JP2009002787A - Eddy current flaw detection probe - Google Patents

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JP2009002787A JP2007163758A JP2007163758A JP2009002787A JP 2009002787 A JP2009002787 A JP 2009002787A JP 2007163758 A JP2007163758 A JP 2007163758A JP 2007163758 A JP2007163758 A JP 2007163758A JP 2009002787 A JP2009002787 A JP 2009002787A
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Akira Nishimizu
亮 西水
Hisashi Endo
久 遠藤
Hirofumi Ouchi
弘文 大内
Yoshio Nonaka
善夫 野中
Yosuke Takatori
洋介 高取
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Hitachi GE Nuclear Energy Ltd
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an eddy current flaw detection probe hard to cause disconnection against the bending or twist of a flexible board. <P>SOLUTION: The eddy current flaw detection probe has a plurality of the coils 2 fixed to the flexible board 1 and a connection part 3 for connecting the wiring of the flexible board 1 to separate wiring. The wiring of the flexible board 1 is composed of a plurality of wires 8a and 8b arranged to a strand of each of the coils and a short circuit wire 9 for connecting a plurality of the wires 8a and 8b. The flexible board has a curvature so that its width on the side of the connection part becomes wider than the width of the flexible board of the coil arranging part. A wedgelike insulating material 15 is attached on the side of the connection part for connecting the wiring of the flexible board 1 to separate wiring. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、渦電流探傷プローブに係り、特に、複数のコイルを順次連続して切換えて検出用コイルからの探傷信号を検出して被検査体の探傷を行うに好適な渦電流探傷プローブに関する。   The present invention relates to an eddy current flaw detection probe, and more particularly to an eddy current flaw detection probe suitable for flaw detection of a test object by detecting a flaw detection signal from a detection coil by sequentially switching a plurality of coils.

従来の渦電流探傷プローブとして、可撓性基板上に取り付けた複数のコイルを順次連続して切換えて検出用コイルからの探傷信号を検出して被検査体の探傷を行うものが知られている(例えば、特許文献1参照)。これは、基板の可撓性を利用して曲面の検査を行うものである。   As a conventional eddy current flaw detection probe, a probe that detects a flaw detection signal from a detection coil by sequentially switching a plurality of coils mounted on a flexible substrate to detect a test object is known. (For example, refer to Patent Document 1). This is to inspect a curved surface by utilizing the flexibility of the substrate.

また、分野は異なるものの、可撓性基板の配線に関する技術として、2本の配線を並列接続するものが知られている(例えば、特許文献2参照)。   In addition, although the fields are different, a technique for connecting two wirings in parallel is known as a technique related to wiring of a flexible substrate (see, for example, Patent Document 2).

特開2006−194661号公報JP 2006-194661 A 特開8−298364号公報JP-A-8-298364

曲面などの形状部を検査するマルチコイルを利用した渦電流探傷では、プローブを、被検査体の形状に合わせて密着させることが重要となる。この対策として、特許文献1に記載の渦電流探傷プローブでば、プローブの反被検査体側に配置した弾性体を予め検査部の曲率に合わせたベークライト等の剛体で構成されているが、渦電流プローブは可撓性基板とこの基板の配線から別の配線(ケーブル)に繋ぎかえる結線部が存在する。この結線部は樹脂等で固められた構造をしているが、プローブは検査対象によっては、可撓性基板に曲がりやねじれを生じるため、この可撓性基板と結線部に応力集中が発生し断線するという問題がある。   In eddy current flaw detection using a multi-coil for inspecting a shape portion such as a curved surface, it is important that the probe is brought into close contact with the shape of the object to be inspected. As a countermeasure against this, the eddy current flaw detection probe described in Patent Document 1 is composed of a rigid body such as a bakelite in which the elastic body arranged on the side of the probe to be inspected is matched with the curvature of the inspection portion in advance. The probe has a flexible substrate and a connection portion for connecting the wiring of this substrate to another wiring (cable). This connection part has a structure hardened with resin or the like, but depending on the inspection object, the probe may bend or twist in the flexible board, and stress concentration occurs between this flexible board and the connection part. There is a problem of disconnection.

また、この断線対策として、特許文献2に記載のように、素線を並列に複数設けることで基板の曲がりに対しても断線しにくくできるが、渦電流探傷のプローブでは、上述したように曲がりに加えてねじれも生じる場合があり、更なる断線対策が必要となる。   As a measure against this disconnection, as described in Patent Document 2, by providing a plurality of strands in parallel, it is possible to prevent disconnection even when the substrate is bent. In addition, twisting may occur, and further measures against disconnection are required.

本発明の目的は、可撓性基板の曲がりやねじれに対して断線しにくい渦電流探傷プローブを提供することにある。   An object of the present invention is to provide an eddy current flaw detection probe that is less likely to be broken by bending or twisting of a flexible substrate.

(1)上記目的を達成するために、本発明は、被検査体表面に面する可撓性基板と、この可撓性基板に固定された複数のコイルと、前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部とを有する渦電流探傷プローブであって、前記可撓性基板の配線は、各コイルの1素線に対して、並列配置された複数の配線と、これらの複数の配線を接続する短絡線とからなるものである。
かかる構成により、可撓性基板の曲がりやねじれに対して断線しにくいものとなる。
(1) In order to achieve the above object, according to the present invention, a flexible substrate facing the surface of an object to be inspected, a plurality of coils fixed to the flexible substrate, and wiring of the flexible substrate are provided. An eddy current flaw detection probe having a connection portion that is connected to another wiring, wherein the wiring of the flexible substrate includes a plurality of wirings arranged in parallel with respect to one element wire of each coil, and a plurality of these wirings It consists of a short-circuit wire that connects the wires.
With such a configuration, it is difficult to break the flexible substrate against bending or twisting.

(2)上記(1)において、好ましくは、前記可撓性基板は、前記結線部側の巾が、コイル配置部の可撓性基板の巾より広くなるように曲率を設けたものである。   (2) In the above (1), preferably, the flexible substrate is provided with a curvature so that the width on the connection portion side is wider than the width of the flexible substrate on the coil placement portion.

(3)上記(1)において、好ましくは、前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部側に取り付けられた楔形の絶縁物を備えるようにしたものである。   (3) In the above (1), preferably, a wedge-shaped insulator attached to the connection portion side for connecting the wiring of the flexible substrate to another wiring is provided.

(4)また、上記目的を達成するために、被検査体表面に面する可撓性基板と、この可撓性基板に固定された複数のコイルと、前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部とを有する渦電流探傷プローブであって、前記可撓性基板は、前記結線部側の巾が、コイル配置部の可撓性基板の巾より広くなるように曲率を設けたものである。
かかる構成により、可撓性基板の曲がりやねじれに対して断線しにくいものとなる。
(4) In order to achieve the above object, a flexible substrate facing the surface of the object to be inspected, a plurality of coils fixed to the flexible substrate, and wiring of the flexible substrate are separated. An eddy current flaw detection probe having a connection portion that is connected to a wiring, wherein the flexible substrate is provided with a curvature so that a width of the connection portion side is wider than a width of the flexible substrate of the coil placement portion. It is a thing.
With such a configuration, it is difficult to break the flexible substrate against bending or twisting.

(5)上記(4)において、好ましくは、前記可撓性基板の配線は、各コイルの1素線に対して、並列配置された複数の配線と、これらの複数の配線を接続する短絡線とからなるものである。   (5) In the above (4), preferably, the wiring of the flexible substrate is a plurality of wirings arranged in parallel to one element wire of each coil and a short-circuit line connecting the plurality of wirings. It consists of

(6)上記(4)において、好ましくは、前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部側に取り付けられた楔形の絶縁物を備えるようにしたものである。   (6) In the above (4), it is preferable that a wedge-shaped insulator attached to a connection portion side for connecting the wiring of the flexible substrate to another wiring is provided.

(7)また、上記目的を達成するために、本発明は、被検査体表面に面する可撓性基板と、この可撓性基板に固定された複数のコイルと、前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部とを有する渦電流探傷プローブであって、前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部側に取り付けられた楔形の絶縁物を備えるようにしたものである。
かかる構成により、可撓性基板の曲がりやねじれに対して断線しにくいものとなる。
(7) In order to achieve the above object, the present invention provides a flexible substrate facing the surface of an object to be inspected, a plurality of coils fixed to the flexible substrate, and the flexible substrate. An eddy current flaw detection probe having a connection part for connecting a wiring to another wiring, and having a wedge-shaped insulator attached to the connection part side for connecting the wiring of the flexible substrate to another wiring. It is what.
With such a configuration, it is difficult to break the flexible substrate against bending or twisting.

(8)上記(7)において、好ましくは、前記可撓性基板の配線は、各コイルの1素線に対して、並列配置された複数の配線と、これらの複数の配線を接続する短絡線とからなるものである。   (8) In the above (7), preferably, the wiring of the flexible substrate is a plurality of wirings arranged in parallel to one element wire of each coil, and a short-circuit wire connecting the plurality of wirings. It consists of

(9)上記(7)において、好ましくは、前記可撓性基板は、前記結線部側の巾が、コイル配置部の可撓性基板の巾より広くなるように曲率を設けたものである。   (9) In the above (7), preferably, the flexible substrate is provided with a curvature so that the width on the connection portion side is wider than the width of the flexible substrate on the coil placement portion.

以上説明したように本発明によれば、上記構成の渦電流探傷プローブにおいては、可撓性基板の曲がりやねじりに対しても断線しくくい渦電流探傷プローブを得ることができる。   As described above, according to the present invention, in the eddy current flaw detection probe having the above-described configuration, it is possible to obtain an eddy current flaw detection probe that is difficult to break even when the flexible substrate is bent or twisted.

以下、図1〜図4を用いて、本発明の第1の実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。
最初に、図1を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成について説明する。
図1は、本発明の第1の実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成を示す平面図である。
Hereinafter, the configuration of the eddy current flaw detection probe according to the first embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
First, the overall configuration of the eddy current flaw detection probe according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 1 is a plan view showing an overall configuration of an eddy current flaw detection probe according to a first embodiment of the present invention.

可撓性基板1の先端部には、複数のコイル2が2列に配列して取り付けられている。複数のコイル2は、順次連続して切換えられる。可撓性基板1は、ポリイミドフィルムに銅を蒸着した配線(図2で後述)を設けている。可撓性基板1の根元部は、結線部3に保持されている。結線部3は、可撓性基板1の配線を別の配線(ケーブル4)に繋ぎかえるために用いられる。結線部3は樹脂等で固めている。配線は、ポリイミドフィルムの積層間からコイル2と逆側へ引き出し、結線部3を介して、ケーブル4と結線される。   A plurality of coils 2 are attached to the distal end portion of the flexible substrate 1 in two rows. The plurality of coils 2 are sequentially switched sequentially. The flexible substrate 1 is provided with wiring (described later with reference to FIG. 2) in which copper is deposited on a polyimide film. The base portion of the flexible substrate 1 is held by the connection portion 3. The connection part 3 is used to connect the wiring of the flexible substrate 1 to another wiring (cable 4). The connection part 3 is hardened with resin or the like. The wiring is drawn out from between the laminated polyimide films to the opposite side of the coil 2 and is connected to the cable 4 via the connection part 3.

次に、図2を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブにおける配線について説明する。
図2は、本発明の第1の実施形態による渦電流探傷プローブにおける配線の構成を示す平面図である。
Next, the wiring in the eddy current flaw detection probe according to the present embodiment will be described with reference to FIG.
FIG. 2 is a plan view showing the configuration of wiring in the eddy current flaw detection probe according to the first embodiment of the present invention.

コイル2は、その両端部に、それぞれ、素線2a,2bを有している。素線2a,2bは、それぞれ、可撓性基板1の配線端子6a,6bに接続される。配線端子6aは、アース側の幅広配線7に接続されている。アース側の幅広配線7は、複数のコイル2に対して共通に接続され、アース線として用いられる。   The coil 2 has strands 2a and 2b at both ends thereof. The strands 2a and 2b are connected to the wiring terminals 6a and 6b of the flexible substrate 1, respectively. The wiring terminal 6a is connected to the wide wiring 7 on the ground side. The wide wiring 7 on the ground side is commonly connected to the plurality of coils 2 and used as a ground wire.

配線端子6bは、並列配置された2本の信号側配線8a,8bに接続される。信号側配線8a,8bは、並列配置されているとともに、その途中において、1ケ所以上の短絡配線9a,9b,9cにより接続されている。図示の例では、短絡配線9は、3カ所設けている。   The wiring terminal 6b is connected to two signal side wirings 8a and 8b arranged in parallel. The signal side wirings 8a and 8b are arranged in parallel, and are connected by one or more short-circuit wirings 9a, 9b, and 9c in the middle thereof. In the illustrated example, three short-circuit wirings 9 are provided.

なお、並列配置された2本の信号側配線8a,8bは、複数個のコイル2に対して、それぞれ設けられる。また、1個のコイル2の素線2bに対して接続される信号側配線の数は、2本に限らず、3本以上とすることもできる。   The two signal-side wirings 8 a and 8 b arranged in parallel are provided for the plurality of coils 2, respectively. Further, the number of signal-side wirings connected to the element wire 2b of one coil 2 is not limited to two, and may be three or more.

次に、図3及び図4を用いて、本実施形態による渦電流探傷プローブにおける曲げ・ねじれについて説明する。
図3は、本発明の第1の実施形態による渦電流探傷プローブにおける曲げについて説明する側面図である。図4は、本発明の第1の実施形態による渦電流探傷プローブにおけるねじれについて説明する斜視図である。なお、図3及び図4において、図1と同一符号は、同一部分を示している。
Next, bending and twisting in the eddy current flaw detection probe according to the present embodiment will be described with reference to FIGS. 3 and 4.
FIG. 3 is a side view for explaining bending in the eddy current flaw detection probe according to the first embodiment of the present invention. FIG. 4 is a perspective view for explaining twist in the eddy current flaw detection probe according to the first embodiment of the present invention. 3 and 4, the same reference numerals as those in FIG. 1 denote the same parts.

図1に示した渦電流探傷プローブは、原子炉容器などの探傷に用いられる。原子炉容器などの被検査体に近接して、レール等が設けられている。渦電流探傷プローブは、移動手段により、このレールに沿って移動する。その際、渦電流探傷プローブの可撓性基板1が、被検査体の表面に接触して曲げられ、可撓性基板1に保持された複数のコイル2が、被検査体に接触し、超音波探傷が可能となる。   The eddy current flaw detection probe shown in FIG. 1 is used for flaw detection in a nuclear reactor vessel or the like. A rail or the like is provided in the vicinity of an object to be inspected such as a nuclear reactor vessel. The eddy current flaw detection probe is moved along this rail by the moving means. At that time, the flexible substrate 1 of the eddy current flaw detection probe is bent in contact with the surface of the object to be inspected, and the plurality of coils 2 held on the flexible substrate 1 are in contact with the object to be inspected. Sonic flaw detection is possible.

可撓性基板1は、前述したように、ポリイミドフィルムに配線として用いる銅を蒸着したものであり、そのサイズは、例えば、幅20mmで、長さ200〜300mmと細長く、しかも、厚さは、0.1mmと薄いものである。なお、コイル2の数は、20〜50個であり、コイル2の数が多い場合には、それだけ、配線の数も増えるため、そのときには、銅の蒸着したポリイミドフィルムを複数積層して用いるため、多少厚さが増える。いずれにしても、薄く細長い形状であるため、曲がりやすいものである。   As described above, the flexible substrate 1 is obtained by vapor-depositing copper used as a wiring on a polyimide film. The size is, for example, a width of 20 mm, a length of 200 to 300 mm, and a thickness of It is as thin as 0.1 mm. The number of coils 2 is 20 to 50, and when the number of coils 2 is large, the number of wirings increases accordingly, and in that case, a plurality of polyimide films deposited with copper are used. , Increase the thickness somewhat. In any case, since it is thin and elongated, it is easy to bend.

図3に示すように、渦電流探傷プローブの可撓性基板1は、被検査体と接触してない状態では、実線で示す直線状であるが、被検査体の表面と接触することで、破線で示すように、曲げられる。   As shown in FIG. 3, the flexible substrate 1 of the eddy current flaw detection probe is a straight line indicated by a solid line in a state where it is not in contact with the object to be inspected, but by contacting the surface of the object to be inspected, Bent as shown by the dashed line.

結線部3は樹脂等で固めているため、当然、可撓性基板1と結線部3の境部A(図中破線)に、曲がりの影響を強く受けることになる。   Since the connection part 3 is hardened with resin or the like, naturally, the boundary part A (broken line in the figure) between the flexible substrate 1 and the connection part 3 is strongly influenced by the bending.

また、被検査体の表面形状に応じて、渦電流探傷プローブの可撓性基板1は、力を受けるため、図4に示すように、ねじれが生じることもある。
図4に示すように、可撓性基板1がねじれた場合には、同様に破線で示す境部Aに応力集中が発生することになる。
Further, since the flexible substrate 1 of the eddy current flaw detection probe receives a force according to the surface shape of the object to be inspected, as shown in FIG. 4, the twist may occur.
As shown in FIG. 4, when the flexible substrate 1 is twisted, stress concentration occurs at the boundary A indicated by the broken line.

それに対して、本実施形態では、図2にて説明したように、コイル2の1本の素線2bは、並列配置された2本の信号側配線8a,8bに接続されるとともに、信号側配線8a,8bは、その途中において、短絡配線9a,9b,9cにより接続されている。   On the other hand, in the present embodiment, as described with reference to FIG. 2, one strand 2b of the coil 2 is connected to the two signal-side wirings 8a and 8b arranged in parallel, and the signal side The wires 8a and 8b are connected by short-circuit wires 9a, 9b, and 9c in the middle thereof.

したがって、可撓性基板1の曲がりやねじれにより、例えば、配線8bに、図2に×印で示す断線部B1が生じ、また、配線8aに、図2に×印で示す断線部B2が生じたとしても、図中に矢印で示す電流路は確保できるため、強固な渦電流探傷プローブとなる。   Therefore, due to the bending or twisting of the flexible substrate 1, for example, a disconnection portion B1 indicated by a cross in FIG. 2 is generated in the wiring 8b, and a disconnection portion B2 indicated by a cross in FIG. 2 is generated in the wiring 8a. Even so, the current path indicated by the arrow in the figure can be secured, so that a strong eddy current flaw detection probe is obtained.

以上説明したように、本実施形態によれば、可撓性基板1に設ける配線を、並列配置された2本の信号側配線8a,8bと、その途中に設けられた短絡配線9a,9b,9cにより接続することで、曲げやねじれにより配線に断線が生じたとしても、短絡配線により電流路を確保でき、断線しくくいものとなる。   As described above, according to the present embodiment, the wiring provided on the flexible substrate 1 includes the two signal-side wirings 8a and 8b arranged in parallel and the short-circuiting wirings 9a and 9b provided in the middle thereof. By connecting by 9c, even if the wiring is disconnected due to bending or twisting, the current path can be secured by the short-circuit wiring, and the disconnection is difficult.

次に、図5を用いて、本発明の第2の実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。
図5は、本発明の第2の実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す平面図である。なお、図1と同一符号は、同一部分を示している。また、図5(B)は、図5(A)のX部の拡大図である。
Next, the configuration of the eddy current flaw detection probe according to the second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG.
FIG. 5 is a plan view showing a configuration of an eddy current flaw detection probe according to the second embodiment of the present invention. The same reference numerals as those in FIG. 1 indicate the same parts. FIG. 5B is an enlarged view of a portion X in FIG.

本実施形態では、図5(A)に示すように、可撓性基板1Aは、結線部3側で曲率を持たせ、その巾をコイル配置部の可撓性基板の巾より広くしている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 5A, the flexible substrate 1A has a curvature on the connection portion 3 side, and its width is wider than the width of the flexible substrate of the coil placement portion. .

また、図5(B)に示すように、図2に示した配線端子6bには、1本の配線8aのみが接続される。そして、可撓性基板1Aの根元の幅広部では、配線8aに対して、並列配置された2本の信号側配線11a,11bに接続される。信号側配線11a,1bは、並列配置されているとともに、その途中において、1ケ所以上の短絡配線9により接続されている。   Further, as shown in FIG. 5B, only one wiring 8a is connected to the wiring terminal 6b shown in FIG. And in the base wide part of flexible substrate 1A, it is connected to two signal side wirings 11a and 11b arranged in parallel to wiring 8a. The signal-side wirings 11a and 1b are arranged in parallel and are connected by one or more short-circuit wirings 9 in the middle thereof.

結線部3側で可撓性基板1の巾は曲率を持たして広くすることで、可撓性基板1Aのねじれによる応力集中を緩和することができる。   By increasing the width of the flexible substrate 1 with a curvature on the connection part 3 side, stress concentration due to twisting of the flexible substrate 1A can be reduced.

また、可撓性基板1Aに設ける配線は、ねじれの影響が大きい根元部において、並列配置された2本の信号側配線11a,11bと、その途中に設けられた短絡配線9により接続することで、曲げやねじれにより配線に断線が生じたとしても、短絡配線により電流路を確保でき、断線しくくいものとなる。   Further, the wiring provided on the flexible substrate 1A is connected by connecting the two signal-side wirings 11a and 11b arranged in parallel with the short-circuiting wiring 9 provided in the middle at the root portion where the influence of twisting is large. Even if disconnection occurs in the wiring due to bending or twisting, the current path can be secured by the short-circuit wiring, and the disconnection is difficult.

以上説明したように、本実施形態によれば、曲げやねじれにより配線に断線が生じたとしても、短絡配線により電流路を確保でき、断線しくくいものとなる。   As described above, according to the present embodiment, even if the wiring is disconnected due to bending or twisting, a current path can be secured by the short-circuit wiring, and the disconnection is difficult.

次に、図6及び図7を用いて、本発明の第3の実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。
図6は、本発明の第3の実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す平面図である。図7は、本発明の第3の実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す側面図である。なお、図1と同一符号は、同一部分を示している。また、図6(B)は、図6(A)のX部の拡大図である。
Next, the configuration of an eddy current flaw detection probe according to the third embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 6 is a plan view showing the configuration of an eddy current flaw detection probe according to the third embodiment of the present invention. FIG. 7 is a side view showing the configuration of the eddy current flaw detection probe according to the third embodiment of the present invention. The same reference numerals as those in FIG. 1 denote the same parts. FIG. 6B is an enlarged view of a portion X in FIG.

本実施形態では、図6(A)に示すように、可撓性基板1Aは、結線部3側で曲率を持たせ、その巾を広くしている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 6A, the flexible substrate 1A has a curvature on the side of the connecting portion 3 and widens the width.

また、図6(B)に示すように、図2に示した配線端子6bには、1本の配線8aのみが接続される。そして、可撓性基板1Aの根元の幅広部では、配線8aに対して、並列配置された2本の信号側配線11a,11bに接続される。信号側配線11a,11bは、並列配置されているとともに、その途中において、1ケ所以上の短絡配線9により接続されている。   Further, as shown in FIG. 6B, only one wiring 8a is connected to the wiring terminal 6b shown in FIG. And in the base wide part of flexible substrate 1A, it is connected to two signal side wirings 11a and 11b arranged in parallel to wiring 8a. The signal side wirings 11a and 11b are arranged in parallel and are connected by one or more short-circuit wirings 9 in the middle thereof.

さらに、図7に示すように、渦電流探傷プローブは、可撓性基板1Aの配線を別の配線に繋ぎかえる結線部側に、楔形の絶縁物15A,15Bを取り付けている。絶縁物15A,15Bは、弾性体である。したがって、図3に示すように、基板に曲げが生じるような応力が加わった場合や、図4に示すように、基板にねじれが生じるような応力が加わった場合には、その応力は絶縁物15A,15B収縮する方向に作用するため、可撓性基板1Aの根元側における曲げやねじれが生じにくくなる。   Further, as shown in FIG. 7, in the eddy current flaw detection probe, wedge-shaped insulators 15A and 15B are attached to the connection portion side where the wiring of the flexible substrate 1A is connected to another wiring. The insulators 15A and 15B are elastic bodies. Therefore, when stress that causes bending is applied to the substrate as shown in FIG. 3 or when stress that causes twisting is applied to the substrate as shown in FIG. Since it acts in the direction in which 15A and 15B contract, bending and twisting on the base side of the flexible substrate 1A are less likely to occur.

結線部3側で可撓性基板1の巾は曲率を持たして広くすることで、可撓性基板1Aのねじれによる応力集中を緩和することができる。   By increasing the width of the flexible substrate 1 with a curvature on the connection part 3 side, stress concentration due to twisting of the flexible substrate 1A can be reduced.

また、可撓性基板1Aに設ける配線は、ねじれの影響が大きい根元部において、並列配置された2本の信号側配線11a,11bと、その途中に設けられた短絡配線9により接続することで、曲げやねじれにより配線に断線が生じたとしても、短絡配線により電流路を確保でき、断線しくくいものとなる。   Further, the wiring provided on the flexible substrate 1A is connected by connecting the two signal-side wirings 11a and 11b arranged in parallel with the short-circuiting wiring 9 provided in the middle at the root portion where the influence of twisting is large. Even if disconnection occurs in the wiring due to bending or twisting, the current path can be secured by the short-circuit wiring, and the disconnection is difficult.

さらに、可撓性基板1の根元側における曲がりやねじれを低減でき、さらに、断線しにくいものとなる。   Furthermore, bending and twisting at the base side of the flexible substrate 1 can be reduced, and further, it is difficult to disconnect.

なお、楔形の絶縁物15A,15Bは、可撓性基板1Aを挟み込むように配置したが、片側のみとしても良い。楔形の絶縁物は弾性シリコンゴム等の弾性体を利用してもよい。   The wedge-shaped insulators 15A and 15B are arranged so as to sandwich the flexible substrate 1A, but may be provided on only one side. The wedge-shaped insulator may use an elastic body such as elastic silicon rubber.

以上説明したように、本実施形態によれば、曲げやねじれにより配線に断線が生じたとしても、短絡配線により電流路を確保でき、断線しくくいものとなる。   As described above, according to the present embodiment, even if the wiring is disconnected due to bending or twisting, a current path can be secured by the short-circuit wiring, and the disconnection is difficult.

次に、図8及び図9を用いて、本発明の第4の実施形態による渦電流探傷プローブの構成について説明する。
図8は、本発明の第4の実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す平面図である。図9は、本発明の第4の実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す側面図である。なお、図1と同一符号は、同一部分を示している。
Next, the configuration of an eddy current flaw detection probe according to the fourth embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS.
FIG. 8 is a plan view showing the configuration of an eddy current flaw detection probe according to the fourth embodiment of the present invention. FIG. 9 is a side view showing the configuration of an eddy current flaw detection probe according to the fourth embodiment of the present invention. The same reference numerals as those in FIG. 1 denote the same parts.

本実施形態では、図8に示すように、可撓性基板1Bは、結線部3側で曲率を持たせ、その巾を広くしている。しかし、図6(B)に示したような、並列配置された2本の信号側配線11a,11bや、短絡配線9はなく、コイル2の1本の素線は、1本の配線に接続されている。   In the present embodiment, as shown in FIG. 8, the flexible substrate 1 </ b> B has a curvature on the side of the connection portion 3 and widens the width. However, as shown in FIG. 6B, there are no two signal-side wires 11a and 11b arranged in parallel and the short-circuit wire 9, and one element wire of the coil 2 is connected to one wire. Has been.

また、図9に示すように、渦電流探傷プローブは、可撓性基板1Bの配線を別の配線に繋ぎかえる結線部側に、楔形の絶縁物15A,15Bを取り付けている。絶縁物15A,15Bは、楔形の絶縁物は弾性シリコンゴム等の弾性体を利用してもよい。したがって、図3に示すように、基板に曲げが生じるような応力が加わった場合や、図4に示すように、基板にねじれが生じるような応力が加わった場合には、その応力は絶縁物15A,15B収縮する方向に作用するため、可撓性基板1Bの根元側における曲げやねじれが生じにくくなる。   Further, as shown in FIG. 9, the eddy current flaw detection probe has wedge-shaped insulators 15A and 15B attached to the connection portion side where the wiring of the flexible substrate 1B is connected to another wiring. As the insulators 15A and 15B, an elastic body such as elastic silicon rubber may be used as the wedge-shaped insulator. Therefore, when stress that causes bending is applied to the substrate as shown in FIG. 3 or when stress that causes twisting is applied to the substrate as shown in FIG. Since it acts in the direction in which 15A and 15B contract, bending and twisting on the base side of the flexible substrate 1B are less likely to occur.

結線部3側で可撓性基板1Bの巾は曲率を持たして広くすることで、可撓性基板1Bのねじれによる応力集中を緩和することができる。   By increasing the width of the flexible substrate 1B with a curvature on the connection part 3 side, stress concentration due to twisting of the flexible substrate 1B can be reduced.

また、可撓性基板1の根元側における曲がりやねじれを低減でき、さらに、断線しにくいものとなる。   Further, bending and twisting at the base side of the flexible substrate 1 can be reduced, and further, disconnection is difficult.

以上説明したように、本実施形態によれば、曲げやねじれにより配線に断線が生じたとしても、短絡配線により電流路を確保でき、断線しくくいものとなる。
As described above, according to the present embodiment, even if the wiring is disconnected due to bending or twisting, a current path can be secured by the short-circuit wiring, and the disconnection is difficult.

本発明の第1の実施形態による渦電流探傷プローブの全体構成を示す平面図である。It is a top view which shows the whole structure of the eddy current flaw detection probe by the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態による渦電流探傷プローブにおける配線の構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the wiring in the eddy current test probe by the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態による渦電流探傷プローブにおける曲げについて説明する側面図である。It is a side view explaining the bending in the eddy current test probe by the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第1の実施形態による渦電流探傷プローブにおけるねじれについて説明する斜視図である。It is a perspective view explaining the twist in the eddy current inspection probe by the 1st Embodiment of this invention. 本発明の第2の実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the eddy current test probe by the 2nd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the eddy current test probe by the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第3の実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the eddy current test probe by the 3rd Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す平面図である。It is a top view which shows the structure of the eddy current test probe by the 4th Embodiment of this invention. 本発明の第4の実施形態による渦電流探傷プローブの構成を示す側面図である。It is a side view which shows the structure of the eddy current test probe by the 4th Embodiment of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1,1A,1B…可撓性基板
2…コイル
3…結線部
4…ケーブル
7,8…配線
9…短絡線
15A,15B…絶縁物
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1,1A, 1B ... Flexible substrate 2 ... Coil 3 ... Connection part 4 ... Cable 7, 8 ... Wiring 9 ... Short-circuit wire 15A, 15B ... Insulator

Claims (9)

被検査体表面に面する可撓性基板と、この可撓性基板に固定された複数のコイルと、前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部とを有する渦電流探傷プローブであって、
前記可撓性基板の配線は、各コイルの1素線に対して、並列配置された複数の配線と、これらの複数の配線を接続する短絡線とからなることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
Eddy current flaw detection probe having a flexible substrate facing the surface of the object to be inspected, a plurality of coils fixed to the flexible substrate, and a connection portion for switching the wiring of the flexible substrate to another wiring Because
The flexible substrate wiring comprises a plurality of wirings arranged in parallel with respect to one element wire of each coil and a short-circuit wire connecting the plurality of wirings. .
請求項1記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記可撓性基板は、前記結線部側の巾が、コイル配置部の可撓性基板の巾より広くなるように曲率を設けたことを特徴とする渦電流探傷プローブ。
The eddy current flaw detection probe according to claim 1,
The eddy current flaw detection probe according to claim 1, wherein the flexible substrate is provided with a curvature so that a width of the connecting portion side is wider than a width of the flexible substrate of the coil placement portion.
請求項1記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部側に取り付けられた楔形の絶縁物を備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
The eddy current flaw detection probe according to claim 1,
An eddy current flaw detection probe comprising a wedge-shaped insulator attached to a connection portion side for connecting the wiring of the flexible substrate to another wiring.
被検査体表面に面する可撓性基板と、この可撓性基板に固定された複数のコイルと、前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部とを有する渦電流探傷プローブであって、
前記可撓性基板は、前記結線部側の巾が、コイル配置部の可撓性基板の巾より広くなるように曲率を設けたことを特徴とする渦電流探傷プローブ。
Eddy current flaw detection probe having a flexible substrate facing the surface of the object to be inspected, a plurality of coils fixed to the flexible substrate, and a connection portion for switching the wiring of the flexible substrate to another wiring Because
The eddy current flaw detection probe according to claim 1, wherein the flexible substrate is provided with a curvature so that a width of the connection portion side is wider than a width of the flexible substrate of the coil arrangement portion.
請求項4記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記可撓性基板の配線は、各コイルの1素線に対して、並列配置された複数の配線と、これらの複数の配線を接続する短絡線とからなることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
The eddy current flaw detection probe according to claim 4,
The flexible substrate wiring comprises a plurality of wirings arranged in parallel with respect to one element wire of each coil and a short-circuit wire connecting the plurality of wirings. .
請求項4記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部側に取り付けられた楔形の絶縁物を備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
The eddy current flaw detection probe according to claim 4,
An eddy current flaw detection probe comprising a wedge-shaped insulator attached to a connection portion side for connecting the wiring of the flexible substrate to another wiring.
被検査体表面に面する可撓性基板と、この可撓性基板に固定された複数のコイルと、前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部とを有する渦電流探傷プローブであって、
前記可撓性基板の配線を別の配線に繋ぎかえる結線部側に取り付けられた楔形の絶縁物を備えることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
Eddy current flaw detection probe having a flexible substrate facing the surface of the object to be inspected, a plurality of coils fixed to the flexible substrate, and a connection portion for switching the wiring of the flexible substrate to another wiring Because
An eddy current flaw detection probe comprising a wedge-shaped insulator attached to a connection portion side for connecting the wiring of the flexible substrate to another wiring.
請求項7記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記可撓性基板の配線は、各コイルの1素線に対して、並列配置された複数の配線と、これらの複数の配線を接続する短絡線とからなることを特徴とする渦電流探傷プローブ。
The eddy current flaw detection probe according to claim 7,
The flexible substrate wiring comprises a plurality of wirings arranged in parallel with respect to one element wire of each coil and a short-circuit wire connecting the plurality of wirings. .
請求項7記載の渦電流探傷プローブにおいて、
前記可撓性基板は、前記結線部側の巾が、コイル配置部の可撓性基板の巾より広くなるように曲率を設けたことを特徴とする渦電流探傷プローブ。
The eddy current flaw detection probe according to claim 7,
The eddy current flaw detection probe according to claim 1, wherein the flexible substrate is provided with a curvature so that a width of the connection portion side is wider than a width of the flexible substrate of the coil arrangement portion.
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