JP2009069668A - 光導波路搭載基板及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】電気回路基板の製造の延長として光導波路を形成する場合において、光伝送のための反射ミラーの形成を容易にし、光導波路の構造にする。
【解決手段】基板の表面に下クラッド層（３０）を形成し、下クラッド層上に紫外線硬化型樹脂層（３１）を積層し、樹脂層を部分的に硬化させると共に、他の未硬化の樹脂層を除去して樹脂突起部（３１ａ、３１ｂ）を形成し、樹脂突起部を傾斜面に加工し、傾斜面上に金属反射面（３６）を形成し、金属反射面を含む下クラッド層上にコア層（３７）を積層し、コア層上に上クラッド層（３８）を積層することを特徴とする。
【選択図】図４

Description

本発明は、光電気混載パッケージ又は光電気混載基板等のように、信号伝達の光電気変換に伴う、光導波路搭載基板及びその製造方法に関する。

従来、光通信デバイスとして主流となっているレーザ発光素子（ＶＣＳＥＬ）や受光素子（ＰＤ）を基板等にフリップチップ実装した場合、光はデバイスから基板面に向けて垂直に出射される。

このため、光出射方向を基板平面に水平になるよう斜めミラーで９０度反射させる方法がとられる。

従来、光電気複合基板の製造では、電気基板と光導波路を別々に製造したのち、これらを組合せる方法がとられており、斜めミラーは、光導波路もしくはファイバに予めミラーを形成する方法か、もしくは、すでに出来上がったミラー部品を基板に実装する方法がとられていた。

図１及び図２は、光導波路に４５度反射ミラーを形成し、電気回路基板に光導波路を実装する、従来の光導波路搭載基板及びその製造方法を示す。図１に示す従来技術では、４５度ダイサーカット及びカット面平準化（エキシマレーザ加工等）を行い、又は、金型形成、金属（Ａｕなど）の蒸着等により光導波路１０を形成し、電気回路基板２０に搭載する方法である。

図２において、（１）上クラッド層１１を積層、硬化し、（２）この上クラッド層１１上にコア層１２を積層し、コア層１２をパターニングするとともに、現像、硬化し、（３）コア層１２の両端部をダイサーカット等で４５度斜め加工し斜面部を形成し、（４）４５度斜め加工したコア層１２の斜面部上に、例えば、Ａｕを蒸着する等でミラー１４を形成し、（５）上クラッド層１１の両端部、ミラー１４の部分を含むコア層１２上に下クラッド層１３を積層、硬化する。なお、上クラッド層１１及び下クラッド層１３は同一材料からなり、積層工程で一体のものとなる。

このようにして形成された上クラッド層１１、コア層１２、下クラッド層１３、４５度反射ミラー１４を含む４５度反射ミラー光導波路１０は、図１に示すように、電気回路基板２０に搭載される。電気回路基板２０は、４５度反射ミラー光導波路１０を搭載するための凹部２７を有し、この凹部２７に光導波路１０が矢印の方向に実装され、光導波路搭載電気回路基板が構成される。

なお、図１の電気回路基板２０において、２１は樹脂層、２２はＣｕよりなる回路パターン、２３はソルダーレジスト、２４はソルダーランド、２５は層間接続ビアないしスルーホールビア、２６はコア基板である。

光導波路を具備する電気回路基板についての先行技術として、次のようなものがある。
特許文献１（特許２５４６６８８号）によると、光導波路基板の表面部分に帯状の光導波路が設けられ、光導波路の両末端部の基板側には表面側に開口した凹部が形成され、光導波路の両端面に対向する基板側は、光導波路の光軸に４５度傾斜した斜め上向きの反射壁を構成している。したがって、光導波路基板に対して垂直に入射した光は、一方の４５度傾斜反射壁でもって９０度の角度に反射して光導波路の一端に入射され、光導波路の他端から出射した光は、光導波路の他方の４５度傾斜反射壁でもって９０度の角度に反射して光導波路基板に対して垂直に出射する。

また、特許文献２（特開２００３−２２７９５１号公報）によると、光導波シートと光結合するように光素子を実装する場合において、アライメント作業を不要とするために、光導波シートには光素子を所定の姿勢で設置・固定する為のガイド手段を設けた光導波路装置が開示されている。

特許２５４６６８８号 特開２００３−２２７９５１号公報

図１及び２に示した、従来の光導波路搭載基板及びその製造方法によると、電気回路基板と光導波路（ミラー部品）とを別々に製造した後、光導波路を電気回路基板に実装する方法がとられていた。したがって、電気回路基板の製造プロセス、光導波路（ミラー部品）の製造プロセス、光導波路を電気回路基板に実装するプロセスを別々に実行しなければならないため、作業効率やコストの点で問題がある。また、光導波路を電気回路基板の適正位置に位置決めして実装するための特別の手段が必要であった。

また、電気回路基板と光導波路を別々に製造するのではなく、電気回路基板の製造の延長として光導波路を形成する方法を考えた場合、４５度反射ミラーの構造や製造プロセスがネックとなっていた。

先行技術の中で特許文献１に開示されている構成は、光導波路基板に対して垂直に入射した光が、両側にある２つの４５度傾斜反射壁によって９０度ずつ反射し、光導波路基板に対して垂直に出射するように構成されている。しかしながら、電気回路基板の製造の延長として光導波路を形成するものではない。

また、特許文献２では、光導波シートと光結合するように光素子を実装するためのガイド手段を具備しているものの、電気回路基板の製造の延長として光導波路を形成するものではない。

そこで、本発明では、電気回路基板を製造する工程の中で、光導波路を形成する場合において、即ち、電気回路基板の製造の延長として光導波路を形成し、これにより、光伝送のための４５度反射ミラーの形成を容易にすると共に、光導波路の構造を簡単にした光導波路搭載基板及びその製造方法を提供することを課題とする。

上記の課題を達成するために、本発明によれば、電気回路基板上に光導波路を形成する光導波路搭載基板の製造方法であって、該基板の表面に下クラッド層を形成する工程と、該下クラッド層上に紫外線硬化型樹脂層を積層する工程と、紫外線硬化型樹脂層を部分的に硬化させると共に、他の未硬化の紫外線硬化型樹脂層を除去して少なくとも１つの樹脂突起部を形成する工程と、該樹脂突起部を傾斜面に加工する工程と、該傾斜面上に金属反射面を形成する工程と、該金属反射面を含む前記下クラッド層上にコア層を積層する工程と、該コア層上に上クラッド層を積層する工程と、を含むことを特徴とする光導波路搭載基板の製造方法が提供される。

この場合において、該樹脂突起部の傾斜面は、該基板面に対して４５度の角度に加工されることを特徴とする。

また、本発明によれば、電気回路基板上に搭載された光導波路を有する光導波路搭載基板であって、該基板の表面に形成された下クラッド層と、該下クラッド層上に積層された該コア層と、該コア層上に積層された上クラッド層とから成り、該クラッド層には、少なくとも１つの傾斜した光反射ミラーを有することを特徴とする光導波路搭載基板が提供される。この場合において、前記光反射ミラーは光導波路に対して４５度の角度に配置されていることを特徴とする。

光導波路に対して４５度の角度に配置された前記光反射ミラーは少なくとも２個所に設けられ、該光導波路に対して垂直に入射した光が、一方の光反射ミラーで９０度の角度で反射して該光導波路のクラッド層の光経路を通過し、他方の光反射ミラーで９０度の角度で再度反射し、該光導波路に対して入射した光と、該光導波路から出射する光の方向は１８０度逆方向となることを特徴とする。

また、光導波路に対して４５度の角度に配置された前記光反射ミラーは１個所にのみ設けられ、該光導波路に対して垂直に入射した光が、前記光反射ミラーで９０度の角度で反射して該光導波路のクラッド層の光経路を通過し、光導波路の端面を出射した光は、該光導波路の端面に近接して配置された光ファイバに入射されるように構成されていることを特徴とする。

本発明によれば、電気回路基板の製造工程の延長として、電気回路基板上に光伝送のための、例えば４５度反射ミラーを形成することにより、光導波路に反射ミラー構造を設置する必要がなくなり、光導波路の構造が単純になる。これにより、電気回路基板の製造工程の延長で電気回路基板上に光導波路を形成することが可能になる。よって、従来、光電気回路基板においては、別々に製造していた電気回路基板と光導波路とを電気回路基板製造の延長線上で一括して製造でき、製造工数やコストを低減することができる。

以下、添付図面を参照して本発明の実施形態を詳細に説明する。
図３及び図４は本発明の実施形態による光導波路搭載基板の製造方法を各工程順に示したものである。図３（ａ）は、多層の電気回路基板の断面図である。図３（ａ）に示した電気回路基板において、２１は絶縁樹脂層、２２はＣｕよりなる回路パターン、２３はソルダーレジスト、２４はソルダーランド、２５は層間接続ビアないしスルーホールビア、２６はＦＲ−４等の材質から成る絶縁コア基板である。

光導波路を形成する電気回路基板の表面は、平坦なソルダーレジスト２３の面から成り、このソルダーレジスト面２３は所定の光導波路を形成するのに必要な面積を有する。
まず最初、図３（ｂ）に示すように、ソルダーレジスト面２３上に光導波路の下クラッド層３０を積層する。この下クラッド層２０の厚さｔは約１０μｍ程度である。次に、図３（ｃ）に示すように、下クラッド層２０を含む電気回路基板のソルダーレジスト面２３の全域に樹脂材料として紫外線硬化性樹脂３１を積層する。この紫外線硬化性樹脂３１の厚さｔは約３５μｍ程度である。

次に図３（ｄ）において、紫外線硬化性樹脂３１の４５度反射ミラーを形成する個所のみ突起となって残るように、その部分を硬化させる。即ち、当該４５度反射ミラーを形成しようとする個所に対応する位置に開口３２ａ、３２ｂを有するマスク３２を用い、このマスク３２を介して紫外線を紫外線硬化性樹脂３１に照射し、露光によりパターニングする。これにより、開口３２ａ、３２ｂに対応する紫外線硬化性樹脂３１の部分が硬化される。
形成すべき光導波路１０が、電気回路基板に対して垂直に入射した光を、光導波路を通過させて光導波路基板に対して垂直に１８０度反対方向に出射するように構成する場合は、光導波路の４５度反射ミラーは、２個所に形成されることとなる。したがって、この場合においては、４５度反射ミラー形成個所は２個所となり、マスク３２の開口も２個所あることとなる。なお、光導波路の４５度反射ミラーは、後述のように、１個所にのみ形成される場合もある。

次に、図３（ｅ）において、紫外線硬化性樹脂３１の４５度反射ミラー形成個所以外の不要な部分、即ち未硬化の部分３３が現像で除去され、４５度反射ミラー形成個所は２つの平行な突起状の部分（樹脂突起面）３１ａ、３１ｂとして残る。

次に、図４（ａ）において、４５度ダイサーブレードによるダイシング３５、もしくは、４５度研磨板などで、２個所の突起状の部分３１ａ、３１ｂのそれぞれについて樹脂突起面の両面を４５度に斜めにカットする。ダイシング等によるカット面にキズや凹み発生した場合、更に、レーザ照射や樹脂液の塗布を行い、カット面の表面を平滑化する。

次に図４（ｂ）において、４５度に傾斜した樹脂突起面３４に、金属スパッタ、蒸着等によりＡｕ等の金属層３６を形成し、これを金属ミラー３６とする。次に、図４（ｃ）において、この電気回路基板上にコア層３７を積層する。このコア等を形成する材料は、フィルム状で未硬化のものを用いる。マスク（図示せず）等を用いてパターニングを行い、現像する。コア層の材料３７は未硬化のため、突起状の部分３１ａ、３１ｂの先端まで平坦化する。

次に、コア層３７上に上クラッド層３８を積層し、パターニングして、現像を行う。上クラッド層３８の厚さは約１０μｍ程度である。これにより、光導波路を内蔵した光導波路搭載型電気回路基板が完成する。もっとも、上述の実施形態では、金属ミラー３６を２個所に設けたが、後述のように、金属ミラー３６を１個所にのみ設け場合もある。

図５は図３及び図４の工程により作製した本発明の光導波路搭載基板の１実施形態であって、同一の電気回路基板上で発光及び受光による光信号伝送をする場合の光導波路搭載基板の断面図である。図６は本発明の光導波路搭載基板の他の実施形態であって、電気回路基板上に発光（もしくは受光）を行い、光ファイバなどで光信号伝送をする場合の光導波路搭載基板の断面図である。

図５に示した実施形態では、図３及び図４の工程により多層電気回路基板の上面に光導波路５０に形成される。ここで、前述のように光導波路５０は下クラッド層３０、中央のコア層３７、上クラッド層３８の積層体からなり、コア層３７の光導波路５０両端の近傍には、４５度傾斜した金属ミラー（反射面）３６を有する。そして、光導波路５０の両側にある２つの金属ミラー３６、３６間のコア層３７の部分が光の経路５１を規定する。

多層電気回路基板の上面で且つ光導波路５０の一方の側に隣接して、例えばＶＣＳＥＬ等の発光デバイス４０が搭載される。この発光デバイス４０は、そのデバイス本体に発光部４１を具備していると共に、バンプ４２により多層電気回路基板のソルダーランド２４に接続され、基板との間の電気的な接続が行われる。また、透明性アンダーフイル材４３によりこの発光デバイス４０が多層電気回路基板に搭載される。その場合において、発光部４１の光軸が多層電気回路基板の上面に対して、また、光導波路５０に対して光の経路５１に対して垂直となるように、更にまた、発光部４１の光軸が一方の金属反射面３６に対して４５度の角度で入射されるように、発光デバイス４０が多層電気回路基板に位置決めされている。

一方、受光デバイス６０は、多層電気回路基板の上面で且つ光導波路５０の他方の側に隣接して、例えばＦＤ等の受光デバイス６０が搭載される。この受光デバイス６０は、そのデバイス本体に受光部６１を具備していると共に、発光デバイス４０の場合と同様に、バンプ４２により多層電気回路基板のソルダーランド２４に接続され、基板との間の電気的な接続が行われる。また、発光デバイス４０の場合と同様に、透明性アンダーフイル材４３によりこの発光デバイス４０が多層電気回路基板に搭載される。その場合において、受光部６１の光軸が多層電気回路基板の上面に対して、また、光導波路５０に対して光の経路５１に対して垂直となるように、更にまた、受光部６１の光軸が他方の金属反射面３６に対して４５度の角度となるように、発光デバイス４０が多層電気回路基板に位置決めされている。

したがって、発光デバイス４０の発光部４１から光導波路５０に対して垂直に入射した光は、一方の金属反射面３６により９０度の角度で反射し、光導波路５０のコア層３７の光経路５１を通過し、光導波路５０の他方の金属反射面３６を９０度の角度で反射し、受光デバイス４０の受光部４２に受光される。

図６に示した他の実施形態において、図５の実施形態と相違する点は、図５の実施形態では、１対の金属反射面３６を光導波路５０の両端の近傍に１個所ずつ設けていたのに対し、図６の実施形態では、光導波路５０に一方の端部近傍にのみ、１個所の金属反射面３６を設ける点、及び図５の実施形態で設けていた受光素子６０に代えて、信号伝達用の光ファイバ７０を、光導波路５０の光軸と光ファイバ７０の光軸とが一致するように、光導波路５０の他端面に光ファイバ７０の入射面が僅かな間隔で対向するように配置されている点が異なる。

したがって、発光デバイス４０の発光部４１から光導波路５０に対して垂直に入射した光は、金属反射面３６により９０度の角度で反射し、光導波路５０のコア層３７の光経路５１を通過し、光導波路５０の他端面より光ファイバ７０に入射され、光信号の伝送が行われる。

もっとも、図に示す実施形態において、発光デバイス４０を受光デバイスに置き換え、光ファイバ７０から光導波路５０へ入射した光を金属反射面３６により９０度の角度で反射させ、受光デバイスで受光させるように構成することも勿論可能である。

以上添付図面を参照して本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の精神ないし範囲内において種々の形態、変形、修正等が可能である。

上述のように、本発明によれば、電気回路基板の製造工程の延長で電気回路基板上に光導波路を形成することが可能になり、従来の光電気回路基板においては、別々に製造していた電気回路基板と光導波路とを電気回路基板製造の延長線上で一括して製造でき、製造工数やコストを低減することができる。したがって、本発明は光部品及び電気部品の混載型パッケージ、光部品と電気部品の混載基板、その他、光信号伝送用のあらゆる基板の製造に利用することができる。

光導波路に４５度反射ミラーを形成する従来例を工程順に示す。 電気回路基板に光導波路を実装する従来例を示す断面図である。 本発明による光導波路搭載基板の製造方法（前半工程）を示す。 本発明による光導波路搭載基板の製造方法（後半工程）を示す。 本発明により製造した光導波路搭載基板の１実施形態を示す。 本発明により製造した光導波路搭載基板の他の実施形態を示す。

符号の説明

２１ 樹脂層
２２ 回路パターン
２３ ソルダーレジスト
２４ ソルダーランド
２５ 層間接続ビアないしスルーホールビア
２６ コア基板
３０ 下クラッド層
３１ 樹脂材料
３２ マスク
３３ 未硬化部
３４ ４５度カット面
３５ ダイサーカット
３６ 金属反射面
３７ コア層
３８ 上クラッド層

Claims (6)

1. 電気回路基板上に光導波路を形成する光導波路搭載基板の製造方法であって、
   該基板の表面に下クラッド層を形成する工程と、
   該下クラッド層上に紫外線硬化型樹脂層を積層する工程と、
   紫外線硬化型樹脂層を部分的に硬化させると共に、他の未硬化の紫外線硬化型樹脂層を除去して少なくとも１つの樹脂突起部を形成する工程と、
   該樹脂突起部を傾斜面に加工する工程と、
   該傾斜面上に金属反射面を形成する工程と、
   該金属反射面を含む前記下クラッド層上にコア層を積層する工程と、
   該コア層上に上クラッド層を積層する工程と、
   を含むことを特徴とする光導波路搭載基板の製造方法。
2. 該樹脂突起部の傾斜面は、該基板面に対して４５度の角度に加工されることを特徴とする請求項１に記載の光導波路搭載基板の製造方法。
3. 電気回路基板上に搭載された光導波路を有する光導波路搭載基板であって、
   該基板の表面に形成された下クラッド層と、該下クラッド層上に積層された該コア層と、該コア層上に積層された上クラッド層とから成り、
   該クラッド層には、少なくとも１つの傾斜した光反射ミラーを有することを特徴とする光導波路搭載基板。
4. 前記光反射ミラーは光導波路に対して４５度の角度に配置されていることを特徴とする請求項３に記載の光導波路搭載基板。
5. 光導波路に対して４５度の角度に配置された前記光反射ミラーは少なくとも２個所に設けられ、該光導波路に対して直角に入射した光が、一方の光反射ミラーで９０度の角度で反射して該光導波路のクラッド層の光経路を通過し、他方の光反射ミラーで９０度の角度で再度反射し、該光導波路に対して入射した光と、該光導波路から出射する光の方向は１８０度逆方向となることを特徴とする請求項４に記載の光導波路搭載基板。
6. 光導波路に対して４５度の角度に配置された前記光反射ミラーは１個所にのみ設けられ、該光導波路に対して直角に入射した光が、前記光反射ミラーで９０度の角度で反射して該光導波路のクラッド層の光経路を通過し、光導波路の端面を出射した光は、該光導波路の端面に近接して配置された光ファイバに入射されるように構成されていることを特徴とする請求項４に記載の光導波路搭載基板。

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