JP2009069030A - 圧力検出素子 - Google Patents
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Abstract
【課題】小型化された構造においても温度ヒステリシスの低減が可能な圧力検出装置を提供する。
【解決手段】受圧部にかかる圧力を電気信号に変えて検出する圧力検出素子において、基板と、基板の裏面に設けられ、その底部が受圧部となる凹部と、受圧部に設けられた歪センサ部と、基板に設けられ、歪センサ部に接続された拡散配線と、基板の表面上に設けられ、拡散配線と接続された金属膜とを含み、受圧部が、基板の表面に垂直な対称中心軸に対して対称な形状からなり、対称中心軸から受圧部の端部までの最短距離Lと、受圧部の端部から金属膜までの最短距離Sとの間に、以下の式(1):
L/S≦3.5 (1)
の関係が成立する。
【選択図】図1
【解決手段】受圧部にかかる圧力を電気信号に変えて検出する圧力検出素子において、基板と、基板の裏面に設けられ、その底部が受圧部となる凹部と、受圧部に設けられた歪センサ部と、基板に設けられ、歪センサ部に接続された拡散配線と、基板の表面上に設けられ、拡散配線と接続された金属膜とを含み、受圧部が、基板の表面に垂直な対称中心軸に対して対称な形状からなり、対称中心軸から受圧部の端部までの最短距離Lと、受圧部の端部から金属膜までの最短距離Sとの間に、以下の式(1):
L/S≦3.5 (1)
の関係が成立する。
【選択図】図1
Description
本発明は、圧力を電気的な信号に変換して検出する圧力検出素子に関する。
従来の半導体圧力検出素子は、シリコン基板から形成され、その一部が薄膜の受圧部となっている。圧力検出素子に圧力が加わった場合、受圧部が変形し、これをひずみゲージの抵抗変化または固定電極との静電容量変化として検出する。ここで電気的に信号を取り出すためには、圧力検出素子に金属膜を形成する必要がある。金属膜はシリコン基板と熱膨張率が異なるため、圧力検出素子の温度が大きく変化すると、金属膜が塑性変形を起こす。この塑性変形は圧力−出力の温度ヒステリシスとなり、正確な圧力検出の妨げとなる。これに対して、温度ヒステリシスを低減するために、圧力検出素子に、金属膜と同様に塑性変形を起こす応力バランス膜を形成し、金属膜の塑性変形で発生する応力を相殺して温度ヒステリシスを低減する構造が提案されている(例えば、特許文献1参照)。
特許3873454号公報
しかしながら、圧力検出素子が小型化されると、応力バランス膜を形成する位置が制限され、金属膜の塑性変形で発生する応力を十分に相殺することが困難になる。また、圧力発生源である金属膜が非対称に配置された場合、応力バランス膜で応力を相殺させることが困難となる。
即ち、金属膜の塑性変形で発生する応力を、応力バランス膜を配置することにより相殺するという手段によらない応力の緩和手段が必要となる。
即ち、金属膜の塑性変形で発生する応力を、応力バランス膜を配置することにより相殺するという手段によらない応力の緩和手段が必要となる。
そこで、本発明は、応力バランス膜を用いることなく、小型化された構造においても温度ヒステリシスの低減が可能な圧力検出装置を提供することを目的とする。
本発明は、受圧部にかかる圧力を電気信号に変えて検出する圧力検出素子であって、基板と、基板の裏面に設けられ、その底部が受圧部となる凹部と、受圧部に設けられた歪センサ部と、基板に設けられ、歪センサ部に接続された拡散配線と、基板の表面上に設けられ、拡散配線と接続された金属膜とを含み、受圧部が、基板の表面に垂直な対称中心軸に対して対称な形状からなり、対称中心軸から受圧部の端部までの最短距離Lと、受圧部の端部から金属膜までの最短距離Sとの間に、以下の式(1):
L/S≦3.5 (1)
の関係が成立することを特徴とする圧力検出素子である。
L/S≦3.5 (1)
の関係が成立することを特徴とする圧力検出素子である。
本発明にかかる圧力検出素子では、受圧部と金属膜との位置関係を調整して、温度ヒステリシスを低減した圧力検出装置を提供することができる。
以下に、図面を参照しながら、本発明の好適な実施の形態について説明する。なお、以下の説明では、「上」、「下」、「左」、「右」およびこれらの用語を含む名称を適宜使用するが、これらの方向は図面を参照した発明の理解を容易にするために用いるものであり、実施形態を上下反転、あるいは任意の方向に回転した形態も、当然に本願発明の技術的範囲に含まれる。
実施の形態1.
図1は、全体が100で表される、本発明の実施の形態1にかかる圧力検出素子の上面図であり、図2は、図1の圧力検出素子を、I−I方向に見た場合の断面図である。
図1は、全体が100で表される、本発明の実施の形態1にかかる圧力検出素子の上面図であり、図2は、図1の圧力検出素子を、I−I方向に見た場合の断面図である。
圧力検出素子100は、シリコン基板1を含む。シリコン基板1には、例えば表面が(100)面のn型の単結晶シリコンが用いられる。シリコン基板1の底面の中央には凹部2が設けられており、凹部2の底部が、薄膜のシリコン基板からなる受圧部3となっている。
受圧部3の表面側には、歪ゲージ4が設けられている。歪ゲージ4はp型拡散領域からなり、不純物濃度は1×1015/cm3〜1×1018/cm3の範囲にある。受圧部3には4つの歪ゲージ4が設けられている。それぞれの歪ゲージ4には拡散配線7が接続されている。
拡散配線7は、不純物濃度が1×1018/cm3以上のp型拡散領域からなる。シリコン基板1の表面には、例えば酸化シリコンからなる絶縁膜8が形成され、その上に金属配線層6や金属パッド部5が設けられている。金属配線層6や金属パッド部5と、拡散配線7とは、絶縁膜8に形成された接続部(図示せず)により電気的に接続されている。金属配線6を省略して、拡散配線7との接続部に金属パッド部5を形成しても構わない。
なお、シリコン基板1の裏面にガラス基板等の板状体(図示せず)を取り付けて、凹部2内の領域Aを真空状態に封止することにより、領域Bの絶対圧力を測定することが可能となる。
本実施の形態1にかかる圧力検出素子100では、受圧部3に設けられた4つの歪ゲージ4がブリッジ回路になるように拡散配線7で接続されている。圧力検出素子100において領域Aと領域Bに圧力差が生じた場合、その差圧で受圧部3が撓み、更に受圧部3の撓みにより歪ゲージ4の抵抗値が変化する。これを出力電圧の変化としてパッド電極5で検出することにより受圧部3にかかる圧力を検出することができる。なお、歪ゲージ4を配置する位置を適切に選択することにより、圧力に対してほぼ線形の出力電圧を得ることができる。
図3は、圧力検出素子において発生する温度ヒステリシスでの一例である。横軸が温度変化、縦軸が圧力検出素子の出力電圧である。図3では、圧力検出素子の温度を25℃から一旦125℃まで上昇させた後、再度25℃に下げた場合の、25℃における出力電圧の差を温度システリシスとして矢印で表している。
このような温度ヒステリシスは、シリコン基板1と金属膜(パッド電極5および金属配線6)との熱膨張率の差に起因して発生する応力が、受圧部3に影響するためと考えられる。そこで、発明者らは以下のような実験を行い、温度ヒステリシス量が、受圧部3の大きさと、受圧部3の端部から金属膜までの最短距離とに依存することを見出し、本発明を完成した。
図4は、圧力検出素子の上面概略図であり、受圧部3と金属膜(パッド電極5または金属配線6)とのレイアウトを示すものである。
受圧部3(図2に示す凹部2の底面)の形状は、通常、矩形形状であり、対称中心(点対称の中心、対称中心を通ってシリコン基板1の表面に垂直な軸を「対称中心軸」という)10を有する。対称中心軸と、受圧部3の端部との最短距離をLとする。なお、受圧部3は、対象中心10を有する形状であれば、円や楕円であっても構わない。
一方、受圧部3の端部と金属膜との最短距離、即ち、受圧部3の端部と、この端部に最も近い金属膜との距離をSとする。
受圧部3(図2に示す凹部2の底面)の形状は、通常、矩形形状であり、対称中心(点対称の中心、対称中心を通ってシリコン基板1の表面に垂直な軸を「対称中心軸」という)10を有する。対称中心軸と、受圧部3の端部との最短距離をLとする。なお、受圧部3は、対象中心10を有する形状であれば、円や楕円であっても構わない。
一方、受圧部3の端部と金属膜との最短距離、即ち、受圧部3の端部と、この端部に最も近い金属膜との距離をSとする。
なお、距離Lおよび距離Sは、シリコン基板1の表面に平行な方向の距離で表される。
以下の表1に示すようなNo.1〜5の試料を用いて、L/Sと温度ヒステリシスとの関係を調べた。
表1において、金属膜の大きさは、形状が丸(No.1〜3、5)の場合は直径、形状が四角(No.4)の場合はその一辺とした。金属膜の材料には、Siを1〜2wt%含有したAlSi膜を用いた。
図5は、No.1〜No.5の試料について、L/Sと温度ヒステリシスの関係を示したグラフであり、横軸にL/Sの値を、縦軸に温度ヒステリシス(%FS)を示す。
一般に、圧力検出素子の温度ヒステリシスが0.5%FS以下であれば、エンジン制御などの用途に使用することができる。従って、図5より、L/Sの値が3.5以下になるようにすれば、全ての試料で温度ヒステリシスが0.5%FS以下となり、エンジン制御等に使用可能な圧力検出素子を得ることができる。この場合、距離Lと距離Sとがこのような条件を満たすように配置すれば良く、金属膜と歪ゲージ4との位置関係は考慮する必要がない。
一般に、圧力検出素子の温度ヒステリシスが0.5%FS以下であれば、エンジン制御などの用途に使用することができる。従って、図5より、L/Sの値が3.5以下になるようにすれば、全ての試料で温度ヒステリシスが0.5%FS以下となり、エンジン制御等に使用可能な圧力検出素子を得ることができる。この場合、距離Lと距離Sとがこのような条件を満たすように配置すれば良く、金属膜と歪ゲージ4との位置関係は考慮する必要がない。
更には、L/Sの値が2.0以下であれば、温度ヒステリシスは検出下限以下とすることができる。
例えば、圧力検出素子において、受圧部3が一辺400μmの正方形である場合、受圧部3の回転中心10と端部との距離Lは200μmとなるため、L/Sを3.5以下にするためには、受圧部3と金属層との最短距離Sを58μm以上とすればよい。
また、L/Sを2.0以下にして、温度ヒステリシスを検出限界以下とするためには、受圧部3と金属層との最短距離Sを100μm以上とすればよい。
また、L/Sを2.0以下にして、温度ヒステリシスを検出限界以下とするためには、受圧部3と金属層との最短距離Sを100μm以上とすればよい。
次に、本実施の形態にかかる温度ヒステリシスの低減のメカニズムについて説明する。 例えば圧力検出素子100に温度サイクルが加えられた場合、金属膜から発生する応力がおよぶ範囲と、受圧部3の撓みに起因による応力がおよぶ範囲とが重なり合った場合に、受圧部3の撓みが金属膜から発生する応力の影響を受けて、温度ヒステリシスが発生すると推定される。
ここで、受圧部3の撓みによる応力分布は、受圧部3の代表寸法であるLに対して相似形である。
一方、金属膜から発生する応力については、金属膜の近傍では金属膜の形状や大きさに依存して応力分布は変化する。例えば、金属膜が四角形であれば、四角形の隅部で応力が大きくなるような分布となる。しかしながら、金属膜からある程度離れた領域では金属膜の形状や大きさによらず、金属膜からの距離のみに依存した応力分布となる。通常、圧力検出素子100の金属膜は、拡散配線7等との関係で受圧部3から一定以上の距離で配置されるため、応力分布は金属膜からの距離Sのみに依存する。
即ち、金属膜から発生する熱応力がおよぶ範囲と、受圧部の撓みに起因する応力がおよぶ範囲が重なり合うか否かは、LとSに依存する。
一方、金属膜から発生する応力については、金属膜の近傍では金属膜の形状や大きさに依存して応力分布は変化する。例えば、金属膜が四角形であれば、四角形の隅部で応力が大きくなるような分布となる。しかしながら、金属膜からある程度離れた領域では金属膜の形状や大きさによらず、金属膜からの距離のみに依存した応力分布となる。通常、圧力検出素子100の金属膜は、拡散配線7等との関係で受圧部3から一定以上の距離で配置されるため、応力分布は金属膜からの距離Sのみに依存する。
即ち、金属膜から発生する熱応力がおよぶ範囲と、受圧部の撓みに起因する応力がおよぶ範囲が重なり合うか否かは、LとSに依存する。
以上が、金属膜の大きさや形状に依存せず、L/Sの値にのみ依存して温度ヒステリシスが決定される理由と考えられる。
また、金属膜が複数個あっても、個々の金属膜から発生する応力がおよぶ範囲は、それぞれ独立である。このため、それぞれの金属膜に対してL/Sが所定量以下であれば、温度ヒステリシスを小さくすることができる。
また、金属膜が複数個あっても、個々の金属膜から発生する応力がおよぶ範囲は、それぞれ独立である。このため、それぞれの金属膜に対してL/Sが所定量以下であれば、温度ヒステリシスを小さくすることができる。
このように、本実施の形態かかる圧力検出素子100では、L/Sが所定量以下となるように設計すれば、温度ヒステリシスを抑制することができ、従来のように、複数の金属膜の位置関係等を考慮する必要はなくなる。
次に、本実施の形態1にかかる圧力検出素子100の製造方法について、図6を参照しながら説明する。図6中、図1と同一符号は同一又は相当箇所を示す。
圧力検出素子100の製造方法は、以下の工程1〜5を含む。
圧力検出素子100の製造方法は、以下の工程1〜5を含む。
工程1:図6(a)に示すように、表面の面方位が(100)でn型の単結晶シリコン基板1を準備する。
工程2:図6(b)に示すように、主表面に、不純物拡散またはイオン注入技術により、歪ゲージ4および拡散領域7を形成する。歪ゲージ4および拡散領域7はp型領域からなり、歪ゲージ4の不純物濃度は、1×1015/cm3〜1×1018/cm3の範囲であり、拡散領域7の不純物濃度は、1×1018/cm3以上となる。
工程3:図6(c)に示すように、例えばCVD法を用いて、シリコン基板1の表面に酸化シリコン膜等からなる絶縁膜8を形成する。
工程4:図6(d)に示すように、例えばスパッタ法を用いて、絶縁膜8の上に金属膜(金属パッド5、金属配線6)を形成する。金属膜は、Alや、Siを微量に添加したAlSi、Cuやその合金からなることが好ましい。金属膜と拡散配線7とは、絶縁膜8を開口し、接続部を設けることにより電気的に接続される
なお、外部信号を取り出す金属パッド以外は、例えば窒化シリコンからなる保護膜(図示せず)で覆うことが好ましい。
なお、外部信号を取り出す金属パッド以外は、例えば窒化シリコンからなる保護膜(図示せず)で覆うことが好ましい。
工程5:図6(e)に示すように、シリコン基板1を裏面からエッチングして、凹部2を形成する。凹部2の底部が、薄膜のシリコン基板1からなる受圧部3となる。エッチングには、例えばKOHなどのアルカリ溶液を用いたウェットエッチング法や、SF6ガスプラズマを用いたプラズマエッチング法が用いられる。
なお、小型化された圧力検出素子100のエッチングには、プラズマエッチングを用いることが好ましい。これは、ウェットエッチングでは、エッチング方向が結晶方位に依存して(100)基板を用いると側壁がテーパー形状の凹部2となるが、プラズマエッチングでは、ほぼ垂直の側壁を有する凹部2を形成できるからである。
受圧部3の位置や金属層の位置は、L/Sの値が3.5以下、更には2.0以下となるように予め設計されている。
なお、絶対圧を検出する圧力検出素子とする場合は、例えばガラス基板のような板状体をシリコン基板1の裏面に接合して、凹部2内を真空状態に封止する。シリコン基板1の接合には、例えば陽極接合法が用いられる。
以上の製造方法により、図1に示すような本実施の形態1にかかる圧力検出素子100が完成する。
実施の形態2.
図7は、全体が200で表される、本発明の実施の形態2にかかる圧力検出素子の断面図であり、図1のI−I方向と同じ方向に見た場合の断面図である。図7中、図1と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。
図7は、全体が200で表される、本発明の実施の形態2にかかる圧力検出素子の断面図であり、図1のI−I方向と同じ方向に見た場合の断面図である。図7中、図1と同一符号は、同一又は相当箇所を示す。
圧力検出素子200では、基板に、n型の単結晶シリコン層12/酸化シリコン層13/単結晶シリコン支持層15の積層構造を有する、いわゆるSOI(Silicon On Insulator)基板が用いられる。多の構造は、上述の圧力検出素子100と同様である。
圧力検出素子200では、SOI基板を用いることで、受圧部3の厚みの制御が容易に行える。
即ち、酸化シリコン層13のエッチング速度は、シリコン支持層15のエッチング速度に比べて100分の1以下である。このため、酸化シリコン膜16をストッパ層として用いてシリコン支持層15をエッチングすることができる。ここで、酸化シリコン層13は非常に薄いため、受圧部3の厚みは実質的に単結晶シリコン層12の厚みとなる。単結晶シリコン層12厚みは、機械研磨により1μm以下の精度で調整可能であり、受圧部3を厚みの制御性が増し、良好な検出特性を有する圧力検出素子200が提供できる。
即ち、酸化シリコン層13のエッチング速度は、シリコン支持層15のエッチング速度に比べて100分の1以下である。このため、酸化シリコン膜16をストッパ層として用いてシリコン支持層15をエッチングすることができる。ここで、酸化シリコン層13は非常に薄いため、受圧部3の厚みは実質的に単結晶シリコン層12の厚みとなる。単結晶シリコン層12厚みは、機械研磨により1μm以下の精度で調整可能であり、受圧部3を厚みの制御性が増し、良好な検出特性を有する圧力検出素子200が提供できる。
1 シリコン基板、2 凹部、3 受圧部、4 歪ゲージ、5 金属パッド、6 金属配線、7 拡散配線、8 絶縁膜、9 金属膜、10 回転中心、 11 受圧部回転中心、 12 コンタクトホール、 12 シリコン層、 13 酸化シリコン層、 14 単結晶シリコン支持層、100、200 圧力検出素子。
Claims (6)
- 受圧部にかかる圧力を電気信号に変えて検出する圧力検出素子であって、
基板と、
該基板の裏面に設けられ、その底部が受圧部となる凹部と、
該受圧部に設けられた歪センサ部と、
該基板に設けられ、該歪センサ部に接続された拡散配線と、
該基板の表面上に設けられ、該拡散配線と接続された金属膜とを含み、
該受圧部が、該基板の表面に垂直な対称中心軸に対して対称な形状からなり、
該対称中心軸から該受圧部の端部までの最短距離Lと、該受圧部の端部から該金属膜までの最短距離Sとの間に、以下の式(1):
L/S≦3.5 (1)
の関係が成立することを特徴とする圧力検出素子。 - 上記最短距離Lと、上記最短距離Sとの間に、以下の式(2):
L/S≦2.0 (2)
の関係が成立することを特徴とする請求項1に記載の圧力検出素子。 - 上記凹部の底部が、矩形形状であることを特徴とする請求項1又は2に記載の圧力検出素子。
- 更に、上記基板の裏面に、上記凹部を封止するように板状体が接続されたことを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の圧力検出素子。
- 上記基板がシリコンからなり、上記金属膜がアルミニウムを主体とした合金からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧力検出素子。
- 上記基板が、単結晶シリコン層/酸化シリコン層/支持シリコン基板の3層構造からなり、上記受圧部は単結晶シリコンおよび酸化シリコンからなり、上記金属膜がアルミニウムを主体とした合金からなることを特徴とする請求項1〜4のいずれかに記載の圧力検出素子。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014070962A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Fujikura Ltd | 圧力センサ素子 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0685287A (ja) * | 1992-09-03 | 1994-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサ及びその製造方法 |
JP2001208628A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-08-03 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体圧力センサ及びその製造方法 |
WO2007058010A1 (ja) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | Mitsubishi Electric Corporation | 半導体圧力センサおよびその製造方法 |
-
2007
- 2007-09-14 JP JP2007238665A patent/JP2009069030A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0685287A (ja) * | 1992-09-03 | 1994-03-25 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体圧力センサ及びその製造方法 |
JP2001208628A (ja) * | 2000-01-26 | 2001-08-03 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体圧力センサ及びその製造方法 |
WO2007058010A1 (ja) * | 2005-11-15 | 2007-05-24 | Mitsubishi Electric Corporation | 半導体圧力センサおよびその製造方法 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014070962A (ja) * | 2012-09-28 | 2014-04-21 | Fujikura Ltd | 圧力センサ素子 |
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