JP2009274347A - ローラーモールド作製方法 - Google Patents
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Abstract
【構成】マスクをレジストを塗布したローラーモールドの所定位置に近接して位置づけるステップと、近接して位置づけた状態で、電子線をマスクに照射してマスク上のパターンを透過した電子線をローラーモールド上のレジストに露光するステップと、露光した後に、ローラーモールドを回転して次の位置に位置づけた後、露光することを繰り返すステップと、繰り返した後に、ローラーモールド上の露光されたレジストを現像するステップと、現像した後のローラーモールドをエッチングし、マスク上のパターンに対応するパターンをローラーモールド上に形成するステップとを有する。
【選択図】 図1
Description
・電子線描画では、12×30×1時間=360時間
・本発明のマスク転写では、0,2時間+30×60×4秒=2.2時間
となってマスク転写を応用する有利性は明らかである。
2:ローラーモールド
3:電子線
11:ステップ回転
12:ステップ・アンド・リピート
21:電子光学系
22:回転モータ
23:軸移動モータ
24:ステージ
32:電子源
33:コンデンサレンズ
34:縮小レンズ系
Claims (7)
- パターンを転写するローラー状の押し型(以下「ローラーモールド」という)を作製するローラーモールド作製方法において、
前記ローラーモールドにレジストを塗布するステップと、
電子線が透過するパターンを有する一定面積のマスクを、前記レジストを塗布したローラーモールドの所定位置に近接して位置づけるステップと、
前記近接して位置づけた状態で、電子線を前記マスクに照射して当該マスク上のパターンを透過した電子線を前記ローラーモールド上のレジストに露光するステップと、
前記露光した後に、前記ローラーモールドを回転して次の位置に位置づけた後、露光することを繰り返すステップと、
前記繰り返した後に、ローラーモールド上の露光されたレジストを現像するステップと、
前記現像した後のローラーモールドをエッチングし、前記マスク上のパターンに対応するパターンを当該ローラーモールド上に形成するステップと、
前記ローラーモールド上のレジストを除去するステップと
を有するローラーモールド作製方法。 - 前記電子線をマスクに照射するとして、細い電子線で当該マスク上を全面走査あるいはマスク上のパターンのある部分のみを走査することを特徴とする請求項1記載のローラーモールド作製方法。
- 前記マスクでローラーモールドの回転方向に露光を順次行なった後、回転方向と直角方向の隣接する位置に前記マスクを移動させて位置づけた後、当該マスクでローラーモールドの回転方向に移動および露光を繰り返すことを特徴とする請求項1から請求項2のいずれかに記載のローラーモールド作製方法。
- 前記ローラーモールドにアライメントマークを形成しておき、当該アライメントマークを基準に前記マスクに位置づけることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれかに記載のローラーモールド作製方法。
- 前記マスクにアライアメントマークを形成しておき、当該アライメントマークを基準に前記ローラーモールドに位置づけることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれかに記載のローラーモールド作製方法。
- 前記マスクにレジストを塗布して一定面積のパターンを電子線描画した後に現像し、更に、エッチングして電子線が透過するパターンを作製したことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれかに記載のローラーモールド作製方法。
- 前記マスクを電子線で全面照射あるいは全面走査あるいは開口したパターンの部分のみを全面走査し、当該マスク上に形成したパターンを透過した電子線を電磁型あるいは静電型の縮小レンズを用いて前記ローラーモールドに塗布したレジスト上に縮小したパターンを形成して露光することを特徴とする請求項1から請求項6のいずれかに記載のローラーモールド作製方法。
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