JP2009187825A - 画像表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】真空リーク及び電気ショートの発生を防止することができる画像表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の画像表示装置の製造方法は、リアプレート1上に引き出し配線Cを形成する工程と、引き出し配線C上に、CVD法もしくはスパッタ法で薄膜絶縁層11を形成する工程とを含む。さらに、薄膜絶縁層11上に、導電性を有する支持枠3を封着材12で封着する工程を含む。
【選択図】図4
【解決手段】 本発明の画像表示装置の製造方法は、リアプレート1上に引き出し配線Cを形成する工程と、引き出し配線C上に、CVD法もしくはスパッタ法で薄膜絶縁層11を形成する工程とを含む。さらに、薄膜絶縁層11上に、導電性を有する支持枠3を封着材12で封着する工程を含む。
【選択図】図4
Description
本発明は、気密構造を有する画像表示装置の製造方法に関する。
厚膜配線が用いられる高真空パネルの一つとして、表面伝導型電子放出素子を備える表示パネル、PDP(Plasma Display Panel)、FED(Field Emission Display)等がある。
特許文献1には、引き出し配線と支持枠との間が2層構造の絶縁層によって封着されており、引き出し配線に含浸可能な材質の絶縁層が引き出し線の封着部分を覆う構成を有するものが開示されている。
特開2000−251778号公報
特許文献1に開示された構成では、Agなどの配線材料内の空隙からの真空気密を確保できるとしている。
しかしながら、絶縁層としてペースト状の材料を使用する場合、絶縁層内部にも気泡が発生する可能性が高く、引き出し配線と支持枠との間からの真空リークを回避できない可能性がある。
また、支持枠や封着部材として導電性材料を使用する場合、絶縁層内に気泡による空隙部が存在すると、この空隙部に導電性材料が入り込み、引き出し配線と電気ショートを引き起こす可能性もある。
そこで、本発明は、真空リーク及び電気ショートの発生を防止することができる画像表示装置の製造方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の製造方法は、基板と、該基板の周縁に形成された支持枠とを備えた画像表示装置の製造方法において、基板の上に配線を形成する工程と、配線上に、CVD法もしくはスパッタ法で絶縁層を形成する工程と、絶縁層上に、導電性を有する支持枠を封着材で封着する工程と、を含むことを特徴とする。また、本発明の製造方法は、基板と、該基板の周縁に形成された支持枠とを備えた画像表示装置の製造方法において、基板の上に配線を形成する工程と、配線の上に、CVD法もしくはスパッタ法で絶縁層を形成する工程と、絶縁層上に、支持枠を、導電性を有する封着材で封着する工程と、を含むことを特徴とする。
本発明によれば、真空リーク及び電気ショートの発生を防止することができる。
以下、本発明の実施形態について図面を参照しながら説明する。
本発明の画像表示装置は、気密構造を有する。特に、封着部の構成に関して、支持枠と封着材料によって真空気密が確保され、フェースプレートとリアプレートのうちの少なくとも一方の基板側には封着部を横断する形で引き出し配線が形成されている画像表示装置に適用される。
画像表示装置としては、液晶表示装置、プラズマ表示装置、電子線表示装置などを包含している。特に、電界放出型素子や表面伝導型放出素子は、要求される真空度が高く、封着部の真空気密性確保が重要であるという点から、本発明が適用される好ましい形態である。
<第1の実施形態>
本発明の第1の実施形態について、以下に具体的に説明する。
本発明の第1の実施形態について、以下に具体的に説明する。
はじめに、本発明が適用される表示パネルの全体の構成について説明する。
図1は、平面型の画層表示装置をなす表示パネルの一例を示す斜視図であり、内部構造を示すためにパネルの一部を切り欠いて示している。図中、1はリアプレートであり、2はフェースプレートであり、3はリアプレート1とフェースプレート2との周縁を支持する支持枠である。リアプレート1、フュースプレート2及び支持枠3を、フリットガラス等を用いて接着して封着することで表示パネルの内部を真空に維持するための外囲器(気密容器)が形成されている。
リアプレート1には基板4が固定されているが、この基板4上には冷陰極素子5が、N×M個マトリックス状に形成されている。ここで、N、Mは2以上の正の整数であり、目的とする表示画素数に応じて適宜設定される。なお、リアプレート1と基板4とは別の部材である必要はなく、リアプレート1の上に冷陰極素子が形成されていても構わない。
また、上記N×M個の冷陰極素子5は、図1に示すとおり、M本の行方向配線6とN本の列方向配線7とからなるマトリックス配線により配線されている。これら基板4、冷陰極素子5、行方向配線6および列方向配線7によって構成される部分をマルチ電子ビーム源と呼ぶ。また、行方向配線6と列方向配線7の少なくとも交差する部分には、両配線間に絶縁層(不図示)が形成されており、電気的な絶縁が保たれている。
フェースプレート2には画像形成部材が配置されている。すなわち、フェースプレート2の下面には、蛍光体からなる蛍光膜8が形成されており、赤(R)、緑(G)、青(B)の3原色の蛍光体(不図示)が塗り分けられている。また、蛍光膜8をなす上記各色蛍光体の間には黒色体(不図示)が設けてあり、さらに蛍光膜8のリアプレート1側の面には、Al等からなるメタルバック9が形成されている。
行方向端子6a、列方向端子7aは、当該表示パネルと不図示の電気回路とを電気的に接続するために設けた電気接続用端子で、この部分における封着が後述する本発明の特徴の気密構造になっている。行方向端子6aはマルチ電子ビーム源の行方向配線6に電気的に接続されている。また、列方向端子7aはマルチ電子ビーム源の列方向配線7に電気的に接続されている。
上記気密容器の内部は1.3×10-4Pa程度の真空に保持される。構造支持体(スペーサあるいはリブと呼ばれる)10は、気密容器内部と外部の気圧差によるリアプレート1およびフェースプレート2の変形あるいは破壊を防止するためのもので、比較的薄いガラス板からなる。
上述のように構成された表示パネルでは、マルチビーム電子源が形成された基板4と蛍光膜8が形成されたフェースプレート2間は通常サブミリないし数ミリに保たれ、前述したように気密容器内部は高真空に保持される。
次に、本発明の表示パネルの特徴である、行方向端子6a及び列方向端子7aが形成されたリアプレート1と支持枠3との封着部の気密構造について説明する。なお、以下の説明では、行方向端子6a及び列方向端子7aはまとめて引き出し配線Cと呼称する。
図2は、本実施形態の表示パネルのリアプレート1と支持枠3との封着部の構造を説明するための、表示パネルの一部断面図である。
リアプレート1とフェースプレート2とは互いに対向して配置され、これらが支持枠3を介して封着されることで気密容器が形成されている。
以下に、本実施形態におけるリアプレート1と支持枠3との封着部の気密構造について説明する。
リアプレート1上には複数の引き出し配線Cが並列に形成されている。各引き出し配線C上にはCVD法もしくはスパッタ法により形成された薄膜絶縁層11が形成されている。リアプレート1上及び薄膜絶縁層11上には封着材12が塗布されている。リアプレート1と支持枠3とはこの封着材12により封着されている。支持枠3の、リアプレート1が封着された側と反対側には、フェースプレート2が封着材12により封着されている。
行方向配線6および列方向配線7に電気的に接続された引き出し配線Cは、リアプレート1と支持枠3とを封着している封着部を横断してリアプレート1端へと引き出されている。すなわち、引き出し配線Cは、封着部を介して気密容器内から気密容器外へと引き出されている。引き出し配線Cの材料としてはAgやCuなどの金属材料を用いる。
このような引き出し配線C上には、薄膜絶縁層11が形成されている。薄膜絶縁層11は、CVD(Chemical Vapor Deposition)法またはスパッタ法により形成される。1〜2μmの膜厚を確保する場合、プラズマCVD法は成膜レートの大きく、タクトを短くできる点で特に好ましい。薄膜絶縁層11の材料としてはシリコン酸化物又はシリコン窒化物を用いる。これらSiO2やSiNは、体積抵抗率が高く、またガス放出が少ない点で薄膜絶縁層11の材料として好ましい。
支持枠3の材料としては、ガラス、金属などが使用されるが、成型が容易で安価なため金属を用いるのがより好ましい。特に、支持枠3の材料としては、Sn、In、Agのいずれかを含むものが好ましい。
リアプレート1とフェースプレート2とを接合する封着材12の材料としては、Sn、In、Agのいずれかを含むものが好ましい。封着材12の材料としては、InやSnを含んだ低融点金属の他、一般的な市販品であるフリットガラスが挙げられる。しかしながら、フリットガラスは、融点が400℃〜550℃であることから高温下での封着となる。このためフリットガラスを用いるとアライメント精度を保つことが難しい。よって、封着材12の材料としては、より低温で封着できるInやSnを含んだ低融点金属がより望ましい。ここで、封着材12としてInやSn、あるいはその合金を使用する場合、AgやNiなどのペーストを焼成して使用することが有効である。なお、このペーストは、金属とガラスフリットを混合したものであるため、一般には導電材料となる。しかし、後述するように、本実施形態では薄膜絶縁層11を有することで、封着材12と引き出し配線Cとの間の電気的絶縁性は確保される。
図2で示した形態の封着部では、引き出し配線Cと封着材12とが薄膜絶縁層11を介して接する構成となる。そのため電気的なショートを防止するためには薄膜絶縁層11にピンホールなどの欠陥は許容できないことになる。よって、薄膜絶縁層11を、ピンホールを生じやすいペースト材料で構成するのは好ましくない。また、支持枠3や封着材12として導電性材料を使用する場合、薄膜絶縁層11内に気泡による空隙部が存在すると空隙部に導電性材料が入り込み、引き出し配線Cと電気ショートを引き起こす可能性もある。
そこで、本発明は、薄膜絶縁層11として、SiO2やSiNといった、体積抵抗率が高く、また気泡発生の要因となるガスの放出が少ない材料を用いるとともに、この薄膜絶縁層11をCVD法もしくはスパッタ法により形成している。これにより、引き出し配線Cと封着材12との間にピンホールのない絶縁層を設けることができる。
このように本実施形態はピンホールのない薄膜絶縁層11を形成することで、真空リークの発生、及び引き出し配線Cと支持枠3との電気ショートの発生、あるいは引き出し配線Cと封着材12との電気ショートの発生を防止している。
<第2の実施形態>
図3は、本実施形態の表示パネルのリアプレートと支持枠との封着部の構造を説明するための、表示パネルの一部断面図である。
図3は、本実施形態の表示パネルのリアプレートと支持枠との封着部の構造を説明するための、表示パネルの一部断面図である。
第1の実施形態では、平坦なリアプレート1上に引き出し配線Cが形成されていた。これに対し、本実施形態では、リアプレート1に溝が形成され、この溝内に引き出し配線Cが形成されている点、及び薄膜絶縁層11上にさらに印刷法により厚膜絶縁層11aが形成されている点が異なる。なお、本実施形態の画像表示装置の気密構造は、上記以外は、第1の実施形態と基本的に同様であるため、詳細の説明は省略する。また、説明に用いる符号も第1の実施形態と同じ符号を用いて説明するものとする。
以下、本実施形態におけるリアプレート1と支持枠3との封着部の気密構造について説明する。
本実施形態においては、溝が形成されたリアプレート1上に引き出し配線Cが形成されている。つまり、リアプレート1に複数の溝が形成されており、これら各溝の中に引き出し配線Cを形成することによって、リアプレート1の表面を平坦にしている。このようなリアプレート1及び引き出し配線C上に薄膜絶縁層11が形成されている。さらに薄膜絶縁層11上には厚膜絶縁層11aが形成されている。厚膜絶縁層11a上には封着材12が塗布されており、リアプレート1と支持枠3とはこの封着材12により封着されている。支持枠3の、リアプレート1が封着された側と反対側には、フェースプレート2が封着材12により封着されている。
本実施形態では、引き出し配線Cを、リアプレート1上に形成された溝の内部に埋め込む構成とすることで、リアプレート1表面に凹凸の無い平坦な形状とした。このような平坦な形状としておくことで、封着材12を塗布する際の濡れ性を改善する手段として超音波を使用する場合、超音波の衝撃によるダメージを軽減できる。
また、本実施形態の気密構造は、薄膜絶縁層11上にさらにペーストを用いた厚膜絶縁層11aを追加し、絶縁層を、薄膜絶縁層11と厚膜絶縁層11aとの2層構成としている。絶縁層をCVD法あるいはスパッタ法で形成した場合、その膜厚は、数μmが現実的なプロセス上限値であるが、印刷法によるペーストでは数十μmの膜厚まで容易に形成することが可能である。このような印刷法を用いて形成した厚膜絶縁層11aは、封着材12を塗布する際の超音波による衝撃を緩和する効果が併せて期待できる。すなわち、絶縁層内部に気泡がある場合、超音波の衝撃により気泡間の絶縁層が破壊されて、より大きな気泡へと進行するのを抑制することができ、その結果、電気ショートをより効果的に防止することができる。
厚膜絶縁層11aは、材料としてガラス成分が含まれており、500℃程度の高温で焼成することで溶融し、室温への冷却の過程で再度固化することで絶縁層を形成する。ガラス成分としてBi系フリットガラスを用いるのが好ましい。
さらに、封着材12と厚膜絶縁層11aとの間に、密着力向上のための密着層(不図示)を形成してもよい。
上記の構成で封着部を形成した場合、封着材12あるいは支持枠3と配線との間で発生する電気ショートは極めて高い信頼度で防止することが可能となる。また真空気密性確保の観点からも高い信頼性を確保できる。
以下、具体的な実施例を挙げて本発明を詳しく説明する。
図1に示す構造の画像表示装置の製造工程について、図4を参照しながら説明する。なお、画像表示装置の気密構造は、第2の実施形態で説明した図3に示す構造のものである。
(配線形成)
まず、リアプレート1上に引き出し配線Cを形成する方法について説明する(図4(a))。
まず、リアプレート1上に引き出し配線Cを形成する方法について説明する(図4(a))。
母材となるガラス基板の段階でリアプレート1にレジストを塗布し、露光、現像プロセスを経て、行方向配線を形成する箇所のみレジストを開口させる。
次にHFあるいはその混合液をリアプレート1にスプレー法で塗布し、ガラスをエッチングさせることで溝を形成する。必要な溝の深さ(本実施例では20μm)が得られた段階でリンス処理を行いエッチング液を洗浄した後、レジストを剥離する。
続いて無電解めっき法、電解めっき法等により、基板全面にCuを積層させる。積層させるCu膜厚としては、あらかじめ形成した溝の深さ以上が必要となるため、25μmとした。
続いて、積層したCuをCMP法により段階的に研磨を進める。前述のガラスエッチングの際に溝を形成しなかった面まで研磨が進んだ時点でCMPを終了する。結果として溝部分のみにCuが埋め込まれた形状となる。図4(a)に示すように、表面に凹凸の無い平坦な形状を実現した。
(第1の絶縁層形成)
次に、リアプレート1上に薄膜絶縁層11を形成する(図4(b))。薄膜絶縁層11の材料としては、体積抵抗率が高く、またガス放出の少ないSiO2を選択した。形成方法としては成膜レートの大きいプラズマCVD法を採用し、1〜2μmの膜厚とした。
次に、リアプレート1上に薄膜絶縁層11を形成する(図4(b))。薄膜絶縁層11の材料としては、体積抵抗率が高く、またガス放出の少ないSiO2を選択した。形成方法としては成膜レートの大きいプラズマCVD法を採用し、1〜2μmの膜厚とした。
(第2の絶縁層形成)
続いて薄膜絶縁層11上に、フリットガラスを含む絶縁性ペーストをスクリーン印刷法により印刷し、厚膜絶縁層11aを形成した(図4(c))。その厚さは数μm〜数十μmである。ここでは、Bi系フリットガラスからなるペーストを採用し、厚膜絶縁層11aを形成した。
続いて薄膜絶縁層11上に、フリットガラスを含む絶縁性ペーストをスクリーン印刷法により印刷し、厚膜絶縁層11aを形成した(図4(c))。その厚さは数μm〜数十μmである。ここでは、Bi系フリットガラスからなるペーストを採用し、厚膜絶縁層11aを形成した。
(枠下地形成)
続いて、密着層(不図示)を形成する。今回は後述の工程で封着材12を塗布する領域にパターン印刷法で形成した。密着層の形成に使用した材料はAgのペーストで、これを480℃で焼成した。
続いて、密着層(不図示)を形成する。今回は後述の工程で封着材12を塗布する領域にパターン印刷法で形成した。密着層の形成に使用した材料はAgのペーストで、これを480℃で焼成した。
従来のペースト材料を使った絶縁層では、焼成後に封着部で電気ショートが発生する可能性が高かった。この原因として、気泡にAgペーストが入り込み、さらに焼成を経ることで膨張、収縮が起こり、応力による破壊が進むことで電気ショートに至っていたことがわかっている。本実施例では、CVD法で形成したSiO2で薄膜絶縁層11を形成したことで、電気ショートの発生を防止することができる。
(封着材料塗布)
続いて封着材12を密着層上に塗布する(図4(d))。塗布方法としては、超音波はんだ法が有効である。
続いて封着材12を密着層上に塗布する(図4(d))。塗布方法としては、超音波はんだ法が有効である。
封着材12としては、融点が250℃程度のSn系の金属材料を採用した。これを300℃に加熱し溶融した状態で超音波はんだ法で塗布した。
従来のペーストによる絶縁層では、塗布後に電気ショートが発生する可能性が高かった。この原因として、超音波による振動で、気泡に溶融したはんだ材が入り込み、電気ショートに至っていたことがわかっている。また気泡自体が超音波による振動で破壊され、より大きな気泡へと発展することで、広い領域でショートを発生させていた。
本実施例では、ペーストによる厚膜絶縁層11a中に仮に気泡が含まれていても、CVD法で形成したSiO2の薄膜絶縁層11を追加したことで、電気ショートの発生を防止することができる。また、厚膜絶縁層11aが衝撃を緩衝する役割を果たすので、薄膜絶縁層11の割れや剥がれなどの不良の発生を防止することができる。
(スペーサ組立)
上記の工程を経て完成したリアプレート1に、構造支持体10(図4では不図示)を固定する。材料としてはリアプレート1のガラス母材と膨張係数を合わせたガラスを採用した。構造支持体10の厚みは数十から数百μmと薄く、画質に影響が無いように考慮されている。
上記の工程を経て完成したリアプレート1に、構造支持体10(図4では不図示)を固定する。材料としてはリアプレート1のガラス母材と膨張係数を合わせたガラスを採用した。構造支持体10の厚みは数十から数百μmと薄く、画質に影響が無いように考慮されている。
(支持枠組立)
封着部には支持枠3を固定した(図4(e))。支持枠3の形状は平型のものを採用し、材料としては成型が容易で安価な金属製のものを使用した。
封着部には支持枠3を固定した(図4(e))。支持枠3の形状は平型のものを採用し、材料としては成型が容易で安価な金属製のものを使用した。
(フェースプレート組立)
フェースプレート2の封着部にも、リアプレート1と同様に、密着層をパターン印刷法で形成し、さらに封着材12を塗布する(図4(f))。フェースプレート2側の封着材料としても、リアプレート1側と同様、融点が250℃程度のSn系の金属材料を採用した。封着材12は300℃に加熱し溶融した状態で超音波はんだ法で塗布した。なお、本実施例ではフェースプレート2側に配線は無いため、絶縁層を設ける必要はない。
フェースプレート2の封着部にも、リアプレート1と同様に、密着層をパターン印刷法で形成し、さらに封着材12を塗布する(図4(f))。フェースプレート2側の封着材料としても、リアプレート1側と同様、融点が250℃程度のSn系の金属材料を採用した。封着材12は300℃に加熱し溶融した状態で超音波はんだ法で塗布した。なお、本実施例ではフェースプレート2側に配線は無いため、絶縁層を設ける必要はない。
(パネル化)
最後にパネル化工程として、リアプレート1とフェースプレート2を封着する。封着の手段として、排気時間短縮などの点で有利な、真空チャンバ中での封着を採用した。リアプレート1とフェースプレート2を対向させて、両者に予めマーキングしていたアライメントマークで、冷陰極素子5と蛍光体が正しく正対する位置に合わせてから封着工程を開始した。封着材12を溶融させるために、支持枠3に通電し抵抗加熱法で封着部のみを300℃に過熱した。その後冷却し、再度固化させた後パネルを取り出した。
最後にパネル化工程として、リアプレート1とフェースプレート2を封着する。封着の手段として、排気時間短縮などの点で有利な、真空チャンバ中での封着を採用した。リアプレート1とフェースプレート2を対向させて、両者に予めマーキングしていたアライメントマークで、冷陰極素子5と蛍光体が正しく正対する位置に合わせてから封着工程を開始した。封着材12を溶融させるために、支持枠3に通電し抵抗加熱法で封着部のみを300℃に過熱した。その後冷却し、再度固化させた後パネルを取り出した。
(パネル評価)
上記の方法で作成した画像表示装置をドライバに実装し、画質評価を行った。本発明の画像表示装置は、薄膜絶縁層11を採用したため、封着部での電気ショートの発生を防止することができた。また、薄膜絶縁層11を採用した本発明の画像表示装置は、パネル内の真空度も極めて良好であり、封着部での真空リークの発生を防止することができた。
上記の方法で作成した画像表示装置をドライバに実装し、画質評価を行った。本発明の画像表示装置は、薄膜絶縁層11を採用したため、封着部での電気ショートの発生を防止することができた。また、薄膜絶縁層11を採用した本発明の画像表示装置は、パネル内の真空度も極めて良好であり、封着部での真空リークの発生を防止することができた。
1 リアプレート
2 フェースプレート
3 支持枠
11 薄膜絶縁層
12 封着材
C 引き出し配線
2 フェースプレート
3 支持枠
11 薄膜絶縁層
12 封着材
C 引き出し配線
Claims (7)
- 基板と、該基板の周縁に形成された支持枠とを備えた画像表示装置の製造方法において、
前記基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線上に、CVD法もしくはスパッタ法で絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層上に、導電性を有する前記支持枠を封着材で封着する工程と、
を含むことを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 基板と、該基板の周縁に形成された支持枠とを備えた画像表示装置の製造方法において、
前記基板の上に配線を形成する工程と、
前記配線の上に、CVD法もしくはスパッタ法で絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層上に、前記支持枠を、導電性を有する封着材で封着する工程と、
を含むことを特徴とする画像表示装置の製造方法。 - 前記支持枠を前記封着材で封着する工程は、Sn、In、Agのいずれかを含む前記支持枠を前記封着材で封着する工程である、請求項1に記載の画像表示装置の製造方法。
- 前記支持枠を前記封着材で封着する工程は、前記支持枠を、Sn、In、Agのいずれかを含む前記封着材で封着する工程である、請求項2又は3に記載の画像表示装置の製造方法。
- 前記CVD法もしくはスパッタ法で形成した前記絶縁層上に、印刷法で絶縁層を形成する工程と、
前記印刷法で形成した絶縁層上に、前記支持枠を前記封着材で封着する工程と、を含む、請求項1乃至4のいずれかに記載の画像表示装置の製造方法。 - 前記CVD法もしくはスパッタ法で絶縁層を形成する工程は、シリコン酸化物又はシリコン窒化物をCVD法もしくはスパッタ法で形成する工程である、請求項1乃至5のいずれかに記載の画像表示装置の製造方法。
- 前記基板の上に配線を形成する工程は、前記基板の上に、Ag、Cuのいずれかを含む配線を形成する工程である、請求項1乃至6のいずれかに記載の画像表示装置の製造方法。
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