JP2009291899A - 切削加工装置 - Google Patents

Abstract

【課題】切削液の飛散を防止すると共に切削工具や切削工具を保持する主軸保持アーム等が干渉した場合でもこれらを保護する切削加工装置を提供する。
【解決手段】切削加工装置１の主軸保持アーム６の先端に装着したタレット７に取付けた切削工具９に切削液を供給しながら加工台１２に載置した被加工部材Ｗを切削加工する切削加工装置において、加工台１２と被加工部材Ｗと切削工具９を収容し、主軸保持アーム６又は切削工具９が干渉する部位に切欠部１５ｂ’,１５ｃ’，１５ｄ’が形成され被加工部材を切削加工する際に切削液の飛散を防止する切削液飛散防止カバー１５と、切削液飛散防止カバーの切欠部の下端部から上方に向けて設けられ切欠部を塞いで切削液の飛散を防止すると共に主軸保持アーム６又は切削工具９が干渉したときに撓んでこれらの主軸保持アーム又は切削工具を保護するブラシ１６を設けた。
【選択図】図２

Description

本発明は、切削工具に切削液を供給しながら加工台に載置した被加工部材を加工する切削加工装置に関する。

従来の回転工具を用いて切削加工を行うマシニングセンタ等の切削加工装置では、切粉を除去する方法として切削工具に切削液を供給して切削液と共に切粉を流す方法、或いは切削部分に圧縮空気を吹き付けて切粉を吹き飛ばす方法等がある。

圧縮空気により切粉を吹き飛ばす方法を用いた切削加工装置として、ワークの切削により発生した切粉をワーク及び回転工具を含む空間に封鎖するための封鎖カバーと、封鎖カバーにより封鎖された空間内において切粉をワーク及び回転工具から分離するための分離ノズルと、分離された切粉を封鎖カバーにより封鎖された空間内から回収するための吸引ノズルとを具備した切削加工装置が提案されている（例えば、特許文献１参照）。
特開２００５−１３１７１６号公報（３頁、図１）

ところで、切削液と共に切粉を流すようにした切削加工装置は、切削液の主成分が油であったため、通常の切削作業において切削液が飛散した場合でも機械が錆びることは想定されていなかった。従って、切削工具を三次元方向（Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向）に移動させる各スライドガイド（ボールねじ、直動ガイド等）に飛散した切削液がかかることは当たり前であり、特に問題はなかった。

しかしながら、例えばシリコンウェハのような脆性材の加工で用いる切削液は、水溶性（例えば、水）であり油ではないためにスライドガイドに切削液がかかると次第に錆を発生させ、更に切削液中に混じっている切粉が砥粒となって擦過腐食を引き起こしてスライドガイドの損傷を促進していた。その影響で切削加工装置が短期間（２年程度）で故障してしまうという問題が発生している。

その対処方法として切削液に防錆剤を添加する方法も試みた。シリコンウェハは、加工台に載置してワックスで貼着固定して切削加工を行うようにしている。しかしながら、防錆剤はシリコンウェハ（被加工材）を固定しているワックスを溶解、変質してしまい、加工中にシリコンウェハが固定不良となり、良好な加工を行うことができないという問題が発生した。

また、スライドガイドは、通常塵埃等が付着することを防止するために蛇腹状をなすゴム製或いは金属製のカバーで覆われている。しかしながら、切削液は浸透圧が高くしてあるのでゴム製のカバーは、切削液がカバーの内部に浸入して膨潤し破損する等の不具合を来たし、金属製のカバーは、切削液が水溶性であるために錆び易い等の不具合を来たす。しかも、これらのカバーは、スライドガイドを完全に密封した構造ではなく、切削液を完全に遮蔽することは困難である。

また、特許文献１に記載されている切削加工装置は、切粉を圧縮空気で吹き飛ばしながら切削加工を行う即ち、切削液を使用しない被加工部材を対象としたものであり、上述したシリコンウェハのように水溶性の切削液を供給しながら切削加工を行う切削加工装置に適用することはできない。

本発明の目的は、切削液の飛散を防止すると共に切削工具や切削工具を保持する主軸保持アーム等が干渉した場合でもこれらを保護するようにした切削加工装置を提供することを目的とすることにある。

上述した課題を解決するために、本発明の請求項１に係る切削加工装置は、
切削加工装置の主軸保持アームの先端に装着したタレットに取付けた切削工具に切削液を供給しながら加工台に載置した被加工部材を切削加工する切削加工装置において、
前記加工台と被加工部材と切削工具を収容し、かつ主軸保持アーム又は前記切削工具が干渉する部位に切欠部が形成され前記被加工部材を切削加工する際に前記切削液の飛散を防止する切削液飛散防止カバーと、
前記切削液飛散防止カバーの前記切欠部の下端部から上方に向けて設けられ前記切欠部を塞いで前記切削液の飛散を防止すると共に、前記主軸保持アーム又は前記切削工具が干渉したときに撓んで前記主軸保持アーム又は前記切削工具を保護するブラシとを備えたことを特徴としている。

切削加工装置の主軸保持アーム又は切削工具と干渉する部位に切欠部が形成された切削液飛散防止カバーにより加工台と被加工部材と切削工具を収容して切削液の飛散を防止する。そして、切削液飛散防止カバーの切欠部にブラシを設けて切削液の飛散を防止すると共に主軸保持アーム又は切削工具が干渉したときに撓ませてこれらの主軸保持アーム又は切削工具を保護する。

これにより、切削工具や主軸保持アーム等と切削液飛散防止カバーとの隙間を少なくすることができ、切削液及び切削液に混じっている切粉が飛散することを有効に防止することができる。従って、切削液が水溶性の場合飛散した切削液によるスライドガイド等の移動機構の錆の発生や切削液に混じっている切粉による擦過腐食を有効に防止することが可能となり、装置の寿命を長くすることが可能となる。更に、切削工具や主軸保持アーム等がブラシに干渉した場合でもこれらを損傷することなく有効に保護することができる。

また、本発明の請求項２に係る切削加工装置は、請求項１に記載の切削加工装置において、
前記切削液飛散防止カバーは、前記ブラシの外側に当該ブラシの隙間を通り抜けた切削液を捕捉して前記切削液飛散防止カバー内に回収する切削液捕捉回収板を設けたことを特徴としている。

切削加工時に飛散してブラシに付着した切削液は、ブラシの繊維（毛）を伝わって流下して切欠の下端部に至り、切削液捕捉回収板により切削液飛散防止カバー内に回収される。また、ブラシの付け根部分の隙間を通して外方に飛散した切削液及び切削液に混じっている切粉は切削液捕捉回収板によって止められ、かつ切削液飛散防止カバー内に回収される。これにより、切削液及び切粉が外方に飛散することが有効に防止される。

本発明によれば、加工台と被加工部材と切削工具を収容し、主軸保持アーム又は切削工具が干渉する部位に切欠部が形成され切削液の飛散を防止する切削液飛散防止カバーと、切削液飛散防止カバーの切欠部に切削液の飛散を防止すると共に主軸保持アーム又は切削工具が干渉したときに撓んで主軸保持アーム又は切削工具を保護するブラシとを設けたことにより、切削工具や主軸保持アーム等との隙間を少なくすることができ、切削液及び切削液に混じっている切粉が飛散することを有効に防止することができる。従って、特に切削液が水溶性の場合飛散した切削液によるスライドガイドの錆の発生や、切削液に混じっている切粉による擦過腐食を有効に防止することが可能となり、装置の寿命を長くすることが可能となる。

また、切削工具や主軸保持アーム等がブラシに干渉した場合でもこれらを損傷することなく有効に保護することができる。更に、構成が簡単であり安価に提供することが可能である。

以下、本発明の実施形態に係る切削加工装置を図面に基づいて説明する。図１乃至図３は、本発明に係る切削加工装置の概略構成を示す。図１乃至図３に示すように切削加工装置１は、ベース２の上面後部側に移動機構３が配設されており、この移動機構３上に本体４が垂直に配設されている。移動機構３は、図示しないスライドガイド、例えばボールねじにより構成されており、本体４は、図２に矢印Ｘで示すＸ軸方向及び図３に矢印Ｙで示すＹ軸方向に水平に移動可能とされている。

本体４の前面には、主軸保持アーム６が前方に向けて水平に配設されており、移動機構８により矢印Ｚで示すＺ軸方向（垂直方向）に昇降可能とされている。この移動機構８も移動機構３と同様にボールねじ等のスライドガイドにより構成されている。これにより、主軸保持アーム６は、Ｘ軸方向、Ｙ軸方向、Ｚ軸方向の所定の位置に移動可能とされている。そして、移動機構３のＸ軸方向及びＹ軸方向のスライドガイド及びＺ軸方向の移動機構８は、金属製の蛇腹式のカバー１０により覆われ、塵埃や切削液が付着することが防止されている。

主軸保持アーム６の先端に切削工具を取付けるためのタレット７が装着されている。タレット７は、多角形状をなし複数の切削工具を取り付け可能とされており、例えば図１に示すように正面から見て六角形状をなし、６本の切削工具を取り付けることが可能とされている。尚、図１においてタレット７には切削工具９として例えばドリルが１本取り付けられている。前記主軸、切削工具９の中心には切削液を供給するための通路（穴）が連通して設けられており、切削加工時にこれらの通路を通して切削液が切削工具９の先端部に供給される。

ベース２の上面の本体４の前側略中央位置に基台１１が配設されており、この基台１１上に加工台１２が設けられている。そして、この加工台１２上に被加工部材Ｗが載置される。この被加工部材Ｗは、例えば脆性部材としてのシリコンウェハでワックスにより加工台に貼着固定される。

そして、加工台１２、被加工部材Ｗ、切削工具９を収容して切削液の飛散を防止する切削液飛散防止カバー１５が設けられている。この切削液飛散防止カバー１５は、底部１５ａ、後壁１５ｂ，側壁１５ｃ，１５ｄ及び前壁１５ｅからなる略正方形状をなす箱体とされており、図１に示すように正面から見てその幅がタレット７と略同じ幅とされている。この切削液飛散防止カバー１５は、底面１５ａが基台１１に載置固定され、当該底面１５ａの略中央に加工台１２が配置されている。

また、底面１５ａの所定位置に図２に示すように当該切削液飛散防止カバー１５内に溜まった切削液を回収するための排出口１５ｆが設けられている。この排出口１５ｆは、図１に示すようにベース２の側部に配設された沈澱槽にホース１４により連通されており、箱状の切削液飛散防止カバー１５内に溜まった切削液及び切削液に混じっている切粉を沈澱槽１３に排出する。尚、図１及び図３において切削液飛散防止カバー１５は、内部が見えるように壁部の一部を省略して描いてある。

ところで、切削液飛散防止カバー１５は、切削工具に切削液を供給して切削する際に切削液の飛散を極力少なくするために側壁を出来る限り高くすることが好ましい。しかしながら、後壁を高くすると切削加工を行う際に主軸保持アーム６を加工高さ位置まで下降させたときに当該主軸保持アーム６の下面が後壁１５ｂの上端部に干渉してしまう。また、加工工程において切削工具を切り替えるべく主軸保持アーム６を所定の位置に移動させてタレット７を回転させたときに切削工具の先端部（刃先）が両側壁１５ｃ，１５ｄの上部に干渉してしまう。

そこで、本発明は切削液飛散防止カバー１５の壁部、即ち後壁１５ｂ、両側壁１５ｃ，１５ｄ及び前壁１５ｅの高さをできるだけ高くし、かつこれらの壁部の主軸保持アーム６又は切削工具９と干渉する虞のある部位（箇所）を切り欠いて干渉を防止すると共に、切り欠いた部分から切削液が飛散することを防止するようにしている。

即ち、切削液飛散防止カバー１５は、主軸保持アーム６を図４に２点鎖線で示すように被加工部材Ｗの加工高さ位置まで下降した位置、及びこの加工高さ位置において図５に２点鎖線で示す位置或いは最大前進位置まで移動させたときに、主軸保持アーム６の下面６ａが干渉する後壁１５ｂの上部１５ｂ’（２点鎖線で示す）が切り欠かれて取り除かれている（以下「切欠部１５ｂ’」という）。

更に、切削液飛散防止カバー１５は、図５の実線で示す後退位置及び２点鎖線で示す所定位置（切削工具の切替位置）においてタレット７を回転させたときに今まで使用していた切削工具、即ち図１に示す切削工具９の先端部、或いは次に使用する切削工具、例えば切削工具９の右隣又は左隣の図示しない切削工具の先端部が干渉する両側壁１５ｃ，１５ｄの部位、例えば略中央近傍から後壁までの上部１５ｃ’，１５ｄ’（２点鎖線で示す）が切り欠かれて取り除かれている（以下「切欠部１５ｃ’，切欠部１５ｄ’」という）。尚、本実施例においては切欠部１５ｂ’，１５ｃ，１５ｄ’の高さは同じとされている。

即ち、切削液飛散防止カバー１５は、後壁１５ｂの上部及び両側壁１５ｃ，１５ｄの略中央近傍位置から後端の後壁１５ｂまでの各上部が切り欠かれて切欠部１５ｂ’，１５ｃ’，１５ｄ’が形成されている。これにより、上述したような主軸保持アーム６の下面６ａ及びタレット７に装着された切削工具の先端部（刃先）が切削液飛散防止カバー１５の後壁１５ｂ、側壁１５ｃ，１５ｄの各上部に干渉することが防止される。

そして、これらの後壁１５ｂ、側壁１５ｃ，１５ｄの切欠部１５ｂ’，１５ｃ’，１５ｄ’に図６及び図７に示すようにブラシ１６が設けられている。このブラシ１６は、直線ブラシで図８及び図９に示すように棒状の保持部材（ブラシ束ね金）１７の上面１７ａに可撓性を有する合成樹脂、例えばナイロン製の繊維（毛）１８が直線状に密集して植設されて形成されている。このブラシ１６は、高さが切欠部１５ｂ’の高さと同一とされ，長さが切欠部１５ｂ’の長さ（後壁１５ｂの幅）と同一とされている。

ブラシ１６は、図９に示すように保持部材１７の下面１７ｂがブラシ固定アングル２１の上面２１ａに載置固定され、繊維１８の穂先（毛先）が上方に向けて側壁１５ｃの壁面に沿って垂直に取り付けられている。そして、保持部材１７、ブラシ固定アングル２１の側面と切削液飛散防止カバー１５の側面１５ｃの切欠部１５ｃ’の下端内側面との間に後述する切削液捕捉回収板２０の下部２０ａが挟持されてボルト２２、防水ワッシャ２３、ナット２４により固定されている。これにより、側壁１５ｃの切欠部１５ｃ’がブラシ１６により塞がれる。即ち、ブラシ１６は、可撓性を有する壁として機能し、側壁１５ｃの切欠部１５ｃ‘を塞いで切削液の飛散を防止する。同様にして後壁１５ｂ、側壁１５ｄの切欠部１５ｂ’，１５ｄ’もブラシ１６により塞がれている。

また、図１乃至図３に示すように側壁１５ｃ、後壁１５ｂ、側壁１５ｄの各切欠部１５ｃ’，１５ｂ’，１５ｄ’の下端部の外側縁部にこれらを取り囲むように切削液捕捉回収板２０が設けられている。この切削液捕捉回収板２０は、図９に示すように上部２０ｂが外側かつ斜め上方に向かって拡開して断面略三角形状の雨樋状をなしている。そして、上部２０ｂは、主軸保持アーム６又は切削工具９と干渉しない程度の高さに、かつブラシ１６の付け根部分の隙間１９よりも高く設定されており、例えば図９に示すようにブラシ１６の長さ（高さ）の略１／３程度の高さとされている。

ブラシ１６は、図８に示すように構造上繊維１８の付け根部分に僅かな隙間１９が形成される。従って、切削液がこの隙間１９を通して僅かながら外方に飛散する。切削液捕捉回収板２０は、飛散してブラシ１６に付着した切削液やブラシ１６の付け根部分の隙間１９を通して外方に飛散する切削液を捕捉して切削液飛散防止カバー１５内に流し込んで回収する。即ち、ブラシ１６の繊維１８に付着した切削液及び切削液に混じっている切粉は、当該繊維１８の表面を伝わって付け根部分まで流れ落ちて保持部材１７の上面１７ａに溜まる。

切削液捕捉回収板２０は、繊維１８に沿って付け根部分まで流れ落ちて保持部材１７の上面１７ａに溜まった切削液を切削液飛散防止カバー１５内に流し込んで外方に流れ出ることを防止する。更に、切削液捕捉回収板２０は、ブラシ１６の付け根部分の隙間１９を通して外方に飛散した切削液を捕捉して（反射させて）切削液飛散防止カバー１５内に流し込んで当該切削液飛散防止カバー１５の外方に流れ出ることを防止する。このようにして切削液飛散防止カバー１５が形成されている。

上記構成において図１０に示すように加工台１２に載置固定されたシリコンウェハ等の脆性材である被加工部材Ｗを加工すべく主軸保持アーム６が下降して下面６ａが後壁１５ｂのブラシ１６に干渉すると、ブラシ１６は、主軸保持アーム６の下面６ａと干渉する部位の繊維１８（毛）が左右に或いは前後に撓んで当該下面６ａに隙間無く接触する。また、主軸保持アーム６の両側面にもブラシ１６の繊維１８が隙間無く接触する。即ち、主軸保持アーム６は、下面６ａ及び両側面がブラシ１６により隙間無く取り囲まれる。また、側壁１５ｃ，１５ｄのブラシ１６も切削液の飛散を防止する。これにより、切削液が切削液飛散防止カバー１５の外方に飛散することが防止される。

切削液捕捉回収板２０は、各ブラシ１６の繊維１８に沿って付け根部分まで流れ落ちた切削液を切削液飛散防止カバー１５内に導くと共に、ブラシ１６の付け根部分の隙間１９を通して外方に飛散した切削液を捕捉して切削液飛散防止カバー１５内に導く。これにより、切削液が切削液飛散防止カバー１５の外方に飛散することが防止される。切削液飛散防止カバー１５内に溜まった切削液及び切削液に混じった切粉は、図２に示す排出口１５ｆから沈澱槽１３に回収される。

また、作業内容に応じて切削工具を切り替える場合、例えば図５の２点鎖線で示す位置においてタレット７を回転させた際に、切削工具９の先端部（刃先）がブラシ１６の繊維１８を撓ませながら、或いは左右にかき分けながら切削液飛散防止カバー１５の外方に移動する。これにより、切削工具９の先端部（刃先）が損傷することを防止することができる。

これにより、シリコンウェハ等の脆性部材の被加工部材Ｗを水溶性の切削液（例えば、水）を供給しながら切削加工する場合でも主軸保持アーム６を移動させる移動機構３，８等のスライドガイドに切削液及び切削液に混じった切粉が飛散して付着することを有効に防止することができる。従って、水溶性の切削液による移動機構３，８のスライドガイドの錆の発生や砥粒として作用する切粉による擦過腐食を有効に抑えることが可能となる。これにより、切削加工装置１の故障を少なくすることができると共に耐用年数を長くすることが可能となる。尚、図６、図１０において切削液飛散防止カバー１５は、内部が見えるように壁部の一部を省略して描いてある。

上記実施形態においては、切削液が切削液飛散防止カバー１５の側壁１５ｃ，１５ｄの切欠部１５ｃ’，１５ｄ’の大きさを後壁１５ｂから略中央部までとしたが、これに限るものではなく側壁１５ｃ,１５ｄの後端部から前端部まで、即ち側壁１５ｃ，１５ｄの上部全体を切り欠いてブラシ１６を設けるようにしても良い。このように構成することで、任意の位置においてタレットを回転させて切削工具の切り換えを行うことが可能である。勿論、これに伴い切削液捕捉回収板２０も長くすることは言うまでもない。

尚、上記実施形態においては被加工部材として脆性を有するシリコンウェハについて説明したが、これに限るものではなく、石英ガラス、パイレックス（登録商標）ガラス等の脆性加工や、半導体の治具に使用されるカーボン等の加工においても同様に擦過腐食を引き起こすことが考えられ、これらの切削加工にも適用することが可能である。

更に、設備としては鋳物等の鋳鉄等も黒鉛を含むため摺動部の摩擦が問題となるが、これらの設備に対しても適用することが可能であり、今後の増える可能性が高い脆性材料の切削加工に適用することが可能となる。

更に、マシニングセンタ等の切削加工装置によっては、切削液の飛散を防止するため装置全体をカバーで覆われているものもあるが、本発明の切削液飛散防止カバーによれば、これらの大掛かりなカバーは不要であり、装置の必要部位にのみカバーを設けるだけで良く、設備投資を大幅に抑制することが可能となる。

以上説明したように本発明によれば、加工台と被加工部材と切削工具を収容し、主軸保持アーム又は切削工具と干渉する部位に切欠部を形成した切削液飛散防止カバーと、切削液飛散防止カバーの切欠部に切削液の飛散を防止すると共に主軸保持アーム又は切削工具が干渉したときに撓んで主軸保持アーム又は切削工具を保護するブラシとを設けたことにより、切削工具や主軸保持アーム等との隙間を少なくすることができ、切削液及び切削液に混じっている切粉が飛散することを有効に防止することができる。従って、特に切削液が水溶性の場合飛散した切削液による錆の発生や、切削液に混じっている切粉によるスライドガイド等の移動機構の擦過腐食を有効に防止することが可能となり、装置の寿命を長くすることが可能となる。

また、切削工具や主軸保持アーム等と干渉した場合でもこれらを損傷することなく有効に保護することができる。更に、構成が簡単であり安価に提供することが可能である。

更に、ブラシの外側に切削液捕捉回収板を設けたことにより、切削加工時に飛散してブラシに付着し当該ブラシの繊維（毛）を伝わって流下した切削液及び切削液に混じっている切粉を切削液飛散防止カバー内に回収することができる。また、切削液捕捉回収板は、ブラシの付け根部分の隙間を通して外方に飛散した切削液及び切削液に混じっている切粉を止めて切削液飛散防止カバー内に回収させる。これにより、切削液及び切粉が切削液飛散防止カバーの外方に飛散することを更に有効に防止することが可能となる。

本発明に係る切削加工装置の正面図である。 図１に示した切削加工装置の上面図である。 図１に示した切削加工装置の側面図である。 図３に示した切削加工装置の主軸保持アームと切削液飛散防止カバーが干渉する部位の説明図である。 図２に示した切削加工装置の主軸保持アームと切削液飛散防止カバー及びタレットに装着する切削工具が干渉する部位の説明図である。 図４に示した切削液飛散防止カバーに切削加工装置の主軸保持アーム及びタレットに装着する切削工具が干渉する部位にブラシを設けた状態の説明図である。 図５に示した切削液飛散防止カバーに切削加工装置の主軸保持アーム及びタレットに装着する切削工具が干渉する部位にブラシを設けた状態の説明図である。 図６に示したブラシの一部拡大図である。 図７に示したブラシ及び切削液捕捉回収板の矢線ＩＸ−ＩＸに沿う断面図である 図６に示した切削液飛散防止カバーの後壁に設けたブラシに主軸保持アームの下面が干渉した状態の説明図である。

符号の説明

１ 切削加工装置
２ ベース
３ 移動機構
４ 本体
６ 主軸保持アーム
６ａ 下面
７ タレット
８ 移動機構
９ 切削工具（ドリル）
１０ カバー
１１ 基台
１２ 加工台
１３ 沈澱槽
１４ ホース
１５ 切削液飛散防止カバー
１５ａ 底面
１５ｂ 後壁
１５ｂ’ 切欠部（上部）
１５ｂ” 下端面
１５ｃ,１５ｄ 側壁
１５ｃ’,１５ｄ’ 切欠部（上部）
１５ｅ 前壁
１５ｆ 排出口
１６ ブラシ
１７ 保持部材
１７ａ 上面
１７ｂ 下面
１８ ナイロン製の繊維
１９ 隙間
２０ 切削液捕捉回収板
２０ａ 下部
２０ｂ 上部
２１ ブラシ固定アングル
２１ａ 上面
２２ ボルト
２３ 防水ワッシャ
２４ ナット
Ｗ 被加工部材

Claims (2)

1. 切削加工装置の主軸保持アームの先端に装着したタレットに取付けた切削工具に切削液を供給しながら加工台に載置した被加工部材を切削加工する切削加工装置において、
   前記加工台と被加工部材と切削工具を収容し、かつ主軸保持アーム又は前記切削工具が干渉する部位に切欠部が形成され前記被加工部材を切削加工する際に前記切削液の飛散を防止する切削液飛散防止カバーと、
   前記切削液飛散防止カバーの前記切欠部の下端部から上方に向けて設けられ前記切欠部を塞いで前記切削液の飛散を防止すると共に、前記主軸保持アーム又は前記切削工具が干渉したときに撓んで前記主軸保持アーム又は前記切削工具を保護するブラシとを備えたことを特徴とする切削加工装置。
2. 前記切削液飛散防止カバーは、前記ブラシの外側に当該ブラシの隙間を通り抜けた切削液を捕捉して前記切削液飛散防止カバー内に回収する切削液捕捉回収板を設けたことを特徴とする、請求項１に記載の切削加工装置。
   
   

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