JP2009283628A - 半導体素子実装方法 - Google Patents
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Abstract
樹脂製基板に半導体素子を実装する際の加熱温度を抑えることで、はんだ接合部の応力を低減して電子部品実装用基板と半導体素子との接続信頼性を高めることのできる半導体素子実装方法を提供する。
【解決手段】
電子部品実装用の樹脂製基板上に設けられた電極部に、Sn−Bi系はんだ組成物を供給する工程と、前記Sn−Bi系はんだ組成物が供給された電極部に、Sn−Ag系はんだボールを載置する工程と、前記Sn−Ag系はんだボールの位置に対向するように、Sn−Bi系はんだ組成物が供給された半導体素子の電極部を合わせて、該半導体素子を前記Sn−Ag系はんだボールに載置する工程と、前記Sn−Bi系はんだ組成物の融点以上前記Sn−Ag系はんだボールの融点未満の温度で加熱して、前記樹脂製基板側及び前記半導体素子側のSn−Bi系はんだ組成物を溶融させて、前記Sn−Ag系はんだボールを介して前記樹脂製基板に前記半導体素子を接合する工程と、を含むことを特徴とする半導体素子実装方法。
【選択図】図1
Description
2 銅電極部
3、13 Sn−Bi系はんだ組成物
4 Sn−Ag系はんだボール
5 ソルダーレジスト開口部
6 はんだ接合部
11 フリップチップ
12 電極部
Claims (4)
- 電子部品実装用の樹脂製基板上に設けられた電極部に、Sn−Bi系はんだ組成物を供給する工程と、
前記Sn−Bi系はんだ組成物が供給された電極部に、Sn−Ag系はんだボールを載置する工程と、
前記Sn−Ag系はんだボールの位置に対向するように、Sn−Bi系はんだ組成物が供給された半導体素子の電極部を合わせて、該半導体素子を前記Sn−Ag系はんだボールに載置する工程と、
前記Sn−Bi系はんだ組成物の融点以上前記Sn−Ag系はんだボールの融点未満の温度で加熱して、前記樹脂製基板側及び前記半導体素子側のSn−Bi系はんだ組成物を溶融させて、前記Sn−Ag系はんだボールを介して前記樹脂製基板に前記半導体素子を接合する工程と、を含むことを特徴とする半導体素子実装方法。 - 前記半導体素子を前記Sn−Ag系はんだボールに載置する前に、前記Sn−Ag系はんだボールの高さを同一にする平坦化処理を行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体素子実装方法。
- 前記温度が138〜200℃であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子実装方法。
- 前記Sn−Ag系はんだボールに代えてSn−Cu系はんだボールを用いることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体素子実装方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010016013A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-21 | Sharp Corp | 半導体デバイスの実装方法、半導体素子モジュールおよび電子情報機器 |
JP2011204988A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及び電子機器 |
CN102931107A (zh) * | 2011-08-09 | 2013-02-13 | 财团法人交大思源基金会 | 用于减缓金属间化合物成长的方法 |
JP2013041966A (ja) * | 2011-08-15 | 2013-02-28 | Fujitsu Ltd | 半導体装置、半導体装置の製造方法及び電子機器 |
EP2908612A1 (en) * | 2012-10-15 | 2015-08-19 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Soldering method for low-temperature solder paste |
JP2019087700A (ja) * | 2017-11-10 | 2019-06-06 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置、電力用半導体装置の製造方法および電力変換装置 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08116169A (ja) * | 1994-09-29 | 1996-05-07 | Motorola Inc | 合金はんだ接続アセンブリおよび接続方法 |
JP2003060336A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-28 | Sony Corp | 半導体装置及び半導体パッケージの実装方法 |
JP2006237472A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Yamaha Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2008109009A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
-
2008
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH08116169A (ja) * | 1994-09-29 | 1996-05-07 | Motorola Inc | 合金はんだ接続アセンブリおよび接続方法 |
JP2003060336A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-28 | Sony Corp | 半導体装置及び半導体パッケージの実装方法 |
JP2006237472A (ja) * | 2005-02-28 | 2006-09-07 | Yamaha Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2008109009A (ja) * | 2006-10-27 | 2008-05-08 | Sony Corp | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010016013A (ja) * | 2008-06-30 | 2010-01-21 | Sharp Corp | 半導体デバイスの実装方法、半導体素子モジュールおよび電子情報機器 |
JP2011204988A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及び電子機器 |
CN102931107A (zh) * | 2011-08-09 | 2013-02-13 | 财团法人交大思源基金会 | 用于减缓金属间化合物成长的方法 |
JP2013038418A (ja) * | 2011-08-09 | 2013-02-21 | National Chiao Tung University | 金属間化合物の成長の阻害方法 |
JP2013041966A (ja) * | 2011-08-15 | 2013-02-28 | Fujitsu Ltd | 半導体装置、半導体装置の製造方法及び電子機器 |
EP2908612A1 (en) * | 2012-10-15 | 2015-08-19 | Senju Metal Industry Co., Ltd. | Soldering method for low-temperature solder paste |
EP2908612A4 (en) * | 2012-10-15 | 2016-06-22 | Senju Metal Industry Co | SOLDERING PROCESS FOR A LOW TEMPERATURE SOLVENT |
JP2019087700A (ja) * | 2017-11-10 | 2019-06-06 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置、電力用半導体装置の製造方法および電力変換装置 |
JP7033889B2 (ja) | 2017-11-10 | 2022-03-11 | 三菱電機株式会社 | 電力用半導体装置、電力用半導体装置の製造方法および電力変換装置 |
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