JP2009081164A - 複合切断装置、及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】基板等を効率良く切断できる複合切断装置を提供する。
【解決手段】複合切断装置1は、基板2をアライメントテーブル3に位置決めし基板2のスクライブ線を認識するアライメント手段4と、基板2を曲線状に切断するレーザ加工手段5と、基板2をカッティングテーブル6に位置決めし基板2を直線状に切断するダイシング手段7と、基板2をアライメントテーブル3からカッティングテーブル6に移送する移送手段8とを備える。複合切断装置1によれば、1つの基板2に対して、レーザ加工手段5によるレーザ光の照射、及びダイシング手段7による切断を実行することにより、1つの基板2を複数片に分割できる。
【選択図】図1
【解決手段】複合切断装置1は、基板2をアライメントテーブル3に位置決めし基板2のスクライブ線を認識するアライメント手段4と、基板2を曲線状に切断するレーザ加工手段5と、基板2をカッティングテーブル6に位置決めし基板2を直線状に切断するダイシング手段7と、基板2をアライメントテーブル3からカッティングテーブル6に移送する移送手段8とを備える。複合切断装置1によれば、1つの基板2に対して、レーザ加工手段5によるレーザ光の照射、及びダイシング手段7による切断を実行することにより、1つの基板2を複数片に分割できる。
【選択図】図1
Description
本発明は、基板等を所望の形状に切断する複合切断装置に関する。
例えば、IC等の電子部品が装着された回路基板を樹脂で封止した封止済の基板を切断する場合、この基板のスクライブ線を認識するアライメントを実行した後、ダイヤモンドカッタを備えたダイサーを用いて、基板をそのスクライブ線に沿って切断する。これにより、基板を複数のパッケージ(複数片)に分割することができる。下記の特許文献に、従来例の切断装置が開示されている。
特開2004−335862号公報
図5(a)に示す基板2には、曲線状のスクライブ線C、及び直線状のスクライブ線Sが設定されている。これらのスクライブ線C,Sは、基板2の切り代であり、同図(b)に示すパッケージ15の外形に相当する。基板2を曲線状に切断するにはレーザカッタが適しているが、レーザカッタは、基板2にレーザ光の照射を繰り返さなければ基板2を切断するに至らないので、ダイサーに比べ基板2を切断するのに長い時間を要する。そこで、パッケージ15の全周を切断する時間をできるだけ短縮するには、基板2を曲線状に切断する箇所にレーザカッタのレーザ光を照射し、その他の箇所をダイサーにより切断することが望ましい。
図5(c)に示す基板2は、金属材料13及び非金属材料14から成る部位を有する。金属材料13を切断するにはレーザカッタが適しているが、レーザカッタを用いて基板2を切断するには、上記の理由で比較的長い時間を要する。そこで、パッケージ15の全周を切断する時間をできるだけ短縮するために、基板2の金属材料13を切断するのにレーザカッタを使用し、基板2の非金属材料14の切断はダイサーで行うことが望ましい。
しかしながら、レーザカッタとダイサーが、同時に1つの基板2を切断することは困難であるので、レーザカッタで基板2を切断している間、ダイサーは休止しなければならない。そこで、本発明は、上記の実情に鑑みて成されたものであり、基板等を効率良く切断できる複合切断装置を提供することを目的とする。
本発明に係る複合切断装置は、基板をアライメントテーブルに位置決めするアライメント手段と、前記基板を曲線状に切断するレーザ加工手段と、前記基板をカッティングテーブルに位置決めし前記基板を直線状に切断するダイシング手段と、前記基板を前記アライメントテーブルから前記カッティングテーブルに移送する移送手段とを備え、前記アライメント手段は、前記基板が前記レーザ加工手段により切断される曲線状のスクライブ線、及び前記基板が前記ダイシング手段により切断される直線状のスクライブ線のそれぞれの位置を認識し、前記レーザ加工手段は、前記アライメント手段のアライメントテーブルに位置決めされた基板に、前記曲線状のスクライブ線を目標にしてレーザ光を照射し、
前記ダイシング手段は、前記カッティングテーブルに位置決めされた基板を、前記直線状のスクライブ線に沿って切断することを特徴とする。
本発明に係る複合切断装置は、物性の相違する材料から成る基板をアライメントテーブルに位置決めするアライメント手段と、前記物性の相違する材料のうち一の材料を切断するレーザ加工手段と、前記基板をカッティングテーブルに位置決めし前記物性の相違する材料のうち他の材料を切断するダイシング手段と、前記基板を前記アライメントテーブルから前記カッティングテーブルに移送する移送手段とを備え、前記アライメント手段は、前記基板が切断されるスクライブ線の位置を認識し、前記レーザ加工手段は、前記アライメント手段のアライメントテーブルに位置決めされた基板の一の材料に、前記スクライブ線を目標にしてレーザ光を照射し、前記ダイシング手段は、前記カッティングテーブルに位置決めされた基板の他の材料を、前記スクライブ線に沿って切断することを特徴とする。
更に、本発明に係る複合切断装置は、1つの基板に対して、前記レーザ加工手段によるレーザ光の照射、及び前記ダイシング手段による切断を実行することにより、前記1つの基板を複数片に分割することを特徴とする。
更に、本発明に係る複合切断装置は、前記ダイシング手段が、前記基板に直線状に延びる断面V形の溝を形成するVカットブレードと、前記基板を直線状に切断するストレートブレードとを備えることを特徴とする。
本発明に係る複合切断装置によれば、アライメントテーブルに位置決めされる基板のスクライブ線をアライメント手段によって認識した後、レーザ加工手段がスクライブ線を目標にして基板にレーザ光を照射できる。これにより、ダイシング手段のカッティングテーブルに基板が移送される前に、レーザ加工手段は、曲線状のスクライブ線に沿って基板を切断し、或いは基板を構成する物性の相違する材料のうち一の材料(例えば金属材料)を切断することができる。
続いて、移送手段が基板をカッティングテーブルに移送したところで、基板はカッティングテーブルに位置決めされる。この基板をダイシング手段が切断する間に、新たな基板がアライメントテーブルに供給されると、新たな基板はレーザ加工手段によって上記のように切断される。従って、当該複合切断装置によれば、レーザカッタ及びダイシング装置のそれぞれの動作を休止することなく、多数の基板を効率良く切断することができる。
また、本発明に係る複合切断装置によれば、レーザ加工手段がレーザ光を曲線状のスクライブ線に沿って基板に照射した後、ダイシング手段が直線状のスクライブ線に沿って基板を切断することにより、基板を複数片に分割することができる。或いは、レーザ加工手段がレーザ光をスクライブ線に沿って基板の一の材料に照射した後、ダイシング手段がスクライブ線に沿って基板を構成する物性の相違する材料のうち他の材料(例えば非金属材料)を切断することにより、基板を複数片に分割することができる。
このように、1つの基板に対して、レーザ加工手段によるレーザ光の照射、及びダイシング手段による切断を実行することにより、1つの基板を複数片に分割できるので、当該複合切断装置によれば、1つの基板の切断をレーザ加工手段又はダイシング手段のいずれか一方だけを用いて行う場合に比較して、基板を分割するのに要する時間を短縮することができる。しかも、曲線状のスクライブ線に沿って基板を複雑な形状に仕上げる工程を、レーザ加工手段を用いて容易に実現することができる。
更に、ダイシング手段が、基板に直線状に延びる断面V形の溝を形成するVカットブレードと、基板を直線状に切断するストレートブレードとを備える場合、基板の切断に加えて、基板から分割される複数片を面取り加工することができる。
本発明に係る複合切断装置の実施形態について以下に説明する。また、従来の技術として既に述べた要素には、以下でも同じ呼称及び同じ符号を用いるものとし、それぞれの図示又は説明を省略する。
図1(a)に示すように、複合切断装置1は、基板2をアライメントテーブル3に位置決めし基板2のスクライブ線を認識するアライメント手段4と、基板2を曲線状に切断できるレーザ加工手段5と、基板2をカッティングテーブル6に位置決めし基板2を直線状に切断できるダイシング手段7と、基板2をアライメントテーブル3からカッティングテーブル6に移送する移送手段8とを備える。
アライメントテーブル3は、その上面に吸着力を発生させるバキューム孔が形成され、水平姿勢を保ちながら自転できるθテーブルである。アライメントテーブルの上面にマガジンローダ等から基板2が1枚ずつ供給されると、アライメントテーブル3に基板2の裏面が吸着され、基板2がアライメントテーブル3に位置決めされる。
アライメント手段4は、対物レンズを下方に向けたCCDカメラ等の撮像手段で、アライメントテーブル3に位置決めされた基板2を撮像し、基板2の表面に付されたマークに基づき、基板2のスクライブ線の位置をコンピューターによって認識するものである。ここで、コンピューターとは、アライメントテーブル3、カッティングテーブル6、及びダイシング手段7の以下に述べる動作を制御する制御装置の主体である。
レーザ加工手段5は、レーザヘッド51からレーザ光を下方へ照射できるレーザカッタである。移送手段8は、アライメントテーブル3及びカッティングテーブル6をそれぞれ送りねじ等に従わせてX,Y軸方向に移動させるテーブル移動装置と、基板2をアライメントテーブル3からカッティングテーブル6に移送するトランスファーとを含めた要素である。
カッティングテーブル6は、アライメントテーブル3と同様の機能を果たすθテーブルである。ダイシング手段7は、図2に示すように、相対向する2つのスピンドル9,10を備え、基板2に対して2つのスピンドル9,10を昇降させることのできるダイサーである。スピンドル9にはストレートブレード11が取付けられ、スピンドル10にはVカットブレード12が取付けられている。
以上に述べた複合切断装置1によれば、アライメントテーブル3がレーザヘッド51にその下方から対向する位置にあるとき、アライメントテーブル3がX,Y軸方向に寸動し、アライメントテーブル3に位置決めされた基板2を、レーザヘッド51に対して変位させることができる。これにより、レーザ加工手段5がレーザヘッド51から基板2にレーザ光を照射する位置を相対的に移動することができる。
また、カッティングテーブル6がダイシング手段7のストレートブレード11又はVカットブレード12の下方に位置するとき、カッティングテーブル6がX,Y軸方向に寸動し、カッティングテーブル6に位置決めされた基板2を、ストレートブレード11又はVカットブレード12に対して変位させることができる。これにより、ダイシング手段7が基板2を研削又は切断する位置を相対的に移動することができる。
曲線状のスクライブ線C、及び直線状のスクライブ線Sが設定された基板2を、複合切断装置1により切断する例を述べる。即ち、図1(a)に示すアライメント手段4がアライメントテーブル3に位置決めされた基板2の総てのスクライブ線C,Sを認識した後、アライメントテーブル3は、同図(b)に示すレーザ加工手段5のレーザヘッド51の真下まで移動する。レーザ加工手段5が曲線状のスクライブ線Cを目標にして、基板2にレーザ光を照射する。図3(a)は、スクライブ線Cに相当する部位がレーザ光に貫かれた基板2の断面を表している。符号13,14は、それぞれガラエポ樹脂、及びエポキシ樹脂を指している。
基板2がレーザ光に貫かれた時点で、基板2は一枚の板状の形態を保っている。移送手段8は、基板2をアライメントテーブル3から引上げ、カッティングテーブル6の上面まで移送する。これにより、カッティングテーブル6に基板2の裏面が吸着され、基板2がカッティングテーブル6に位置決めされる。更に、基板2に付されたマークの位置を撮像手段を用いて撮像することにより、直線状のスクライブ線Sをコンピューターが認識できるようにしても良い。
続いて、ダイシング手段7は、図3(b)に示すように、カッティングテーブル6に位置決めされた基板2の適所を、Vカットブレード12で直線状のスクライブ線Sに沿って研削する。更に、ダイシング手段7は、同図(c)に示すように、ストレートブレード11を基板2のスクライブ線Sに切込ませることにより、基板2をスクライブ線Sに沿って切断する。
一方、ダイシング手段7が基板2の研削及び切断を実行する間に、新たな基板2がアライメントテーブル3に供給され、この新たな基板2にレーザ加工手段5がレーザ光を照射する。複合切断装置1は、以上の工程を繰り返すことにより、多数の基板2を効率良く切断し、また基板2を複数片に分割することができる。
物性の相違する2つの材料から構成された基板2を、複合切断装置1により切断する例を述べる。物性の相違する材料のうち一の材料は、他の材料に比べてレーザ加工手段5が容易に切断できるものであり、他の材料は、一の材料に比べてダイシング手段7が容易に切断できるものであれば良い。これら物性の相違する材料が、互いに化学成分を違えた3種類以上の材料であっても良い。
図4(a)に示す基板2は、金属材料13で表面が構成され非金属材料14で裏面が構成されている。非金属材料とは、合成樹脂、又はガラス等を意味する。アライメント手段4が基板2のスクライブ線を認識した後、アライメントテーブル3がレーザヘッド51の真下まで移動する点は、上記の通りである。
レーザ加工手段5が、スクライブ線Sを目標にして基板2の金属材料13にレーザ光を照射することにより、金属材料13をスクライブ線Sに沿って切断する。移送手段8は、基板2をアライメントテーブル3からカッティングテーブル6に移送する。これにより、カッティングテーブル6に基板2が位置決めされる。
続いて、ダイシング手段7は、図4(b)に示すように、基板2の非金属材料14をストレートブレード11でスクライブ線Sに沿って切断する。一方、ダイシング手段7が基板2を切断する間に、新たな基板2がアライメントテーブル3に供給され、この新たな基板2の金属材料13をレーザ加工手段5が切断する。複合切断装置1は、以上の工程を繰り返すことにより、多数の基板2を効率良く切断し、また個々の基板2を例えばパッケージ15に分割することができる。
尚、本発明は、その趣旨を逸脱しない範囲で当業者の知識に基づいて種々なる改良、修正、又は変形を加えた態様で実施できる。例えば、基板2の材料として、金属材料13に代えてセラミックを適用しても良い。この場合、レーザ加工手段5がセラミックにレーザ光を照射し、ダイシング手段7がセラミック以外の非金属材料14を切断する。
本発明に係る複合切断装置は、回路基板、又は半導体の製造に有益な技術である。
1:複合切断装置
2:基板
3:アライメントテーブル
4:アライメント手段
5:レーザ加工手段
6:カッティングテーブル
7:ダイシング手段
8:移送手段
9,10:スピンドル
11:ストレートブレード
12:Vカットブレード
13:金属材料
14:非金属材料
15:パッケージ
C,S:スクライブ線
2:基板
3:アライメントテーブル
4:アライメント手段
5:レーザ加工手段
6:カッティングテーブル
7:ダイシング手段
8:移送手段
9,10:スピンドル
11:ストレートブレード
12:Vカットブレード
13:金属材料
14:非金属材料
15:パッケージ
C,S:スクライブ線
Claims (4)
- 基板をアライメントテーブルに位置決めするアライメント手段と、前記基板を曲線状に切断するレーザ加工手段と、前記基板をカッティングテーブルに位置決めし前記基板を直線状に切断するダイシング手段と、前記基板を前記アライメントテーブルから前記カッティングテーブルに移送する移送手段とを備え、
前記アライメント手段は、前記基板が前記レーザ加工手段により切断される曲線状のスクライブ線、及び前記基板が前記ダイシング手段により切断される直線状のスクライブ線のそれぞれの位置を認識し、
前記レーザ加工手段は、前記アライメント手段のアライメントテーブルに位置決めされた基板に、前記曲線状のスクライブ線を目標にしてレーザ光を照射し、
前記ダイシング手段は、前記カッティングテーブルに位置決めされた基板を、前記直線状のスクライブ線に沿って切断することを特徴とする複合切断装置。 - 物性の相違する材料から成る基板をアライメントテーブルに位置決めするアライメント手段と、前記物性の相違する材料のうち一の材料を切断するレーザ加工手段と、前記基板をカッティングテーブルに位置決めし前記物性の相違する材料のうち他の材料を切断するダイシング手段と、前記基板を前記アライメントテーブルから前記カッティングテーブルに移送する移送手段とを備え、
前記アライメント手段は、前記基板が切断されるスクライブ線の位置を認識し、
前記レーザ加工手段は、前記アライメント手段のアライメントテーブルに位置決めされた基板の一の材料に、前記スクライブ線を目標にしてレーザ光を照射し、
前記ダイシング手段は、前記カッティングテーブルに位置決めされた基板の他の材料を、前記スクライブ線に沿って切断することを特徴とする複合切断装置。 - 1つの基板に対して、前記レーザ加工手段によるレーザ光の照射、及び前記ダイシング手段による切断を実行することにより、前記1つの基板を複数片に分割することを特徴とする請求項1又は2に記載の複合切断装置。
- 前記ダイシング手段が、前記基板に直線状に延びる断面V形の溝を形成するVカットブレードと、前記基板を直線状に切断するストレートブレードとを備えることを特徴とする請求項1乃至3の何れかに記載の複合切断装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007247220A JP2009081164A (ja) | 2007-09-25 | 2007-09-25 | 複合切断装置、及びその方法 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009081164A true JP2009081164A (ja) | 2009-04-16 |
Family
ID=40655728
Family Applications (1)
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JP2007247220A Withdrawn JP2009081164A (ja) | 2007-09-25 | 2007-09-25 | 複合切断装置、及びその方法 |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2009081164A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP2236374A1 (en) | 2009-03-30 | 2010-10-06 | JATCO Ltd | Control apparatus for hybrid vehicle |
JP2012004478A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
JP2013161944A (ja) * | 2012-02-06 | 2013-08-19 | Mitsubishi Electric Corp | ダイシング方法 |
-
2007
- 2007-09-25 JP JP2007247220A patent/JP2009081164A/ja not_active Withdrawn
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JP2012004478A (ja) * | 2010-06-21 | 2012-01-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | 加工装置 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20101207 |