JP2009200996A - 弾性表面波デバイス - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、圧電基板1上に櫛形電極2を囲む樹脂からなる内側壁10を設け、この内側壁10の開口を覆う天板11を配置し、この天板11及び内側壁10を覆う外側壁12を設けるとともに外側壁12上に外部電極5を設け、外側壁12および内側壁10を貫通する柱状電極6で外部電極5と櫛形電極2を接続した弾性表面波デバイスにおいて、外側壁12のガラス転移点温度を内側壁10より低くしたのである。
【選択図】図2
Description
2 櫛形電極
4 励振空間
5 外部電極
6 柱状電極
8 パッド電極
10 内側壁
11 天板
12 外側壁
Claims (5)
- 圧電基板と、この圧電基板上に設けられた櫛形電極およびパッド電極と、前記圧電基板上において前記櫛形電極を囲む樹脂からなる内側壁と、この内側壁の開口を覆い前記櫛形電極の励振空間を形成する天板と、前記圧電基板上において前記天板及び内側壁を覆う外側壁と、前記外側壁上に設けられた外部電極と、前記外側壁および内側壁を貫通し前記パッド電極と前記外部電極を接続する柱状電極を備え、前記外側壁のガラス転移点温度を前記内側壁より低くしたことを特徴とする弾性表面波デバイス。
- 外側壁のガラス転移点温度を弾性表面波デバイスの使用温度範囲の上限温度より低く設定したことを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波デバイス。
- 弾性表面波デバイスのリフロー実装におけるピーク温度を基準として内側壁のガラス転移点温度を前記基準より高く設定し、外側壁のガラス転移点温度を前記基準より低く設定したことを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波デバイス。
- 外側壁を形成する樹脂にフィラーを含有させたことを特徴とする請求項1に記載の弾性表面波デバイス。
- 圧電基板の外周側面と側壁の側面とを同一平面としたことを特徴とする請求項4に記載の弾性表面波デバイス。
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