2反射回折層22Aは、第2反射型回折格子20Aに入射した上記第2光ビームおよび上記第3光ビームのうち第2光ビームは反射回折せしめ第3光ビームは透過せしめるように形成されたものであり、具体的にはNbとSiOとの交互層からなる上記第2ダイクロイック膜から構成されている。 The second reflective diffraction layer 22A is formed so that the second light beam of the second light beam and the third light beam incident on the second reflective diffraction grating 20A is reflected and diffracted and the third light beam is transmitted. It is those which are, specifically, is configured from the second dichroic film made of alternating layers of Nb 2 O 5, SiO 2.

上記第2位相調整層23Aは、第2反射型回折格子20Aに入射した上記第2光ビームおよび上記第3光ビームのうち該第2反射型回折格子20Aを透過する第3光ビームの波面の位相を整える(第2軸位置調整層7に入射する時点での第3光ビームの波面の位相を揃える)ように形成されたものであり、具体的にはSiOの単一層から構成されている。 The second phase adjusting layer 23A has a wavefront of a third light beam transmitted through the second reflective diffraction grating 20A out of the second light beam and the third light beam incident on the second reflective diffraction grating 20A. It is formed so as to adjust the phase (align the phase of the wavefront of the third light beam at the time of incidence on the second axis position adjusting layer 7), and is specifically composed of a single layer of SiO 2 Yes.

また、この第2実施形態の特徴として複数波長用反射型回折格子2は、第1反射型回折格子10Aと第2反射型回折格子20Aとの間に第1軸位置調整層5を備え、第2反射型回折格子20Aと第3反射型回折格子30Aとの間に第2軸位置調整層7を備えている。   Further, as a feature of the second embodiment, the multi-wavelength reflection type diffraction grating 2 includes a first axial position adjustment layer 5 between the first reflection type diffraction grating 10A and the second reflection type diffraction grating 20A. A second axis position adjusting layer 7 is provided between the two-reflection diffraction grating 20A and the third reflection-type diffraction grating 30A.

これら第1軸位置調整層5および第2軸位置調整層7は、複数波長用反射型回折格子2に選択的に入射される第1光ビーム、第2光ビームおよび第3光ビームの入射時の軸の位置が互いに異なる(入射角度は互いに一致する)場合に有用なもので、次のような機能を有している。   The first axis position adjustment layer 5 and the second axis position adjustment layer 7 are formed when the first light beam, the second light beam, and the third light beam are selectively incident on the reflection diffraction grating 2 for multiple wavelengths. This is useful when the positions of the axes are different (incident angles coincide with each other), and has the following functions.

すなわち、第1軸位置調整層5は、第2反射回折層22Aにより反射回折せしめられた第2光ビームの0次回折光の出射時の軸の位置を、第1反射回折層12Aにより反射回折せしめられた第1光ビームの0次回折光の軸の位置に一致させ、第2軸位置調整層7は、第3反射回折層32Aにより反射回折せしめられた第3光ビームの0次回折光の軸の位置を、第2反射回折層22Aにより反射回折せしめられた第2光ビームの0次回折光の軸の位置に一致させる機能をそれぞれ有している。   That is, the first axis position adjusting layer 5 causes the first reflection diffraction layer 12A to reflect and diffract the axis position when the second-order light beam reflected and diffracted by the second reflection diffraction layer 22A is emitted. The second axis position adjusting layer 7 is made to coincide with the position of the axis of the zeroth-order diffracted light of the first light beam, and the axis of the zeroth-order diffracted light of the third light beam reflected and diffracted by the third reflection diffraction layer 32A Each has a function of making the position coincide with the position of the axis of the 0th-order diffracted light of the second light beam reflected and diffracted by the second reflective diffraction layer 22A.

これにより、第2実施形態に係る複数波長用反射型回折格子2においては、選択的に入射される第1光ビーム、第2光ビームおよび第3光ビームの入射時の軸の位置が互いに異なる場合でも、反射回折せしめた時点では各光ビームの0次回折光の軸の位置を互いに一致させることが可能となる。   Thereby, in the reflective diffraction grating 2 for multiple wavelengths according to the second embodiment, the positions of the axes at the time of incidence of the first light beam, the second light beam, and the third light beam that are selectively incident are different from each other. Even in this case, it is possible to make the positions of the axes of the 0th-order diffracted light beams of the respective light beams coincide with each other at the time of reflection diffraction.

なお、上述の第1軸位置調整層5および第2軸位置調整層7は、上記基板3A(3)と同様の光学硝材等からなる厚さ0.1mm程度の薄板により構成することができるが、これらをSiOの単一層により構成することも可能である。SiOの単一層により構成する場合には、第1軸位置調整層5を上記第1位相調整層13Aと一体に構成し、第2軸位置調整層7を上記第2位相調整層23Aと一体に構成することも可能である。 The first axis position adjusting layer 5 and the second axis position adjusting layer 7 described above can be formed of a thin plate having a thickness of about 0.1 mm made of an optical glass material similar to the substrate 3A (3). These can also be constituted by a single layer of SiO 2 . In the case of a single layer of SiO 2 , the first axial position adjusting layer 5 is configured integrally with the first phase adjusting layer 13A, and the second axial position adjusting layer 7 is integrated with the second phase adjusting layer 23A. It is also possible to configure.

次に、本発明に係る光ピックアップ装置の実施形態について説明する。図7は本発明の一実施形態に係る光ピックアップ装置の概略構成図である。   Next, an embodiment of an optical pickup device according to the present invention will be described. FIG. 7 is a schematic configuration diagram of an optical pickup device according to an embodiment of the present invention.

図7に示す光ピックアップ装置50は、上記第1光ビーム用の光記録媒体D(BD)、上記第2光ビーム用の光記録媒体D(DVD)および上記第3光ビーム用の光記録媒体D(CD)のデータ再生を行うものであり、上述の複数波長用反射型回折格子2を用いることにより、上記各光ビームに対応させた3ビーム法による信号読取りおよびトラッキング制御を行うように構成されている。 The optical pickup device 50 shown in FIG. 7 includes an optical recording medium D 1 (BD) for the first light beam, an optical recording medium D 2 (DVD) for the second light beam, and light for the third light beam. Data reproduction of the recording medium D 3 (CD) is performed, and by using the above-described reflection diffraction grating 2 for plural wavelengths, signal reading and tracking control are performed by the three-beam method corresponding to each light beam. It is configured as follows.

この光ピックアップ装置50は、3波長レーザ光源51と、該3波長レーザ光源51からの各光ビームの光路上に配された第1プリズム52と、該第1プリズム52と接合された第2プリズム53と、コリメータ55aや対物レンズ55b等からなるピックアップレンズ系55と、3波長用ホログラム素子56と、信号読取りおよびトラッキング制御用の3波長用受光装置57と、3波長レーザ光源51からの出力を制御するためのAPC用受光装置58とを備えてなる。   The optical pickup device 50 includes a three-wavelength laser light source 51, a first prism 52 disposed on the optical path of each light beam from the three-wavelength laser light source 51, and a second prism joined to the first prism 52. 53, a pickup lens system 55 including a collimator 55a and an objective lens 55b, a three-wavelength hologram element 56, a three-wavelength light receiving device 57 for signal reading and tracking control, and outputs from the three-wavelength laser light source 51. And an APC light-receiving device 58 for control.

上記3波長レーザ光源51は、上述の第1光ビーム、第2光ビームおよび第3光ビームを、図中上方に向けて選択的に出力し得るように構成されている。この3波長レーザ光源51から出力される各光ビームの軸は互いに平行となるが、各光ビームの発光点の位置が互いに異なっているため、各光ビームの軸の位置は図中左右方向に少しずつ(例えば0.1mm程度)ずれている。   The three-wavelength laser light source 51 is configured to selectively output the above-described first light beam, second light beam, and third light beam upward in the drawing. Although the axes of the light beams output from the three-wavelength laser light source 51 are parallel to each other, the positions of the light emission points of the light beams are different from each other. It is shifted little by little (for example, about 0.1 mm).

上記第1プリズム52と上記第2プリズム53との接合面54にはビームスプリッタ膜(以下「BS膜」と略称する)が設けられている。また、この接合面と平行に配された、上記第1プリズム52の第2面52bには、上述の複数波長用反射型回折格子2が設置されている。なお、この第1プリズム52の第2面52bは、上記3波長レーザ光源51から選択的に出力された各光ビームの該第2面52bへの入射角度(上記複数波長用反射型回折格子2への入射角度も同じとなる)が所定の角度(例えば23°)となるように設定されている。   A beam splitter film (hereinafter abbreviated as “BS film”) is provided on the joint surface 54 between the first prism 52 and the second prism 53. Further, the above-described reflection diffraction grating 2 for a plurality of wavelengths is installed on the second surface 52b of the first prism 52 arranged in parallel with the joint surface. The second surface 52b of the first prism 52 has an incident angle of each light beam selectively output from the three-wavelength laser light source 51 to the second surface 52b (the reflection diffraction grating 2 for multiple wavelengths). Is set to be a predetermined angle (for example, 23 °).

ここで、上記BS膜の反射特性について図6を用いて説明する。図6はBS膜の反射特性を示す図である。なお、図6の反射特性は入射角度が23度の場合であり、S偏光に対する特性が実線で示され、P偏光に対する特性が1点鎖線で示されている。   Here, the reflection characteristic of the BS film will be described with reference to FIG. FIG. 6 is a diagram showing the reflection characteristics of the BS film. The reflection characteristics in FIG. 6 are for an incident angle of 23 degrees, the characteristics for S-polarized light are indicated by a solid line, and the characteristics for P-polarized light are indicated by a one-dot chain line.

図6に示すように上記BS膜は、上述の第1光ビーム、第2光ビームおよび第3光ビームにそれぞれ対応する波長の光については、いずれもその大部分を反射せしめ、その余の部分を透過せしめるように構成されている。   As shown in FIG. 6, the BS film reflects most of the wavelengths of light corresponding to the first light beam, the second light beam, and the third light beam, respectively, and the remaining portion. It is comprised so that it may permeate | transmit.

以下、この光ピックアップ装置50の作用について図7を用いて説明する。
光記録媒体Dの再生を行う場合には、3波長レーザ光源51から第1光ビームが出力される。この出力された第1光ビームは、第1プリズム52の第1面52aから該第1プリズム52内に入射し、第2面52bに設置された複数波長用反射型回折格子2に入射する。
Hereinafter, the operation of the optical pickup device 50 will be described with reference to FIG.
When reproducing the optical recording medium D 1 , the first light beam is output from the three-wavelength laser light source 51. The output first light beam is incident on the first prism 52 from the first surface 52a of the first prism 52, and is incident on the reflection diffraction grating 2 for multiple wavelengths provided on the second surface 52b.

複数波長用反射型回折格子2に入射した第1光ビームは、基板3Aを透過して第1反射型回折格子10Aに入射し、第1反射回折層12Aにおいて反射回折せしめられ(図2参照)、0次回折光からなるメインビームと±1次回折光からなる2つのサブビームの3ビームに分岐されて(図7において3ビームの図示は省略している)、該複数波長用反射型回折格子2から出射される。   The first light beam incident on the multi-wavelength reflective diffraction grating 2 passes through the substrate 3A and enters the first reflective diffraction grating 10A, and is reflected and diffracted by the first reflective diffraction layer 12A (see FIG. 2). The beam is branched into three beams of a main beam composed of 0th order diffracted light and two sub beams composed of ± 1st order diffracted light (illustration of 3 beams is omitted in FIG. 7). Emitted.

複数波長用反射型回折格子2から出射された第1光ビームは上記接合面54に入射し、上記BS膜においてその大部分が図中上方に反射され、その余の部分がBS膜を透過して第2プリズム53内に入射する。第2プリズム53内に入射した第1光ビームは、第2プリズム53の第1面53aで全反射され、第2面53bから出射されて上記APC用受光装置58内に入射する。入射された第1光ビームの光量が、APC用受光装置58により検出され、その検出光量に基づき、3波長レーザ光源51からの第1光ビームの出力が自動調整されるようになっている。   The first light beam emitted from the reflective diffraction grating 2 for multiple wavelengths is incident on the bonding surface 54, most of the BS film is reflected upward in the figure, and the remaining part is transmitted through the BS film. Then, the light enters the second prism 53. The first light beam incident on the second prism 53 is totally reflected by the first surface 53a of the second prism 53, is emitted from the second surface 53b, and enters the APC light receiving device 58. The light amount of the incident first light beam is detected by the APC light receiving device 58, and the output of the first light beam from the three-wavelength laser light source 51 is automatically adjusted based on the detected light amount.

一方、接合面54のBS膜から図中上方に反射された第1光ビームは、第1プリズム52の第3面52cから出射され、ピックアップレンズ系55を介して光記録媒体Dのデータ記録面に3ビーム状態で集光照射される。照射された第1光ビームは光記録媒体Dのデータ記録面において反射され、この際にデータ情報を担持されて、概ね元の光路を辿り第2プリズム53内に再び入射する。 Meanwhile, the first light beam from the BS film bonding surface 54 is reflected upward in the drawing is emitted from the third surface 52c of the first prism 52, via a pickup lens system 55 of the data recording the optical recording medium D 1 The surface is condensed and irradiated in a 3-beam state. The irradiated first light beam is reflected on the data recording surface of the optical recording medium D 1 , and at this time, the data information is carried and substantially retraces the original optical path and enters the second prism 53 again.

第2プリズム53内に再び入射した第1光ビームの一部は、接合面54のBS膜を透過して第2プリズム53の第1面53aから図中下方に向けて出射される。この出射された第1光ビームは、3波長用ホログラム素子56において図中左方に反射され、3波長用受光装置57に3ビーム状態で入射する。   A part of the first light beam that has entered the second prism 53 again passes through the BS film on the bonding surface 54 and is emitted downward from the first surface 53a of the second prism 53 in the drawing. The emitted first light beam is reflected leftward in the drawing by the three-wavelength hologram element 56 and enters the three-wavelength light receiving device 57 in a three-beam state.

3波長用受光装置57は、メインビーム検出用の検出部と2つのサブビーム検出用の検出部とを備えており、メインビームの検出に基づき光記録媒体Dのデータの再生が行われ、サブビームの検出に基づき光記録媒体Dのトラッキング制御が行われるようになっている。 The three-wavelength light receiving device 57 includes a detection unit for main beam detection and two detection units for sub-beam detection. Based on the detection of the main beam, data reproduction of the optical recording medium D 1 is performed. tracking control based optical recording medium D 1 in the detection and the like are performed in.

一方、光記録媒体Dの再生を行う場合には、3波長レーザ光源51から第2光ビームが出力される。この出力された第2光ビームは、第1プリズム52の第1面52aから該第1プリズム52内に入射し、第2面52bに設置された複数波長用反射型回折格子2に入射する。 On the other hand, when reproducing the optical recording medium D 2 , the second light beam is output from the three-wavelength laser light source 51. The output second light beam enters the first prism 52 from the first surface 52a of the first prism 52, and enters the reflection diffraction grating 2 for multiple wavelengths provided on the second surface 52b.

複数波長用反射型回折格子2に入射した第2光ビームは、基板3A、第1反射型回折格子10Aおよび第1軸位置調整層5を透過して第2反射型回折格子20Aに入射し、第2反射回折層22Aにおいて反射回折せしめられ(図2参照)、0次回折光からなるメインビームと±1次回折光からなる2つのサブビームの3ビームに分岐されて、該複数波長用反射型回折格子2から出射される。なお、第2反射回折層22Aにおいて反射回折せしめられた第2光ビームの0次回折光の軸の位置は、上述の光記録媒体Dの再生を行う場合における、第1反射型回折格子10Aの第1反射回折層12Aにおいて反射回折せしめられた第1光ビームの0次回折光の軸の位置と一致するようになっている。 The second light beam incident on the multi-wavelength reflective diffraction grating 2 is transmitted through the substrate 3A, the first reflective diffraction grating 10A, and the first axis position adjusting layer 5, and is incident on the second reflective diffraction grating 20A. Reflected and diffracted by the second reflective diffraction layer 22A (see FIG. 2), the multi-wavelength reflective diffraction grating is branched into three beams of a main beam composed of zero-order diffracted light and two sub beams composed of ± first-order diffracted light. 2 is emitted. Incidentally, 0 position of the axis of the diffracted light of the second light beam that is allowed reflected and diffracted at the second reflective diffractive layer 22A is in case of reproducing the above-described optical recording medium D 1, the first reflection type diffraction grating 10A The position of the axis of the 0th-order diffracted light of the first light beam reflected and diffracted by the first reflective diffraction layer 12A coincides.

また、光記録媒体Dの再生を行う場合には、3波長レーザ光源51から第3光ビームが出力される。この出力された第3光ビームは、第1プリズム52の第1面52aから該第1プリズム52内に入射し、第2面52bに設置された複数波長用反射型回折格子2に入射する。 When reproducing the optical recording medium D 3 , the third light beam is output from the three-wavelength laser light source 51. The output third light beam enters the first prism 52 from the first surface 52a of the first prism 52, and enters the multiple-wavelength reflective diffraction grating 2 installed on the second surface 52b.

複数波長用反射型回折格子2に入射した第3光ビームは、基板3A、第1反射型回折格子10A、第1軸位置調整層5、第2反射型回折格子20Aおよび第2軸位置調整層7を透過して第3反射型回折格子30Aに入射し、第3反射回折層32Aにおいて反射回折せしめられ(図2参照)、0次回折光からなるメインビームと±1次回折光からなる2つのサブビームの3ビームに分岐されて、該複数波長用反射型回折格子2から出射される。なお、第3反射回折層32Aにおいて反射回折せしめられた第3光ビームの0次回折光の軸の位置は、上述の光記録媒体Dの再生を行う場合における、第2反射型回折格子20Aの第2反射回折層22Aにおいて反射回折せしめられた第2光ビームの0次回折光の軸の位置と一致するようになっている。 The third light beam incident on the reflection diffraction grating for multiple wavelengths 2 is the substrate 3A, the first reflection diffraction grating 10A, the first axis position adjustment layer 5, the second reflection type diffraction grating 20A, and the second axis position adjustment layer. 7, enters the third reflective diffraction grating 30A, is reflected and diffracted by the third reflective diffraction layer 32A (see FIG. 2), and has two main beams consisting of a 0th-order diffracted light and a ± 1st-order diffracted light. Are emitted from the reflection diffraction grating 2 for multiple wavelengths. Incidentally, 0 position of the axis of the diffracted light of the third light beam that is allowed reflected and diffracted in the third reflective diffractive layer 32A is in case of reproducing the above-described optical recording medium D 2, the second reflection type diffraction grating 20A The position of the axis of the 0th-order diffracted light beam of the second light beam reflected and diffracted by the second reflective diffraction layer 22A coincides.

複数波長用反射型回折格子2から出射された後の第2光ビームおよび第3光ビームの作用は、第1光ビームの場合と同様である。なお、上記3波長用受光装置57は、第1光ビーム用の検出部(メインビーム用および2つのサブビーム用。以下同じ)と第2光ビーム用の検出部の検出部と第3光ビーム用の検出部とを別個に備えている。また、上記3波長用ホログラム素子56は、3波長用受光装置57に向かう各光ビームが、それぞれに対応した各検出部に入射するように、各光ビームの反射角度を調整し得るように構成されている。   The operations of the second light beam and the third light beam after being emitted from the multi-wavelength reflective diffraction grating 2 are the same as in the case of the first light beam. The three-wavelength light receiving device 57 includes a first light beam detector (for the main beam and two sub beams; the same applies hereinafter), a detector of the second light beam detector, and a third light beam. Are separately provided. The three-wavelength hologram element 56 is configured so that the reflection angle of each light beam can be adjusted so that each light beam directed to the three-wavelength light receiving device 57 is incident on each corresponding detection unit. Has been.

なお、この光ピックアップ装置50において、波長レーザ光源51から出力され複数波長用反射型回折格子2を介して第1プリズム52に入射する第1乃至第3光ビームがS偏光となるように構成するとともに、光記録媒体D,D,Dからピックアップレンズ系55を介して第2プリズム53に戻る第1乃至第3光ビームがP偏光となるように構成することができる(例えば、第2プリズム53と光記録媒体D,D,Dとの間の光路上に1/4波長板を配置する)。この場合、図6に示すようにBS膜が、P偏光よりもS偏光の方が10%程度高い反射特性を有していることで、光記録媒体D,D,DからのP偏光からなる戻り光を、S偏光からなる場合に比べてより多くBS膜を透過させることができるので、信号読取りおよびトラッキング制御に用いる光の利用効率を高めることが可能となる。 The optical pickup device 50 is configured such that the first to third light beams output from the wavelength laser light source 51 and incident on the first prism 52 via the multi-wavelength reflective diffraction grating 2 are S-polarized light. In addition, the first to third light beams that return from the optical recording media D 1 , D 2 , D 3 to the second prism 53 via the pickup lens system 55 can be configured to be P-polarized light (for example, the first 2) A quarter-wave plate is disposed on the optical path between the prism 53 and the optical recording media D 1 , D 2 , D 3 . In this case, as shown in FIG. 6, the BS film has a reflection characteristic that the S-polarized light is about 10% higher than the P-polarized light, so that P from the optical recording media D 1 , D 2 , D 3 can be obtained. Since the return light composed of polarized light can be transmitted through the BS film more than in the case of composed of S-polarized light, it is possible to increase the utilization efficiency of light used for signal reading and tracking control.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に態様が限定されるものではなく、種々に態様を変更することができる。   As mentioned above, although embodiment of this invention was described, this invention is not limited to the said embodiment, Aspects can be variously changed.

例えば、上述の複数波長用反射型回折格子1,2は3波長用のものであるが、本発明は2波長用のものや4波長以上のより多波長用のものとして構成することも可能である。   For example, although the above-mentioned reflection diffraction gratings 1 and 2 for multiple wavelengths are for three wavelengths, the present invention can be configured for two wavelengths or for more than four wavelengths. is there.

また、上記実施形態において例示した波長以外の各光ビームに対応するように構成することも可能であり、その際の膜構成についても適宜変更することが可能である。   Further, it is possible to configure so as to correspond to each light beam other than the wavelength exemplified in the above embodiment, and it is possible to appropriately change the film configuration at that time.

また、上記実施形態においては、第3反射回折層22,22Aが第3ダイクロイック膜から構成されているが、これを全反射膜で構成することも可能である。   Moreover, in the said embodiment, although the 3rd reflection diffraction layers 22 and 22A are comprised from the 3rd dichroic film | membrane, this can also be comprised by a total reflection film.

また、上記実施形態においては、光ピックアップ装置50をデータ再生用のものとしているが、本発明はデータ記録用やデータの記録および再生を共に行う光ピックアップ装置にも適用することができる。   In the above embodiment, the optical pickup device 50 is used for data reproduction. However, the present invention can also be applied to an optical pickup device that performs data recording and both data recording and reproduction.

また、本発明に係る複数波長用反射型回折格子は、光ピックアップ装置以外の光学機器等に適用することも可能である。   Further, the reflection diffraction grating for multiple wavelengths according to the present invention can be applied to an optical apparatus other than the optical pickup device.

第1実施形態に係る複数波長用反射型回折格子の概略構成を示す断面図Sectional drawing which shows schematic structure of the reflection type diffraction grating for multiple wavelengths which concerns on 1st Embodiment 第2実施形態に係る複数波長用反射型回折格子の概略構成を示す断面図Sectional drawing which shows schematic structure of the reflection type diffraction grating for multiple wavelengths which concerns on 2nd Embodiment 第1ダイクロイック膜の反射特性を示す図The figure which shows the reflective characteristic of a 1st dichroic film | membrane 第2ダイクロイック膜の反射特性を示す図The figure which shows the reflective characteristic of a 2nd dichroic film | membrane 第3ダイクロイック膜の反射特性を示す図The figure which shows the reflective characteristic of a 3rd dichroic film | membrane BS膜の反射特性を示す図The figure which shows the reflective characteristic of BS film 一実施形態に係る光ピックアップ装置の概略構成図1 is a schematic configuration diagram of an optical pickup device according to an embodiment.

符号の説明Explanation of symbols

1 複数波長用反射型回折格子(第1実施形態)
2 複数波長用反射型回折格子(第2実施形態)
3,3A 基板
5 第1軸位置調整層
7 第2軸位置調整層
10,10A 第1反射型回折格子
11,11A 第1ベース層
12,12A 第1反射回折層
13,13A 第1位相調整層
20,20A 第2反射型回折格子
21,21A 第2ベース層
22,22A 第2反射回折層
23,23A 第2位相調整層
30,30A 第3反射型回折格子
31,31A 第3ベース層
32,32A 第3反射回折層
51 3波長レーザ光源
52 第1プリズム
52a (第1プリズムの)第1面
52b (第1プリズムの)第2面
52c (第1プリズムの)第3面
53 第2プリズム
53a (第2プリズムの)第1面
53b (第2プリズムの)第2面
54 接合面
55 ピックアップレンズ系
55a コリメータ
55b 対物レンズ
56 3波長用ホログラム素子
57 3波長用受光装置
58 APC用受光装置
1 Reflective diffraction grating for multiple wavelengths (first embodiment)
2 Reflective diffraction grating for multiple wavelengths (second embodiment)
3, 3A Substrate 5 First axis position adjustment layer 7 Second axis position adjustment layer 10, 10A First reflective diffraction grating 11, 11A First base layer 12, 12A First reflection diffraction layer 13, 13A First phase adjustment layer 20, 20A Second reflection type diffraction grating 21, 21A Second base layer 22, 22A Second reflection diffraction layer 23, 23A Second phase adjustment layer 30, 30A Third reflection type diffraction grating 31, 31A Third base layer 32, 32A Third reflective diffraction layer 51 Three-wavelength laser light source 52 First prism 52a First surface 52b (first prism) Second surface 52c (first prism) third surface 53 Second prism 53a First surface 53b (of the second prism) Second surface (of the second prism) 54 Joint surface 55 Pickup lens system 55a Collimator 55b Objective lens 56 Three-wavelength hologram Child 57 3-wavelength light-receiving unit 58 APC light-receiving device

Claims (6)

第1から第NまでのN個(Nは2以上の整数)の互いに異なる波長帯域にそれぞれ属する第1から第NまでのN個の光ビームが、選択的に出力される光路上に配設される複数波長用反射型回折格子であって、
第1から第NまでのN個の反射型回折格子が、前記N個の光ビームの入射側からこの順に積層され、
第j反射型回折格子(jは1からN−1までの任意の整数)は、該第j反射型回折格子に入射した第j光ビームから第N光ビームまでのうち該第j光ビームは反射回折せしめ他の光ビームは透過せしめる第j反射回折層を有してなり、
第N反射型回折格子は、該第N反射型回折格子に入射した前記第N光ビームを反射回折せしめる第N反射回折層を有してなり、
前記第j反射型回折格子は、該第j反射型回折格子を透過する第(j+1)光ビームから前記第N光ビームまでのうち少なくとも該第(j+1)光ビームの波面の位相を整える第j位相調整層を有してなる、ことを特徴とする複数波長用反射型回折格子。
1st to N-th N light beams (N is an integer of 2 or more), which belong to different wavelength bands, are arranged on the optical path where the 1st to N-th light beams are selectively output. A reflection diffraction grating for multiple wavelengths,
N reflective diffraction gratings from 1 to N are stacked in this order from the incident side of the N light beams,
The jth reflection type diffraction grating (j is an arbitrary integer from 1 to N-1) is the jth light beam out of the jth light beam to the Nth light beam incident on the jth reflection type diffraction grating. A j-th reflection diffractive layer for reflecting and diffracting other light beams;
The Nth reflection type diffraction grating has an Nth reflection diffraction layer for reflecting and diffracting the Nth light beam incident on the Nth reflection type diffraction grating,
The jth reflection type diffraction grating adjusts the phase of the wavefront of at least the (j + 1) th light beam from the (j + 1) th light beam to the Nth light beam transmitted through the jth reflection type diffraction grating. A reflective diffraction grating for multiple wavelengths, comprising a phase adjustment layer.
前記第j反射回折層は、第j波長帯域の光から第N波長帯域の光までのうち該第j波長帯域の光は反射せしめ他の波長帯域の光は透過せしめる特性を有する第jダイクロイック膜を、周期的な凹凸状に配設してなるものであり、
前記第N反射回折層は、前記第N波長帯域の光を反射せしめる特性を有する第Nダイクロイック膜または全反射膜を、周期的な凹凸状に配設してなるものである、ことを特徴とする請求項1記載の複数波長用反射型回折格子。
The j-th reflection diffraction layer reflects the j-th wavelength band light from the j-th wavelength band light to the N-th wavelength band light and transmits the other wavelength band light through the j-th dichroic film. Are arranged in a periodic uneven shape,
The Nth reflective diffractive layer is formed by periodically disposing an Nth dichroic film or a total reflection film having a characteristic of reflecting light in the Nth wavelength band. The reflective diffraction grating for multiple wavelengths according to claim 1.
前記第j反射型回折格子と第(j+1)反射型回折格子との間に、第(j+1)反射回折層により反射回折せしめられた第(j+1)光ビームの0次回折光の軸の位置を、前記第j反射回折層により反射回折せしめられた前記第j光ビームの0次回折光の軸の位置に一致させる第j軸位置調整層が設けられている、ことを特徴とする請求項1または2記載の複数波長用反射型回折格子。   The position of the axis of the 0th-order diffracted light beam of the (j + 1) th light beam reflected and diffracted by the (j + 1) th reflective diffraction layer between the jth reflective diffraction grating and the (j + 1) th reflective diffraction grating, 3. The j-th axis position adjustment layer is provided to match the position of the 0th-order diffracted light axis of the j-th light beam reflected and diffracted by the j-th reflection diffraction layer. The reflective diffraction grating for multiple wavelengths as described. 第1波長帯域に属する第1光ビームと、該第1波長帯域とは異なる第2波長帯域に属する第2光ビームと、該第1波長帯域および該第2波長帯域とは異なる第3波長帯域に属する第3光ビームとが、選択的に出力される光路上に配設される複数波長用反射型回折格子であって、
第1反射型回折格子と第2反射型回折格子と第3反射型回折格子とが、前記第1光ビーム、前記第2光ビームおよび前記第3光ビームの入射側からこの順に積層され、
前記第1反射型回折格子は、該第1反射型回折格子に入射した前記第1光ビームから前記第3光ビームまでのうち該第1光ビームは反射回折せしめ他の光ビームは透過せしめる第1反射回折層と、透過せしめた前記第2光ビームおよび前記第3光ビームのうち少なくとも該第2光ビームの波面の位相を整える第1位相調整層とを有してなり、
前記第2反射型回折格子は、該第2反射型回折格子に入射した前記第2光ビームと前記第3光ビームのうち該第2光ビームは反射回折せしめ該第3光ビームは透過せしめる第2反射回折層と、透過せしめた該第3光ビームの波面の位相を整える第2位相調整層とを有してなり、
前記第3反射型回折格子は、該第3反射型回折格子に入射した前記第3光ビームを反射回折せしめる第3反射回折層を有してなり、
前記第1反射回折層は、前記第1波長帯域の光は反射せしめ前記第2波長帯域の光および前記第3波長帯域の光は透過せしめる特性を有する第1ダイクロイック膜を、周期的な凹凸状に配設してなるものであり、
前記第2反射回折層は、前記第2波長帯域の光は反射せしめ前記第3波長帯域の光は透過せしめる特性を有する第2ダイクロイック膜を、周期的な凹凸状に配設してなるものであり、
前記第3反射回折層は、前記第3波長帯域の光を反射せしめる特性を有する第3ダイクロイック膜または全反射膜を周期的な凹凸状に配設してなるものである、ことを特徴とする複数波長用反射型回折格子。
A first light beam belonging to the first wavelength band, a second light beam belonging to a second wavelength band different from the first wavelength band, and a third wavelength band different from the first wavelength band and the second wavelength band The third light beam belonging to is a reflection diffraction grating for a plurality of wavelengths disposed on an optical path selectively output,
A first reflective diffraction grating, a second reflective diffraction grating, and a third reflective diffraction grating are stacked in this order from the incident side of the first light beam, the second light beam, and the third light beam,
The first reflection type diffraction grating reflects and diffracts the first light beam among the first light beam to the third light beam incident on the first reflection type diffraction grating and transmits the other light beam. A reflection diffraction layer, and a first phase adjustment layer for adjusting a phase of a wave front of at least the second light beam of the transmitted second light beam and the third light beam,
The second reflection type diffraction grating reflects and diffracts the second light beam of the second light beam and the third light beam incident on the second reflection type diffraction grating and transmits the third light beam. A second reflection diffraction layer and a second phase adjustment layer for adjusting the phase of the wavefront of the transmitted third light beam,
The third reflective diffraction grating has a third reflective diffraction layer that reflects and diffracts the third light beam incident on the third reflective diffraction grating,
The first reflective diffractive layer has a periodic concavo-convex shape on a first dichroic film having a characteristic of reflecting light in the first wavelength band and transmitting light in the second wavelength band and light in the third wavelength band. It is arranged in the
The second reflection diffraction layer is formed by arranging a second dichroic film having a characteristic of reflecting the light of the second wavelength band and transmitting the light of the third wavelength band in a periodic uneven shape. Yes,
The third reflective diffractive layer is formed by arranging a third dichroic film or a total reflection film having a characteristic of reflecting the light in the third wavelength band in a periodic uneven shape. Reflective diffraction grating for multiple wavelengths.
前記第1反射型回折格子と前記第2反射型回折格子との間に、前記第2反射回折層により反射回折せしめられた前記第2光ビームの0次回折光の軸の位置を、前記第1反射回折層により反射回折せしめられた前記第1光ビームの0次回折光の軸の位置に一致させる第1軸位置調整層が設けられ、
前記第2反射型回折格子と前記第3反射型回折格子との間に、前記第3反射回折層により反射回折せしめられた前記第3光ビームの0次回折光の軸の位置を、前記第2反射回折層により反射回折せしめられた前記第2光ビームの0次回折光の軸の位置に一致させる第2軸位置調整層が設けられていることを特徴とする請求項4記載の複数波長用反射型回折格子。
The position of the axis of the 0th-order diffracted light beam of the second light beam reflected and diffracted by the second reflective diffraction layer between the first reflective diffraction grating and the second reflective diffraction grating is defined as the first reflective diffraction grating. A first axis position adjusting layer is provided to match the position of the axis of the 0th-order diffracted light of the first light beam reflected and diffracted by the reflection diffraction layer;
The position of the axis of the 0th-order diffracted light beam of the third light beam reflected and diffracted by the third reflective diffraction layer between the second reflective diffraction grating and the third reflective diffraction grating is defined as the second reflective diffraction grating. 5. The multi-wavelength reflection layer according to claim 4, further comprising a second-axis position adjusting layer that matches an axis position of the zero-order diffracted light of the second light beam reflected and diffracted by the reflection diffraction layer. Type diffraction grating.
請求項1〜5までのいずれか1項記載の複数波長用反射型回折格子を備えてなることを特徴とする光ピックアップ装置。
An optical pickup device comprising the reflection diffraction grating for multiple wavelengths according to any one of claims 1 to 5.
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011048967A1 (en) * 2009-10-21 2011-04-28 Canon Kabushiki Kaisha Laminated diffractive optical element and optical system
CN109163659A (en) * 2018-09-12 2019-01-08 清华大学深圳研究生院 Detection system, splicing system, detection method, joining method and jointing grating ruler
WO2021115069A1 (en) * 2019-12-12 2021-06-17 深圳先进技术研究院 Broadband reflector and electromagnetic wave reflection method
CN114859554A (en) * 2022-04-02 2022-08-05 江西凤凰光学科技有限公司 Multilayer diffraction optical waveguide device

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11134700A (en) * 1997-08-26 1999-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical head
JP2000099983A (en) * 1998-09-25 2000-04-07 Sanyo Electric Co Ltd Optical pickup device and optical disk device
JP2001330718A (en) * 2000-05-19 2001-11-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical element and optical device using the same
JP2003281773A (en) * 2002-03-22 2003-10-03 Ricoh Co Ltd Optical pickup unit and information recording and reproducing device

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH11134700A (en) * 1997-08-26 1999-05-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical head
JP2000099983A (en) * 1998-09-25 2000-04-07 Sanyo Electric Co Ltd Optical pickup device and optical disk device
JP2001330718A (en) * 2000-05-19 2001-11-30 Matsushita Electric Ind Co Ltd Optical element and optical device using the same
JP2003281773A (en) * 2002-03-22 2003-10-03 Ricoh Co Ltd Optical pickup unit and information recording and reproducing device

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2011048967A1 (en) * 2009-10-21 2011-04-28 Canon Kabushiki Kaisha Laminated diffractive optical element and optical system
JP2011090074A (en) * 2009-10-21 2011-05-06 Canon Inc Laminate type diffractive optical element and optical system
US8885254B2 (en) 2009-10-21 2014-11-11 Canon Kabushiki Kaisha Laminated diffractive optical element and optical system
CN109163659A (en) * 2018-09-12 2019-01-08 清华大学深圳研究生院 Detection system, splicing system, detection method, joining method and jointing grating ruler
WO2021115069A1 (en) * 2019-12-12 2021-06-17 深圳先进技术研究院 Broadband reflector and electromagnetic wave reflection method
CN114859554A (en) * 2022-04-02 2022-08-05 江西凤凰光学科技有限公司 Multilayer diffraction optical waveguide device

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