JP2009289878A - 基板処理装置及び基板処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 支持基板を吸着する加熱機構付き真空チャックと被処理基板を吸着する真空チャックの内の一方の真空チャックを水平方向に稼動するアーム状支持部材に伸縮可能な部材で接続する。
【選択図】 図1
Description
図1は、本発明の実施の形態のスライド方式被処理基板剥がし装置の概念的構成図であり、ステージ1、ステージ1に固定されて支持基板或いは薄葉化ウェハ等の被処理基板を真空吸着するステージチャック2、ステージ1に固定された水平稼働機構3、水平稼働機構3に固定された垂直稼働機構4、垂直稼働機構4に支持されたアーム5、アーム5に対して伸縮性のバネ6で保持されて被処理基板或いは支持基板を真空吸着するヘッドチャック7、アーム5の先端部に設けられたヘッドチャック押し機構8、及び、剥離した後の被処理基板或いは支持基板を収容する収容台9からなる。
また、伸縮性のバネ6は水平移動方向にヘッドチャック押し機構8を挟むように1個ずつの計2個としても良いし、さらに、水平移動方向と直交する水平方向にもヘッドチャック押し機構8を挟むように1個ずつ設けて計4個としても良い。
Fv =A×2γ/H ・・・(1)
で表される。
FA =A×v×V/H ・・・(2)
で表される。
スピンコータを用いて例えば、2000rpm、3秒でウェハにスピンコーティングした後、ホットプレートで100℃、180℃でそれぞれ1分ずつベーキングを行い、有機溶媒を蒸発させる。
2 ステージチャック
3 水平稼働機構
4 垂直稼働機構
5 アーム
6 伸縮性のバネ
7 ヘッドチャック
8 ヘッドチャック押し機構
9 収容台
11 ステージ
12 ステージチャック
13 水平稼働機構
14 垂直稼働機構
15 アーム
16 引張コイルバネ
17 ヘッドチャック
18 ヘッドチャック押し機構
19 薄葉化ウェハ収容台
20 先端部
21 支持基板
22 接着剤
23 被処理基板
24 薄葉化ウェハ
25 熱可塑性接着剤
26 支持基板
31 ボルト
32 圧縮コイルバネ
33 加熱用ヒータ
34 接続配線
35 ヘッドチャック
36 小径吸着部
37 ヘッドチャック
41 薄葉化ウェハ
42 支持基板
43 接着剤
51 支持台
52 真空チャック
53 アーム
54 アーム側真空チャック
55 アーム
56 アーム側真空チャック
Claims (7)
- 支持基板を吸着する加熱機構付き真空チャックと被処理基板を吸着する真空チャックとを有し、前記真空チャックの一方が水平方向に稼動するアーム状支持部材と伸縮可能な部材で接続されている基板処理装置。
- 前記被処理基板を吸着する真空チャックが、水平方向に稼動するアーム状支持部材と前記伸縮可能なバネで接続されている請求項1記載の基板処理装置。
- 前記被処理基板を吸着する真空チャックが、多孔質チャックである請求項2記載の基板処理装置。
- 前記被処理基板を吸着する真空チャックの吸着領域の外周輪郭が、前記被処理基板の外周輪郭より小さい請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の基板処理装置。
- 前記被処理基板を吸着する真空チャックが、加熱機構を有している請求項1乃至4のいずれか1に記載の基板処理装置。
- 被処理基板を接着剤で接着した支持基板を加熱機構付き真空チャックに吸着する工程と、前記支持基板に接着された被処理基板に対して間隙を介して水平方向に稼動するアーム状支持部材に伸縮可能な部材により接続された真空チャックを対向させる工程と、前記アーム状支持部材を降下させることなく前記真空チャックを降下させて前記被処理基板に当接させて前記伸縮可能な部材に引張力が作用する状態で吸着する工程と、前記アーム状支持部材を水平方向に稼働して前記被処理基板を前記支持基板から剥がす工程とを有する基板処理方法。
- 支持基板に接着剤で接着した被処理基板を真空チャックに吸着する工程と、前記支持基板に対して間隙を介して水平方向に稼動するアーム状支持部材に伸縮可能な部材により接続された加熱機構付き真空チャックを対向させる工程と、前記アーム状支持部材を降下させることなく前記加熱機構付き真空チャックを降下させて前記支持基板に当接させて前記伸縮可能な部材に引張力が作用する状態で吸着する工程と、前記アーム状支持部材を水平方向に稼働して前記被処理基板を前記支持基板から剥がす工程とを有する基板処理方法。
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