JP2008509386A - 表面測定用プローブの使用法 - Google Patents
表面測定用プローブの使用法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008509386A JP2008509386A JP2007524401A JP2007524401A JP2008509386A JP 2008509386 A JP2008509386 A JP 2008509386A JP 2007524401 A JP2007524401 A JP 2007524401A JP 2007524401 A JP2007524401 A JP 2007524401A JP 2008509386 A JP2008509386 A JP 2008509386A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- probe
- artifact
- measurements
- measurement
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
- G01B21/00—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant
- G01B21/02—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness
- G01B21/04—Measuring arrangements or details thereof, where the measuring technique is not covered by the other groups of this subclass, unspecified or not relevant for measuring length, width, or thickness by measuring coordinates of points
- G01B21/045—Correction of measurements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
- A Measuring Device Byusing Mechanical Method (AREA)
- Pens And Brushes (AREA)
- Prostheses (AREA)
- Dental Preparations (AREA)
- Measurement Of Length, Angles, Or The Like Using Electric Or Magnetic Means (AREA)
Abstract
Description
(a)人工物の表面上の1つ以上の地点の近似的な位置を決定するステップと、
(b)ステップ(a)で決定された近似的な位置を用いて、プローブおよび人工物のうちの少なくとも一方を、プローブおよび表面の1つ以上の望ましい相対位置に移動させ、前記の位置において人工物の表面上の前記の地点の1つ以上の表面計測値を取得するステップであって、1つまたは複数の表面計測値が取得される間、プローブと人工物の間の相対移動がない、ステップと、
(c)ステップ(b)からのデータを用いて、表面上の1つ以上の地点の、動誤差が実質的に低減された位置を決定するステップと、
を任意の適切な順序で有する方法である。
(a)人工物の表面上のある地点の2つ以上の表面計測値を取得するステップであって、該計測値はプローブと人工物との間の相対移動がない間に取得され、2つ以上の表面計測値は異なるプローブ力、スタイラス変位または離隔プローブにおいて収集される、ステップと、
(b)計測データを人工物の表面上の前記の地点の位置に対応するデータに外挿するステップと、
を任意の適切な順序で有する方法である。
(a)人工物の表面上のある地点の2つまたはそれ以上の表面計測値を取得するステップであって、前記の2つ以上の計測値は同じプローブ変位またはプローブ力を有し、1つ以上の表面計測値はプローブと人工物との間の一定速度での相対移動の状態で取得され、1つまたは複数の表面計測値はプローブと人工物との間の相対移動がない間に取得される、ステップと、
(b)ステップ(a)から動誤差を決定するステップと、
(c)人工物の表面上の前記の地点の1つ以上の表面計測値を取得するステップであって、計測値はステップ(a)における計測値よりも小さなプローブ変位またはプローブ力によって取得され、計測値はプローブと人工物との間の一定速度での相対移動の状態で取得される、ステップと、
(d)ステップ(c)の1つ以上の表面計測値を、減少された静的および動誤差をもつ計測値を与えるように動誤差に関して補正するステップと、
を任意の適切な順序で有する方法である。
コントローラは、
(a)人工物の表面上の1つ以上の地点の近似的な位置を決定するステップと、
(b)ステップ(a)において決定された近似的な位置を用いて、プローブおよび人工物のうちの少なくとも一方をプローブおよび表面の1つまたは複数の望ましい相対位置に移動させ、前記の位置において人工物の表面上の前記の地点の1つ以上の表面計測値を、1つ以上の表面計測値が取得される間プローブと人工物との間の相対移動がないときに取得するステップと、
(c)ステップ(b)からのデータを用いて、表面上の1つ以上の地点の、動誤差が実質的に減少された位置を決定するステップと、
を任意の適切な順序で実行する。
コントローラは、
(a)人工物の表面上のある地点の2つ以上の表面計測値を取得するステップであって、計測値はプローブと人工物との間の相対移動がない間に取得され、2つまたはそれ以上の表面計測値は異なるプローブ力、スタイラス変位または離隔プローブにおいて収集されるステップと、
(b)計測データを人工物の表面上の前記の地点の位置に対応するデータに外挿するステップと、を任意の適切な順序で実行する。
コントローラを含み、
コントローラは、
(a)人工物の表面上のある地点の2つ以上の表面計測値を取得するステップであって、前記の2つ以上の計測値は同じプローブ偏位またはプローブ力を有し、1つ以上の表面計測値はプローブと人工物の間の一定速度での相対移動中に取得され、1つ以上の表面計測値はプローブと人工物との間の相対移動がないときに取得される、ステップと、
(b)ステップ(a)から動誤差を決定するステップと、
(c)人工物の表面上の前記の地点の1つ以上の表面計測値を取得するステップであって、計測値はステップ(a)における計測値よりも小さなプローブ偏位またはプローブ力によって取得され、計測値はプローブと人工物との間の一定速度での相対移動の状態で取得される、ステップと、
(d)ステップ(c)の1つ以上の表面計測値を、減少された静的および動誤差をもつ計測値を与えるように動誤差に関して補正するステップと、を任意の適切な順序で実行する。
Claims (27)
- 測定用プローブが人工物に対して相対的に移動するように取り付けられ、該プローブの相対位置を示す出力をもたらす少なくとも1つの測定装置を有する機械を用いて人工物を計測する方法であって、該プローブは、前記機械の出力との組合せにより前記人工物の表面上の地点の位置を示す1つ以上のプローブ出力をもたらす少なくとも1つの測定装置を有する計測する方法において、
(a)前記人工物の前記表面上の1つ以上の地点の近似的な位置を決定するステップと、
(b)ステップ(a)で決定された前記近似的な位置を用いて、前記プローブおよび前記人工物のうちの少なくとも一方を、前記プローブおよび前記表面の1つ以上の望ましい相対位置に移動させ、前記位置において前記人工物の前記表面上の前記地点の1つ以上の表面計測値を取得するステップであって、前記1つ以上の表面計測値が取得される間、前記プローブと前記人工物との間の相対移動がないステップと、
(c)ステップ(b)からのデータを用いて、動誤差が実質的に減少される前記表面上の前記1つ以上の地点の位置を決定するステップと、
を任意の適切な順序で有する方法。 - 前記表面上の地点の前記近似的な位置は、測定用プローブを用いて1つ以上の測定値を取得することによって決定される請求項1に記載の方法。
- 前記1つ以上の測定値は、前記プローブと前記表面の間の相対移動がある間に取得される請求項2に記載の方法。
- 前記1つまたは複数の測定値は、前記プローブが前記表面に対して静止している間に取得される請求項2に記載の方法。
- ステップ(b)における前記計測値は、ステップ(a)における前記計測値よりも前記表面に近い位置で前記プローブにより取得される請求項2乃至請求項4のうちののいずれかに記載の方法。
- 前記プローブは、変位可能なスタイラスを有し、ステップ(b)における前記表面計測値は低スタイラス変位において取得される請求項1乃至請求項5のうちのいずれかに記載の方法。
- 前記プローブは、変位可能なスタイラスを有し、ステップ(b)における前記表面計測値は低プローブ力において取得される請求項1乃至請求項5のうちのいずれかに記載の方法。
- 前記プローブは非接触プローブを含み、ステップ(b)における前記表面計測値は好都合なスタンドオフにおいて取得される請求項1乃至請求項5のうちのいずれかに記載の方法。
- 前記プローブと前記人工物の間の相対移動がない間に1つ以上の測定値を取得する前記ステップは、多数のデータ測定値を記録するステップと、前記データ測定値の平均を取るステップとを含む請求項1乃至請求項8うちのいずれかに記載の方法。
- 前記表面上の地点の前記近似的な位置は、測定用プローブにより2つ以上の測定値を取得することによって決定され、前記測定値は、異なるスタイラス変位、プローブ力、または離隔プローブにおいて取得され、前記2つまたはそれ以上の測定値に関連するデータは、前記近似的な位置を決定するために外挿される請求項2乃至請求項9のうちのいずれかに記載の方法。
- ステップ(c)は2つ以上の表面計測値からのデータを外挿するステップを含み、前記2つまたはそれ以上の表面位置は異なるスタイラス変位、プローブ力、または離隔プローブを有している請求項1乃至請求項10のうちのいずれかに記載の方法。
- 前記2つ以上の表面計測値の少なくとも1つは、ステップ(a)から取得される請求項11に記載の方法。
- 前記プローブは線形プローブであり、計測データは2つ以上の位置から取得される請求項10乃至請求項12のうちのいずれかに記載の方法。
- 前記プローブは、非線形プローブであり、前記計測データは、3つ以上の位置から取得される請求項10乃至請求項12のうちのいずれかに記載の方法。
- ステップ(a)において前記人工物の前記表面上の地点の前記近似的な位置を決定する前記ステップは、前記人工物の前記表面上の前記地点の1つ以上の表面計測値を取得することによって実行され、前記1つ以上の表面計測値は、前記プローブと前記人工物との間に一定速度の相対移動がある間に取得され、ステップ(a)とステップ(b)における前記1つ以上の計測値は、同じプローブ変位、プローブ力またはスタンドオフを有し、ステップ(a)とステップ(b)における前記計測値の間の差は、前記動誤差が決定されることを可能にする請求項1乃至請求項14のうちのいずれかに記載の方法。
- 前記方法は、1つ以上の表面計測値を取得する前記ステップを含み、前記1つ以上の表面計測値は、前記プローブと人工物の間に一定速度の相対移動があるときに取得され、前記プローブ変位またはプローブ力は、ステップ(a)およびステップ(b)におけるよりも小さく、前記小さなプローブ変位またはプローブ力において取得された前記1つまたは複数の表面計測値は、動誤差に関して補正される請求項15に記載の方法。
- 測定用プローブが人工物に対して相対的に移動するように取り付けられ、該プローブの相対位置を示す出力をもたらす少なくとも1つの測定装置を有する機械を用いて人工物を計測する方法であって、前記プローブは、前記機械の出力との組合せにより前記人工物の表面上の地点の位置を示す1つ以上のプローブ出力をもたらす少なくとも1つの測定装置を有する計測する方法において、
(a)前記人工物の前記表面上のある地点の2つ以上の表面計測値を取得するステップであって、該計測値は前記プローブと前記人工物との間の相対移動がない間に取得され、前記2つ以上の表面計測値は、異なるプローブ力、スタイラス偏位または離隔プローブにおいて収集されるステップと、
(b)前記計測データを前記人工物の前記表面上における前記地点の前記位置に対応するデータを外挿するステップと、
を任意の適切な順序で有する方法。 - 前記プローブは変位可能なスタイラスを有し、前記プローブは少なくとも2つの位置において異なるスタイラス変位を有し、前記計測データは、該スタイラスの前記静止位置に対応するように外挿される請求項17に記載の方法。
- 前記プローブは変位可能なスタイラスを有し、前記スタイラスと前記人工物の前記表面の間の、少なくとも2つの位置において異なるプローブ力が存在し、前記計測データはゼロのプローブ力に対応するように外挿される請求項17または請求項18のいずれかに記載の方法。
- 前記プローブは非接触プローブを含み、前記プローブは前記人工物の前記表面から、少なくとも2つの位置において異なるスタンドオフにあり、前記計測データは前記表面位置を決定するために外挿される請求項17または請求項18のいずれかに記載の方法。
- 前記プローブは線形プローブであり、前記計測データは2つ以上の位置から取得される請求項17乃至請求項20のうちのいずれかに記載の方法。
- 前記プローブは非線形プローブであり、前記計測データは3つまたはそれ以上の位置から取得される請求項17乃至請求項20のうちのいずれかに記載の方法。
- 前記プローブと前記人工物の間の相対移動がない間に1つまたは複数のデータ測定値を取得する前記ステップは、多数のデータ測定値を記録するステップと、該データ測定値の平均を取るステップとを含む請求項17乃至請求項22のうちのいずれかに記載の方法。
- 測定用プローブが人工物に対して相対的に移動するように取り付けられ、該プローブの相対位置を示す出力をもたらす少なくとも1つの測定装置を有する機械を用いて人工物を計測する方法であって、前記プローブは、前記機械出力との組合せにより前記人工物の表面上の地点の位置を示す1つ以上のプローブ出力をもたらす少なくとも1つの測定装置を有する計測する方法において、
(a)前記人工物の前記表面上のある地点の2つ以上の表面計測値を取得するステップであって、該2つ以上の計測値は、同じプローブ偏位またはプローブ力を有し、1つ以上の表面計測値は、前記プローブと前記人工物との間の一定速度での相対移動の状態で取得され、1つ以上の表面計測値は前記プローブと前記人工物との間の相対移動がない状態で取得されるステップと、
(b)ステップ(a)から動誤差を決定するステップと、
(c)前記人工物の前記表面上における前記地点の1つ以上の表面計測値を取得するステップであって、前記計測値はステップ(a)における計測値よりも小さなプローブ偏位またはプローブ力によって取得され、前記計測値は前記プローブと前記人工物との間の一定速度での相対移動の状態で取得されるステップと、
(d)ステップ(c)の前記1つ以上の表面計測値を、減少された静的および動誤差をもつ計測値をもたらすように動誤差に関して補正するステップと、
を任意の適切な順序で有する方法。 - 測定用プローブが人工物に対して相対的に移動するように取り付けられ、該プローブの相対位置を示す出力をもたらす少なくとも1つの測定装置を有する機械を用いて人工物を計測するための装置であって、し、前記プローブは、前記機械の出力との組合せにより前記人工物の表面上における地点の位置を示す1つ以上のプローブ出力をもたらす少なくとも1つの測定装置を有する装置において、
コントローラを含み、
該コントローラは、
(a)前記人工物の前記表面上の1つ以上の地点の近似的な位置を決定するステップと、
(b)ステップ(a)で決定された前記近似的な位置を用いて、前記プローブおよび前記人工物のうちの少なくとも一方を、前記プローブおよび前記表面の1つ以上の望ましい相対位置に移動させ、前記位置において前記人工物の前記表面上の前記地点の1つ以上の表面計測値を取得するステップであって、前記1つ以上の表面計測値が取得される間、前記プローブと前記人工物との間の相対移動がないステップと、
(c)ステップ(b)からのデータを用いて、動誤差が実質的に減少される前記表面上における前記1つ以上の地点の位置を決定するステップと、
を任意の適切な順序で実行する装置。 - 測定用プローブが人工物に対して相対的に移動するように取り付けられ、前記プローブの相対位置を示す出力を与える少なくとも1つの測定装置を有する機械を用いて人工物を計測するための装置であって、前記プローブは、前記機械出力との組合せにより前記人工物の表面上の地点の位置を示す1つ以上のプローブ出力を与える少なくとも1つの測定装置を有する装置において、
コントローラを含み、
該コントローラは、
(a)前記人工物の前記表面上のある地点の2つ以上の表面計測値を取得するステップであって、該計測値は前記プローブと前記人工物との間の相対移動がない間に取得され、前記2つ以上の表面計測値は異なるプローブ力、スタイラス変位または離隔プローブにおいて収集されるステップと、
(b)前記計測データを前記人工物の前記表面上における前記地点の位置に対応するデータに外挿するステップと、
を任意の適切な順序で実行する装置。 - 測定用プローブが人工物に対して相対的に移動するように取り付けられ、前記プローブの相対位置を示す出力を与える少なくとも1つの測定装置を有する機械を用いて人工物を計測するための装置であって、前記プローブは、前記機械出力との組合せにより前記人工物の表面上における地点の位置を示す1つ以上のプローブ出力をもたらす少なくとも1つの測定装置を有する装置において、コントローラを含み、
該コントローラは、
(a)前記人工物の前記表面上のある地点の2つ以上の表面計測値を取得するステップであって、前記2つ以上の計測値は同じプローブ偏位またはプローブ力を有し、1つ以上の表面計測値は前記プローブと前記人工物との間の一定速度での相対移動の状態で取得され、1つ以上の表面計測値は前記プローブと前記人工物との間の相対移動がないときに取得されるステップと、
(b)ステップ(a)から動誤差を決定するステップと、
(c)前記人工物の前記表面上の前記の地点の1つ以上の表面計測値を取得するステップであって、該計測値はステップ(a)における計測値よりも小さなプローブ偏位またはプローブ力によって取得され、該計測値は前記プローブと前記人工物との間の一定速度での相対移動の状態で取得されるようなステップと、
(d)ステップ(c)の前記1つ以上の表面計測値を、減少された静的および動誤差をもつ計測値をもたらすように動誤差に関して補正するステップと、
を任意の適切な順序で実行する装置。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GBGB0417536.0A GB0417536D0 (en) | 2004-08-06 | 2004-08-06 | The use of surface measurement probes |
PCT/GB2005/003095 WO2006013387A2 (en) | 2004-08-06 | 2005-08-05 | The use of surface measurement probes |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008509386A true JP2008509386A (ja) | 2008-03-27 |
JP2008509386A5 JP2008509386A5 (ja) | 2008-09-25 |
Family
ID=32982635
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007524401A Pending JP2008509386A (ja) | 2004-08-06 | 2005-08-05 | 表面測定用プローブの使用法 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7526873B2 (ja) |
EP (1) | EP1792139B2 (ja) |
JP (1) | JP2008509386A (ja) |
CN (1) | CN100460814C (ja) |
AT (1) | ATE391284T1 (ja) |
DE (1) | DE602005005839T3 (ja) |
GB (1) | GB0417536D0 (ja) |
WO (1) | WO2006013387A2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017146231A (ja) * | 2016-02-18 | 2017-08-24 | 株式会社東京精密 | 位置決め測定システム |
Families Citing this family (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB0608235D0 (en) * | 2006-04-26 | 2006-06-07 | Renishaw Plc | Differential calibration |
GB0703423D0 (en) | 2007-02-22 | 2007-04-04 | Renishaw Plc | Calibration method and apparatus |
JP2008304332A (ja) * | 2007-06-07 | 2008-12-18 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 表面粗さ/形状測定装置及び表面粗さ/形状測定方法 |
WO2009001385A1 (en) * | 2007-06-28 | 2008-12-31 | Hexagon Metrology S.P.A. | Method for determining dynamic errors in a measuring machine |
DE102009004982A1 (de) * | 2009-01-14 | 2010-07-22 | Höfler Maschinenbau GmbH | Messverfahren und Messvorrichtung |
GB0900878D0 (en) | 2009-01-20 | 2009-03-04 | Renishaw Plc | Method for optimising a measurement cycle |
CN102072701A (zh) * | 2010-11-23 | 2011-05-25 | 苏州江城数控精密机械有限公司 | 一种检测零件尺寸的方法及装置 |
JP6345171B2 (ja) | 2012-04-18 | 2018-06-20 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニーRenishaw Public Limited Company | 工作機械における測定方法および対応する工作機械装置 |
US9726481B2 (en) | 2012-04-18 | 2017-08-08 | Renishaw Plc | Method of analogue measurement scanning on a machine tool |
US9733060B2 (en) | 2012-04-18 | 2017-08-15 | Renishaw Plc | Method of finding a feature using a machine tool |
GB201316329D0 (en) * | 2013-09-13 | 2013-10-30 | Renishaw Plc | A Method of Using a scanning probe |
EP3077831B1 (en) * | 2013-12-07 | 2021-08-25 | Bruker Nano, Inc. | Force measurement with real-time baseline determination |
DE102015006636A1 (de) * | 2015-05-22 | 2016-11-24 | Blum-Novotest Gmbh | Verfahren und System zur Erfassung einer Werkstückkontur und zur Korrektur eines SOLL-Pfades für die Bearbeitung eines Werkstücks in einer Werkzeugmaschine |
DE102019122650A1 (de) * | 2019-08-22 | 2021-02-25 | M & H Inprocess Messtechnik Gmbh | Messsystem |
US11644299B2 (en) * | 2020-12-31 | 2023-05-09 | Mitutoyo Corporation | Inductive position sensor signal gain control for coordinate measuring machine probe |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6398508A (ja) * | 1986-10-08 | 1988-04-30 | レニシヨウ パブリック リミテッド カンパニー | アナログ測定プローブの使用方法および位置決め装置 |
WO1992020996A1 (en) * | 1991-05-21 | 1992-11-26 | Renishaw Metrology Limited | A method of measuring workpieces using a surface contacting measuring probe |
JPH05240635A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-09-17 | Carl Zeiss:Fa | 送り台によって支持された走査素子ないし工具の有効な瞬時位置を測定するための方法及び装置 |
JPH06213653A (ja) * | 1992-11-20 | 1994-08-05 | Renishaw Plc | 表面接触測定プローブを用いたワークピースの測定方法 |
JPH091443A (ja) * | 1995-02-23 | 1997-01-07 | Inst Fuer Fertigungstechnik Technische Univ Graz | 測定装置 |
JP2002022435A (ja) * | 2000-05-23 | 2002-01-23 | Carl Zeiss:Fa | 座標測定器の修正方法 |
JP2002039743A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-06 | Mori Seiki Co Ltd | 測定機 |
JP2002541469A (ja) * | 1999-04-08 | 2002-12-03 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 走査システムを校正する方法 |
DE102004007968A1 (de) * | 2004-02-18 | 2005-09-15 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Antasten eines Werkstücks mit einem Koordinatenmessgerät |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2242355C2 (de) | 1972-08-29 | 1974-10-17 | Fa. Carl Zeiss, 7920 Heidenheim | Elektronischer Mehrkoordinatentaster |
US4118871A (en) * | 1978-06-13 | 1978-10-10 | Kearney & Trecker Corporation | Binary inspection probe for numerically controlled machine tools |
GB8713715D0 (en) * | 1987-06-11 | 1987-07-15 | Renishaw Plc | Workpiece inspection method |
US5390424A (en) | 1990-01-25 | 1995-02-21 | Renishaw Metrology Limited | Analogue probe |
DE29612861U1 (de) | 1996-07-24 | 1996-09-12 | Fa. Carl Zeiss, 89518 Heidenheim | Koordinatenmeßgerät mit Meßzeitoptimierung |
US6810597B2 (en) * | 1999-04-08 | 2004-11-02 | Renishaw Plc | Use of surface measuring probes |
GB0215478D0 (en) * | 2002-07-04 | 2002-08-14 | Renishaw Plc | Method of scanning a calibrating system |
GB0228371D0 (en) * | 2002-12-05 | 2003-01-08 | Leland E C E | Workpiece inspection method |
GB0329098D0 (en) * | 2003-12-16 | 2004-01-21 | Renishaw Plc | Method of calibrating a scanning system |
DE102005003321A1 (de) * | 2005-01-18 | 2006-07-27 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Bestimmen einer Raumkoordinate eines Messpunktes an einem Messobjekt sowie entsprechendes Koordinatenmessgerät |
-
2004
- 2004-08-06 GB GBGB0417536.0A patent/GB0417536D0/en not_active Ceased
-
2005
- 2005-08-05 WO PCT/GB2005/003095 patent/WO2006013387A2/en active IP Right Grant
- 2005-08-05 AT AT05772904T patent/ATE391284T1/de not_active IP Right Cessation
- 2005-08-05 US US11/658,162 patent/US7526873B2/en active Active
- 2005-08-05 CN CNB2005800267219A patent/CN100460814C/zh active Active
- 2005-08-05 JP JP2007524401A patent/JP2008509386A/ja active Pending
- 2005-08-05 DE DE602005005839.7T patent/DE602005005839T3/de active Active
- 2005-08-05 EP EP05772904.8A patent/EP1792139B2/en active Active
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6398508A (ja) * | 1986-10-08 | 1988-04-30 | レニシヨウ パブリック リミテッド カンパニー | アナログ測定プローブの使用方法および位置決め装置 |
WO1992020996A1 (en) * | 1991-05-21 | 1992-11-26 | Renishaw Metrology Limited | A method of measuring workpieces using a surface contacting measuring probe |
JPH05240635A (ja) * | 1991-10-17 | 1993-09-17 | Carl Zeiss:Fa | 送り台によって支持された走査素子ないし工具の有効な瞬時位置を測定するための方法及び装置 |
JPH06213653A (ja) * | 1992-11-20 | 1994-08-05 | Renishaw Plc | 表面接触測定プローブを用いたワークピースの測定方法 |
JPH091443A (ja) * | 1995-02-23 | 1997-01-07 | Inst Fuer Fertigungstechnik Technische Univ Graz | 測定装置 |
JP2002541469A (ja) * | 1999-04-08 | 2002-12-03 | レニショウ パブリック リミテッド カンパニー | 走査システムを校正する方法 |
JP2002022435A (ja) * | 2000-05-23 | 2002-01-23 | Carl Zeiss:Fa | 座標測定器の修正方法 |
JP2002039743A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-06 | Mori Seiki Co Ltd | 測定機 |
DE102004007968A1 (de) * | 2004-02-18 | 2005-09-15 | Carl Zeiss Industrielle Messtechnik Gmbh | Verfahren zum Antasten eines Werkstücks mit einem Koordinatenmessgerät |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2017146231A (ja) * | 2016-02-18 | 2017-08-24 | 株式会社東京精密 | 位置決め測定システム |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN100460814C (zh) | 2009-02-11 |
WO2006013387A2 (en) | 2006-02-09 |
GB0417536D0 (en) | 2004-09-08 |
DE602005005839D1 (de) | 2008-05-15 |
ATE391284T1 (de) | 2008-04-15 |
EP1792139A2 (en) | 2007-06-06 |
EP1792139B1 (en) | 2008-04-02 |
EP1792139B2 (en) | 2014-02-19 |
WO2006013387A3 (en) | 2006-03-23 |
WO2006013387A9 (en) | 2007-03-15 |
CN1993600A (zh) | 2007-07-04 |
DE602005005839T3 (de) | 2014-04-10 |
DE602005005839T2 (de) | 2009-04-02 |
US7526873B2 (en) | 2009-05-05 |
US20080028626A1 (en) | 2008-02-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP2008509386A (ja) | 表面測定用プローブの使用法 | |
JP5042409B2 (ja) | 走査システムを校正する方法 | |
JP4504818B2 (ja) | 加工物検査方法 | |
CN109655023B (zh) | 用于确定工具定位机器的状态的系统 | |
US7286949B2 (en) | Method of error correction | |
TWI424164B (zh) | 差動校準 | |
JP6622216B2 (ja) | 測定プローブの較正 | |
EP2013571B1 (en) | Method of error correction | |
EP1446636B2 (en) | Dynamic artefact comparison | |
US7543393B2 (en) | Method of calibrating a scanning system | |
JP6189921B2 (ja) | 工作物を検査するための方法および装置 | |
JP5658863B2 (ja) | プローブの較正 | |
JP2005507495A (ja) | プローブの較正方法 | |
JP2017503157A (ja) | 慣性センサを使用することでモーションシステムの位置を較正すること | |
JP2019512095A (ja) | 走査プローブを較正するための方法及び装置 | |
JP2019509902A (ja) | キャリブレーション装置およびキャリブレーション方法 | |
Nikam | Coordinate Measuring Machine (CMM) | |
JP5715365B2 (ja) | 真直度測定装置並びに真直度測定方法 | |
JP2019158385A (ja) | 測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080805 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080805 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110812 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111114 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111121 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20111212 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20111219 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120213 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20121116 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130318 |
|
RD13 | Notification of appointment of power of sub attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7433 Effective date: 20130319 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130319 |
|
A911 | Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130513 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140115 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140120 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20140313 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20140318 |