JP2009177208A - Dry etching gas and method of processing semiconductor device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は半導体プロセス等の微細加工分野に適用されるドライエッチング用ガス、およびかかるドライエッチング用ガスを用いた半導体デバイスの加工方法等に関する。 The present invention relates to a gas for dry etching applied to a fine processing field such as a semiconductor process, a method for processing a semiconductor device using the gas for dry etching, and the like.
半導体デバイスの製造において、ドライエッチング技術は、微細パターンの形成を可能とし、ウエットエッチングに代わって超ＬＳＩなどの製造に使用されている。 In the manufacture of semiconductor devices, dry etching technology enables the formation of fine patterns and is used in the manufacture of VLSIs in place of wet etching.
なかでも半導体デバイス材料であるシリコン酸化膜に代表されるケイ素化合物にドライエッチングを施す際には、レジストに対するシリコン酸化膜のエッチング速度比を大きくすることができるＣＨＦ3、Ｃ2Ｆ6等のフッ素化合物が用いられてきた。ところが、これらのフッ素化合物はいずれも大気中寿命が極めて長く、さらに地球温暖化係数が大きいため、大気中に放出された場合、環境に対する重大な影響が懸念されるものであった。 In particular, when dry etching is performed on a silicon compound typified by a silicon oxide film, which is a semiconductor device material, fluorine such as CHF 3 and C 2 F 6 can increase the etching rate ratio of the silicon oxide film to the resist. Compounds have been used. However, all of these fluorine compounds have a very long lifetime in the atmosphere and a large global warming potential. Therefore, when they are released into the atmosphere, there is a concern about a serious influence on the environment.
そこで、大気中寿命が上記フッ素化合物よりも短いＣＦ3ＣＨＦＯＣＦ3等のハイドロフルオロエーテルをドライエッチング用ガスとして用いることが提案されている（特開平１０−１４０１５１号公報）。 Therefore, it has been proposed to use a hydrofluoroether such as CF 3 CHFOCF 3 having a shorter lifetime in the atmosphere than the above-mentioned fluorine compound as a dry etching gas (Japanese Patent Laid-Open No. 10-140151).
［発明が解決しようとする課題］
しかしながら、上記ハイドロフルオロエーテルの大気中寿命は、およそ１．３〜２０年であり、環境への影響を考慮するとさらに寿命年数の短いものが望まれるとともに、エッチング特性のさらなる向上が望まれている。
[Problems to be solved by the invention]
However, the lifetime of the hydrofluoroether in the atmosphere is about 1.3 to 20 years. Considering the influence on the environment, it is desired that the lifetime is shorter, and further improvement in etching characteristics is desired. .
本発明の目的は、優れたエッチング特性が得られ、さらに大気中に放出されても環境への影響が極めて小さいドライエッチング用ガスおよびかかるドライエッチング用ガスを用いた半導体デバイスの加工方法を提供することにある。 An object of the present invention is to provide a dry etching gas that has excellent etching characteristics and has extremely little influence on the environment even when released into the atmosphere, and a semiconductor device processing method using the dry etching gas. There is.
［課題を解決するための手段］
上記目的を達成するため本発明は以下の構成を有する。
[Means for solving problems]
In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.
（構成１）パターニングされたレジスト膜をマスクとして被エッチング体をドライエッチングする際に用いられるドライエッチング用ガスであって、前記ドライエッチング用ガスはＣ／Ｆ値（フッ素化合物中のＣ元素とＦ元素との原子数の比）が０．５より大きいフッ素化合物を含むことを特徴とするドライエッチング用ガス。 (Configuration 1) A dry etching gas used for dry etching of an object to be etched using a patterned resist film as a mask, wherein the dry etching gas has a C / F value (C element and F in a fluorine compound). A dry etching gas comprising a fluorine compound having a ratio of the number of atoms to an element (greater than 0.5).
（構成２）前記フッ素化合物は、フッ素および炭素からなることを特徴とする構成１に記載のドライエッチング用ガス。 (Structure 2) The dry etching gas according to Structure 1, wherein the fluorine compound comprises fluorine and carbon.
（構成３）前記フッ素化合物は、下記一般式（Ｉ）で表されることを特徴とする構成１または２に記載のドライエッチング用ガス。
ＣｎＦｍ…（Ｉ）
（式（Ｉ）中、ｎ、ｍはそれぞれ、３≦ｎ≦６、４≦ｍ≦１１であって、ｎ／ｍ＞０．５を満たす）
(Structure 3) The dry etching gas according to Structure 1 or 2, wherein the fluorine compound is represented by the following general formula (I).
CnFm (I)
(In formula (I), n and m are 3 ≦ n ≦ 6 and 4 ≦ m ≦ 11, respectively, and satisfy n / m> 0.5)
（構成４）前記フッ素化合物は、環状骨格を有することを特徴とする構成１ないし３のいずれかに記載のドライエッチング用ガス。 (Configuration 4) The dry etching gas according to any one of Configurations 1 to 3, wherein the fluorine compound has a cyclic skeleton.
（構成５）前記フッ素化合物の大気中寿命が１．２年未満であることを特徴とする構成１ないし４のいずれかに記載のドライエッチング用ガス。 (Structure 5) The dry etching gas according to any one of Structures 1 to 4, wherein the fluorine compound has an atmospheric lifetime of less than 1.2 years.
（構成６）前記フッ素化合物は、Ｃ5Ｆ8であることを特徴とする構成１ないし５のいずれかに記載のドライエッチング用ガス。 (Structure 6) The dry etching gas according to any one of Structures 1 to 5, wherein the fluorine compound is C 5 F 8 .
（構成７）前記ドライエッチング用ガスはガス解離促進材を含むことを特徴とする構成１ないし６のいずれかに記載のドライエッチング用ガス。 (Structure 7) The dry etching gas according to any one of structures 1 to 6, wherein the dry etching gas contains a gas dissociation promoting material.
（構成８）前記ガス解離促進材は、主として不活性ガスを含むものであることを特徴とする構成７に記載のドライエッチング用ガス。 (Arrangement 8) A dry etching gas as described in Arrangement 7, wherein the gas dissociation promoting material mainly contains an inert gas.
（構成９）前記フッ素化合物と前記不活性ガスとの混合比は１：１０〜１：５０であることを特徴とする構成８に記載のドライエッチング用ガス。 (Structure 9) The dry etching gas according to Structure 8, wherein the mixing ratio of the fluorine compound and the inert gas is 1:10 to 1:50.
（構成１０）構成１ないし構成９のいずれかに記載のドライエッチング用ガスを用いてドライエッチングを行う工程を有することを特徴とする半導体デバイスの加工方法。 (Structure 10) A semiconductor device processing method comprising a step of performing dry etching using the dry etching gas according to any one of structures 1 to 9.
（構成１１）前記ドライエッチング工程は０．１〜１０Ｐａのガス圧下で行われることを特徴とする構成１０記載の半導体デバイスの加工方法。 (Structure 11) The semiconductor device processing method according to structure 10, wherein the dry etching step is performed under a gas pressure of 0.1 to 10 Pa.
（構成１２）前記ドライエッチング工程により誘電体材料をエッチングすることを特徴とする構成１０または１１に記載の半導体デバイスの加工方法。 (Structure 12) A method of processing a semiconductor device according to Structure 10 or 11, wherein the dielectric material is etched by the dry etching step.
（構成１３）前記誘電体材料は、ケイ素化合物を主成分とする材料であることを特徴とする構成１２に記載の半導体デバイスの加工方法。 (Structure 13) The semiconductor device processing method according to Structure 12, wherein the dielectric material is a material mainly composed of a silicon compound.
（構成１４）前記ドライエッチング用ガスを用いた灰化処理によるレジスト剥離工程を含むことを特徴とする構成１０ないし１３のいずれかに記載の半導体デバイスの加工方法。 (Structure 14) A method for processing a semiconductor device according to any one of Structures 10 to 13, further comprising a resist stripping step by ashing using the dry etching gas.
（構成１５）構成１ないし構成９のいずれかに記載のドライエッチング用ガスを用いて、被処理体のドライエッチング処理または灰化処理を行う工程を有することを特徴とする処理方法。 (Structure 15) A processing method comprising a step of performing a dry etching process or an ashing process on an object to be processed using the dry etching gas according to any one of Structures 1 to 9.
［発明の実施の形態］
本発明のドライエッチング用ガスは、Ｃ／Ｆ値が０．５より大きいフッ素化合物を含むものであることを特徴とする。
ドライエッチング用ガスに含まれるフッ素化合物のＣ／Ｆ値は、化合物中のＣ元素とＦ元素との原子数の比を意味する。フッ素化合物のＣ／Ｆ値を０．５より大きくすることによりエッチングレートの向上を図ることができる。
[Embodiment of the Invention]
The dry etching gas of the present invention is characterized by containing a fluorine compound having a C / F value larger than 0.5.
The C / F value of the fluorine compound contained in the dry etching gas means the ratio of the number of atoms of the C element and the F element in the compound. The etching rate can be improved by making the C / F value of the fluorine compound larger than 0.5.
本発明のフッ素化合物は、フッ素および炭素のみからなることが好ましい。このようなフッ素化合物は、プラズマ中で解離させたとき、Ｆ*ラジカルによる化学的なシリコン除去過程と、ＣＦx +等のイオンの衝突エネルギーによる物理的なシリコンの除去過程とを並行して起こし、速やかにエッチングを進行させることができる。
従来、ドライエッチング用ガス成分として、フッ素および炭素の他に水素や酸素を含むフッ素合物が種々提案されている。ところが、水素や酸素を含むフッ素合物が例えば直鎖状構造の場合、Ｆ*ラジカル等、単原子レベルまで解離が容易に進行し、エッチング制御性が十分に得られない場合がある。また、フッ素化合物中に水素や酸素が存在することにより、水素による堆積過程と酸素によるエッチング過程との競合により、実用的な速度でエッチングを進行させることが困難であった。さらに、フッ素化合物中に水素が存在すると、解離によりＣＦx系ポリマーが生成し易く、このＣＦx系ポリマーはレジスト膜上のみならず被エッチング材料であるＳｉＯ2上にも堆積しエッチング選択比およびエッチング速度を低下させてしまう傾向がある。また、フッ素化合物中に酸素が存在すると、レジスト膜中の炭素とフッ素化合物中の酸素とによりＣＯ結合が生じ、被エッチング材料中のＳｉ成分とＯとの結合と拮抗し、エッチング速度を低下させてしまう場合がある。
The fluorine compound of the present invention preferably comprises only fluorine and carbon. When these fluorine compounds are dissociated in plasma, a chemical silicon removal process by F * radicals and a physical silicon removal process by collision energy of ions such as CF x + occur in parallel. Etching can proceed promptly.
Conventionally, various fluorine compounds containing hydrogen and oxygen in addition to fluorine and carbon have been proposed as dry etching gas components. However, when the fluorine compound containing hydrogen or oxygen has, for example, a linear structure, dissociation easily proceeds to a single atom level such as F * radicals, and etching controllability may not be sufficiently obtained. In addition, due to the presence of hydrogen and oxygen in the fluorine compound, it is difficult to advance the etching at a practical speed due to competition between the deposition process using hydrogen and the etching process using oxygen. Further, when hydrogen is present in the fluorine compound, a CF x polymer is likely to be generated by dissociation, and this CF x polymer is deposited not only on the resist film but also on the SiO 2 material to be etched. There is a tendency to reduce the etching rate. In addition, when oxygen is present in the fluorine compound, CO bonds are generated by the carbon in the resist film and oxygen in the fluorine compound, antagonizing the bond between the Si component and O in the material to be etched, and reducing the etching rate. May end up.
フッ素化合物中に水素や酸素が存在することによる上記不都合に対し、フッ素化合物中の炭素成分はＳｉＯ2の酸素と結合し、ＣＯxを生成する。また、その結果、活性化されたＳｉ成分がフッ素成分と結合して除去される。一方、レジスト膜は酸素を含有しないため、ＣＦy（ｙ＝１、２、３…）等の化学種がレジスト膜上に堆積し易く、エッチング抑制が可能となる。これにより、ＳｉＯ2とレジストとのエッチング選択比が良好に得られる。
したがって、本発明のようにフッ素および炭素のみからなるフッ素化合物とすることにより、ＣＦy等の化学種を容易に生じさせることができ、エッチング選択比の向上を図り、またＣ／Ｆ値が大きいことによりエッチングレートの向上を図ることができる。詳しくは、Ｃ比が高いことにより、Ｃ成分によるＳｉ−Ｏ結合の解離を進行しやすく、結果的にＳｉ−Ｏ成分のエッチングレートを向上できる。
In contrast to the above inconvenience caused by the presence of hydrogen and oxygen in the fluorine compound, the carbon component in the fluorine compound combines with oxygen in SiO 2 to generate CO x . As a result, the activated Si component is combined with the fluorine component and removed. On the other hand, since the resist film does not contain oxygen, chemical species such as CF y (y = 1, 2, 3,...) Are easily deposited on the resist film, and etching can be suppressed. Thereby, the etching selectivity between SiO 2 and resist can be obtained satisfactorily.
Therefore, by using a fluorine compound consisting only of fluorine and carbon as in the present invention, chemical species such as CF y can be easily generated, the etching selectivity can be improved, and the C / F value is large. As a result, the etching rate can be improved. Specifically, when the C ratio is high, dissociation of the Si—O bond by the C component is likely to proceed, and as a result, the etching rate of the Si—O component can be improved.
本発明のドライエッチング用ガスに用いられるフッ素化合物としては、下記式（Ｉ）で表されるものが好ましく用いられる。
ＣｎＦｍ…（Ｉ）
（式（Ｉ）中、ｎ、ｍはそれぞれ、３≦ｎ≦６、４≦ｍ≦１１であって、ｎ／ｍ＞０．５を満たす）
このような化合物はドライエッチングに適した沸点を有し取扱性に優れるとともに、大きなドライエッチングレートを得ることができる。
As the fluorine compound used in the dry etching gas of the present invention, those represented by the following formula (I) are preferably used.
CnFm (I)
(In formula (I), n and m are 3 ≦ n ≦ 6 and 4 ≦ m ≦ 11, respectively, and satisfy n / m> 0.5)
Such a compound has a boiling point suitable for dry etching, excellent handleability, and a large dry etching rate.
また、フッ素化合物は環状骨格を有するものが好ましい。環状骨格を有する場合、同じ炭素数の直鎖状フッ素化合物に比較してＣ／Ｆ値をより大きくすることができる。また、解離によってＣＦ、ＣＦ2、ＣＦ3等のＣＦy化学種（ラジカル種、イオン種）を生成し易いため、エッチングレートおよびエッチング選択比に優れたエッチングを行うことができる。 The fluorine compound preferably has a cyclic skeleton. In the case of having a cyclic skeleton, the C / F value can be increased as compared with a linear fluorine compound having the same carbon number. Further, CF dissociation, CF 2, CF CF y species such as 3 (radical species, ionic species) liable to generate, it is possible to perform an excellent etching the etching rate and etching selection ratio.
さらに、フッ素化合物としては、大気中寿命が１．２年末満であるものが好ましく、１．０年末満のものがさらに好ましい。大気中寿命が１．２年未満のフッ素化合物を用いることにより、地球温暖化等の環境への影響を大きく低減させることができる。
なお、本発明で用いるオクタフルオロシクロペンテン（Ｃ5Ｆ8）等のフッ素化合物の地球温暖化係数（ＧＷＰ）は９０であり、二酸化炭素を１としたときの相対値である。
また、本発明で用いるオクタフルオロシクロペンテン（Ｃ5Ｆ8）等のフッ素化合物のオゾン破壊係数（ＯＤＰ）はゼロである。これは、本発明で用いるフッ素化合物は、分解しやすいためオゾン層に達して分解するまで寿命がもたない（オゾン層に達する前に分解してしまう）ことが主な理由と考えられる。
Further, as the fluorine compound, those having a lifetime in the atmosphere of less than 1.2 years are preferable, and those having an end of 1.0 years are more preferable. By using a fluorine compound having an atmospheric lifetime of less than 1.2 years, it is possible to greatly reduce the environmental impact such as global warming.
The global warming potential (GWP) of a fluorine compound such as octafluorocyclopentene (C 5 F 8 ) used in the present invention is 90, which is a relative value when carbon dioxide is 1.
Further, the ozone depletion coefficient (ODP) of fluorine compounds such as octafluorocyclopentene (C 5 F 8 ) used in the present invention is zero. This is presumably because the fluorine compound used in the present invention is easily decomposed and therefore does not have a lifetime until it reaches the ozone layer and decomposes (decomposes before reaching the ozone layer).
以上のような条件を満たすフッ素化合物の具体例としては種々の化合物を挙げることができるが、なかでもオクタフルオロシクロペンテン（Ｃ5Ｆ8）が好ましい。Ｃ5Ｆ8は、エッチングレートが大きく、特にシリコン酸化物に対する優れたエッチング選択比を得ることができる。しかも大気中寿命が０．９年であって環境への影響が非常に小さい。 Specific examples of the fluorine compound satisfying the above conditions include various compounds, and among them, octafluorocyclopentene (C 5 F 8 ) is preferable. C 5 F 8 has a high etching rate, and in particular, an excellent etching selectivity with respect to silicon oxide can be obtained. Moreover, it has an atmospheric lifetime of 0.9 years and has very little impact on the environment.
本発明のドライエッチング用ガスは、ガス解離促進材を混合して用いられることが好ましい。これによりフッ素化合物の解離反応が促進され、Ｆ*ラジカルやＲ−Ｆ*ラジカル（Ｒはアルキル基等）を容易に生成する。また、主なエッチング形態であるイオンアシスト効果がより一層高められ、エッチング効率が向上する。ガス解離促進材は、フッ素化合物の解離を促進可能なものであれば特に限定されないが、例えばＡｒ、Ｈｅ、Ｘｅ等の不活性ガスあるいはこれらの混合ガス等を主として含むものを用いることができる。これにより、Ｆ*ラジカル等による反応がＡｒ+等のイオンの入射エネルギーにアシストされる機構で速やかに高異方性エッチングを進行させることができる。 The dry etching gas of the present invention is preferably used by mixing a gas dissociation promoting material. As a result, the dissociation reaction of the fluorine compound is promoted, and an F * radical or an R—F * radical (R is an alkyl group or the like) is easily generated. Moreover, the ion assist effect which is the main etching form is further enhanced, and the etching efficiency is improved. The gas dissociation promoting material is not particularly limited as long as it can promote the dissociation of the fluorine compound. For example, a material mainly containing an inert gas such as Ar, He, or Xe or a mixed gas thereof can be used. Thereby, highly anisotropic etching can be rapidly advanced by a mechanism in which the reaction by F * radicals and the like is assisted by the incident energy of ions such as Ar + .
フッ素化合物と上記不活性ガスとの混合比（体積比）は、ドライエッチングに使用される装置の種類などにより適宜選択されるが、１：１０〜１：５０の範囲とすることが好ましい。具体的には、例えばフッ素化合物として上記Ｃ5Ｆ8を使用して、磁気中性線放電プラズマ装置による場合は１：１０〜１：３０、誘導結合型プラズマ装置による場合は１：２０〜１：４０、反応性イオンエッチング装置による場合は１：４０〜１：５０とすることが好ましい。
ドライエッチング用ガスの割合が不活性ガスに対し、１：５０よりも小さくなると、エッチング性能が十分に発揮されず、プラズマ均一性の観点からエッチングの均一性が損なわれるおそれがある。
The mixing ratio (volume ratio) of the fluorine compound and the inert gas is appropriately selected depending on the type of apparatus used for dry etching, but is preferably in the range of 1:10 to 1:50. Specifically, for example, the above-described C 5 F 8 is used as a fluorine compound, and when using a magnetic neutral discharge plasma apparatus, 1:10 to 1:30, and when using an inductively coupled plasma apparatus, 1:20 to 1 is used. : 40, in the case of using a reactive ion etching apparatus, it is preferably 1:40 to 1:50.
When the ratio of the dry etching gas is smaller than 1:50 with respect to the inert gas, the etching performance is not sufficiently exhibited, and the etching uniformity may be impaired from the viewpoint of plasma uniformity.
次に、本発明の半導体デバイスの加工方法等について説明する。本発明の半導体デバイスの加工方法は、上述した本発明のドライエッチング用ガスを用いたドライエッチング工程を有することを特徴とする。 Next, the semiconductor device processing method of the present invention will be described. The semiconductor device processing method of the present invention is characterized by having a dry etching step using the above-described dry etching gas of the present invention.
本発明の方法で加工される半導体デバイスや被処理体としては特に限定されないが、例えば、半導体素子、通信用素子、マイクロマシン、転写マスク、光学素子、光学部品、情報記録媒体等を挙げることができる。本発明のドライエッチング用ガスを用いることによって優れたエッチング特性が得られ、半導体デバイスに形成される微細パターンの精度の向上およびスループットの向上を達成することができる。 Although it does not specifically limit as a semiconductor device processed by the method of this invention, and a to-be-processed object, For example, a semiconductor element, a communication element, a micromachine, a transfer mask, an optical element, an optical component, an information recording medium etc. can be mentioned. . By using the dry etching gas of the present invention, excellent etching characteristics can be obtained, and improvement in the precision of fine patterns formed in semiconductor devices and improvement in throughput can be achieved.
本発明の半導体デバイスの加工方法において、ドライエッチングに使用される装置としては特に限定されるものではなく、例えば、磁気中性線放電プラズマエッチング、誘導結合型プラズマエッチング、ナローギャップ型反応性エッチング装置等の反応性イオンエッチング装置、ヘリコン波プラズマエッチング装置、ＥＣＲプラズマエッチング装置等が挙げられる。 In the semiconductor device processing method of the present invention, the apparatus used for dry etching is not particularly limited. For example, magnetic neutral discharge plasma etching, inductively coupled plasma etching, narrow gap type reactive etching apparatus Reactive ion etching apparatus, helicon wave plasma etching apparatus, ECR plasma etching apparatus, and the like.
ドライエッチング工程において、エッチング条件は、用いられるエッチング用ガスや被加工体の材料等により適宜選択されるが、ガス圧に関しては、通常０．１〜１０Ｐａのガス圧下で行われることが好ましく、０．３〜２Ｐａとすることがより好ましい。ガス圧が０．１Ｐａよりも小さい場合、プラズマ密度が小さすぎてエッチングが良好に行われないおそれがある。一方、ガス圧が１０Ｐａを超えると解離した化学種が再結合する逆反応が進行し、エッチング／堆積のバランスの制御が困難になり、エッチング効率を低下させてしまうおそれがあるとともに、エッチングが深くなるにしたがってアスペクト比依存性が大きくなる場合があり好ましくない。また、イオンの入射確率や反応生成物等の蒸気圧の低下によりエッチング速度が低下する、いわゆるマイクロローディング現象を招く場合がある。 In the dry etching step, the etching conditions are appropriately selected depending on the etching gas used, the material of the workpiece, and the like, but the gas pressure is preferably 0.1 to 10 Pa or less. 3 to 2 Pa is more preferable. If the gas pressure is less than 0.1 Pa, the plasma density may be too small to perform etching well. On the other hand, when the gas pressure exceeds 10 Pa, a reverse reaction in which the dissociated chemical species recombine proceeds, and it becomes difficult to control the etching / deposition balance, which may reduce the etching efficiency and deeply etch. Accordingly, the aspect ratio dependency may increase, which is not preferable. In addition, a so-called microloading phenomenon may occur in which the etching rate is reduced due to a decrease in the ion incidence probability and the vapor pressure of reaction products.
本発明の半導体デバイスの加工方法は、誘電体材料をドライエッチングする工程を有することが好ましい。誘電体材料としては、例えばＳｉＯ2、ＳｉＮ4、ＳｉＯＮ等のケイ素化合物を主成分とする材料が挙げられ、フッ素化合物と化学親和性を備えるものが挙げられる。したがって、ＳｉＯ2膜に代表される半導体素子材料に用いられる誘電体材料は、本発明のフッ素化合物を含むドライエッチング用ガスを用いることにより十分なエッチングレートで良好に微細加工を施こすことができる。 The semiconductor device processing method of the present invention preferably includes a step of dry etching the dielectric material. Examples of the dielectric material include a material mainly composed of a silicon compound such as SiO 2 , SiN 4 , and SiON, and a material having chemical affinity with a fluorine compound. Therefore, the dielectric material used for the semiconductor element material represented by the SiO 2 film can be finely processed satisfactorily at a sufficient etching rate by using the dry etching gas containing the fluorine compound of the present invention. .
また、本発明の半導体デバイスの加工方法は、ドライエッチング用ガスを用いた灰化処理によるレジスト剥離工程を含むことが好ましい。エッチングが終了し不要になったレジストは、通常、酸素プラズマ等により灰化処理（アッシング）され除去されるが、本発明ではこの灰化処理の際に、ドライエッチング用ガスを用いることによって、より良好に灰化処理を行うことができる。また、エッチング工程と同様のガスを用いるため、工程の連続性がよく効率的にレジスト剥離を行うことができる。
なお、灰化処理の際に用いられるドライエッチング用ガス中のフッ素化合物の含有量は特に限定されないが、０．１〜１０％程度とすることが好ましい。
また、この灰化処理はレジスト以外の被処理体の灰化処理（例えば、有機物の除去や汚れの除去等）にも当然使用できる。
Moreover, it is preferable that the processing method of the semiconductor device of this invention includes the resist peeling process by the ashing process using the gas for dry etching. The resist that has become unnecessary after the etching is completed is usually removed by ashing (ashing) using oxygen plasma or the like. In the present invention, a gas for dry etching is used in the ashing process. Ashing treatment can be performed satisfactorily. In addition, since the same gas as that used in the etching process is used, the resist can be stripped efficiently with good process continuity.
In addition, although content of the fluorine compound in the gas for dry etching used in the case of an ashing process is not specifically limited, It is preferable to set it as about 0.1 to 10%.
Further, this ashing treatment can naturally be used for ashing treatment of an object to be treated other than resist (for example, removal of organic substances and removal of dirt).
［実施例］
次に、本発明を各実施例にしたがって、さらに詳細に説明する。
（１）エッチング工程
[Example]
Next, the present invention will be described in more detail according to each embodiment.
(1) Etching process
（実施例１）
フッ素化合物としてオクタフルオロシクロペンテン（Ｃ5Ｆ8（Ｃ／Ｆ＝０．６３））を用い、誘導結合型プラズマ装置を用いて、シリコンウエハ上にシリコン酸化物（ＳｉＯ2）膜が形成された半導体用基板に対し、深さ１．０μｍの異方性エッチングを行った。
ドライエッチング条件は下記のとおりとした。
ドライエッチング用ガス組成：Ｃ5Ｆ8：Ａｒ＝１：３０
ガス圧力：２Ｐａ
ＩＣＰ出力：１０００Ｗ
高周波出力：５００Ｗ
基板温度：２０℃
エッチング終了後、レジストパターンの除去量およびＳｉＯ2膜の除去量を測定し、ＳｉＯ2のパターン開口端部の形状を観察した。これらの結果を表１に示す。
Example 1
A semiconductor in which a silicon oxide (SiO 2 ) film is formed on a silicon wafer using octafluorocyclopentene (C 5 F 8 (C / F = 0.63)) as a fluorine compound and using an inductively coupled plasma apparatus An anisotropic etching with a depth of 1.0 μm was performed on the substrate.
The dry etching conditions were as follows.
Gas composition for dry etching: C 5 F 8 : Ar = 1: 30
Gas pressure: 2Pa
ICP output: 1000W
High frequency output: 500W
Substrate temperature: 20 ° C
After completion of the etching, the removal amount of the resist pattern and the removal amount of the SiO 2 film were measured, and the shape of the end portion of the SiO 2 pattern opening was observed. These results are shown in Table 1.
（実施例２）
フッ素化合物としてオクタフルオロシクロペンテン（Ｃ5Ｆ8（Ｃ／Ｆ＝０．６３））を用い、ナローギャップタイプの反応性イオンエッチング装置を用いて、微細コンタクトホールの加工を目的にシリコン酸化物（ＳｉＯ2）膜が形成された半導体用基板に対し、深さ０．５μｍの異方性エッチングを行った。
ドライエッチング条件は下記のとおりとした。
ドライエッチング用ガス組成：Ｃ5Ｆ8：Ａｒ＝１：５０
ガス圧力：５Ｐａ
高周波出力：５００Ｗ
基板温度：１５℃
エッチング終了後、レジストパターンの除去量およびＳｉＯ2膜の除去量を測定し、ＳｉＯ2のパターン開口端部の形状を観察した。これらの結果を表１に示す。
(Example 2)
Silicon oxide (SiO 2) for the purpose of processing fine contact holes using a narrow gap type reactive ion etching apparatus using octafluorocyclopentene (C 5 F 8 (C / F = 0.63)) as a fluorine compound. 2 ) Anisotropic etching with a depth of 0.5 μm was performed on the semiconductor substrate on which the film was formed.
The dry etching conditions were as follows.
Gas composition for dry etching: C 5 F 8 : Ar = 1: 50
Gas pressure: 5Pa
High frequency output: 500W
Substrate temperature: 15 ° C
After completion of the etching, the removal amount of the resist pattern and the removal amount of the SiO 2 film were measured, and the shape of the end portion of the SiO 2 pattern opening was observed. These results are shown in Table 1.
（実施例３）
フッ素化合物としてオクタフルオロシクロペンテン（Ｃ5Ｆ8（Ｃ／Ｆ＝０．６３））を用い、磁気中性線プラズマエッチング装置を用いて、Dual Damascene構造（微細加工に用いられる基板構造）の加工を目的にシリコン酸化物（ＳｉＯ2）膜が形成された半導体用基板（下地にＳｉＮ、その上にＳｉＯ2層が積層されている）のＳｉＯ2層に対し、深さ０．４μｍの異方性エッチングを行った。
ドライエッチング条件は下記のとおりとした。
ドライエッチング用ガス組成：Ｃ5Ｆ8：Ａｒ＝１：２０
ガス圧力：１Ｐａ
磁気中性線出力：８００Ｗ
高周波出力：３００Ｗ
基板温度：１５℃
エッチング終了後、レジストパターンの除去量およびＳｉＯ2膜の除去量を測定し、ＳｉＯ2のパターン開口端部の形状を観察した。これらの結果を表１に示す。
(Example 3)
Using Octafluorocyclopentene (C 5 F 8 (C / F = 0.63)) as a fluorine compound and processing a Dual Damascene structure (substrate structure used for microfabrication) using a magnetic neutral line plasma etching apparatus Anisotropy with a depth of 0.4 μm with respect to the SiO 2 layer of the semiconductor substrate (SiN is the base and the SiO 2 layer is laminated thereon) on which the silicon oxide (SiO 2 ) film is formed. Etching was performed.
The dry etching conditions were as follows.
Gas composition for dry etching: C 5 F 8 : Ar = 1: 20
Gas pressure: 1Pa
Magnetic neutral wire output: 800W
High frequency output: 300W
Substrate temperature: 15 ° C
After completion of the etching, the removal amount of the resist pattern and the removal amount of the SiO 2 film were measured, and the shape of the end portion of the SiO 2 pattern opening was observed. These results are shown in Table 1.
（実施例４）
ドライエッチング用ガス組成を、Ｃ5Ｆ8：Ｘｅ＝１：２０としたこと以外は実施例１と同様にしてエッチングを行った。
Example 4
Etching was performed in the same manner as in Example 1 except that the gas composition for dry etching was C 5 F 8 : Xe = 1: 20.
（比較例１）
フッ素化合物としてテトラフルオロメタン（ＣＦ4（Ｃ／Ｆ＝０．２５））を用いたこと以外は実施例１と同様にしてエッチングを行った。結果を表１に示す。
(Comparative Example 1)
Etching was performed in the same manner as in Example 1 except that tetrafluoromethane (CF 4 (C / F = 0.25)) was used as the fluorine compound. The results are shown in Table 1.
（比較例２）
フッ素化合物としてオクタフルオロブタン（Ｃ4Ｆ8（Ｃ／Ｆ＝０．５））を用いたこと以外は実施例２と同様にしてエッチングを行った。結果を表１に示す。
(Comparative Example 2)
Etching was performed in the same manner as in Example 2 except that octafluorobutane (C 4 F 8 (C / F = 0.5)) was used as the fluorine compound. The results are shown in Table 1.
表１から明らかなように、各実施例１〜４では、いずれも比較例１〜２に比べてＳｉＯ2のエッチングレート、ＳｉＯ2／レジスト選択比およびＳｉＯ2／下地選択比が大きいものであった。また、ＳｉＯ2膜のパターン開口端部（側壁）の断面形状もほぼ垂直であり、シャープで精細なパターンが形成され、エッチング特性が非常に優れていることがわかった。
さらに、各実施例で用いたフッ素化合物の大気中寿命は１年未満であり、比較例のフッ素化合物に比較して非常に寿命の短いものである。
As is clear from Table 1, in each of Examples 1 to 4, the SiO 2 etching rate, SiO 2 / resist selection ratio, and SiO 2 / base selection ratio were higher than those in Comparative Examples 1 and 2. It was. It was also found that the cross-sectional shape of the pattern opening end portion (side wall) of the SiO 2 film was almost vertical, a sharp and fine pattern was formed, and the etching characteristics were very excellent.
Furthermore, the lifetime in the atmosphere of the fluorine compound used in each example is less than one year, and the lifetime is very short compared with the fluorine compound of the comparative example.
（２）灰化処理
実施例１〜４および比較例１〜２においてエッチングを行った後、各実施例および比較例で使用したフッ素化合物を混合した酸化性ガスを供給し、プラズマアッシング装置において通常の条件で、プラズマアッシング（灰化処理）を行い、レジスト剥離を行った。なお、Ｏ2にフッ素化合物ガスを添加するのは主としてアッシング速度を向上させるためである。
各灰化処理におけるフッ素化合物の含有量およびアッシングレートを表２に示す。
(2) Ashing treatment After etching in Examples 1 to 4 and Comparative Examples 1 and 2, an oxidizing gas mixed with the fluorine compound used in each Example and Comparative Example is supplied and is usually used in a plasma ashing apparatus. Under these conditions, plasma ashing (ashing treatment) was performed to remove the resist. The reason why the fluorine compound gas is added to O 2 is mainly to improve the ashing speed.
Table 2 shows the fluorine compound content and ashing rate in each ashing treatment.
表２に示す結果から、各実施例１〜４では、比較例１〜２と同等以上の優れたアッシングレートが得られ、レジスト剥離を迅速に行うことができることがわかった。したがって、比較例１〜２に示す従来のフッ素化合物を、実施例に示すフッ素化合物で代替可能であり、しかも実施例に示すフッ素化合物は、従来のフッ素化合物に比べ、大気中寿命が短く、環境に対する影響も極めて小さい。さらに、実施例１と比較例１から、同等のエッチングレートを得るのに実施例１のフッ素化合物の方が少量で済み、環境に優しい。 From the results shown in Table 2, it was found that in each of Examples 1 to 4, an excellent ashing rate equivalent to or higher than that of Comparative Examples 1 and 2 was obtained, and the resist could be removed quickly. Therefore, the conventional fluorine compounds shown in Comparative Examples 1 and 2 can be replaced with the fluorine compounds shown in the examples, and the fluorine compounds shown in the examples have a shorter atmospheric life than the conventional fluorine compounds, and the environment. The impact on is very small. Further, from Example 1 and Comparative Example 1, in order to obtain the same etching rate, the fluorine compound of Example 1 can be used in a smaller amount and is environmentally friendly.
［発明の効果］
以上のことから、本発明のドライエッチング用ガスは、従来用いられてきた含フッ素化合物を含有するものに比べ、優れたエッチング性能を備える。したがって、このようなドライエッチング用ガス用いた半導体デバイスの加工方法によれば、精緻なパターンを迅速かつ正確に形成することができ、エッチング後の灰化処理を迅速に行うことができるので、微細な加工性および生産効率の向上を図ることができる。
さらに、本発明のドライエッチング用ガスで用いるフッ素化合物は、大気中寿命が短く、環境に対する影響を極めて小さくすることができる。
[The invention's effect]
From the above, the gas for dry etching of the present invention has an excellent etching performance as compared with a conventional gas containing a fluorine-containing compound. Therefore, according to the semiconductor device processing method using such a dry etching gas, a fine pattern can be formed quickly and accurately, and the ashing process after etching can be performed quickly. Improvement of workability and production efficiency.
Furthermore, the fluorine compound used in the dry etching gas of the present invention has a short lifetime in the atmosphere and can greatly reduce the influence on the environment.
Claims (9)
前記ドライエッチング用ガスは下記一般式（Ｉ）で表されるフッ素化合物と不活性ガスからなり、
前記被エッチング体の前記レジスト膜に対するエッチング選択比を６．３以上としてドライエッチングすることを特徴とする、
ドライエッチング方法。
ＣｎＦｍ …（Ｉ）
（式（Ｉ）中、ｎ、ｍはそれぞれ、３≦ｎ≦６、４≦ｍ≦１１であって、ｎ／ｍ＞０．５を満たす） In a dry etching method, using a patterned resist film as a mask, an object to be etched mainly containing a silicon compound containing oxygen is dry-etched using a dry etching gas.
The dry etching gas comprises a fluorine compound represented by the following general formula (I) and an inert gas,
Dry etching with an etching selection ratio of the object to be etched to the resist film being 6.3 or more,
Dry etching method.
CnFm (I)
(In formula (I), n and m are 3 ≦ n ≦ 6 and 4 ≦ m ≦ 11, respectively, and satisfy n / m> 0.5)
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Citations (3)
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| JPH04258117A (en) * | 1991-02-12 | 1992-09-14 | Sony Corp | Dry-etching method |
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