JP2008242089A - Photosensitive composition - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a photosensitive composition having higher sensitivity. <P>SOLUTION: The photosensitive composition comprises a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator, wherein a photopolymerization initiator represented by formula (1) is used. <P>COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

Description

本発明は、光重合開始剤を含有する感光性組成物に関し、特に液晶ディスプレイにおけるカラーフィルタ、ブラックマトリクス、スペーサ等を形成するために用いられる感光性組成物に関する。   The present invention relates to a photosensitive composition containing a photopolymerization initiator, and more particularly to a photosensitive composition used for forming a color filter, a black matrix, a spacer and the like in a liquid crystal display.

感光性組成物は、光重合性化合物と光重合開始剤とを含むものであり、紫外線等の光を照射することによって硬化するものである。この感光性組成物は、光を照射した部分を硬化させることにより所望の形状のパターンが得られるため、印刷板、ホトレジスト等の種々の用途に用いられてきた。
特に液晶表示装置におけるブラックマトリクスは、遮光剤を含む感光性組成物から形成されるが、その遮光剤の存在のために、感光性組成物から形成された膜の深部に到達する光が少なくなり、感光性組成物の光硬化が不十分になる可能性がある。
上記感光性組成物においては、光重合開始剤の性能が感光性組成物の感度を向上させる上で重要な要素となる。このような光重合開始剤としては、オキシム系の光重合開始剤が開発されている。(例えば、特許文献1〜6等参照)
特表2004−534797号公報 特開2004−359639号公報 特開2005−220097号公報 特開2006−160634号公報 特表2006−516246号公報 国際公開第2006/018405号パンフレット
The photosensitive composition contains a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator, and is cured by irradiation with light such as ultraviolet rays. This photosensitive composition has been used in various applications such as printing plates and photoresists because a pattern having a desired shape can be obtained by curing a portion irradiated with light.
In particular, a black matrix in a liquid crystal display device is formed from a photosensitive composition containing a light-shielding agent. The photocuring of the photosensitive composition may be insufficient.
In the photosensitive composition, the performance of the photopolymerization initiator is an important factor for improving the sensitivity of the photosensitive composition. As such a photopolymerization initiator, an oxime photopolymerization initiator has been developed. (For example, see Patent Documents 1 to 6)
JP-T-2004-534797 Japanese Patent Laid-Open No. 2004-359639 Japanese Patent Laid-Open No. 2005-220097 JP 2006-160634 A JP-T-2006-516246 International Publication No. 2006/018405 Pamphlet

しかしながら、上記感光性組成物においても、さらなる高感度化が求められている。   However, higher sensitivity is also required in the photosensitive composition.

本発明は、上記課題に鑑みなされたものであり、より高感度な感光性組成物を提供することにある。   This invention is made | formed in view of the said subject, and is providing the photosensitive composition with higher sensitivity.

本発明の感光性組成物は、光重合性化合物と、光重合開始剤とを含み、
前記光重合開始剤は、式(1)で示される骨格を有する化合物を含有する。

Figure 2008242089
(式(1)中、A、B、Gは一価の有機基であり、Eは置換基を有していてもよい共役二重結合性環状基である。) The photosensitive composition of the present invention comprises a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator,
The photopolymerization initiator contains a compound having a skeleton represented by the formula (1).
Figure 2008242089
(In Formula (1), A, B, and G are monovalent organic groups, and E is a conjugated double bond cyclic group that may have a substituent.)

上記のように、特定の構造を有し365nmにおける吸光度が0.3以上である光重合開始剤を用いることによって、感光性組成物の感度を向上させることができる。   As described above, the sensitivity of the photosensitive composition can be improved by using a photopolymerization initiator having a specific structure and an absorbance at 365 nm of 0.3 or more.

本発明によれば、感度の高い光重合開始剤を用いているため、より高感度な感光性組成物を提供することができる。   According to the present invention, since a highly sensitive photopolymerization initiator is used, a more sensitive photosensitive composition can be provided.

本発明の感光性組成物は、光重合性化合物と、光重合開始剤とを含む。
前記光重合開始剤は、式(1)で示される骨格を有し、365nmにおける吸光度が0.3以上である化合物を含有する。

Figure 2008242089
(式(1)中、A、B、Gは一価の有機基であり、Eは置換基を有していてもよい共役二重結合性環状基である。)
なお、この吸光度は、島津製作所株式会社製 吸光光度計 UV3100を用い、有機溶剤PGMEで対象の開始剤を0.0017%に希釈してスリット幅2.0、サンプリングピッチ0.5で測定したものである。 The photosensitive composition of the present invention contains a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator.
The photopolymerization initiator contains a compound having a skeleton represented by the formula (1) and an absorbance at 365 nm of 0.3 or more.
Figure 2008242089
(In Formula (1), A, B, and G are monovalent organic groups, and E is a conjugated double bond cyclic group that may have a substituent.)
This absorbance was measured using a UV3100 absorptiometer manufactured by Shimadzu Corporation with the target initiator diluted to 0.0017% with an organic solvent PGME and a slit width of 2.0 and a sampling pitch of 0.5.

上記感光性組成物では、照射される特定波長の光に対する感度が求められている。一般的には、365nmの波長を含む光が用いられており、特に365nmの光に対する感度の高いことが求められる。上記式(1)で表される化合物の中でも、365nmにおける吸光度が0.3以上である化合物を用いることにより、感光性組成物の感度を向上させることができる。特に、上記式(1)で表されるようなカルバゾール基を有するオキシム化合物では感度向上の効果が顕著である。また、上記365nmにおける吸光度は、0.4以上であることが好ましく、0.5以上であることがより好ましい。   In the said photosensitive composition, the sensitivity with respect to the light of the specific wavelength irradiated is calculated | required. In general, light including a wavelength of 365 nm is used, and in particular, high sensitivity to 365 nm light is required. Among the compounds represented by the formula (1), the sensitivity of the photosensitive composition can be improved by using a compound having an absorbance at 365 nm of 0.3 or more. In particular, in the oxime compound having a carbazole group represented by the above formula (1), the effect of improving the sensitivity is remarkable. Further, the absorbance at 365 nm is preferably 0.4 or more, and more preferably 0.5 or more.

前記A、Gは、−R、−OR、−COR、−SR、又は−NRで表される基が好ましい。また、Bは−R、−OR、−COR、−SR、−CONR又は−CNであることが好ましい。上記R及びRは、それぞれ独立して、アルキル基、アリール基、アラルキル基又は複素環基を表し、これらはハロゲン原子及び/又は複素環基で置換されていてもよく、これらのうちアルキル基及びアラルキル基のアルキレン部分は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよく、また、R及びRは一緒になって環を形成していてもよい。
及びRで表されるアルキル基としては、炭素数1から20のものが好ましく、炭素数1から5のものがより好ましい。例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、第二ブチル基、第三ブチル基、アミル基、イソアミル基、第三アミル基、ヘキシル基、ヘプチル基、オクチル基、イソオクチル基、2−エチルヘキシル基、第三オクチル基、ノニル基、イソノニル基、デシル基、イソデシル基等の直鎖状又は分岐状の飽和炭化水素基や、ビニル基、アリル基、ブテニル基、エチニル基、プロピニル基等の直鎖状又は分岐状の不飽和炭化水素基が挙げられる。また、置換基を有していてもよい。例えば、メトキシエトキシエチル基、エトキシエトキシエチル基、プロピロキシエトキシエチル基、メトキシプロピル基、2−(ベンゾオキサゾール−2’−イル)エテニル基等が挙げられる。中でも上記Aは、メチル基であることが好ましい。
Wherein A, G are, -R 1, -OR 1, -COR 1, -SR 1, or preferably a group represented by -NR 1 R 2. Further, B is preferably —R 1 , —OR 1 , —COR 1 , —SR 1 , —CONR 1 R 2, or —CN. R 1 and R 2 each independently represents an alkyl group, an aryl group, an aralkyl group or a heterocyclic group, which may be substituted with a halogen atom and / or a heterocyclic group, The alkylene part of the group and the aralkyl group may be interrupted by an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond, or an ester bond, and R 1 and R 2 may be combined to form a ring.
The alkyl group represented by R 1 and R 2 preferably has 1 to 20 carbon atoms, and more preferably has 1 to 5 carbon atoms. For example, methyl group, ethyl group, propyl group, isopropyl group, n-butyl group, isobutyl group, secondary butyl group, tertiary butyl group, amyl group, isoamyl group, tertiary amyl group, hexyl group, heptyl group, octyl Group, isooctyl group, 2-ethylhexyl group, tertiary octyl group, nonyl group, isononyl group, decyl group, isodecyl group and other linear or branched saturated hydrocarbon groups, vinyl group, allyl group, butenyl group, Examples thereof include linear or branched unsaturated hydrocarbon groups such as ethynyl group and propynyl group. Moreover, you may have a substituent. Examples thereof include a methoxyethoxyethyl group, an ethoxyethoxyethyl group, a propyloxyethoxyethyl group, a methoxypropyl group, and a 2- (benzoxazol-2′-yl) ethenyl group. Above all, A is preferably a methyl group.

及びRで表されるアリール基としては、炭素数6から20のものが好ましく、炭素数6から10のものがより好ましい。また、不飽和結合を含有していてもよい。例えば、フェニル基、トリル基、キシリル基、エチルフェニル基、ナフチル基、アントリル基、フェナントリル基等が挙げられる。 The aryl group represented by R 1 and R 2 preferably has 6 to 20 carbon atoms, and more preferably has 6 to 10 carbon atoms. Moreover, the unsaturated bond may be contained. Examples thereof include a phenyl group, a tolyl group, a xylyl group, an ethylphenyl group, a naphthyl group, an anthryl group, and a phenanthryl group.

及びRで表されるアラルキル基としては、炭素数7から20のものが好ましく、炭素数7から12のものがより好ましい。また、不飽和結合を含有していてもよい。例えば、ベンジル基、α−メチルベンジル基、α,α−ジメチルベンジル基、フェニルエチル基、フェニルエテニル基等が挙げられる。 The aralkyl group represented by R 1 and R 2 preferably has 7 to 20 carbon atoms, and more preferably has 7 to 12 carbon atoms. Moreover, the unsaturated bond may be contained. Examples include benzyl group, α-methylbenzyl group, α, α-dimethylbenzyl group, phenylethyl group, phenylethenyl group and the like.

及びRで表される複素環基としては、窒素原子(N)、硫黄原子(S)及び酸素原子(O)の少なくとも1つの原子を含む5員環以上、好ましくは5から7員環の複素環基が挙げられる。この複素環基には縮合環が含まれていてもよく、例えばピリジル基、ピリミジル基、フリル基、チオフェニル基等が挙げられる。 The heterocyclic group represented by R 1 and R 2 is a 5-membered ring or more, preferably 5 to 7 members, containing at least one atom of nitrogen atom (N), sulfur atom (S) and oxygen atom (O). A heterocyclic group of a ring. The heterocyclic group may contain a condensed ring, and examples thereof include a pyridyl group, a pyrimidyl group, a furyl group, and a thiophenyl group.

これらのR及びRはハロゲン原子で置換されていてもよい。例えば、モノフルオロメチル基、ジフロオロメチル基、トリフルオロメチル基、パーフルオロエチル基、クロロフェニル基、クロロベンジル基、等が挙げられる。 These R 1 and R 2 may be substituted with a halogen atom. Examples thereof include a monofluoromethyl group, a difluoromethyl group, a trifluoromethyl group, a perfluoroethyl group, a chlorophenyl group, and a chlorobenzyl group.

更にこれらのR及びRのうちアルキル基及びアラルキル基のアルキレン部分は、不飽和結合、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよい。 Furthermore, among these R 1 and R 2 , the alkyl group and the alkylene part of the aralkyl group may be interrupted by an unsaturated bond, an ether bond, a thioether bond, or an ester bond.

また、R及びRが一緒になって形成し得る環としては、複素環が挙げられる。この複素環としては、窒素原子(N)、硫黄原子(S)及び酸素原子(O)の少なくとも1つの原子を含む5員環以上、好ましくは5から7員環の複素環基が挙げられる。この複素環基には縮合環が含まれていてもよく、例えば、ピペリジン環、ピペラジン環、モルホリン環、チオモルホリン環等が挙げられる。 As the ring which R 1 and R 2 may form together, and a heterocyclic. Examples of the heterocyclic ring include 5-membered or more, preferably 5- to 7-membered heterocyclic groups containing at least one atom of nitrogen atom (N), sulfur atom (S) and oxygen atom (O). The heterocyclic group may contain a condensed ring, and examples thereof include a piperidine ring, a piperazine ring, a morpholine ring, and a thiomorpholine ring.

前記Eは、置換基を有していてもよい共役二重結合性環状基である。この共役二重結合性環状基としては、芳香環、または、N原子、S原子、O原子を環内に有する複素環が挙げられる。この芳香環としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、アントリル基等が挙げられる。複素環としては、例えば、ピロール基、イミダゾリル基、ピラゾリル基等の窒素含有5員環基;ピリジル基、ピラジニル基、ピリミジル基、ピリダジニル基等の窒素含有6員環基;チアゾリル基、イソチアゾリル基等の窒素硫黄含有基;オキサゾリル基、イソオキサゾリル基窒素酸素含有基;フリル基、ピラニル基等の酸素含有基;チエニル基、チオピラニル基等の硫黄含有基;などが挙げられる。   E is a conjugated double bond cyclic group which may have a substituent. Examples of the conjugated double bond cyclic group include an aromatic ring or a heterocyclic ring having an N atom, an S atom, and an O atom in the ring. Examples of this aromatic ring include a phenyl group, a naphthyl group, and an anthryl group. Examples of the heterocyclic ring include nitrogen-containing 5-membered ring groups such as a pyrrole group, imidazolyl group, and pyrazolyl group; nitrogen-containing 6-membered ring groups such as pyridyl group, pyrazinyl group, pyrimidyl group, and pyridazinyl group; thiazolyl group, isothiazolyl group, and the like Nitrogen-containing groups of oxazolyl groups, isoxazolyl groups, nitrogen-oxygen-containing groups; oxygen-containing groups such as furyl groups and pyranyl groups; and sulfur-containing groups such as thienyl groups and thiopyranyl groups.

前記Eにおける置換基としては、−NO、−CN、−SO、−COR、−NR、−R等が挙げられる。
上記Rは、それぞれ独立して、アルキル基を表し、これらはハロゲン原子で置換されていてもよく、これらのうちアルキル基のアルキレン部分は、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよい。上記Rにおけるアルキル基は、炭素数1〜5であることが好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基等が挙げられる。
上記R及びRは、それぞれ独立して、水素原子、アルキル基、アルコキシ基を表し、これらはハロゲン原子で置換されていてもよく、これらのうちアルキル基及びアルコキシ基のアルキレン部分は、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよく、また、R及びRは一緒になって環を形成していてもよい。上記R及びRにおけるアルキル基又はアルコキシ基は、炭素数1〜5であることが好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、メトキシ基、エトキシ基、プロポシキ基等が挙げられる。
上記Rは、一部または全部がハロゲン原子で置換されたアルキル基である。上記Rにおけるアルキル基としては、炭素数1〜5であることが好ましく、例えば、メチル基、エチル基、プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基等が挙げられる。
Examples of the substituent for E include —NO 2 , —CN, —SO 2 R 3 , —COR 3 , —NR 4 R 5 , —R 6, and the like.
R 3 independently represents an alkyl group, which may be substituted with a halogen atom, and among these, the alkylene part of the alkyl group is interrupted by an ether bond, a thioether bond, or an ester bond. Also good. The alkyl group in R 3 preferably has 1 to 5 carbon atoms, and examples thereof include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, and an isobutyl group.
R 4 and R 5 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group, or an alkoxy group, which may be substituted with a halogen atom, and among these, the alkyl group and the alkylene portion of the alkoxy group are ethers. It may be interrupted by a bond, a thioether bond or an ester bond, and R 4 and R 5 may be combined to form a ring. The alkyl group or alkoxy group in R 4 and R 5 preferably has 1 to 5 carbon atoms. For example, a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, an isobutyl group, a methoxy group, An ethoxy group, a propoxy group, etc. are mentioned.
R 6 is an alkyl group partially or entirely substituted with a halogen atom. The alkyl group for R 6 preferably has 1 to 5 carbon atoms, and examples thereof include a methyl group, an ethyl group, a propyl group, an isopropyl group, an n-butyl group, and an isobutyl group.

また、前記式(1)で表される化合物は、αで示されるN原子と、βで示されるO原子との結合長(α−β間の結合長)が1.360Å以上であることが好ましく、1.365以上であることがより好ましい。α−β間の結合長が1.360Å以上であることにより、本発明の感光性組成物の感度を向上させることができる。
さらに、前記式(1)で表される化合物は、αで示されるN原子と、βで示されるO原子との結合次数(α−β間の結合次数)が0.965以下であることが好ましく、0.960以下であることがより好ましい。α−β間の結合次数が0.965以下であることにより、本発明の感光性組成物の感度を向上させることができる。
なお、上記結合長および結合次数は、分子モデリング・ソフト「CAChe WorkSystem Pro
version 6.1.12.33」(富士通株式会社)を使用し、PM5パラメータを用いたMOPACにて計算した値である。
In the compound represented by the formula (1), the bond length between the N atom represented by α and the O atom represented by β (bond length between α-β) is 1.360 mm or more. Preferably, it is 1.365 or more. When the bond length between α and β is 1.360 mm or more, the sensitivity of the photosensitive composition of the present invention can be improved.
Furthermore, in the compound represented by the formula (1), the bond order between the N atom represented by α and the O atom represented by β (bond order between α-β) is 0.965 or less. Preferably, it is 0.960 or less. When the bond order between α and β is 0.965 or less, the sensitivity of the photosensitive composition of the present invention can be improved.
The bond length and bond order are calculated using the molecular modeling software “CAChe WorkSystem Pro
"Version 6.1.12.33" (Fujitsu Ltd.), and calculated by MOPAC using PM5 parameter.

上記α−β間の結合長および結合次数は、驚くべきことにαおよびβの両原子から原子間距離の遠い前記Eの種類によって大きく変化している。つまり、このEの種類により、α−β間の結合長および結合次数が変化し、引いては本発明の感光性組成物の感度を向上させているものと推察される。
このEにおける共役二重結合性環状基としては、複素環であるものが好ましく、環内にN原子を有する環状基がさらに好ましい。環内にN原子を有する環状基としては、窒素含有5員環基および窒素含有6員環基が好ましく、窒素含有5員環基が特に好ましい。この窒素含有5員環基としては、ピロール基が好ましい。
また、上記Eにおける置換基としては、N原子を有するものが好ましく、共役二重結合性環状基の環に直接結合している置換基がより好ましい。この共役二重結合性環状基の環に直接結合している置換基としては、上記−NRが挙げられ、とくにアミノ基、モルホリノ基等であることが好ましい。
Surprisingly, the bond length and bond order between α and β greatly change depending on the type of E, which is far from the α and β atoms. In other words, it is presumed that the bond length and bond order between α and β change depending on the type of E, which in turn improves the sensitivity of the photosensitive composition of the present invention.
The conjugated double bond cyclic group in E is preferably a heterocyclic ring, and more preferably a cyclic group having an N atom in the ring. As the cyclic group having an N atom in the ring, a nitrogen-containing 5-membered cyclic group and a nitrogen-containing 6-membered cyclic group are preferable, and a nitrogen-containing 5-membered cyclic group is particularly preferable. The nitrogen-containing 5-membered ring group is preferably a pyrrole group.
Moreover, as a substituent in said E, what has N atom is preferable and the substituent directly couple | bonded with the ring of a conjugated double bond cyclic group is more preferable. Examples of the substituent directly bonded to the ring of the conjugated double bond cyclic group include the above-mentioned —NR 4 R 5 , and an amino group, a morpholino group and the like are particularly preferable.

また、光重合開始剤は上記式(1)で示される化合物と他の光重合開始剤を数種組み合わせて用いてもよい。このような他の光重合開始剤としては、アセトフェノン、2,2−ジエトキシアセトフェノン、p−ジメチルアセトフェノン、p−ジメチルアミノプロピオフェノン、ジクロロアセトフェノン、トリクロロアセトフェノン、p−tert−ブチルアセトフェノン等のアセトフェノン類や、ベンゾフェノン、2−クロロベンゾフェノン、p,p'−ビスジメチルアミノベンゾフェノン等のベンゾフェノン類や、ベンジル、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾインイソプロピルエーテル、ベンゾインイソブチルエーテル等のベンゾインエ−テル類や、ベンジルジメチルケタール、チオキサンテン、2−クロロチオキサンテン、2,4−ジエチルチオキサンテン、2−メチルチオキサンテン、2−イソプロピルチオキサンテン等のイオウ化合物や、2−エチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキノン等のアントラキノン類や、アゾビスイソブチロニトリル、ベンゾイルパーオキシド、クメンパーオキシド等の有機過酸化物や、2−メルカプトベンゾイミダール、2−メルカプトベンゾオキサゾール、2−メルカプトベンゾチアゾール等のチオール化合物や、2−(o-クロロフェニル)−4,5−ジ(m-メトキシフェニル)−イミダゾリル二量体等のイミダゾリル化合物や、p−メトキシトリアジン等のトリアジン化合物や、2,4,6−トリス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−メチル−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(5−メチルフラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(フラン−2−イル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(4−ジエチルアミノ−2−メチルフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−[2−(3,4−ジメトキシフェニル)エテニル]−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−メトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−エトキシスチリル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン、2−(4−n−ブトキシフェニル)−4,6−ビス(トリクロロメチル)−s−トリアジン等のハロメチル基を有するトリアジン化合物、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モルフォリノフェニル)−ブタン−1オン等のアミノケトン化合物が挙げられる。   Moreover, you may use a photoinitiator combining several types of compounds shown by the said Formula (1), and another photoinitiator. Examples of such other photopolymerization initiators include acetophenone such as acetophenone, 2,2-diethoxyacetophenone, p-dimethylacetophenone, p-dimethylaminopropiophenone, dichloroacetophenone, trichloroacetophenone, and p-tert-butylacetophenone. Benzophenones such as benzophenone, 2-chlorobenzophenone, p, p'-bisdimethylaminobenzophenone, benzoin ethers such as benzyl, benzoin, benzoin methyl ether, benzoin isopropyl ether, benzoin isobutyl ether, benzyldimethyl Sulfur compounds such as ketal, thioxanthene, 2-chlorothioxanthene, 2,4-diethylthioxanthene, 2-methylthioxanthene, 2-isopropylthioxanthene Products, anthraquinones such as 2-ethylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-benzanthraquinone, 2,3-diphenylanthraquinone, and organic peroxidation such as azobisisobutyronitrile, benzoyl peroxide, cumene peroxide Thiol compounds such as 2-mercaptobenzoimidazole, 2-mercaptobenzoxazole, 2-mercaptobenzothiazole, and 2- (o-chlorophenyl) -4,5-di (m-methoxyphenyl) -imidazolyl dimer Imidazolyl compounds such as isomers, triazine compounds such as p-methoxytriazine, 2,4,6-tris (trichloromethyl) -s-triazine, 2-methyl-4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine 2- [2- (5-Methylfuran-2-yl) etheni L] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (furan-2-yl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2 -(4-Diethylamino-2-methylphenyl) ethenyl] -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- [2- (3,4-dimethoxyphenyl) ethenyl] -4,6-bis ( Trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-methoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2- (4-ethoxystyryl) -4,6-bis (trichloromethyl)- Triazine compounds having a halomethyl group such as s-triazine, 2- (4-n-butoxyphenyl) -4,6-bis (trichloromethyl) -s-triazine, 2-benzyl-2- Methylamino-1- (4-morpholinophenyl) - aminoketone compound butane -1 one, and the like.

上記光重合開始剤は、固形分の合計100質量部に対し0.1〜50質量部であることが好ましく、1〜45質量部であることがより好ましい。
なお、上記固形分とは、本発明の感光性組成物において、溶剤を除いた全ての成分のことである。
It is preferable that the said photoinitiator is 0.1-50 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of solid content, and it is more preferable that it is 1-45 mass parts.
In addition, the said solid content is all the components except the solvent in the photosensitive composition of this invention.

光重合性化合物としては、エチレン性二重結合を有する化合物が好ましく、具体的には、アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、マレイン酸、フマル酸モノメチル、フマル酸モノエチル、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノメチルエーテルメタクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルアクリレート、エチレングリコールモノエチルエーテルメタクリレート、グリセロールアクリレート、グリセロールメタクリレート、アクリル酸アミド、メタクリル酸アミド、アクリロニトリル、メタクリロニトリル、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、イソブチルアクリレート、イソブチルメタクリレート、2−エチルヘキシルアクリレート、2−エチルヘキシルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート(PTA)、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート等のモノマー、オリゴマー類;多価アルコール類と1塩基酸または多塩基酸を縮合して得られるポリエステルプレポリマーに(メタ)アクリル酸を反応して得られるポリエステル(メタ)アクリレート、ポリオール基と2個のイソシアネート基を持つ化合物を反応させた後、(メタ)アクリル酸を反応して得られるポリウレタン(メタ)アクリレート;ビスフェノールA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールまたはクレゾールノボラック型エポキシ樹脂、レゾール型エポキシ樹脂、トリフェノールメタン型エポキシ樹脂、ポリカルボン酸ポリグリシジルエステル、ポリオールポリグリシジルエステル、脂肪族または脂環式エポキシ樹脂、アミンエポキシ樹脂、ジヒドロキシベンゼン型エポキシ樹脂などのエポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸を反応して得られるエポキシ(メタ)アクリレート樹脂などが挙げられる。さらに前記エポキシ(メタ)アクリレート樹脂に多塩基酸無水物を反応させた樹脂も好適に使用できる。
上記光重合性化合物は、エチレン性二重結合を有する樹脂と、上記モノマーとを組み合わせることが好ましい。このモノマーとしては、エチレングリコールジアクリレート、エチレングリコールジメタクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレート、トリエチレングリコールジメタクリレート、テトラエチレングリコールジアクリレート、テトラエチレングリコールジメタクリレート、ブチレングリコールジメタクリレート、プロピレングリコールジアクリレート、プロピレングリコールジメタクリレート、トリメチロールプロパントリアクリレート、トリメチロールプロパントリメタクリレート、テトラメチロールプロパンテトラアクリレート、テトラメチロールプロパンテトラメタクリレート、ペンタエリスリトールトリアクリレート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、ペンタエリスリトールテトラアクリレート、ペンタエリスリトールテトラメタクリレート、ジペンタエリスリトールペンタアクリレート、ジペンタエリスリトールペンタメタクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート(DPHA)、ジペンタエリスリトールヘキサメタクリレート、1,6−ヘキサンジオールジアクリレート、1,6−ヘキサンジオールジメタクリレート、カルドエポキシジアクリレート等の多官能性モノマーが好ましい。
As the photopolymerizable compound, a compound having an ethylenic double bond is preferable. Specifically, acrylic acid, methacrylic acid, fumaric acid, maleic acid, monomethyl fumarate, monoethyl fumarate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2 -Hydroxyethyl methacrylate, ethylene glycol monomethyl ether acrylate, ethylene glycol monomethyl ether methacrylate, ethylene glycol monoethyl ether acrylate, ethylene glycol monoethyl ether methacrylate, glycerol acrylate, glycerol methacrylate, acrylic acid amide, methacrylic acid amide, acrylonitrile, methacrylonitrile , Methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, isobutyl Acrylate, isobutyl methacrylate, 2-ethylhexyl acrylate, 2-ethylhexyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol Diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate, propylene glycol diacrylate, propylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylo Rupropanetetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol tetraacrylate (PTA), pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA), di Monomers and oligomers such as pentaerythritol hexamethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol dimethacrylate, cardoepoxy diacrylate; condensation of polyhydric alcohols with monobasic acid or polybasic acid Polyester (meth) polymer obtained by reacting the resulting polyester prepolymer with (meth) acrylic acid Polyurethane (meth) acrylate obtained by reacting acrylate, polyol group and two isocyanate group and then reacting with (meth) acrylic acid; bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S Type epoxy resin, phenol or cresol novolak type epoxy resin, resol type epoxy resin, triphenolmethane type epoxy resin, polycarboxylic acid polyglycidyl ester, polyol polyglycidyl ester, aliphatic or cycloaliphatic epoxy resin, amine epoxy resin, dihydroxy Examples thereof include an epoxy (meth) acrylate resin obtained by reacting an epoxy resin such as a benzene type epoxy resin with (meth) acrylic acid. Further, a resin obtained by reacting the epoxy (meth) acrylate resin with a polybasic acid anhydride can also be suitably used.
The photopolymerizable compound is preferably a combination of a resin having an ethylenic double bond and the monomer. These monomers include ethylene glycol diacrylate, ethylene glycol dimethacrylate, diethylene glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, triethylene glycol dimethacrylate, tetraethylene glycol diacrylate, tetraethylene glycol dimethacrylate, butylene glycol dimethacrylate, propylene glycol. Diacrylate, propylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, tetramethylolpropane tetraacrylate, tetramethylolpropane tetramethacrylate, pentaerythritol triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, pentaerythritol Tetraacrylate, pentaerythritol tetramethacrylate, dipentaerythritol pentaacrylate, dipentaerythritol pentamethacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate (DPHA), dipentaerythritol hexamethacrylate, 1,6-hexanediol diacrylate, 1,6-hexanediol Polyfunctional monomers such as dimethacrylate and cardoepoxy diacrylate are preferred.

上記光重合性化合物としては、エポキシ化合物と、不飽和基含有カルボン酸との反応物を、さらに多塩基酸無水物と反応させることにより得られる樹脂を含むことが好ましい。中でも、下記式(a1)で示される化合物が好ましい。式(a1)で示される化合物は、それ自体が、光硬化性が高い点で好ましい化合物である。   The photopolymerizable compound preferably includes a resin obtained by reacting a reaction product of an epoxy compound and an unsaturated group-containing carboxylic acid with a polybasic acid anhydride. Among these, a compound represented by the following formula (a1) is preferable. The compound represented by the formula (a1) itself is a preferable compound in terms of high photocurability.

Figure 2008242089
ここで、式(a1)で示される化合物のXは、式(a2)で示される基である。
Figure 2008242089
で表される基、R1aはそれぞれ独立して水素原子、炭素数1〜6の炭化水素基、ハロゲン原子を表し、R2aはそれぞれ独立して水素原子またはメチル基を表し、Wは単結合、または下記式(a3)で表される基を表し、
Figure 2008242089
Yはジカルボン酸無水物の酸無水物基を除いた残基、Zはテトラカルボン酸二無水物の酸無水物基を除いた残基であり、mは0〜20の整数である。)
Figure 2008242089
Here, X of the compound represented by the formula (a1) is a group represented by the formula (a2).
Figure 2008242089
R 1a each independently represents a hydrogen atom, a hydrocarbon group having 1 to 6 carbon atoms, or a halogen atom, R 2a each independently represents a hydrogen atom or a methyl group, and W is a single bond. Or a group represented by the following formula (a3),
Figure 2008242089
Y is a residue excluding the acid anhydride group of the dicarboxylic anhydride, Z is a residue excluding the acid anhydride group of the tetracarboxylic dianhydride, and m is an integer of 0-20. )

また、上記Yとしては、例えば無水マレイン酸、無水コハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、無水テトラヒドロフタル酸、無水ヘキサヒドロフタル酸、無水メチルエンドメチレンテトラヒドロフタル酸、無水クロレンド酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、無水グルタル酸といったジカルボン酸無水物からカルボン酸無水物基(−CO−O−CO−)を除いた残基が挙げられる。
また、上記Zとしては、例えば無水ピロメリット酸、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水物等のテトラカルボン酸二無水物から2個のカルボン酸無水物基を除いた残基等が挙げられる。
上記エチレン性二重結合を有する樹脂の酸価は、樹脂固形分で、10mgKOH/g以上150mgKOH/g以下であることが好ましく、より好ましくは、70mgKOH/g以上110mgKOH/g以下である。樹脂の酸価を10mgKOH/g以上にすることにより現像液に対する充分な溶解性が得ら、また、酸価を150mgKOH/g以下にすることにより充分な硬化性を得ることができ、表面性を良好にすることができる。
Examples of Y include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methyl endomethylenetetrahydrophthalic anhydride, chlorendic anhydride, and methyltetrahydroanhydride. Examples thereof include a residue obtained by removing a carboxylic anhydride group (—CO—O—CO—) from a dicarboxylic anhydride such as phthalic acid or glutaric anhydride.
Examples of Z include two carboxylic acids from tetracarboxylic dianhydrides such as pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic dianhydride, biphenyl tetracarboxylic dianhydride, biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, and the like. Examples thereof include a residue excluding an acid anhydride group.
The acid value of the resin having an ethylenic double bond is preferably 10 mgKOH / g or more and 150 mgKOH / g or less, and more preferably 70 mgKOH / g or more and 110 mgKOH / g or less in terms of resin solid content. Sufficient solubility in the developer can be obtained by setting the acid value of the resin to 10 mgKOH / g or more, and sufficient curability can be obtained by setting the acid value to 150 mgKOH / g or less. Can be good.

また、エチレン性二重結合を有する樹脂の重量平均分子量は、1000以上40000以下であることが好ましく、より好ましくは、2000以上30000以下である。重量平均分子量を1000以上にすることにより耐熱性、膜強度を向上させることができる。また、40000以下にすることにより現像液に対する十分な溶解性を得ることができる。   Moreover, it is preferable that the weight average molecular weights of resin which has an ethylenic double bond are 1000 or more and 40000 or less, More preferably, they are 2000 or more and 30000 or less. By making the weight average molecular weight 1000 or more, heat resistance and film strength can be improved. Moreover, sufficient solubility with respect to a developing solution can be acquired by setting it as 40000 or less.

上記光重合性化合物は、固形分の合計100質量部に対し50〜99.9質量部の範囲で含有されることが好ましい。含有量を50質量部以上にすることにより十分な耐熱性、耐薬品性が期待できる。   It is preferable that the said photopolymerizable compound is contained in the range of 50-99.9 mass parts with respect to a total of 100 mass parts of solid content. Sufficient heat resistance and chemical resistance can be expected by setting the content to 50 parts by mass or more.

上記光重合性化合物は、着色剤を含有していてもよい。上記着色剤としては、例えば、カラーインデックス(C.I.;The Society of Dyers and Colourists 社発行)においてピグメント(Pigment)に分類されている化合物、具体的には、下記のようなカラーインデックス(C.I.)番号が付されているものを挙げることができる。この着色剤は、単独で用いてもよいし、色調を整えるために2種以上を混合して用いてもよい。   The photopolymerizable compound may contain a colorant. Examples of the colorant include compounds classified as pigments in the color index (CI; issued by The Society of Dyers and Colorists), specifically, the color index (C .. I.) Numbers can be mentioned. This colorant may be used alone or in combination of two or more in order to adjust the color tone.

C.I.ピグメントイエロー1(以下、「C.I.ピグメントイエロー」は同様で番号のみ記載する。)、3、11、12、13、14、15、16、17、20、24、31、53、55、60、61、65、71、73、74、81、83、86、93、95、97、98、99、100、101、104、106、108、109、110、113、114、116、117、119、120、125、126、127、128、129、137、138、139、147、148、150、151、152、153、154、155、156、166、167、168、175、180、185;   C. I. Pigment Yellow 1 (hereinafter, “CI Pigment Yellow” is the same and only the number is described) 3, 11, 12, 13, 14, 15, 16, 17, 20, 24, 31, 53, 55, 60, 61, 65, 71, 73, 74, 81, 83, 86, 93, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 104, 106, 108, 109, 110, 113, 114, 116, 117, 119, 120, 125, 126, 127, 128, 129, 137, 138, 139, 147, 148, 150, 151, 152, 153, 154, 155, 156, 166, 167, 168, 175, 180, 185;

C.I.ピグメントオレンジ1(以下、「C.I.ピグメントオレンジ」は同様で番号のみ記載する。)、5、13、14、16、17、24、34、36、38、40、43、46、49、51、55、59、61、63、64、71、73;
C.I.ピグメントバイオレット1(以下、「C.I.ピグメントバイオレット」は同様で番号のみ記載する。)、19、23、29、30、32、36、37、38、39、40、50;
C. I. Pigment Orange 1 (hereinafter, “CI Pigment Orange” is the same, and only the number is described) 5, 13, 14, 16, 17, 24, 34, 36, 38, 40, 43, 46, 49, 51, 55, 59, 61, 63, 64, 71, 73;
C. I. Pigment Violet 1 (hereinafter, “CI Pigment Violet” is the same and only the numbers are described), 19, 23, 29, 30, 32, 36, 37, 38, 39, 40, 50;

C.I.ピグメントレッド1(以下、「C.I.ピグメントレッド」は同様で番号のみ記載する。)、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、14、15、16、17、18、19、21、22、23、30、31、32、37、38、40、41、42、48:1、48:2、48:3、48:4、49:1、49:2、50:1、52:1、53:1、57、57:1、57:2、58:2、58:4、60:1、63:1、63:2、64:1、81:1、83、88、90:1、97、101、102、104、105、106、108、112、113、114、122、123、144、146、149、150、151、155、166、168、170、171、172、174、175、176、177、178、179、180、185、187、188、190、192、193、194、202、206、207、208、209、215、216、217、220、223、224、226、227、228、240、242、243、245、254、255、264、265;   C. I. Pigment Red 1 (hereinafter, “CI Pigment Red” is the same and only the number is described) 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8, 9, 10, 11, 12, 14, 15, 16, 17, 18, 19, 21, 22, 23, 30, 31, 32, 37, 38, 40, 41, 42, 48: 1, 48: 2, 48: 3, 48: 4, 49: 1, 49: 2, 50: 1, 52: 1, 53: 1, 57, 57: 1, 57: 2, 58: 2, 58: 4, 60: 1, 63: 1, 63: 2, 64: 1, 81: 1, 83, 88, 90: 1, 97, 101, 102, 104, 105, 106, 108, 112, 113, 114, 122, 123, 144, 146, 149, 150, 151, 155, 166, 168, 170, 171, 172, 174, 175, 176, 177, 178, 79, 180, 185, 187, 188, 190, 192, 193, 194, 202, 206, 207, 208, 209, 215, 216, 217, 220, 223, 224, 226, 227, 228, 240, 242, 243, 245, 254, 255, 264, 265;

C.I.ピグメントブルー1(以下、「C.I.ピグメントブルー」は同様で番号のみ記載する。)、2、15、15:3、15:4、15:6、16、22、60、64、66;
C.I.ピグメントグリーン7、C.I.ピグメントグリーン36、C.I.ピグメントグリーン37;
C.I.ピグメントブラウン23、C.I.ピグメントブラウン25、C.I.ピグメントブラウン26、C.I.ピグメントブラウン28;
C.I.ピグメントブラック1、ピグメントブラック7。
C. I. Pigment Blue 1 (hereinafter, “CI Pigment Blue” is the same and only the numbers are described), 2, 15, 15: 3, 15: 4, 15: 6, 16, 22, 60, 64, 66;
C. I. Pigment green 7, C.I. I. Pigment green 36, C.I. I. Pigment green 37;
C. I. Pigment brown 23, C.I. I. Pigment brown 25, C.I. I. Pigment brown 26, C.I. I. Pigment brown 28;
C. I. Pigment Black 1 and Pigment Black 7.

また、ブラックマトリクスを形成する場合には、着色剤として遮光材を用いる。この遮光材としては、遮光層としたときに十分な遮光率を有していれば特に限定されるものではなく、例えば黒色顔料が挙げられる。この黒色顔料としては、カーボンブラック、チタンブラック、ペリレンブラック等が挙げられる。   Further, when forming a black matrix, a light shielding material is used as a colorant. The light shielding material is not particularly limited as long as it has a sufficient light shielding rate when used as a light shielding layer, and examples thereof include black pigments. Examples of the black pigment include carbon black, titanium black, and perylene black.

遮光材としては、カーボンブラックやチタンブラックを用いることが好ましい。この他、Cu、Fe、Mn、Cr、Co、Ni、V、Zn、Se、Mg、Ca、Sr、Ba、Pd、Ag、Cd、In、Sn、Sb、Hg、Pb、Bi、Si及びAl等の各種金属酸化物、複合酸化物、金属硫化物、金属硫酸鉛又は金属炭酸塩等の無機顔料も用いることができる。   As the light shielding material, it is preferable to use carbon black or titanium black. In addition, Cu, Fe, Mn, Cr, Co, Ni, V, Zn, Se, Mg, Ca, Sr, Ba, Pd, Ag, Cd, In, Sn, Sb, Hg, Pb, Bi, Si, and Al Inorganic pigments such as various metal oxides, composite oxides, metal sulfides, metal lead sulfates, metal carbonates, and the like can also be used.

カーボンブラックとしては、チェンネルブラック、ファーネスブラック、サーマルブラック、ランプブラックなど公知のカーボンブラックを用いることができるが、特にチャンネルブラックは遮光性に優れることから好適に用いることができる。また、樹脂被覆カーボンブラックを用いることもできる。具体的には、カーボンブラックとカーボンブラック表面に存在するカルボキシル基、ヒドロキシル基、カルボニル基と反応性を有する樹脂とを混合し、50〜380度で加熱して得た樹脂被覆カーボンブラックや、水−有機溶剤混合系又は水−界面活性剤混合系にエチレン性モノマーを分散し、重合開始剤の存在下でラジカル重合又はラジカル共重合させて得た樹脂被覆カーボンブラックなどが挙げられる。この樹脂被覆カーボンブラックは樹脂被覆のないカーボンブラックに比べて導電性が低いことから、液晶ディスプレイ等のカラーフィルタとして用いた場合に電流のリークが少なく、信頼性の高い低消費電力のディスプレイが形成できる。   As the carbon black, known carbon blacks such as channel black, furnace black, thermal black, and lamp black can be used. In particular, channel black is preferably used because of its excellent light shielding properties. Resin-coated carbon black can also be used. Specifically, carbon black and a resin-coated carbon black obtained by mixing a resin having reactivity with a carboxyl group, a hydroxyl group, and a carbonyl group present on the surface of carbon black and heating at 50 to 380 degrees, water Examples thereof include resin-coated carbon black obtained by dispersing an ethylenic monomer in an organic solvent mixed system or water-surfactant mixed system and performing radical polymerization or radical copolymerization in the presence of a polymerization initiator. This resin-coated carbon black has lower conductivity than carbon black without resin coating, so there is less current leakage when used as a color filter for liquid crystal displays, etc., forming a highly reliable display with low power consumption. it can.

また、遮光材として、上記の無機顔料に補助顔料として有機顔料を加えても良い。有機顔料は無機顔料の補色を呈するものを適切に選択して加えることにより次の様な効果が得られる。例えば、カーボンブラックは赤みがかった黒色を呈する。したがって、カーボンブラックに補助顔料として赤色の補色である青色を呈する有機顔料を加えることによりカーボンブラックの赤みが消え、全体としてより好ましい黒色を呈する。
遮光材における有機顔料は、無機顔料と有機顔料の総和100質量部に対して、有機顔料を10〜80質量部の範囲で用いると好ましく、より好ましくは有機顔料が20〜60質量部であり、最も好ましくは有機顔料が20〜40質量部である。
Moreover, you may add an organic pigment as an auxiliary pigment to said inorganic pigment as a light shielding material. The following effects can be obtained by appropriately selecting and adding organic pigments that exhibit complementary colors of inorganic pigments. For example, carbon black exhibits a reddish black color. Therefore, by adding an organic pigment having a blue color which is a complementary color of red as an auxiliary pigment to the carbon black, the redness of the carbon black disappears, and a more preferable black color as a whole is exhibited.
The organic pigment in the light-shielding material is preferably used in the range of 10 to 80 parts by mass, more preferably 20 to 60 parts by mass of the organic pigment with respect to 100 parts by mass of the sum of the inorganic pigment and the organic pigment. Most preferably, the organic pigment is 20 to 40 parts by mass.

上記の無機顔料及び有機顔料は、顔料を分散剤を用いて適当な濃度で分散させた溶液を用いることができる。例えば、無機顔料としては、御国色素製のカーボン分散液CFブラック(カーボン濃度20%含有)、御国色素製のカーボン分散液CFブラック(高抵抗カーボン24%含有)、御国色素製のチタンブラック分散液CFブラック(黒チタン顔料20%含有)を挙げることができる。また、有機顔料としては、例えば、御国色素製のブルー顔料分散液CFブルー(ブルー顔料20%含有)、御国色素製のバイオレット分散液(バイオレット顔料10%含有)等を挙げることができる。
また、分散剤としては、ポリエチレンイミン系、ウレタン樹脂系、アクリル樹脂系の高分子分散剤が好ましく用いられる。
As the inorganic pigment and the organic pigment, a solution in which a pigment is dispersed at an appropriate concentration using a dispersant can be used. For example, as an inorganic pigment, carbon dispersion CF black (containing 20% carbon concentration) made by Gokoku Dye, carbon dispersion CF black made by Gokoku Dye (containing 24% high resistance carbon), titanium black dispersion made by Gokoku Dye CF black (containing 20% black titanium pigment) can be mentioned. Examples of organic pigments include blue pigment dispersion CF blue (containing 20% blue pigment) made by Gokoku Dye, violet dispersion made by Gokoku dye (containing 10% violet pigment), and the like.
As the dispersant, a polyethyleneimine-based, urethane resin-based, or acrylic resin-based polymer dispersant is preferably used.

着色材を含む場合、本発明に係る感光性組成物は、固形分100質量部中に、着色材を1〜70質量部の範囲で含有することが好ましく、20〜60質量部の範囲で含有することがより好ましい。   When the coloring material is included, the photosensitive composition according to the present invention preferably contains the coloring material in a range of 1 to 70 parts by mass in a solid content of 100 parts by mass, and is contained in a range of 20 to 60 parts by mass. More preferably.

着色材を上記総和100質量部中に、1質量部以上にすることにより形成される着色パターンの着色性能を向上させることができる。
一方、着色材の組成比を70質量部以下にすることにより、所定波長の光線を照射した際に硬化不良を起こすことを抑制することができる。
また、特に着色材として遮光材を用いる場合には、形成される膜の膜厚1μmあたりのOD(Optical Density)値が3.5以上、好ましくは4.0以上となるように調整することが好ましい。膜厚1μmあたりのOD値が3.5以上あれば、液晶ディスプレイのブラックマトリックスに用いた場合に、十分な表示コントラストを得ることができ、必要な性能が得られる。この遮光剤としては、カーボンブラックが好ましい。
特に本発明の感光性組成物においては、遮光剤を用いた場合にも、光重合開始剤として上記(1)で表される化合物を用いているため、従来と比べ高い感度を得られる。
The coloring performance of the colored pattern formed by making a coloring material into 1 mass part or more in said 100 mass of said sum total can be improved.
On the other hand, by setting the composition ratio of the colorant to 70 parts by mass or less, it is possible to suppress poor curing when irradiated with light having a predetermined wavelength.
In particular, when a light-shielding material is used as the coloring material, the OD (Optical Density) value per 1 μm film thickness of the formed film can be adjusted to 3.5 or more, preferably 4.0 or more. preferable. If the OD value per film thickness of 1 μm is 3.5 or more, sufficient display contrast can be obtained when used in a black matrix of a liquid crystal display, and necessary performance can be obtained. As this light shielding agent, carbon black is preferable.
In particular, in the photosensitive composition of the present invention, even when a light-shielding agent is used, since the compound represented by the above (1) is used as a photopolymerization initiator, higher sensitivity can be obtained compared to the conventional one.

さらに本発明の感光性組成物は、結合剤として高分子バインダーを含有してもよい。この高分子バインダーは相容性、被膜形成性、現像性、接着性等改善目的に応じて適宜選択すればよい。
前記高分子バインダーとしては、具体的にアクリル酸、メタクリル酸、メチルアクリレート、メチルメタクリレート、エチルアクリレート、エチルメタクリレート、プロピルアクリレート、プロピルメタクリレート、イソプロピルアクリレート、イソプロピルメタクリレート、n−ブチルアクリレート、n−ブチルメタクリレート、tert−ブチルアクリレート、tert−ブチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリレート、2−ヒドロキシエチルメタクリレート、2−ヒドロキシプロピルアクリレート、2−ヒドロキシプロピルメタクリレート、ベンジルアクリレート、ベンジルメタクリレート、フェノキシアクリレート、フェノキシメタクリレート、イソボルニルアクリレート、イソボルニルメタクリレート、グリシジルメタクリレート、スチレン、アクリルアミド、メタアクリルアミド、アクリロニトリル、メタアクリロニトリルなどから選ばれた単量体を共重合させることによって得られたものや、側鎖にカルボキシル基を有する酸性セルロース変性物、ポリエチレンオキシド、ポリビニルピロリドン、アクリロニトリル、塩化ビニル、塩化ビニリデンとの共重合体、塩化ビニリデン、塩素化ポリオレフィン、または塩化ビニルと酢酸ビニルとの共重合体、ポリ酢酸ビニル、アクリロニトリルとスチレンとの共重合体、アクリロニトリルとスチレン、ブタジエンとの共重合体、ポリビニルアルキルエーテル、ポリビニルアルキルケトン、ポリスチレン、ポリアミド、ポリウレタン、ポリエチレンテレフタレートイソフタレート、アセチルセルロースおよびポリビニルブチラールなどを挙げることができる。特にアルカリ性水溶液での現像性を改善するためにアクリル酸、メタクリル酸などのカルボキシル基を有する単量体を共重合成分として使用することがよい。前記アクリル酸、メタクリル酸などは共重合成分中5〜40質量%の範囲が好ましい。また、カルボキシメチルセルロース、カルボキシエチルセルロース、カルボキシプロピルセルロースや、ヒドロキシメチルセルロース、ヒドロキシエチルセルロース、ヒドロキシプロピルセルロースのヒドロキシル基に多塩基酸無水物を反応させたセルロース樹脂も好ましく用いることができる。
Furthermore, the photosensitive composition of the present invention may contain a polymer binder as a binder. The polymer binder may be appropriately selected according to the purpose of improving compatibility, film-forming property, developability, adhesiveness, and the like.
Specific examples of the polymer binder include acrylic acid, methacrylic acid, methyl acrylate, methyl methacrylate, ethyl acrylate, ethyl methacrylate, propyl acrylate, propyl methacrylate, isopropyl acrylate, isopropyl methacrylate, n-butyl acrylate, n-butyl methacrylate, tert-butyl acrylate, tert-butyl methacrylate, 2-hydroxyethyl acrylate, 2-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxypropyl acrylate, 2-hydroxypropyl methacrylate, benzyl acrylate, benzyl methacrylate, phenoxy acrylate, phenoxy methacrylate, isobornyl acrylate , Isobornyl methacrylate, glycidylme Those obtained by copolymerizing monomers selected from acrylate, styrene, acrylamide, methacrylamide, acrylonitrile, methacrylonitrile, etc., modified with acidic cellulose having a carboxyl group in the side chain, polyethylene oxide, polyvinylpyrrolidone , Acrylonitrile, vinyl chloride, copolymer of vinylidene chloride, vinylidene chloride, chlorinated polyolefin, or copolymer of vinyl chloride and vinyl acetate, polyvinyl acetate, copolymer of acrylonitrile and styrene, acrylonitrile and styrene, Copolymers with butadiene, polyvinyl alkyl ether, polyvinyl alkyl ketone, polystyrene, polyamide, polyurethane, polyethylene terephthalate isophthalate, acetyl cellulose and poly Or the like can be mentioned butyral. In particular, a monomer having a carboxyl group such as acrylic acid or methacrylic acid is preferably used as a copolymerization component in order to improve developability in an alkaline aqueous solution. The acrylic acid, methacrylic acid and the like are preferably in the range of 5 to 40% by mass in the copolymer component. Moreover, the cellulose resin which made the polybasic acid anhydride react with the hydroxyl group of carboxymethylcellulose, carboxyethylcellulose, carboxypropylcellulose, hydroxymethylcellulose, hydroxyethylcellulose, and hydroxypropylcellulose can also be used preferably.

また、本発明に係る感光性組成物は、希釈のための溶剤や、熱重合禁止剤、消泡剤、界面活性剤などを添加することとしてもよい。
ここで、感光性組成物に添加可能な溶剤としては、ベンゼン、トルエン、キシレン、メチルエチルケトン、アセトン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノール、ヘキサノール、シクロヘキサノール、エチレングリコール、ジエチレングリコール、グリセリン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、3−メトキシブチルアセテート(MA)、3−メチル−3−メトキシブチルアセテート、プロピレングリコールモノメチルエーテルプロピオネート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルプロピオネート、炭酸メチル、炭酸エチル、炭酸プロピル、炭酸ブチルなどが挙げられる。中でも3−メトキシブチルアセテートは光重合性化合物、光重合開始剤に対して優れた溶解性を示すとともに、着色材などの不溶性成分の分散性を良好にするところから好適である。前記溶剤は、固形分の濃度が1〜50質量%となるように調整する量が好ましく、5〜30質量%となるように調整する量であることがより好ましい。
Moreover, the photosensitive composition which concerns on this invention is good also as adding the solvent for dilution, a thermal-polymerization inhibitor, an antifoamer, surfactant, etc.
Here, as a solvent that can be added to the photosensitive composition, benzene, toluene, xylene, methyl ethyl ketone, acetone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methanol, ethanol, propanol, butanol, hexanol, cyclohexanol, ethylene glycol, diethylene glycol, glycerin , Ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, 3-methoxybutyl acetate (MA), 3- Methyl-3-methoxybutyl Seteto, propylene glycol monomethyl ether propionate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monoethyl ether propionate, methyl carbonate, ethyl carbonate, propyl carbonate and carbonate butyl. Among these, 3-methoxybutyl acetate is preferable because it exhibits excellent solubility in a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator and improves dispersibility of insoluble components such as a coloring material. The amount of the solvent is preferably adjusted so that the solid content is 1 to 50% by mass, and more preferably 5 to 30% by mass.

また、熱重合禁止剤としてはヒドロキノン、ヒドロキノンモノエチルエーテル等を、消泡剤としてはシリコーン系、フッ素系化合物等を、界面活性剤としてはアニオン系、カチオン系、ノニオン系等を、従来公知のものを添加できる。   Further, hydroquinone, hydroquinone monoethyl ether, etc. as thermal polymerization inhibitors, silicone-based, fluorine-based compounds, etc. as antifoaming agents, anionic, cationic, nonionic, etc. as surfactants are conventionally known. Things can be added.

また、本発明に係る感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する際には、後述するように、基板上に本発明に係る感光性樹脂組成物を、塗布・乾燥して膜を形成する。このときの塗布性の改善、光硬化後の物性改善のために、上記成分に加えて更に結合剤として高分子バインダーを含有してもよい。結合剤は相溶性、被膜形成性、現像性、接着性等改善目的に応じて適宜選択すればよい。   Moreover, when forming a pattern using the photosensitive resin composition according to the present invention, a film is formed by applying and drying the photosensitive resin composition according to the present invention on a substrate, as will be described later. . In order to improve the coating property and the physical properties after photocuring, a polymer binder may be further contained as a binder in addition to the above components. What is necessary is just to select a binder suitably according to the improvement objectives, such as compatibility, film formation property, developability, and adhesiveness.

本発明に係る感光性樹脂組成物の製造方法としては、上述の各成分を攪拌機で混合することにより得られる。なお、得られた混合物が均一なものとなるようフィルターを用いて濾過してもよい。   As a manufacturing method of the photosensitive resin composition which concerns on this invention, it obtains by mixing each above-mentioned component with a stirrer. In addition, you may filter using a filter so that the obtained mixture may become uniform.

[パターンの形成方法]
以下、本発明に係る感光性樹脂組成物を用いてパターンを形成する方法を説明する。
[Pattern formation method]
Hereinafter, a method for forming a pattern using the photosensitive resin composition according to the present invention will be described.

まず、感光性樹脂組成物を、基板上にロールコータ、リバースコータ、バーコータ等の接触転写型塗布装置やスピンナー(回転式塗布装置)、カーテンフローコータ等の非接触型塗布装置を用いて塗布する。   First, the photosensitive resin composition is applied onto a substrate using a contact transfer type coating device such as a roll coater, reverse coater, or bar coater, or a non-contact type coating device such as a spinner (rotary coating device) or a curtain flow coater. .

この感光性樹脂組成物を塗布後、乾燥させて溶剤を除去する。乾燥方法は特に限定されず、例えば(1)ホットプレートにて80℃から120℃、好ましくは90℃から100℃の温度にて60秒間から120秒間乾燥する方法、(2)室温にて数時間から数日放置する方法、(3)温風ヒーターや赤外線ヒーター中に数十分から数時間入れて溶剤を除去する方法、のいずれの方法を用いてもよい。   After applying this photosensitive resin composition, it is dried to remove the solvent. The drying method is not particularly limited. For example, (1) a method of drying on a hot plate at a temperature of 80 ° C. to 120 ° C., preferably 90 ° C. to 100 ° C. for 60 seconds to 120 seconds, (2) several hours at room temperature Any of the following methods may be used: (3) a method of removing the solvent by placing it in a warm air heater or an infrared heater for several tens of minutes to several hours.

次いで、ネガ型のマスクを介して、紫外線、エキシマレーザー光等の活性エネルギー線を照射して部分的に露光する。照射するエネルギー線量は、感光性樹脂組成物の組成によっても異なるが、例えば30mJ/cmから2000mJ/cm程度が好ましい。 Next, partial exposure is performed by irradiating active energy rays such as ultraviolet rays and excimer laser light through a negative mask. Energy dose to be irradiated may differ depending on the composition of the photosensitive resin composition, for example, about 2000 mJ / cm 2 from 30 mJ / cm 2 is preferred.

次いで、露光後の膜を、現像液により現像することによって所望の形状にパターニングする。現像方法は特に限定されず、例えば浸漬法、スプレー法等を用いることができる。現像液としては、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等の有機系のものや、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、アンモニア、4級アンモニウム塩等の水溶液が挙げられる。   Next, the exposed film is developed into a desired shape by developing with a developer. The development method is not particularly limited, and for example, an immersion method, a spray method, or the like can be used. Examples of the developer include organic ones such as monoethanolamine, diethanolamine, and triethanolamine, and aqueous solutions such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, ammonia, and quaternary ammonium salts.

次いで、現像後のパターニングを200℃程度でポストベークを行うことによりパターンを形成する。また、形成されたパターンを全面露光することが好ましい。
この形成されたパターンは、スペーサ、ブラックマトリクス、カラーフィルタ、インクジェット用隔壁としても使用することができる。
Next, a pattern is formed by post-baking patterning after development at about 200 ° C. Further, it is preferable to expose the entire surface of the formed pattern.
This formed pattern can also be used as a spacer, a black matrix, a color filter, and an inkjet partition.

次に、本発明に係る感光性組成物の実施例について説明する。
<光重合性化合物>
(樹脂合成例1)
エチレン性不飽和結合を有する光重合性化合物として樹脂1を合成した。
まず、500ml四つ口フラスコ中に、ビスフェノールフルオレン型エポキシ樹脂235g(エポキシ当量235)とテトラメチルアンモニウムクロライド110mg、2,6−ジ−tertブチル−4−メチルフェノール100mg及びアクリル酸72.0gを仕込み、これに25ml/分の速度で空気を吹き込みながら90〜100℃で加熱溶解した。次ぎに、溶液が白濁した状態のまま徐々に昇温し、120℃に加熱して完全溶解させた。ここで溶液は次第に透明粘稠になったがそのまま撹拌を継続した。この間、酸価を測定し、1.0mgKOH/g未満になるまで加熱撹拌を続けた。酸価が目標に達するまで12時間を要した。そして室温まで冷却し、無色透明で固体状の式(a4)で表されるビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレートを得た。

Figure 2008242089
Next, examples of the photosensitive composition according to the present invention will be described.
<Photopolymerizable compound>
(Resin synthesis example 1)
Resin 1 was synthesized as a photopolymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond.
First, 235 g of bisphenolfluorene type epoxy resin (epoxy equivalent 235), 110 mg of tetramethylammonium chloride, 100 mg of 2,6-di-tertbutyl-4-methylphenol and 72.0 g of acrylic acid are charged into a 500 ml four-necked flask. The solution was heated and dissolved at 90 to 100 ° C. while blowing air at a rate of 25 ml / min. Next, the temperature was gradually raised while the solution was clouded, and the solution was heated to 120 ° C. for complete dissolution. Here, although the solution gradually became transparent and viscous, stirring was continued as it was. During this time, the acid value was measured, and heating and stirring were continued until the acid value was less than 1.0 mgKOH / g. It took 12 hours for the acid value to reach the target. And it cooled to room temperature and obtained the bisphenol fluorene type epoxy acrylate represented by the colorless and transparent solid formula (a4).
Figure 2008242089

次いで、このようにして得られた上記のビスフェノールフルオレン型エポキシアクリレート307.0gに3−メトキシブチルアセテート600gを加えて溶解した後、ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物80.5g及び臭化テトラエチルアンモニウム1gを混合し、徐々に昇温して110〜115℃で4時間反応させた。酸無水物基の消失を確認した後、1,2,3,6−テトラヒドロ無水フタル酸38.0gを混合し、90℃で6時間反応させ、樹脂1を得た。酸無水物基の消失はIRスペクトルにより確認した。
この樹脂1は、式(a1)に示す化合物に相当する。なお、この樹脂1は、3-メトキシブチルアセテートにて固形分濃度50質量%に調整した。
Next, after adding 600 g of 3-methoxybutyl acetate to 307.0 g of the bisphenolfluorene type epoxy acrylate thus obtained and dissolving, 80.5 g of benzophenonetetracarboxylic dianhydride and 1 g of tetraethylammonium bromide were added. The mixture was gradually heated and reacted at 110 to 115 ° C. for 4 hours. After confirming the disappearance of the acid anhydride group, 38.0 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride was mixed and reacted at 90 ° C. for 6 hours to obtain Resin 1. The disappearance of the acid anhydride group was confirmed by IR spectrum.
This resin 1 corresponds to a compound represented by the formula (a1). The resin 1 was adjusted to a solid content concentration of 50% by mass with 3-methoxybutyl acetate.

(樹脂合成例2)
エピコートYX4000H(ジャパンエポキシレジン社製、エポキシ当量192)を400g、トリフェニルホスフィン4g、アクリル酸153g、3−メトキシブチルアセテート600gを混合し、90〜100℃で反応させた。その後、多塩基酸無水物として1、2、3、6−テトラヒドロ無水フタル酸40gおよびビフェニルテトラカルボン酸二無水物360gを加え、さらに反応させることにより樹脂2を得た。この樹脂2は、GPCで測定した質量平均分子量が7000であり、酸価が90mgKOH/gであった。
この樹脂2は、式(a1)に示す化合物に相当する。なお、この樹脂2は、3-メトキシブチルアセテートにて固形分濃度50質量%に調整した。
(Resin synthesis example 2)
400 g Epicoy YX4000H (manufactured by Japan Epoxy Resin, epoxy equivalent 192), 4 g of triphenylphosphine, 153 g of acrylic acid, and 600 g of 3-methoxybutyl acetate were mixed and reacted at 90 to 100 ° C. Thereafter, 40 g of 1,2,3,6-tetrahydrophthalic anhydride and 360 g of biphenyltetracarboxylic dianhydride were added as polybasic acid anhydrides, and further reacted to obtain Resin 2. This resin 2 had a mass average molecular weight of 7000 measured by GPC and an acid value of 90 mgKOH / g.
This resin 2 corresponds to the compound represented by the formula (a1). The resin 2 was adjusted to a solid content concentration of 50% by mass with 3-methoxybutyl acetate.

(樹脂合成例3)
樹脂合成例2においてエピコートYX4000Hに代えて、下記式(a5)で表されるジシクロペンタジエン型エポキシ樹脂(エポキシ当量283)を500g用いた以外は、同様にして樹脂3を合成した。この樹脂3の分子量は、4500であった。なお、この樹脂3は、3-メトキシブチルアセテートにて固形分濃度50質量%に調整した。

Figure 2008242089
(Resin synthesis example 3)
Resin 3 was synthesized in the same manner except that 500 g of a dicyclopentadiene type epoxy resin (epoxy equivalent 283) represented by the following formula (a5) was used in place of Epicoat YX4000H in Resin Synthesis Example 2. The molecular weight of this resin 3 was 4500. The resin 3 was adjusted to a solid content concentration of 50% by mass with 3-methoxybutyl acetate.
Figure 2008242089

<光重合開始剤>
式(1)において、A、B、G、Eの基が、表1に示すものを用いた。

Figure 2008242089
<Photopolymerization initiator>
In the formula (1), the groups A, B, G and E shown in Table 1 were used.
Figure 2008242089

(実施例、比較例)
本実施例および比較例に係る感光性組成物について、表2に示す組成にて調製した。なお、溶剤は、3−メトキシブチルアセテート:シクロヘキサノン=70:30(質量比)、かつ、感光性組成物の固形分濃度が18質量%となるように調整した。この組成の混合物を攪拌機で2時間混合し、5μmメンブランフィルターで濾過して感光性組成物を得た。

Figure 2008242089
(Examples and comparative examples)
About the photosensitive composition which concerns on a present Example and a comparative example, it prepared with the composition shown in Table 2. The solvent was adjusted such that 3-methoxybutyl acetate: cyclohexanone = 70: 30 (mass ratio) and the solid content concentration of the photosensitive composition was 18% by mass. The mixture having this composition was mixed for 2 hours with a stirrer and filtered through a 5 μm membrane filter to obtain a photosensitive composition.
Figure 2008242089

得られた感光性組成物を厚さ1mmの清浄な表面を有するガラス基板上にスピンコーター(TR25000:東京応化(株)製)を用いて乾燥膜厚が1.2μmとなるように塗布し、90℃で2分間乾燥して感光性組成物の膜(感光層)を形成した。次いでこの膜にネガマスクを介して紫外線を選択的に照射した。そののち、0.5質量%炭酸ナトリウム水溶液で25℃、60秒間スプレー現像することで線幅20μmのラインを含むブラックマトリクスパターンを形成した。その後、220℃−30min循環式オーブンにてポストベークを行った。作成された各ブラックマトリックスの膜厚は1.0μmであった。
また、作成された各ブラックマトリックについて、OD測定装置D−200II(グレタグマクベス社製)にて測定したところOD値は4.0であった。
The obtained photosensitive composition was applied on a glass substrate having a clean surface with a thickness of 1 mm using a spin coater (TR25000: manufactured by Tokyo Ohka Kogyo Co., Ltd.) so that the dry film thickness was 1.2 μm. The film was dried at 90 ° C. for 2 minutes to form a film (photosensitive layer) of the photosensitive composition. Subsequently, the film was selectively irradiated with ultraviolet rays through a negative mask. After that, a black matrix pattern including a line having a line width of 20 μm was formed by spray development with a 0.5 mass% sodium carbonate aqueous solution at 25 ° C. for 60 seconds. Thereafter, post-baking was performed in a circulation oven at 220 ° C. for 30 minutes. The thickness of each prepared black matrix was 1.0 μm.
Moreover, when each created black matrix was measured with an OD measuring apparatus D-200II (manufactured by Gretag Macbeth Co., Ltd.), the OD value was 4.0.

上述のようにして得られた上記各実施例及び各比較例のブラックマトリクスパターンの評価(パターンの直進性、剥がれ、残さ)の結果を表3に示す。
なお、感度評価のため露光量を10〜180mJ/cmまで5mJずつステップで増やしていき上記条件で現像を行った。また、「Bias+1.0μm」として、20μmマスクに対して形成されるブラックマスクパターンの線幅が、20μm+1μmとなる露光量を評価した。本発明における感光性組成物はネガタイプレジストであるため、露光量が多いほどCD(Critical Dimension)が太くなる。通常、量産上目標となる線幅はマスク線幅+1〜2μmである。より低露光量でパターニングできれば露光時間を短縮することが可能となりラインのスループットを向上することが出来る。

Figure 2008242089
Table 3 shows the results of the evaluation of the black matrix patterns of the respective examples and comparative examples (pattern straightness, peeling, residue) obtained as described above.
For sensitivity evaluation, the exposure amount was increased in steps of 5 mJ from 10 to 180 mJ / cm 2 and developed under the above conditions. In addition, as “Bias + 1.0 μm”, the exposure amount at which the line width of the black mask pattern formed on the 20 μm mask was 20 μm + 1 μm was evaluated. Since the photosensitive composition in the present invention is a negative type resist, the larger the exposure amount, the thicker the CD (Critical Dimension). Usually, the target line width for mass production is mask line width + 1 to 2 μm. If patterning can be performed with a lower exposure amount, the exposure time can be shortened and the throughput of the line can be improved.
Figure 2008242089

判定の結果、実施例で得られたパターンは、OD値が4.0であり、遮光性が高いにも関わらず、露光量が65mJ/cmにおいても直線性に優れ、残さや基板との剥がれは確認されなかった。一方、各比較例では、低露光量においてパターン剥がれが多く直進性も良くなかった。また、Bias+1μmの値は、比較例では露光量が95mJ/cmより小さくなると線幅が目標値に比較して細くなり、好ましくないものであった。 As a result of the determination, the pattern obtained in the example has an OD value of 4.0, and has high light shielding properties. However, even when the exposure amount is 65 mJ / cm 2 , the pattern has excellent linearity, and the residue and the substrate. No peeling was confirmed. On the other hand, in each comparative example, pattern peeling was large and the straightness was not good at a low exposure amount. Further, the value of Bias + 1 μm was not preferable in the comparative example, when the exposure amount was smaller than 95 mJ / cm 2 , the line width became thinner than the target value.

Claims (10)

光重合性化合物と、光重合開始剤とを含む感光性組成物において、
前記光重合開始剤は、式(1)で示される骨格を有し、365nmにおける吸光度が0.3以上である化合物を含有することを特徴とする感光性組成物。
Figure 2008242089
(式(1)中、A、B、Gは一価の有機基であり、Eは置換基を有していてもよい共役二重結合性環状基である。)
In a photosensitive composition containing a photopolymerizable compound and a photopolymerization initiator,
The said photoinitiator contains the skeleton shown by Formula (1), and contains the compound whose absorbance in 365 nm are 0.3 or more, The photosensitive composition characterized by the above-mentioned.
Figure 2008242089
(In Formula (1), A, B, and G are monovalent organic groups, and E is a conjugated double bond cyclic group that may have a substituent.)
前記式(1)においてαで示されるN原子と、βで示されるO原子との結合長が、1.360Å以上であることを特徴とする請求項1に記載の感光性組成物。   2. The photosensitive composition according to claim 1, wherein the bond length between the N atom represented by α and the O atom represented by β in the formula (1) is 1.360 Å or more. 前記共役二重結合性環状基は、複素環基である請求項1または2に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, wherein the conjugated double bond cyclic group is a heterocyclic group. 前記共役二重結合性環状基は、環内にN原子を有することを特徴とする請求項3に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 3, wherein the conjugated double bond cyclic group has an N atom in the ring. 前記共役二重結合性環状基は、5員環基であることを特徴とする請求項4に記載の観光性組成物。   The tourist composition according to claim 4, wherein the conjugated double bond cyclic group is a 5-membered ring group. 前記Eは、共役二重結合性環状基の置換基にN原子を有することを特徴とする請求項1〜5のいずれかに記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 1, wherein E has an N atom as a substituent of a conjugated double bond cyclic group. 前記置換基は、共役二重結合性環状基に直接N原子が結合していることを特徴とする請求項6に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 6, wherein the substituent has an N atom directly bonded to a conjugated double bond cyclic group. 前記置換基は、−NR(ここで、R及びRは、それぞれ独立して、アルキル基、アルコキシ基を表し、これらはハロゲン原子で置換されていてもよく、これらのうちアルキル基及びアルコキシ基のアルキレン部分は、エーテル結合、チオエーテル結合、エステル結合により中断されていてもよく、また、R及びRは一緒になって環を形成していてもよい。)で表されることを特徴とする請求項7に記載の感光性組成物。 The substituent is —NR 4 R 5 (wherein R 4 and R 5 each independently represents an alkyl group or an alkoxy group, and these may be substituted with a halogen atom. And the alkylene part of the alkoxy group may be interrupted by an ether bond, a thioether bond or an ester bond, and R 4 and R 5 may be combined to form a ring). The photosensitive composition according to claim 7. 着色材を含むことを特徴とする請求項1〜8の何れか一項に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition as described in any one of Claims 1-8 characterized by including a coloring material. 前記着色材は、遮光材であることを特徴とする請求項9に記載の感光性組成物。   The photosensitive composition according to claim 9, wherein the colorant is a light shielding material.
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