JP2009152348A

JP2009152348A - Electrostatic countermeasure component

Info

Publication number: JP2009152348A
Application number: JP2007328346A
Authority: JP
Inventors: Koichi Yoshioka; 功一吉岡; Takashi Morino; 貴森野; Masakatsu Nawate; 優克縄手; Kenji Nozoe; 研治野添; Takeshi Izeki; 健井関
Original assignee: Panasonic Corp
Current assignee: Panasonic Corp
Priority date: 2007-12-20
Filing date: 2007-12-20
Publication date: 2009-07-09

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electrostatic countermeasure component which hardly causes a short defect even when an electrostatic pulse of high voltage is applied, does not requires a high peak voltage, and operates at a low peak voltage. <P>SOLUTION: The electrostatic countermeasure component has an intermediate electrode 17 formed between a first lead electrode 15 and a second lead electrode 16 to have a first gap 13 between the first lead electrode 15 and intermediate electrode 17 and a second gap 14 between the second lead electrode 16 and intermediate electrode 17, wherein the total width of the first gap 13 and second gap 14 is nearly equal to a predetermined width (x), the width of the intermediate electrode 17 is larger than the width of the first gap 13 and the width of the second gap 14, and an overvoltage protective material layer 18 is formed covering at lest the first gap 13, second gap 14, and intermediate electrode 17. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は電子機器を静電気から保護する静電気対策部品に関するものである。 The present invention relates to a static electricity countermeasure component for protecting an electronic device from static electricity.

近年、携帯電話等の電子機器の小型化、高性能化が急速に進み、それに伴い電子機器に用いられる電子部品の小型化も急速に進んでいる。しかしながら、その反面、この小型化に伴って電子機器や電子部品の耐電圧は低下するもので、これにより、人体と電子機器の端子が接触した時に発生する静電気パルスによって機器内部の電気回路が破壊するのが増えてきている。これは静電気パルスによって１ナノ秒以下の立ち上がり速度でかつ数百〜数キロボルトという高電圧が機器内部の電気回路に印加されるからである。 In recent years, electronic devices such as mobile phones have been rapidly reduced in size and performance, and accordingly, electronic components used in electronic devices have also been rapidly reduced in size. However, with this miniaturization, the withstand voltage of electronic equipment and electronic components decreases, and this causes the electrical circuit inside the equipment to be destroyed by electrostatic pulses generated when the human body contacts the terminals of the electronic equipment. Increasingly. This is because a high voltage of several hundreds to several kilovolts is applied to the electric circuit inside the device at a rising speed of 1 nanosecond or less by electrostatic pulses.

従来から、このような静電気パルスへの対策として、静電気が入るラインとグランド間に対策部品を設ける方法がとられているが、近年では信号ラインの伝送速度が数百Ｍｂｐｓ以上といった高速化が進んでおり、前記した対策部品の浮遊容量が大きい場合には信号品質が劣るため、より小さい方が好ましく、したがって、数百Ｍｂｐｓ以上の伝送速度になると１ｐＦ以下の低静電容量の対策部品が必要になってくるものである。 Conventionally, as a countermeasure against such an electrostatic pulse, a method of providing a countermeasure component between a line where static electricity enters and a ground has been taken, but in recent years, the transmission speed of a signal line has been increased to several hundred Mbps or more. In the case where the stray capacitance of the countermeasure component described above is large, the signal quality is inferior, so the smaller one is preferable. Therefore, a countermeasure component having a low capacitance of 1 pF or less is required at a transmission speed of several hundred Mbps or more. It will become.

このような高速伝送ラインでの静電気対策として、従来においては、対向する引出電極のギャップ間に過電圧保護材料を充填するタイプの静電気対策部品が提案されている。 Conventionally, as a countermeasure against static electricity in such a high-speed transmission line, a type of countermeasure against static electricity has been proposed in which an overvoltage protection material is filled between the gaps between opposing extraction electrodes.

なお、この出願の発明に関する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献１が知られている。
特開２００２−１５８３１号公報 As prior art document information relating to the invention of this application, for example, Patent Document 1 is known.
JP 2002-15831 A

上記した対向する引出電極のギャップ間に過電圧保護材料を充填するタイプの静電気対策部品における特性発現のメカニズムは、対向する引出電極のギャップ間に静電気による過電圧が印加された際に、対向する引出電極のギャップ間の過電圧保護材料中に散在する導電粒子間あるいは半導体粒子間に放電電流のようなものが流れ、それを電流としてグランドにバイパスさせるというものである。特許文献１に記載の静電気対策部品では、図４（ａ）（ｂ）に示すように、絶縁基板１上の導体２に所定の幅ｘを有するギャップ３を形成して一対の引出電極４を形成する場合に、レーザーで導体２を切断することによってギャップ３を形成する手法が開示されている。このギャップ３は幅が約１０μｍと狭く形成されるものであるため、この静電気対策部品に１５ｋＶ以上の過大な静電気パルスが印加された場合には、静電気放電によって引出電極４を構成する金属がごく微量ではあるが溶解して、図４（ｃ）に示すように、この溶解した金属の微粒子５がギャップ３内に付着し、これにより、ギャップ３がショートして静電気対策部品としての機能を果たさなくなるという可能性を有していた。 The mechanism of characteristic development in the antistatic component of the type in which an overvoltage protection material is filled between the gaps between the opposing extraction electrodes described above is that when the overvoltage due to static electricity is applied between the gaps between the opposing extraction electrodes, the opposing extraction electrodes Such a discharge current flows between conductive particles or semiconductor particles scattered in the overvoltage protection material between the gaps, and bypasses it to the ground as a current. In the static electricity countermeasure component described in Patent Document 1, as shown in FIGS. 4A and 4B, a gap 3 having a predetermined width x is formed in the conductor 2 on the insulating substrate 1 to form a pair of extraction electrodes 4. A method of forming the gap 3 by cutting the conductor 2 with a laser when forming is disclosed. Since the gap 3 is formed to be as narrow as about 10 μm, when an excessive electrostatic pulse of 15 kV or more is applied to this static electricity countermeasure component, the metal constituting the extraction electrode 4 is very small due to electrostatic discharge. Although dissolved in a small amount, as shown in FIG. 4C, the dissolved metal fine particles 5 adhere to the gap 3, and thereby the gap 3 is short-circuited to perform a function as an anti-static component. Had the possibility of disappearing.

この課題を解決する方法として、従来においては、ギャップ３の所定の幅ｘを広げることによって微粒子５の付着に起因するショート不良を防ぐ方法が取られていたが、ギャップ３の所定の幅ｘを大きく広げた場合には、静電気対策部品のショート不良の発生は低減できるものの、この静電気対策部品を動作させるためには、高いピーク電圧が必要となり、その結果、低いピーク電圧で動作する静電気対策部品を得ることができないものであった。 As a method for solving this problem, conventionally, a method of preventing a short circuit defect due to adhesion of the fine particles 5 by widening the predetermined width x of the gap 3 has been taken. Although the occurrence of short-circuit defects in anti-static components can be reduced if they are greatly expanded, a high peak voltage is required to operate these anti-static components, and as a result, anti-static components that operate at low peak voltages. It was something I could not get.

本発明は上記従来の課題を解決するもので、高電圧の静電気パルスが印加されたとしても、ショート不良が発生し難く、かつピーク電圧も高いものを必要とせず、低いピーク電圧で動作する静電気対策部品を提供することを目的とするものである。 The present invention solves the above-described conventional problems, and even when a high-voltage electrostatic pulse is applied, a short-circuit failure hardly occurs and a high peak voltage is not required. The purpose is to provide countermeasure parts.

上記目的を達成するために、本発明は以下の構成を有するものである。 In order to achieve the above object, the present invention has the following configuration.

本発明の請求項１に記載の発明は、セラミック基板と、このセラミック基板の上面の一端部に形成された第１の引出電極と、前記セラミック基板の上面の他端部に形成された第２の引出電極と、前記第１の引出電極と第２の引出電極との間に位置して設けられた所定の幅ｘ（μｍ）を有するギャップと、このギャップを少なくとも覆う過電圧保護材料層とを備え、前記第１の引出電極と第２の引出電極との間に位置して前記セラミック基板の上に１個の中間電極を形成することにより、前記第１の引出電極と中間電極との間に第１のギャップを形成するとともに前記第２の引出電極と中間電極との間に第２のギャップを形成し、かつ前記第１のギャップの幅と第２のギャップの幅は、それらの総和の幅が前記ギャップの所定の幅ｘ（μｍ）とほぼ同じになるように構成し、さらに前記１個の中間電極の幅は、前記第１のギャップの幅および第２のギャップの幅より大きくなるように構成するとともに、前記過電圧保護材料層は、少なくとも前記第１のギャップ、第２のギャップおよび１個の中間電極を覆うように構成したもので、この構成によれば、第１の引出電極と第２の引出電極との間に位置してセラミック基板の上に１個の中間電極を形成することにより、前記第１の引出電極と中間電極との間に第１のギャップを形成するとともに前記第２の引出電極と中間電極との間に第２のギャップを形成しているため、静電気対策部品に高電圧の静電気パルスが繰り返し印加された場合においても、引出電極や中間電極を構成する金属が微量に溶解して前記第１のギャップと第２のギャップの両方が同時にショートするということは極めて少なく、この場合は、いずれか一方のギャップのみがショートすることになって、いずれか他方のギャップはショートしていないため、このショートしていない他方のギャップで絶縁性能を維持することができ、これにより、高電圧の静電気パルスが繰り返し印加されたとしても、ギャップはショートし難くショート不良が発生し難くなるものである。また、前記第１のギャップの幅と第２のギャップの幅は、それらの総和の幅が前記ギャップの所定の幅ｘ（μｍ）とほぼ同じになるように構成しているため、ギャップを２本有することにより、みかけ上のギャップの幅が広がることになり、これにより、静電気対策部品を動作させるためのピーク電圧も抑えることができるため、低いピーク電圧で動作する静電気対策部品が得られるものである。そしてまた、前記１個の中間電極の幅は、前記第１のギャップの幅および第２のギャップの幅より大きくなるように構成するとともに、前記過電圧保護材料層は、少なくとも前記第１のギャップ、第２のギャップおよび１個の中間電極を覆うように構成しているため、高電圧の静電気パルスが静電気対策部品に印加された場合においても、その時の放電によって中間電極が消失して第１のギャップと第２のギャップがつながってしまうということはなく、所定のピーク電圧で確実に動作する静電気対策部品が得られるという作用効果を有するものである。 According to the first aspect of the present invention, there is provided a ceramic substrate, a first extraction electrode formed at one end portion of the upper surface of the ceramic substrate, and a second electrode formed at the other end portion of the upper surface of the ceramic substrate. An extraction electrode, a gap having a predetermined width x (μm) provided between the first extraction electrode and the second extraction electrode, and an overvoltage protection material layer covering at least the gap And forming an intermediate electrode on the ceramic substrate between the first extraction electrode and the second extraction electrode, thereby forming a gap between the first extraction electrode and the intermediate electrode. And the second gap is formed between the second extraction electrode and the intermediate electrode, and the width of the first gap and the width of the second gap are the sum of them. Is approximately equal to the predetermined width x (μm) of the gap. Further, the width of the one intermediate electrode is configured to be larger than the width of the first gap and the width of the second gap, and the overvoltage protection material layer includes: It is configured so as to cover at least the first gap, the second gap, and one intermediate electrode. According to this configuration, the first gap is positioned between the first extraction electrode and the second extraction electrode. By forming one intermediate electrode on the ceramic substrate, a first gap is formed between the first extraction electrode and the intermediate electrode, and between the second extraction electrode and the intermediate electrode. Since the second gap is formed, even when a high-voltage electrostatic pulse is repeatedly applied to the anti-static component, the metal constituting the extraction electrode and the intermediate electrode dissolves in a very small amount, and the first gap Second ga It is very rare that both of the two short-circuit at the same time. In this case, only one of the gaps is short-circuited, and the other gap is not short-circuited. Insulation performance can be maintained in the gap, so that even if a high-voltage electrostatic pulse is repeatedly applied, the gap is not easily short-circuited and short-circuit failure is unlikely to occur. Further, the width of the first gap and the width of the second gap are configured such that the total width thereof is substantially the same as the predetermined width x (μm) of the gap. By having this, the width of the apparent gap will be widened, so that the peak voltage for operating the anti-static component can also be suppressed, so that an anti-static component that operates at a low peak voltage can be obtained It is. Further, the width of the one intermediate electrode is configured to be larger than the width of the first gap and the width of the second gap, and the overvoltage protection material layer includes at least the first gap, Since it is configured to cover the second gap and one intermediate electrode, even when a high-voltage electrostatic pulse is applied to the anti-static component, the intermediate electrode disappears due to the discharge at that time, and the first There is no connection between the gap and the second gap, and there is an effect that an anti-static component that operates reliably at a predetermined peak voltage can be obtained.

本発明の請求項２に記載の発明は、特に、第１のギャップの幅と第２のギャップの幅をほぼ等しくしたもので、この構成によれば、第１のギャップの幅と第２のギャップの幅をほぼ等しくしているため、第１のギャップがショートする確率と第２のギャップがショートする確率はほぼ等しく、両方のギャップがショートして静電気対策部品がショート不良になる確率は、いずれか一方のギャップがショートする確率の２乗にほぼ等しくなり、これにより、高電圧の静電気パルスが繰り返し印加されたとしても、ショート不良が発生し難い静電気対策部品が得られるという作用効果を有するものである。 According to the second aspect of the present invention, in particular, the width of the first gap is substantially equal to the width of the second gap. According to this configuration, the width of the first gap and the second gap Since the gap widths are substantially equal, the probability that the first gap will be short and the probability that the second gap will be short are almost equal. Either one of the gaps is almost equal to the square of the probability of short-circuiting, and this has the effect of obtaining an anti-static component that is unlikely to cause short-circuit failure even when a high-voltage electrostatic pulse is repeatedly applied. Is.

本発明の請求項３に記載の発明は、セラミック基板と、このセラミック基板の上面の一端部に形成された第１の引出電極と、前記セラミック基板の上面の他端部に形成された第２の引出電極と、前記第１の引出電極と第２の引出電極との間に位置して設けられた所定の幅ｘ（μｍ）を有するギャップと、このギャップを少なくとも覆う過電圧保護材料層とを備え、前記第１の引出電極と第２の引出電極との間に位置して前記セラミック基板の上に複数個の中間電極を形成することにより、前記第１、第２の引出電極とそれぞれ隣り合う中間電極との間および前記複数個の中間電極において隣り合う中間電極同士の間にそれぞれギャップを形成し、かつ前記それぞれのギャップの幅はそれらの総和の幅が前記ギャップの所定の幅ｘ（μｍ）とほぼ同じになるように構成し、さらに前記複数個の中間電極の幅は、前記それぞれのギャップの幅より大きくなるように構成するとともに、前記過電圧保護材料層は、少なくとも前記それぞれのギャップおよび複数個の中間電極を覆うように構成したもので、この構成によれば、第１の引出電極と第２の引出電極との間に位置してセラミック基板の上に複数個の中間電極を形成することにより、前記第１、第２の引出電極とそれぞれ隣り合う中間電極との間および前記複数個の中間電極において隣り合う中間電極同士の間にそれぞれギャップを形成しているため、静電気対策部品に高電圧の静電気パルスが繰り返し印加された場合においても、引出電極や中間電極を構成する金属が微量に溶解して前記それぞれのギャップが同時にショートするということは極めて少なく、この場合は全部のギャップのうち、少なくとも１個のギャップはショートしていないため、このショートしていないギャップで絶縁性能を維持することができ、これにより、高電圧の静電気パルスが繰り返し印加されたとしても、ギャップはショートし難くショート不良が発生し難くなるものである。また、前記それぞれのギャップの幅はそれらの総和の幅が前記ギャップの所定の幅ｘ（μｍ）とほぼ同じになるように構成しているため、ギャップを複数本有することにより、みかけ上のギャップの幅が広がることになり、これにより、静電気対策部品を動作させるためのピーク電圧も抑えることができるため、低いピーク電圧で動作する静電気対策部品が得られるものである。そしてまた、前記複数個の中間電極の幅は、前記それぞれのギャップの幅より大きくなるように構成するとともに、前記過電圧保護材料層は、少なくとも前記それぞれのギャップおよび複数個の中間電極を覆うように構成しているため、高電圧の静電気パルスが静電気対策部品に印加された場合においても、その時の放電によって複数の中間電極が消失してすべてのギャップがつながってしまうということはなく、所定のピーク電圧で確実に動作する静電気対策部品が得られるという作用効果を有するものである。 According to a third aspect of the present invention, there is provided a ceramic substrate, a first extraction electrode formed at one end portion of the upper surface of the ceramic substrate, and a second electrode formed at the other end portion of the upper surface of the ceramic substrate. An extraction electrode, a gap having a predetermined width x (μm) provided between the first extraction electrode and the second extraction electrode, and an overvoltage protection material layer covering at least the gap And forming a plurality of intermediate electrodes on the ceramic substrate between the first extraction electrode and the second extraction electrode, thereby adjacent to the first extraction electrode and the second extraction electrode, respectively. Gaps are formed between adjacent intermediate electrodes and between adjacent intermediate electrodes in the plurality of intermediate electrodes, and the width of each of the gaps is such that the total width of the gaps is a predetermined width x ( μm) and almost Further, the width of the plurality of intermediate electrodes is configured to be larger than the width of each gap, and the overvoltage protection material layer includes at least each of the gap and the plurality of gaps. According to this configuration, a plurality of intermediate electrodes are formed on the ceramic substrate between the first extraction electrode and the second extraction electrode. Since a gap is formed between each of the first and second extraction electrodes and the adjacent intermediate electrode and between the adjacent intermediate electrodes in the plurality of intermediate electrodes, a high voltage is applied to the anti-static component. Even when the electrostatic pulse is repeatedly applied, the metal constituting the extraction electrode and the intermediate electrode dissolves in a very small amount, and the respective gaps are short-circuited at the same time. In this case, since at least one of all the gaps is not short-circuited, the insulation performance can be maintained by this non-short-circuited gap. Even if the pulse is repeatedly applied, the gap is not easily short-circuited and short-circuit failure is unlikely to occur. In addition, the width of each gap is configured so that the total width thereof is substantially the same as the predetermined width x (μm) of the gap. As a result, the peak voltage for operating the anti-static component can be suppressed, so that an anti-static component that operates at a low peak voltage can be obtained. The width of the plurality of intermediate electrodes is configured to be larger than the width of the gaps, and the overvoltage protection material layer covers at least the gaps and the plurality of intermediate electrodes. Therefore, even when a high-voltage electrostatic pulse is applied to an anti-static component, multiple intermediate electrodes are not lost by the discharge at that time, and all gaps are not connected. This has the effect of obtaining an anti-static component that operates reliably with voltage.

以上のように本発明の静電気対策部品は、第１の引出電極と第２の引出電極との間に位置してセラミック基板の上に１個の中間電極を形成することにより、前記第１の引出電極と中間電極との間に第１のギャップを形成するとともに前記第２の引出電極と中間電極との間に第２のギャップを形成しているため、静電気対策部品に高電圧の静電気パルスが繰り返し印加された場合においても、引出電極や中間電極を構成する金属が微量に溶解して前記第１のギャップと第２のギャップの両方が同時にショートするということは極めて少なく、この場合は、いずれか一方のギャップのみがショートすることになって、いずれか他方のギャップはショートしていないため、このショートしていない他方のギャップで絶縁性能を維持することができ、これにより、高電圧の静電気パルスが繰り返し印加されたとしても、ギャップはショートし難くショート不良が発生し難くなるものである。また、前記第１のギャップの幅と第２のギャップの幅は、それらの総和の幅が前記ギャップの所定の幅ｘ（μｍ）とほぼ同じになるように構成しているため、ギャップを２本有することにより、みかけ上のギャップの幅が広がることになり、これにより、静電気対策部品を動作させるためのピーク電圧も抑えることができるため、低いピーク電圧で動作する静電気対策部品が得られるものである。そしてまた、前記１個の中間電極の幅は、前記第１のギャップの幅および第２のギャップの幅より大きくなるように構成するとともに、前記過電圧保護材料層は、少なくとも前記第１のギャップ、第２のギャップおよび１個の中間電極を覆うように構成しているため、高電圧の静電気パルスが静電気対策部品に印加された場合においても、その時の放電によって中間電極が消失して第１のギャップと第２のギャップがつながってしまうということはなく、所定のピーク電圧で確実に動作する静電気対策部品が得られるという優れた効果を奏するものである。 As described above, the anti-static component of the present invention is formed by forming one intermediate electrode on the ceramic substrate between the first extraction electrode and the second extraction electrode, thereby forming the first Since the first gap is formed between the extraction electrode and the intermediate electrode and the second gap is formed between the second extraction electrode and the intermediate electrode, a high-voltage electrostatic pulse is added to the anti-static component. Is repeatedly applied, it is extremely rare that the metal constituting the extraction electrode or the intermediate electrode dissolves in a very small amount and both the first gap and the second gap are short-circuited at the same time. Only one of the gaps will be short-circuited, and since the other gap is not short-circuited, the insulation performance can be maintained with the other non-short-circuited gap, Les Accordingly, even electrostatic high voltage pulse is repeatedly applied, the gap is intended to short-circuit hardly short failure hardly occurs. Further, the width of the first gap and the width of the second gap are configured such that the total width thereof is substantially the same as the predetermined width x (μm) of the gap. By having this, the width of the apparent gap will be widened, so that the peak voltage for operating the anti-static component can also be suppressed, so that an anti-static component that operates at a low peak voltage can be obtained It is. Further, the width of the one intermediate electrode is configured to be larger than the width of the first gap and the width of the second gap, and the overvoltage protection material layer includes at least the first gap, Since it is configured to cover the second gap and one intermediate electrode, even when a high-voltage electrostatic pulse is applied to the anti-static component, the intermediate electrode disappears due to the discharge at that time, and the first There is no connection between the gap and the second gap, and an excellent effect is obtained in that an anti-static component that operates reliably at a predetermined peak voltage can be obtained.

以下、本発明の一実施の形態における静電気対策部品について、図面を参照しながら説明する。 Hereinafter, an anti-static component according to an embodiment of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１（ａ）〜（ｅ）は本発明の一実施の形態における静電気対策部品の製造方法を示す断面図、図２（ａ）〜（ｅ）は同静電気対策部品の製造方法を示す上面図である。 FIGS. 1A to 1E are cross-sectional views showing a method for manufacturing an antistatic component in one embodiment of the present invention, and FIGS. 2A to 2E are top views showing a method for manufacturing the antistatic component. It is.

まず、図１（ａ）および図２（ａ）に示すように、アルミナ等の誘電率が５０以下、好ましくは１０以下の低誘電率材料を９００〜１３００℃で焼成することにより得られるセラミック基板１１の上面に、金を主成分とする導電性材料を配置することにより導体１２を形成する。この導体１２の形成に用いる金を主成分とする材料には金系の有機物ペースト（レジネートペースト）を用いて印刷・焼成することによって引出電極を形成することが、他の金系材料、例えば金系スパッタ等を選択するよりも生産性やコストの面から好ましいものである。導体１２の焼成後の厚みは０．２〜２．０μｍと薄く形成されるものである。図２（ａ）には、静電気対策部品の個片サイズである長辺がＬ（ｍｍ）で短辺がＷ（ｍｍ）の矩形状のセラミック基板１１が示されており、以下の製造工程の説明でもこの個片サイズのセラミック基板１１を用いて説明しているが、実際の製造工程では、このセラミック基板１１を多数個縦横に得ることができるシート状のセラミック基板を用いて、後述する端子電極の形成工程前にシート状のセラミック基板を短冊状または個片状に分割しているものである。なお、ここで導体１２はセラミック基板１１の長辺側に余白を残して印刷しているが、セラミック基板１１の短辺側に余白を残して印刷してもよいものである。 First, as shown in FIG. 1 (a) and FIG. 2 (a), a ceramic substrate obtained by firing a low dielectric constant material such as alumina at a temperature of 900 to 1300 ° C. of 50 or less, preferably 10 or less. The conductor 12 is formed by disposing a conductive material whose main component is gold on the upper surface of 11. It is possible to form a lead electrode by printing and baking using a gold-based organic paste (resinate paste) as a material mainly composed of gold used for forming the conductor 12, and other gold-based materials such as gold This is more preferable in terms of productivity and cost than selecting system sputtering. The thickness of the conductor 12 after firing is as thin as 0.2 to 2.0 μm. FIG. 2A shows a rectangular ceramic substrate 11 having a long side of L (mm) and a short side of W (mm), which is an individual size of an anti-static component. In the description, this individual-sized ceramic substrate 11 is also used for explanation. However, in an actual manufacturing process, a sheet-like ceramic substrate from which a large number of ceramic substrates 11 can be obtained vertically and horizontally is used. The sheet-like ceramic substrate is divided into strips or individual pieces before the electrode forming step. Here, the conductor 12 is printed leaving a blank on the long side of the ceramic substrate 11, but may be printed leaving a blank on the short side of the ceramic substrate 11.

次に、図１（ｂ）および図２（ｂ）に示すように、導体１２の略中央部の２箇所をＵＶレーザーを用いて切断することにより、第１のギャップ１３および第２のギャップ１４を形成して、セラミック基板１１の上面に第１の引出電極１５、第２の引出電極１６および１個の中間電極１７を形成する。ここで、第１のギャップ１３の幅と第２のギャップ１４の幅は、それらの総和の幅が、図４（ｂ）に示される従来の静電気対策部品のギャップ３の所定の幅ｘ（μｍ）とほぼ同じになるように、すなわち、第１のギャップ１３の幅と第２のギャップ１４の幅をほぼ等しくして、それぞれｘ／２（μｍ）としているものである。なぜならば、ギャップ３が所定の幅ｘ（μｍ）を有している場合は、静電気対策部品は所望のピーク電圧で動作するが、ギャップ３の幅が所定の幅より大きくなると、この静電気対策部品を動作させるためには、高いピーク電圧が必要となり、その結果、低いピーク電圧で動作する静電気対策部品を得ることができなくなるものである。しかるに、本発明の一実施の形態のように導体１２の略中央部に２本のギャップ１３、１４を形成すれば、みかけ上のギャップの幅が所定の幅よりも広がることになり、これにより、静電気対策部品を動作させるためのピーク電圧も抑えることができるため、低いピーク電圧で動作する静電気対策部品が得られるものである。 Next, as shown in FIGS. 1B and 2B, the first gap 13 and the second gap 14 are cut by cutting two portions of the substantially central portion of the conductor 12 using a UV laser. Then, the first extraction electrode 15, the second extraction electrode 16 and one intermediate electrode 17 are formed on the upper surface of the ceramic substrate 11. Here, the total width of the width of the first gap 13 and the width of the second gap 14 is a predetermined width x (μm) of the gap 3 of the conventional antistatic component shown in FIG. ), That is, the width of the first gap 13 and the width of the second gap 14 are approximately equal to x / 2 (μm), respectively. This is because when the gap 3 has a predetermined width x (μm), the antistatic component operates at a desired peak voltage, but when the gap 3 becomes larger than the predetermined width, the antistatic component In order to operate, a high peak voltage is required, and as a result, it is impossible to obtain an anti-static component that operates at a low peak voltage. However, if the two gaps 13 and 14 are formed in the substantially central portion of the conductor 12 as in the embodiment of the present invention, the apparent gap width becomes wider than a predetermined width. Since the peak voltage for operating the anti-static component can also be suppressed, an anti-static component that operates at a low peak voltage can be obtained.

また、前記導体１２は金系の有機物ペーストを印刷・焼成することによって形成されているため、その厚みは０．２〜２．０μｍと薄く、したがって、比較的低い出力のＵＶレーザーを用いて第１のギャップ１３および第２のギャップ１４を確実に精度良く形成することが可能となるものである。そしてまた、前記中間電極１７の幅は、第１のギャップ１３の幅および第２のギャップ１４の幅より大きくなるように構成しているものである。なぜならば、中間電極１７の幅が第１のギャップ１３の幅および第２のギャップ１４の幅よりも小さい場合には、高電圧の静電気パルスが印加された場合、その放電によって中間電極１７が消失して第１のギャップ１３と第２のギャップ１４がつながってしまい、静電気対策部品としての機能を果たさなくなるからである。 Further, since the conductor 12 is formed by printing and baking a gold-based organic paste, its thickness is as thin as 0.2 to 2.0 μm. The first gap 13 and the second gap 14 can be reliably formed with high accuracy. In addition, the width of the intermediate electrode 17 is configured to be larger than the width of the first gap 13 and the width of the second gap 14. This is because when the width of the intermediate electrode 17 is smaller than the width of the first gap 13 and the width of the second gap 14, the intermediate electrode 17 disappears due to the discharge when a high-voltage electrostatic pulse is applied. This is because the first gap 13 and the second gap 14 are connected to each other, and the function as a static electricity countermeasure component cannot be performed.

なお、前記第１のギャップ１３および第２のギャップ１４の形成方法はＵＶレーザーを用いて導体１２を切断する方法に限定されるものではなく、フォトリソプロセスによって導体１２をエッチングすることにより形成してもよいものである。また、前記第１のギャップ１３および第２のギャップ１４はセラミック基板１１の短辺とほぼ平行に形成しているが、セラミック基板１１の長辺とほぼ平行に形成してもよいものである。この場合は、導体１２を形成する際に、セラミック基板１２の短辺側に余白を残して印刷しておくのが好ましい。 The method of forming the first gap 13 and the second gap 14 is not limited to the method of cutting the conductor 12 using a UV laser, but is formed by etching the conductor 12 by a photolithography process. Is also good. The first gap 13 and the second gap 14 are formed substantially parallel to the short side of the ceramic substrate 11, but may be formed substantially parallel to the long side of the ceramic substrate 11. In this case, when the conductor 12 is formed, it is preferable to print with leaving a blank on the short side of the ceramic substrate 12.

次に、平均粒径が０．３〜１０μｍで球状のＮｉ、Ａｌ、Ａｇ、Ｐｄ、Ｃｕ等のいずれかからなる金属粉とメチルシリコーン等のシリコーン系樹脂の混合物に適当な有機溶剤を加え、これらを３本ロールミルにより混練・分散させることによって、過電圧保護材料ペーストを作製した。そしてこの過電圧保護材料ペーストを、図１（ｃ）および図２（ｃ）に示すように、スクリーン印刷法を用いて印刷し、かつ１５０℃で５〜１５分間乾燥させることにより過電圧保護材料層１８を形成した。この場合、過電圧保護材料層１８は、図１（ｃ）および図２（ｃ）に示すように、少なくとも第１のギャップ１３、第２のギャップ１４および１個の中間電極１７を覆い、かつ第１の引出電極１５および第２の引出電極１６の一部を覆うようにパターン形成されるものである。また、この過電圧保護材料層１８の乾燥後の厚みは、要求される静電気耐量のレベルに応じて５μｍ以上５０μｍ以下の範囲に設定するのが、高電圧の静電気パルスに対する信頼性と製品の小型化形状を両立させる点で好ましいものである。 Next, an appropriate organic solvent is added to a mixture of a metal powder composed of any one of Ni, Al, Ag, Pd, Cu, and the like having a mean particle size of 0.3 to 10 μm and a silicone resin such as methyl silicone, These were kneaded and dispersed by a three-roll mill to prepare an overvoltage protection material paste. Then, as shown in FIGS. 1C and 2C, this overvoltage protection material paste is printed using a screen printing method and dried at 150 ° C. for 5 to 15 minutes, thereby overvoltage protection material layer 18. Formed. In this case, as shown in FIGS. 1C and 2C, the overvoltage protection material layer 18 covers at least the first gap 13, the second gap 14, and one intermediate electrode 17, and A pattern is formed so as to cover a part of the first extraction electrode 15 and the second extraction electrode 16. In addition, the thickness of the overvoltage protection material layer 18 after drying is set in the range of 5 μm or more and 50 μm or less depending on the required level of static electricity resistance. This is preferable in terms of achieving both shapes.

次に、図１（ｄ）および図２（ｄ）に示すように、過電圧保護材料層１８を完全に覆うように、かつセラミック基板１１の両端に第１の引出電極１５および第２の引出電極１６の端部が残った状態となるように保護膜１９を形成した。この保護膜１９はエポキシ樹脂、フェノール樹脂等からなる保護樹脂ペーストをスクリーン印刷法を用いて印刷し、かつ１５０℃で５〜１５分間乾燥させ、その後、１５０〜２００℃で１５〜６０分間硬化させることにより形成するものである。ここで、この保護膜１９における過電圧保護材料層１８上に位置する部分の硬化後の厚みは、高電圧の静電気パルスに対する信頼性と製品の小型化形状を両立させるために、１０μｍ以上４０μｍ以下としているものである。なお、この保護膜１９は、製品の上面形状を平滑化するために２回以上の工程に分けて形成してもよいものである。 Next, as shown in FIGS. 1D and 2D, the first extraction electrode 15 and the second extraction electrode are provided at both ends of the ceramic substrate 11 so as to completely cover the overvoltage protection material layer 18. The protective film 19 was formed so that 16 ends remained. The protective film 19 is formed by printing a protective resin paste made of epoxy resin, phenol resin, or the like using a screen printing method, and drying at 150 ° C. for 5 to 15 minutes, and thereafter curing at 150 to 200 ° C. for 15 to 60 minutes. It is formed by. Here, the thickness after curing of the portion of the protective film 19 located on the overvoltage protection material layer 18 is set to 10 μm or more and 40 μm or less in order to achieve both high reliability of high-voltage electrostatic pulses and a compact size of the product. It is what. The protective film 19 may be formed in two or more steps in order to smooth the upper surface shape of the product.

上記保護膜１９を形成した後は、シート状のセラミック基板を短冊状に分割し、そして、この短冊状のセラミック基板の上面および裏面からスパッタを施すことによって、図１（ｅ）および図２（ｅ）に示すように、第１の引出電極１５および第２の引出電極１６の端部と電気的に接続されるようにセラミック基板１１の両端部に端子電極２０を形成した。そして、その後、短冊状のセラミック基板を個片状に分割してから、バレルめっき法によって端子電極２０の表面にニッケルめっき（図示せず）および錫めっき（図示せず）を形成して、本発明の一実施の形態における静電気対策部品を得た。 After the protective film 19 is formed, the sheet-shaped ceramic substrate is divided into strips, and sputtering is performed from the top and back surfaces of the strip-shaped ceramic substrate, thereby FIG. 1 (e) and FIG. As shown in e), terminal electrodes 20 were formed on both ends of the ceramic substrate 11 so as to be electrically connected to the ends of the first extraction electrode 15 and the second extraction electrode 16. Then, after the strip-shaped ceramic substrate is divided into individual pieces, nickel plating (not shown) and tin plating (not shown) are formed on the surface of the terminal electrode 20 by barrel plating. An antistatic component in one embodiment of the invention was obtained.

上記製造方法によって製造された本発明の一実施の形態における静電気対策部品は、通常使用時（定格電圧下）においては、第１の引出電極１５と第２の引出電極１６の間に位置する第１のギャップ１３および第２のギャップ１４に存在する過電圧保護材料層１８のシリコーン系樹脂が絶縁性を有するため、電気的にオープンになる。しかしながら、静電気パルス等の高電圧が印加された場合には、過電圧保護材料層１８中のシリコーン系樹脂を介して存在する金属粒子間で放電電流が生じてインピーダンスが著しく減少するため、本発明の一実施の形態における静電気対策部品はその現象を利用して静電気パルス、サージ等の異常電圧をグランドにバイパスさせるものである。 The anti-static component in one embodiment of the present invention manufactured by the above-described manufacturing method is provided between the first extraction electrode 15 and the second extraction electrode 16 during normal use (under rated voltage). Since the silicone resin of the overvoltage protection material layer 18 existing in the first gap 13 and the second gap 14 has an insulating property, it is electrically opened. However, when a high voltage such as an electrostatic pulse is applied, a discharge current is generated between the metal particles existing through the silicone resin in the overvoltage protection material layer 18 and the impedance is remarkably reduced. The antistatic component in one embodiment uses this phenomenon to bypass an abnormal voltage such as an electrostatic pulse or a surge to the ground.

ここで、ギャップ本数が１本からなる従来の静電気対策部品と本発明の一実施の形態における静電気対策部品において、静電気印加試験を実施した場合のショート不良発生率とピーク電圧を比較した。ショート不良発生率を測定する印加電圧は８ｋＶ、１５ｋＶ、２０ｋＶの３水準とし、放電容量は１５０ｐＦ、放電抵抗は３３０Ω、気中放電で印加回数は１０回とし、各測定条件においてサンプル数３０個中ショート不良が発生したサンプル数を記録した。また、静電気対策部品が動作するピーク電圧の測定条件は、印加電圧８ｋＶ、放電容量１５０ｐＦ、放電抵抗３３０Ω、接触放電で印加回数１回とした。 Here, in the conventional static electricity countermeasure component having one gap and the static electricity countermeasure component in one embodiment of the present invention, the short-circuit defect occurrence rate and the peak voltage when the static electricity application test was performed were compared. The applied voltage for measuring the occurrence rate of short circuit is 3 levels of 8 kV, 15 kV, and 20 kV, the discharge capacity is 150 pF, the discharge resistance is 330 Ω, the number of times of application is 10 times by air discharge, and 30 samples in each measurement condition. The number of samples in which the short defect occurred was recorded. The measurement conditions of the peak voltage at which the anti-static component operates are as follows: the applied voltage is 8 kV, the discharge capacity is 150 pF, the discharge resistance is 330Ω, and the contact discharge is performed once.

この（表１）から明らかなように、ギャップ本数が１本からなる従来の静電気対策部品においては、１５ｋＶ以上の高電圧の静電気パルスが印加された場合、３０個中３個以上のショート不良が発生していたが、本発明の一実施の形態における静電気対策部品においては、１５ｋＶ以上の静電気パルスが印加された場合でも、ショート不良は発生し難いものである。これは、第１の引出電極１５と第２の引出電極１６との間に１個の中間電極１７を形成して、前記第１の引出電極１５と中間電極１７との間に第１のギャップ１３を形成するとともに前記第２の引出電極１６と中間電極１７との間に第２のギャップ１４を形成しているため、静電気対策部品に高電圧の静電気パルスが繰り返し印加された場合においても、第１の引出電極１５、第２の引出電極１６や中間電極１７を構成する金属が微量に溶解して前記第１のギャップ１３と第２のギャップ１４の両方が同時にショートするということは極めて少なく、この場合は、いずれか一方のギャップのみがショートすることになって、いずれか他方のギャップはショートしていないため、このショートしていない他方のギャップで絶縁性能を維持することができ、これにより、高電圧の静電気パルスが繰り返し印加されたとしても、ギャップはショートし難くショート不良が発生し難くなるからであると考えられる。 As is clear from this (Table 1), in the conventional anti-static component having one gap, when a high-voltage electrostatic pulse of 15 kV or more is applied, 3 or more of 30 short-circuit failures occur. However, in the anti-static component according to the embodiment of the present invention, even when an electrostatic pulse of 15 kV or more is applied, a short circuit failure is unlikely to occur. This is because one intermediate electrode 17 is formed between the first extraction electrode 15 and the second extraction electrode 16, and a first gap is formed between the first extraction electrode 15 and the intermediate electrode 17. 13 and the second gap 14 is formed between the second extraction electrode 16 and the intermediate electrode 17, even when a high-voltage electrostatic pulse is repeatedly applied to the anti-static component, It is extremely rare that the metal constituting the first extraction electrode 15, the second extraction electrode 16, and the intermediate electrode 17 is dissolved in a trace amount and both the first gap 13 and the second gap 14 are simultaneously short-circuited. In this case, only one of the gaps is short-circuited, and the other gap is not short-circuited. Therefore, the insulation performance is maintained in the other short-circuited gap. It can be, thereby, even if the electrostatic high voltage pulse is repeatedly applied, the gap is believed to be because the short hardly short failure hardly occurs.

ここでは、前記中間電極１７の幅を１０〜３０μｍにして、第１のギャップ１３の幅（５μｍ）および第２のギャップ１４の幅（５μｍ）より大きくなるように構成するとともに、前記過電圧保護材料層１８は、少なくとも第１のギャップ１３、第２のギャップ１４および１個の中間電極１７を覆うように構成しているため、高電圧の静電気パルスが静電気対策部品に印加された場合においても、その時の放電によって中間電極１７が消失して第１のギャップ１３と第２のギャップ１４がつながってしまうということはなく、所定のピーク電圧で確実に動作する静電気対策部品が得られるものである。ただ、中間電極１７の幅を大きくすると、２０ｋＶ以上の高電圧でのショート不良率が悪化するものである。これは、高電圧の静電気パルスが印加されると、静電気対策部品における第１の引出電極１５、第２の引出電極１６、中間電極１７に急激な電子の流れが発生し、この電子の流れによって第１の引出電極１５、第２の引出電極１６、中間電極１７から微量の金属が溶解するものであるが、中間電極１７の幅が大きい場合には中間電極１７に含まれる金属の量も多くなり、同じ電圧の静電気パルスが印加された場合でも溶解する金属の量が多くなって、ギャップがショートする可能性も高くなるものと考えられる。したがって、中間電極１７の幅は第１のギャップ１３の幅および第２のギャップ１４の幅より大きくなるように構成する必要はあるものの、第１のギャップ１３の幅および第２のギャップ１４の幅の２倍以内に抑えるのが好ましいものである。 Here, the width of the intermediate electrode 17 is set to 10 to 30 μm so as to be larger than the width of the first gap 13 (5 μm) and the width of the second gap 14 (5 μm), and the overvoltage protection material Since the layer 18 is configured to cover at least the first gap 13, the second gap 14, and one intermediate electrode 17, even when a high-voltage electrostatic pulse is applied to the anti-static component, The intermediate electrode 17 is not lost due to the discharge at that time, and the first gap 13 and the second gap 14 are not connected, and an anti-static component that operates reliably at a predetermined peak voltage can be obtained. However, when the width of the intermediate electrode 17 is increased, the short-circuit defect rate at a high voltage of 20 kV or more deteriorates. This is because when a high-voltage electrostatic pulse is applied, an abrupt electron flow occurs in the first extraction electrode 15, the second extraction electrode 16 and the intermediate electrode 17 in the anti-static component. A trace amount of metal dissolves from the first extraction electrode 15, the second extraction electrode 16, and the intermediate electrode 17, but when the width of the intermediate electrode 17 is large, the amount of metal contained in the intermediate electrode 17 is large. Thus, even when an electrostatic pulse of the same voltage is applied, the amount of metal to be dissolved increases, and the possibility that the gap is short-circuited increases. Therefore, the width of the first gap 13 and the width of the second gap 14 need to be configured so that the width of the intermediate electrode 17 is larger than the width of the first gap 13 and the width of the second gap 14. It is preferable to keep it within twice.

また、前記第１のギャップ１３の幅と第２のギャップ１４の幅は、それらの総和の幅が従来の静電気対策部品におけるギャップの所定の幅とほぼ同じになるように構成しているもので、このような構成にすれば、ギャップを２本有することにより、みかけ上のギャップの幅が広がることになり、これにより、静電気対策部品を動作させるためのピーク電圧も抑えることができるため、低いピーク電圧で動作する静電気対策部品が得られるものである。そしてまた、前記第１のギャップ１３の幅と第２のギャップ１４の幅をほぼ等しくすることにより、ギャップがショートする確率も第１のギャップ１３と第２のギャップ１４でほぼ等しくなるため、両方のギャップがショートして静電気対策部品がショート不良になる確率は、いずれか一方のギャップがショートする確率の２乗にほぼ等しくなり、その結果、ショート不良が発生し難い静電気対策部品が得られるものである。 Further, the width of the first gap 13 and the width of the second gap 14 are configured such that the total width thereof is substantially the same as the predetermined width of the gap in the conventional antistatic component. In such a configuration, by having two gaps, the width of the apparent gap is widened, so that the peak voltage for operating the anti-static component can also be suppressed, so that it is low. It is possible to obtain an anti-static component that operates at a peak voltage. In addition, by making the width of the first gap 13 and the width of the second gap 14 substantially equal, the probability that the gap is short-circuited is also substantially the same in the first gap 13 and the second gap 14. The probability that an ESD countermeasure component is short-circuited due to a short gap is almost equal to the square of the probability that either one of the gaps is short-circuited. It is.

ここで、ギャップの所定の幅とは、ギャップを１本有する従来の静電気対策部品の構成において所望のピーク電圧で静電気対策部品が動作するギャップの幅を意味しており、（表１）においては１０μｍである。（表１）の参考例に示すように、従来の静電気対策部品のギャップの所定の幅１０μｍと同じ幅のギャップを２本設けた場合には、ショート不良の抑制効果の点では優れているものの、みかけ上のギャップの幅が２０μｍに広がってしまうため、静電気対策部品の動作するピーク電圧は５９０Ｖと高くなり、その結果、十分な静電気保護効果が得られないものである。この傾向は、従来の静電気対策部品の構成において、ギャップの幅を所定の幅よりも大きくした場合（ギャップの幅が２０μｍのデータ参照）と同じ傾向である。 Here, the predetermined width of the gap means the width of the gap in which the antistatic component operates at a desired peak voltage in the configuration of the conventional antistatic component having one gap. 10 μm. As shown in the reference example of (Table 1), when two gaps having the same width as the predetermined width of 10 μm of the gap of the conventional anti-static component are provided, the effect of suppressing short-circuit defects is excellent. Since the apparent gap width increases to 20 μm, the peak voltage at which the anti-static component operates is as high as 590 V, and as a result, a sufficient electrostatic protection effect cannot be obtained. This tendency is the same as that in the case where the gap width is made larger than a predetermined width in the configuration of the conventional anti-static component (refer to data with a gap width of 20 μm).

なお、上記本発明の一実施の形態においては、中間電極１７を１個形成してギャップを２本形成する場合について説明したが、中間電極１７を２個以上の複数個形成してもよく、この場合は、第１の引出電極１５と第２の引出電極１６との間に位置してセラミック基板１１の上に複数個の中間電極を形成して前記第１、第２の引出電極１５、１６とそれぞれ隣り合う中間電極との間および前記複数個の中間電極において隣り合う中間電極同士の間にそれぞれギャップを形成し、かつ前記それぞれのギャップの幅はそれらの総和の幅が前記ギャップの所定の幅ｘ（μｍ）とほぼ同じになるように構成し、さらに前記複数個の中間電極の幅は、前記それぞれのギャップの幅より大きくなるように構成するとともに、前記過電圧保護材料層１８は、少なくとも前記それぞれのギャップおよび複数個の中間電極を覆うように構成するものである。例えば図３に示すように、第１のギャップ２１、第２のギャップ２２、第３のギャップ２３、第１の中間電極２４、第２の中間電極２５を有する構成とし、そして第１のギャップ２１から第３のギャップ２３までのそれぞれのギャップ幅を、それらの総和の幅が所定の幅ｘ（μｍ）とほぼ同じになるように構成し、さらに第１の中間電極２４および第２の中間電極２５の幅を、前記それぞれのギャップ幅よりも大きくなるように構成するもので、この構成においても、上記した本発明の一実施の形態における静電気対策部品と同様の効果が得られるものである。 In the embodiment of the present invention, the case where one intermediate electrode 17 is formed and two gaps are formed has been described. However, two or more intermediate electrodes 17 may be formed. In this case, a plurality of intermediate electrodes are formed on the ceramic substrate 11 between the first extraction electrode 15 and the second extraction electrode 16, and the first and second extraction electrodes 15, 16 and the adjacent intermediate electrodes, and between the adjacent intermediate electrodes in the plurality of intermediate electrodes, and the width of each of the gaps is the sum of the widths of the gaps. And the width of each of the plurality of intermediate electrodes is configured to be larger than the width of each of the gaps, and the overvoltage protection material layer 18 includes: And it constitutes so as to cover the respective gaps and a plurality of intermediate electrodes the even without. For example, as shown in FIG. 3, the first gap 21, the second gap 22, the third gap 23, the first intermediate electrode 24, and the second intermediate electrode 25 are provided, and the first gap 21 is provided. To the third gap 23, the total width of the gaps is substantially the same as a predetermined width x (μm), and the first intermediate electrode 24 and the second intermediate electrode The width of 25 is configured to be larger than the respective gap widths, and in this configuration as well, the same effect as the anti-static component in the above-described embodiment of the present invention can be obtained.

本発明に係る静電気対策部品は、第１の引出電極と第２の引出電極に中間電極を設けることにより、ギャップを複数本形成したもので、この構成により、ショート不良が発生し難く、かつピーク電圧も低いピーク電圧で動作する静電気対策部品が得られるという効果を有するものであり、特に電子機器を静電気から保護する静電気対策部品に適用することにより有用となるものである。 The anti-static component according to the present invention is such that a plurality of gaps are formed by providing an intermediate electrode on the first extraction electrode and the second extraction electrode. This has the effect of obtaining an anti-static component that operates at a low peak voltage, and is particularly useful when applied to an anti-static component that protects electronic equipment from static electricity.

（ａ）〜（ｅ）本発明の一実施の形態における静電気対策部品の製造方法を説明するための断面図(A)-(e) Sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the antistatic component in one embodiment of this invention （ａ）〜（ｅ）同静電気対策部品の製造方法を説明するための上面図(A)-(e) Top view for demonstrating the manufacturing method of the static electricity countermeasure component 本発明の他の実施の形態における静電気対策部品の製造方法を説明するための上面図The top view for demonstrating the manufacturing method of the antistatic component in other embodiment of this invention （ａ）〜（ｃ）従来の静電気対策部品の製造方法を説明するための断面図(A)-(c) Sectional drawing for demonstrating the manufacturing method of the conventional antistatic component

Explanation of symbols

１１セラミック基板
１３第１のギャップ
１４第２のギャップ
１５第１の引出電極
１６第２の引出電極
１７中間電極
１８過電圧保護材料層
２１第１のギャップ
２２第２のギャップ
２３第３のギャップ
２４第１の中間電極
２５第２の中間電極 DESCRIPTION OF SYMBOLS 11 Ceramic substrate 13 1st gap 14 2nd gap 15 1st extraction electrode 16 2nd extraction electrode 17 Intermediate electrode 18 Overvoltage protection material layer 21 1st gap 22 2nd gap 23 3rd gap 24 2nd 1 intermediate electrode 25 second intermediate electrode

Claims

A ceramic substrate; a first extraction electrode formed at one end of the upper surface of the ceramic substrate; a second extraction electrode formed at the other end of the upper surface of the ceramic substrate; and the first extraction electrode; A gap having a predetermined width x (μm) provided between the second lead electrode and an overvoltage protection material layer covering at least the gap; and the first lead electrode and the second lead electrode A first gap is formed between the first extraction electrode and the intermediate electrode by forming one intermediate electrode on the ceramic substrate between the extraction electrode and the second extraction electrode. A second gap is formed between the extraction electrode and the intermediate electrode, and the width of the first gap and the width of the second gap are such that the total width is a predetermined width x (μm) of the gap. ) To be almost the same as The width of the one intermediate electrode is configured to be larger than the width of the first gap and the width of the second gap, and the overvoltage protection material layer includes at least the first gap and the second gap. An anti-static component configured to cover the gap and one intermediate electrode.

The antistatic component according to claim 1, wherein the width of the first gap is substantially equal to the width of the second gap.

A ceramic substrate; a first extraction electrode formed at one end of the upper surface of the ceramic substrate; a second extraction electrode formed at the other end of the upper surface of the ceramic substrate; and the first extraction electrode; A gap having a predetermined width x (μm) provided between the second lead electrode and an overvoltage protection material layer covering at least the gap; and the first lead electrode and the second lead electrode Forming a plurality of intermediate electrodes on the ceramic substrate between the first and second extraction electrodes and the adjacent intermediate electrodes, and the plurality of intermediates; Gaps are formed between adjacent intermediate electrodes in the electrodes, and the widths of the respective gaps are configured such that the total width thereof is substantially the same as the predetermined width x (μm) of the gaps; Before The plurality of intermediate electrodes are configured such that the width of each of the plurality of intermediate electrodes is greater than the width of each of the gaps, and the overvoltage protection material layer is configured to cover at least each of the gaps and the plurality of intermediate electrodes. Countermeasure parts.