JP2009057583A - 成膜装置および成膜方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】成膜装置1は、放電電極2と、中性子検出器30のカソード33として用いられる円筒状の接地電極4と、放電電極2と接地電極4とを電気的に絶縁する筒状あるいはスリーブ状の絶縁体5と、放電電極2と接地電極4との間に電力を供給する電源部6と、放電電極2と絶縁体5とを接地電極4の長手軸方向に移動させる電極移動部7と、少なくとも接地電極4内を真空にする真空手段8と、接地電極4内に雰囲気ガス9を導入する雰囲気ガス供給部10とから構成される。
【選択図】 図2
Description
本発明に係る成膜装置の第1実施形態について、図1から図6を参照して説明する。
本発明に係る成膜装置の第2実施形態について、図7を参照して説明する。
本発明に係る成膜装置の第3実施形態について、図8を参照して説明する。
2 放電電極
2a 雰囲気ガス流路
3 尖端部
4 接地電極
5 絶縁体
6 電源部
7 電極移動部
8 真空手段
9 雰囲気ガス
10 雰囲気ガス供給部
11、11B、11C 中性子有感物質部
11a、11b 中性子有感物質部雰囲気ガス流路
12、12A 雰囲気ガス供給接続配管
13 雰囲気ガス供給配管
30 中性子検出器
31 本体ケース
32 アノード
33 カソード
34 周方向位置決め絶縁体
35 端栓
36 軸方向位置決め絶縁体
37 充填ガス
38 信号ケーブル要素
39 溶接部
40 内周壁
41 中性子変換層
Claims (8)
- スパッタリングターゲット材で少なくとも表面が覆われ先端が円錐または多角錐様をなす導体棒である中心電極と、
このスパッタリングターゲット材の皮膜を内面に形成させ前記中心電極と同心状に設置した円筒状の接地電極と、
前記中心電極と前記接地電極との間の一部を電気的に絶縁する絶縁体と、
両電極間に電力を印加する電源部と、
前記接地電極内に雰囲気ガスを供給する雰囲気ガス供給部とを備えたことを特徴とする成膜装置。 - 前記接地電極内に供給される雰囲気ガスは、
前記中心電極内に長手軸方向へ形成された雰囲気ガス流路から供給されることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。 - 前記雰囲気ガス流路は、
前記接地電極内へ雰囲気ガスを供給する開口を複数有することを特徴とする請求項2に記載の成膜装置。 - 前記雰囲気ガス流路は、
前記接地電極内へ雰囲気ガスを供給する開口が多孔質状に形成されたことを特徴とする請求項2に記載の成膜装置。 - 前記接地電極内に供給される雰囲気ガスは、
前記絶縁体内に長手軸方向へ形成された雰囲気ガス流路から供給されることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。 - 前記雰囲気ガス流路の内壁は、導電性を有することを特徴とする請求項5に記載の成膜装置。
- 前記接地電極内に供給される雰囲気ガスは、
前記放電電極の先端部に雰囲気ガスを導入する雰囲気ガス供給配管から供給されることを特徴とする請求項1に記載の成膜装置。 - スパッタリングターゲット材の皮膜を内面に形成させる円筒状の接地電極を、このスパッタリングターゲット材で少なくとも表面が覆われ先端が円錐または多角錐様をなす導体棒である中心電極と同心状に設置し、
前記中心電極と前記接地電極との間の一部を電気的に絶縁する絶縁体を挿入した後、
前記中心電極と前記接地電極との間に電力を印加し、
前記中心電極と前記接地電極との間にプラズマを発生させるとともに前記接地電極内に雰囲気ガスを供給して前記接地電極の内面にスパッタリングターゲット材の皮膜を形成することを特徴とする成膜方法。
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