JP2008283028A - 面発光型半導体レーザ、面発光型半導体レーザの製造方法、モジュール、光源装置、情報処理装置、光送信装置、光空間伝送装置および光空間伝送システム。 - Google Patents
面発光型半導体レーザ、面発光型半導体レーザの製造方法、モジュール、光源装置、情報処理装置、光送信装置、光空間伝送装置および光空間伝送システム。 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】VCSEL100は、p型のGaAs基板102と、GaAs基板102上に形成されたp型の下部DBR106と、下部DBR106上に形成され、光を発生する活性層112と、活性層112上に形成され、発振波長の光を選択的に吸収または反射し、レーザ光のモードを制御とする光モード制御層120と、光モード選択層120上に形成された上部DBR124とを有する。
【選択図】図1
Description
請求項3において、光モード制御層は、活性層と格子定数が整合する半導体層から構成される。
請求項4において、光モード制御層は、金属層を含む。
請求項5において、電流狭窄層は、高抵抗部と高抵抗部によって囲まれた導電部とを有し、光モード制御層の開口部の中心は、導電部の中心に一致する。
請求項6において、光モード制御層の開口部の径は、電流狭窄層の導電部の径よりも小さい。
請求項7において、電流狭窄層の高抵抗部は、選択的に酸化された領域である。
請求項8において、下部反射鏡は第1導電型を有し、光モード制御層は第2導電型を有し、光モード制御層と上部反射鏡との間に電極が形成され、当該電極が光モード制御層に電気的に接続される。
請求項9において、光モード制御層の開口部は、円形状に加工される。
請求項10において、光モード制御層の開口部は、スリット状に加工される。
請求項11において、光モード制御層の開口部は、開口部の中心に関して非対称となる複数の開口部に加工される。
請求項12において、光モード制御層の開口部は、開口部の中心に関して点対称となる複数の開口部に加工される。
請求項13において、光モード制御層の開口部の径は、出射されるレーザ光の波長に応じて選択される。
請求項16において、下部反射鏡、活性層、電流狭窄層および光モード制御層は、エピタキシャル成長により形成される。
請求項18に係る光源装置は、請求項1ないし13いずれか1つに記載された面発光型半導体レーザと、面発光型半導体レーザから発せられた光をレンズおよびミラーの少なくとも1つを含む光学部品を介して照射する照射手段と備える。
請求項19に係る情報処理装置は、請求項17に記載されたモジュールと、面発光型半導体レーザから発せられた光を送信する送信手段とを備える。
請求項20に係る光送信装置は、請求項17に記載されたモジュールと、面発光型半導体レーザから発せられた光を送信する送信手段とを備える。
請求項21に係る光空間伝送装置は、請求項17に記載されたモジュールと、面発光型半導体レーザから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備える。
請求項22に係る光空間伝送システムは、請求項17に記載されたモジュールと、面発光型半導体レーザから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備える。
請求項2によれば、活性層で発せられた光の一部を反射または吸収することでゲインを低下させ、レーザ光のモード制御を行うことができる。
請求項3によれば、下部反射鏡、活性層および電流狭窄層と連続する一連の工程により光モード制御層を形成することができる。
請求項4によれば、光を反射する金属層によりモード制御を行うことができる。
請求項5によれば、導電部と開口部の中心が一致することでモード制御を正確に行うことができる。
請求項6によれば、従来と比較して、電流狭窄層の導電部の径が大きくても、シングルモードのレーザ光を得ることが可能となる。
請求項7によれば、選択酸化による再現性を改善し、結果として面発光型半導体レーザの製造歩留まりが改善される。
請求項8によれば、光モード制御層を利用して電流の注入を行うことができる。
請求項9によれば、シングルモードのレーザ光を得ることができる。
請求項10によれば、スリットの方向に一致したレーザ光のパターンを得ることでレーザ光の偏向制御を行うことができる。
請求項11によれば、レーザ光の偏向制御を行うことができる。
請求項12によれば、点対称の光強度パターンを持つレーザ光を得ることができる。
請求項13によれば、レーザ光の波長の選択をすることができる。
請求項14によれば、共振器内に精度の高い開口部を持つ光モード制御層が形成され、光モードの制御を効果的に行うことができる。
請求項15によれば、従来と比較して電流狭窄層の導電部の径の再現性を改善し、面発光型半導体レーザの歩留まりを改善することができる。
請求項16によれば、一連の製造工程により下部反射鏡、活性層、電流狭窄層および光モード制御層を形成することができ、製造工程の複雑化を回避し、製造コストの低減を図ることができる。
請求項17ないし22によれば、目的に応じて制御されたモードを有するレーザ光を光通信や情報記録の光源に利用することができる。
104:p側電極 106:下部DBR
108:電流狭窄層 110:下部スペーサ層
112:活性層 114:上部スペーサ層
116:中間DBR 118:開口部
120:光モード制御層 122:n側電極
124:上部DBR 126:絶縁膜
128:導電部 130:p側上部電極
140:半円状開口 142:扇状開口
144:スリット 160:GaAs層
162:光モード制御層 164:開口部
170:上部DBR 172:n側電極
P:ポスト構造
Claims (22)
- 基板と、
基板上に形成された下部反射鏡と、
下部反射鏡上に形成され、光を発生する活性層と、
活性層上に形成され、下部反射鏡との間で共振器を形成する上部反射鏡と、
下部反射鏡と上部反射鏡の間に形成され、かつ活性層で発せられた光を選択的に吸収しまたは反射する開口部が形成され、レーザ光のモードを光学的に制御する光モード制御層と、
下部反射鏡と上部反射鏡との間に形成され、駆動時に流される電流を狭窄する電流狭窄層と、
を有する面発光型半導体レーザ。 - 活性層で発せられた光の一部は開口部を通過し、その他の光は光モード制御層により吸収または反射される、請求項1に記載の面発光型半導体レーザ。
- 光モード制御層は、活性層と格子定数が整合する半導体層から構成される、請求項1または2に記載の面発光型半導体レーザ。
- 光モード制御層は、金属層を含む、請求項1または2に記載の面発光型半導体レーザ。
- 電流狭窄層は、導電部と該導電部より高抵抗な高抵抗部とを有し、該導電部は該高抵抗部によって囲まれ、光モード制御層の開口部の中心は、導電部の中心に一致する、請求項1ないし4いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- 光モード制御層の開口部の径は、電流狭窄層の導電部の径よりも小さい、請求項5に記載の面発光型半導体レーザ。
- 電流狭窄層の高抵抗部は、選択的に酸化された領域である、請求項5または6に記載の面発光型半導体レーザ。
- 下部反射鏡は第1導電型を有し、光モード制御層は第2導電型を有し、光モード制御層と上部反射鏡との間に電極が形成され、当該電極が光モード制御層に電気的に接続される、請求項1に記載の面発光型半導体レーザ。
- 光モード制御層の開口部は、円形状に加工される、請求項1ないし8いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- 光モード制御層の開口部は、スリット状に加工される、請求項1ないし8いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- 光モード制御層の開口部は、開口部の中心に関して非対称となる複数の開口部に加工される、請求項1ないし8いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- 光モード制御層の開口部は、開口部の中心に関して点対称となる複数の開口部に加工される、請求項1ないし8いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- 光モード制御層の開口部の径は、出射されるレーザ光の波長に応じて選択される、請求項1ないし12いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザ。
- 基板上に、少なくとも下部反射鏡、電流狭窄層および活性層を構成する半導体各層を積層する工程と、
積層された半導体層の最上層にフォトリソ工程により開口部を形成し、レーザ光のモードを光学的に制御するための光モード制御層を形成する工程と、
光モード制御層上に、下部反射鏡との間で共振器を構成する上部反射鏡を形成する工程と、
を有する面発光型半導体レーザの製造方法。 - 製造方法はさらに、少なくとも光モード制御層から電流狭窄層に至るポスト構造を基板上に形成する工程と、
ポスト構造の側面から電流狭窄層の一部を酸化し、酸化領域によって囲まれた導電部を形成する工程とを含む、請求項14に記載の面発光型半導体レーザの製造方法。 - 下部反射鏡、活性層、電流狭窄層および光モード制御層は、エピタキシャル成長により形成される、請求項14に記載の製造方法。
- 請求項1ないし13いずれか1つに記載の面発光型半導体レーザと、面発光型半導体レーザに電気的に接続された電気接続端子と、面発光型半導体レーザから出射された光を入射する光学部品とを備えたモジュール。
- 請求項1ないし13いずれか1つに記載された面発光型半導体レーザと、面発光型半導体レーザから発せられた光をレンズおよびミラーの少なくとも1つを含む光学部品を介して照射する照射手段と備えた、光源装置。
- 請求項17に記載されたモジュールと、面発光型半導体レーザから発せられた光を送信する送信手段とを備えた、情報処理装置。
- 請求項17に記載されたモジュールと、面発光型半導体レーザから発せられた光を送信する送信手段とを備えた、光送信装置。
- 請求項17に記載されたモジュールと、面発光型半導体レーザから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送装置。
- 請求項17に記載されたモジュールと、面発光型半導体レーザから発せられた光を空間伝送する伝送手段とを備えた、光空間伝送システム。
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US13/078,031 US20110183450A1 (en) | 2007-05-11 | 2011-04-01 | Surface emitting semiconductor laser, method for fabricating surface emitting semiconductor laser, module, light source apparatus, data processing apparatus, light sending apparatus, optical spatial transmission apparatus, and optical spatial transmission system |
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Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010153768A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-07-08 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置 |
JP2010186899A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Fuji Xerox Co Ltd | 面発光型半導体レーザ、光半導体装置、光送信装置、光空間伝送装置、光送信システム、光空間伝送システムおよび面発光型半導体レーザの製造方法 |
JP2011139063A (ja) * | 2009-12-29 | 2011-07-14 | Lg Innotek Co Ltd | 発光素子、発光素子パッケージ |
JP2011171738A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Lg Innotek Co Ltd | 発光素子、発光素子の製造方法、発光素子パッケージ及び照明システム |
JP2011175993A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Nichia Corp | 窒化物半導体レーザ素子 |
JP2013191855A (ja) * | 2008-11-27 | 2013-09-26 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置 |
JP2014022667A (ja) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子及び原子発振器 |
WO2014204468A1 (en) * | 2013-06-20 | 2014-12-24 | Hewlett-Packard Development Company, Lp | Mode-controlled laser system |
Families Citing this family (31)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7517728B2 (en) * | 2004-03-31 | 2009-04-14 | Cree, Inc. | Semiconductor light emitting devices including a luminescent conversion element |
EP2017884A3 (en) * | 2007-07-20 | 2011-03-23 | Gallium Enterprises Pty Ltd | Buried contact devices for nitride-based films and manufacture thereof |
US8031754B2 (en) * | 2008-04-24 | 2011-10-04 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Surface emitting laser element, surface emitting laser element array, method of fabricating a surface emitting laser element |
US8989230B2 (en) | 2009-02-20 | 2015-03-24 | Vixar | Method and apparatus including movable-mirror mems-tuned surface-emitting lasers |
JP5515767B2 (ja) * | 2009-05-28 | 2014-06-11 | 株式会社リコー | 面発光レーザ素子の製造方法、面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置 |
KR101055768B1 (ko) * | 2009-12-14 | 2011-08-11 | 서울옵토디바이스주식회사 | 전극패드들을 갖는 발광 다이오드 |
US9236532B2 (en) * | 2009-12-14 | 2016-01-12 | Seoul Viosys Co., Ltd. | Light emitting diode having electrode pads |
JP2011155143A (ja) * | 2010-01-27 | 2011-08-11 | Fuji Xerox Co Ltd | 面発光型半導体レーザ、面発光型半導体レーザ装置、光伝送装置および情報処理装置 |
TWI405379B (zh) * | 2010-09-14 | 2013-08-11 | True Light Corp | 垂直共振腔面射型雷射及其製作方法 |
US8605765B2 (en) * | 2011-01-04 | 2013-12-10 | Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. | VCSEL with surface filtering structures |
JP6056154B2 (ja) * | 2011-07-21 | 2017-01-11 | 富士ゼロックス株式会社 | 発光素子、発光素子アレイ、光書込みヘッドおよび画像形成装置 |
US9088134B2 (en) * | 2011-07-27 | 2015-07-21 | Vixar Inc. | Method and apparatus including improved vertical-cavity surface-emitting lasers |
US20130188993A1 (en) * | 2012-01-20 | 2013-07-25 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Surface-emitting semiconductor laser, surface-emitting semiconductor laser device, optical transmission device, and information processing device |
US8759859B2 (en) * | 2012-03-08 | 2014-06-24 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Light-emitting element, self-scanning light-emitting element array, optical writing head, and image forming apparatus |
KR101928436B1 (ko) | 2012-10-10 | 2019-02-26 | 삼성전자주식회사 | 광 집적 회로용 하이브리드 수직 공명 레이저 |
JP5954469B1 (ja) * | 2015-02-25 | 2016-07-20 | 富士ゼロックス株式会社 | 面発光型半導体レーザ、面発光型半導体レーザアレイ、面発光型半導体レーザ装置、光伝送装置および情報処理装置 |
US10075257B2 (en) | 2016-01-11 | 2018-09-11 | Nokia Of America Corporation | Optical spatial division multiplexing usable at short reach |
US9853416B2 (en) | 2016-01-11 | 2017-12-26 | Alcatel-Lucent Usa Inc. | Multimode vertical-cavity surface-emitting laser |
JP2017204577A (ja) * | 2016-05-12 | 2017-11-16 | スタンレー電気株式会社 | 面発光レーザ装置 |
US10873174B2 (en) * | 2016-11-02 | 2020-12-22 | Sony Corporation | Light-emitting element and method of manufacturing the same |
US10892601B2 (en) * | 2018-05-24 | 2021-01-12 | Stanley Electric Co., Ltd. | Vertical cavity light-emitting element |
KR20200005083A (ko) | 2018-07-05 | 2020-01-15 | 삼성전자주식회사 | 광센싱 시스템 및 이를 포함하는 전자 기기 |
CN111092366B (zh) * | 2018-10-23 | 2021-04-06 | 山东华光光电子股份有限公司 | 一种具有双面电流限制结构的半导体激光器及制备方法 |
CN109038217B (zh) * | 2018-10-31 | 2024-04-26 | 厦门乾照半导体科技有限公司 | 延长使用寿命的vcsel芯片及制作方法和电子器件 |
US11404848B2 (en) * | 2018-12-24 | 2022-08-02 | Seoul Viosys Co., Ltd. | Vertical-cavity surface-emitting laser |
CN112544021B (zh) * | 2019-07-08 | 2024-02-06 | 泉州市三安光通讯科技有限公司 | 半导体激光光束整形器 |
CN110867727B (zh) * | 2019-11-28 | 2021-05-11 | 厦门乾照半导体科技有限公司 | 一种高增益有源区的生长方法及vcsel的生长方法 |
CN111584602B (zh) * | 2020-05-28 | 2023-04-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 显示基板及其制备方法、显示装置 |
CN111817129A (zh) * | 2020-08-31 | 2020-10-23 | 江西铭德半导体科技有限公司 | 一种vcsel芯片及其制造方法 |
CN112234437A (zh) * | 2020-10-30 | 2021-01-15 | 电子科技大学 | 一种用于vcsel的多组分量子阱外延结构及其制备工艺 |
CN114256106B (zh) * | 2021-12-13 | 2022-09-13 | 盐城矽润半导体有限公司 | 一种半导体贴装设备 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000196189A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-14 | Toshiba Corp | 面発光型半導体レーザ |
JP2004063657A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザおよび面発光レーザアレイおよび光送信モジュールおよび光送受信モジュールおよび光通信システム |
JP2005093634A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Ricoh Co Ltd | 面発光型半導体レーザー及びその製造方法 |
JP2005158922A (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Fuji Xerox Co Ltd | 表面発光型半導体レーザ素子およびその製造方法 |
Family Cites Families (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0856049A (ja) | 1994-08-15 | 1996-02-27 | Tokyo Inst Of Technol | 面発光レーザの偏波制御法 |
JP4134366B2 (ja) | 1998-01-08 | 2008-08-20 | 株式会社日立製作所 | 面発光レーザ |
JP3697903B2 (ja) * | 1998-07-06 | 2005-09-21 | 富士ゼロックス株式会社 | 面発光レーザおよび面発光レーザアレイ |
US6185241B1 (en) * | 1998-10-29 | 2001-02-06 | Xerox Corporation | Metal spatial filter to enhance model reflectivity in a vertical cavity surface emitting laser |
US6751245B1 (en) * | 1999-06-02 | 2004-06-15 | Optical Communication Products, Inc. | Single mode vertical cavity surface emitting laser |
US6507595B1 (en) * | 1999-11-22 | 2003-01-14 | Avalon Photonics | Vertical-cavity surface-emitting laser comprised of single laser elements arranged on a common substrate |
US6931042B2 (en) * | 2000-05-31 | 2005-08-16 | Sandia Corporation | Long wavelength vertical cavity surface emitting laser |
US6882673B1 (en) * | 2001-01-15 | 2005-04-19 | Optical Communication Products, Inc. | Mirror structure for reducing the effect of feedback on a VCSEL |
JP4621393B2 (ja) | 2001-03-27 | 2011-01-26 | 富士ゼロックス株式会社 | 表面発光型半導体レーザ及び表面発光型半導体レーザの製造方法 |
JP4265875B2 (ja) * | 2001-05-28 | 2009-05-20 | 日本オプネクスト株式会社 | 面発光半導体レーザの製造方法 |
GB2377318A (en) * | 2001-07-03 | 2003-01-08 | Mitel Semiconductor Ab | Vertical Cavity Surface Emitting Laser |
JP4537658B2 (ja) * | 2002-02-22 | 2010-09-01 | 株式会社リコー | 面発光レーザ素子、該面発光レーザ素子を用いた面発光レーザアレイ、電子写真システム、面発光レーザモジュール、光通信システム、光インターコネクションシステム、および面発光レーザ素子の製造方法 |
JP2004153149A (ja) * | 2002-10-31 | 2004-05-27 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 発光モジュール |
JP2004200209A (ja) * | 2002-12-16 | 2004-07-15 | Fuji Xerox Co Ltd | 電極等の導電パターンの形成方法およびこれを用いた面発光型半導体レーザ並びにその製造方法 |
JP4590820B2 (ja) | 2002-12-16 | 2010-12-01 | 富士ゼロックス株式会社 | 面発光型半導体レーザおよびその製造方法 |
JP2004288674A (ja) * | 2003-03-19 | 2004-10-14 | Fuji Xerox Co Ltd | 面発光型半導体レーザおよびそれを用いた光通信システム |
JP4300888B2 (ja) * | 2003-06-11 | 2009-07-22 | 富士ゼロックス株式会社 | 光波長多重通信用モジュールおよびこれを用いた光波長多重通信システム |
JP2005340567A (ja) * | 2004-05-28 | 2005-12-08 | Fuji Xerox Co Ltd | 表面発光型半導体レーザ素子およびその製造方法 |
JP4919639B2 (ja) * | 2004-10-13 | 2012-04-18 | 株式会社リコー | 面発光レーザ素子および面発光レーザアレイおよび面発光レーザ素子の製造方法および面発光レーザモジュールおよび電子写真システムおよび光通信システムおよび光インターコネクションシステム |
US7339969B2 (en) * | 2006-05-05 | 2008-03-04 | Optical Communication Products, Inc. | Refined mirror structure for reducing the effect of feedback on a VCSEL |
-
2007
- 2007-05-11 JP JP2007126571A patent/JP2008283028A/ja active Pending
- 2007-11-28 US US11/946,327 patent/US7944957B2/en active Active
-
2008
- 2008-01-15 KR KR1020080004201A patent/KR101121114B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2008-01-17 CN CN2008100036629A patent/CN101304157B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2011
- 2011-04-01 US US13/078,031 patent/US20110183450A1/en not_active Abandoned
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000196189A (ja) * | 1998-12-24 | 2000-07-14 | Toshiba Corp | 面発光型半導体レーザ |
JP2004063657A (ja) * | 2002-07-26 | 2004-02-26 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザおよび面発光レーザアレイおよび光送信モジュールおよび光送受信モジュールおよび光通信システム |
JP2005093634A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Ricoh Co Ltd | 面発光型半導体レーザー及びその製造方法 |
JP2005158922A (ja) * | 2003-11-25 | 2005-06-16 | Fuji Xerox Co Ltd | 表面発光型半導体レーザ素子およびその製造方法 |
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8649407B2 (en) | 2008-11-27 | 2014-02-11 | Ricoh Company, Ltd. | Surface-emitting laser device, surface-emitting laser array, optical scanning apparatus and image forming apparatus |
US8958449B2 (en) | 2008-11-27 | 2015-02-17 | Ricoh Company, Ltd. | Surface-emitting laser device, surface-emitting laser array, optical scanning apparatus and image forming apparatus |
JP2013191855A (ja) * | 2008-11-27 | 2013-09-26 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置 |
US8483254B2 (en) | 2008-11-27 | 2013-07-09 | Ricoh Company, Ltd. | Surface-emitting laser device, surface-emitting laser array, optical scanning apparatus and image forming apparatus |
JP2010153768A (ja) * | 2008-11-27 | 2010-07-08 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子、面発光レーザアレイ、光走査装置及び画像形成装置 |
US8031755B2 (en) | 2009-02-13 | 2011-10-04 | Fuji Xerox Co., Ltd. | Surface emitting semiconductor laser and method for fabricating the same |
JP2010186899A (ja) * | 2009-02-13 | 2010-08-26 | Fuji Xerox Co Ltd | 面発光型半導体レーザ、光半導体装置、光送信装置、光空間伝送装置、光送信システム、光空間伝送システムおよび面発光型半導体レーザの製造方法 |
JP2011139063A (ja) * | 2009-12-29 | 2011-07-14 | Lg Innotek Co Ltd | 発光素子、発光素子パッケージ |
US9276175B2 (en) | 2009-12-29 | 2016-03-01 | Lg Innotek Co., Ltd. | Light emitting device, light emitting device package |
JP2011171738A (ja) * | 2010-02-18 | 2011-09-01 | Lg Innotek Co Ltd | 発光素子、発光素子の製造方法、発光素子パッケージ及び照明システム |
JP2011175993A (ja) * | 2010-02-23 | 2011-09-08 | Nichia Corp | 窒化物半導体レーザ素子 |
JP2014022667A (ja) * | 2012-07-20 | 2014-02-03 | Ricoh Co Ltd | 面発光レーザ素子及び原子発振器 |
WO2014204468A1 (en) * | 2013-06-20 | 2014-12-24 | Hewlett-Packard Development Company, Lp | Mode-controlled laser system |
US10033159B2 (en) | 2013-06-20 | 2018-07-24 | Hewlett Packard Enterprise Development Lp | Mode-controlled laser system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN101304157A (zh) | 2008-11-12 |
US20080279229A1 (en) | 2008-11-13 |
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US7944957B2 (en) | 2011-05-17 |
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