JP2009056497A - 拡散接合方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 この拡散接合方法は、金属素材どうしを接合する方法であって、金属素材の接合表面に変態点低下元素を添加する工程と、金属素材の接合表面どうしを密着させ、低下した変態点以上の温度において加圧して、拡散接合させる工程とを有する。これにより、金属素材の接合表面に変態点低下元素を添加することで接合表面近傍の変態点が局部的に低下するので、拡散接合工程において接合のための加熱温度を低下させるとともに、拡散接合の際の変形を表面近傍に限定し、母材の変形を抑制しつつ良好な接合を行うことができる。
【選択図】 図10
Description
以下の実施の形態の拡散接合方法は、例えば図1に示すような混合流路デバイスを製造するために、2つの板状部材、すなわち流路溝が形成された下側部材と、これを覆う上側部材とを拡散接合するためのものである。各部材は、表1に示すように、高純度のチタンから形成されており、製造工程に起因する不可避不純物を含む。
変形率の測定結果を図11に示す。接合温度が低いほど、加圧時間が短いほど変形率が小さいという予測された結果が得られ、すべての継手について変形率は目標値である2%以内に抑えられた。
Claims (6)
- 金属素材どうしを接合する方法であって、
前記金属素材の接合表面に変態点低下元素を添加する工程と、
前記金属素材の前記接合表面どうしを密着させ、低下した変態点以上の温度において加圧して、拡散接合させる工程と
を有することを特徴とする拡散接合方法。 - 前記金属素材は、チタン、ジルコニウム、ハフニウム又はこれらの合金であり、前記変態点低下元素は水素であることを特徴とする請求項1に記載の拡散接合方法。
- 前記水素を陰極チャージ法で添加することを特徴とする請求項2に記載の拡散接合方法。
- 前記拡散接合を実施した後に、前記変態点低下元素を拡散させる後処理を実施することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の拡散接合方法。
- 少なくとも一方の接合表面に微小凹凸が形成された金属素材どうしを接合することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれかに記載の拡散接合方法。
- 請求項5に記載の拡散接合方法を用いて製造されたことを特徴とする微小混合流路デバイス。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013007711A (ja) * | 2011-06-27 | 2013-01-10 | Ihi Corp | 放射性廃棄物処分容器、その製造方法及びその容器を用いた放射性廃棄物の封入方法 |
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2007
- 2007-08-31 JP JP2007227208A patent/JP2009056497A/ja active Pending
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