JP2008235333A - 半導体製造装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】処理槽内の処理液の比重値を算出するためのガスの配管にシリカが析出することを防止することができ、比重値が正確に計測され、エッチングレートの安定した半導体製造装置を提供する。
【解決手段】加熱した処理液に基板を浸漬して基板の表面処理を行う半導体製造装置において、前記処理液を貯留する処理槽1と、前記処理液中の所定深さからガスを放出し、その放出圧力から前記処理液の液圧を検出する圧力検出部53と、前記検出された液圧に基づき前記処理液の比重を算出する比重算出部54と、前記処理液中に放出されるガスを加熱するヒータ55と、前記算出された比重に基づいて前記処理槽への純水供給量を制御するコントローラ51と、を備える。
【選択図】図1
【解決手段】加熱した処理液に基板を浸漬して基板の表面処理を行う半導体製造装置において、前記処理液を貯留する処理槽1と、前記処理液中の所定深さからガスを放出し、その放出圧力から前記処理液の液圧を検出する圧力検出部53と、前記検出された液圧に基づき前記処理液の比重を算出する比重算出部54と、前記処理液中に放出されるガスを加熱するヒータ55と、前記算出された比重に基づいて前記処理槽への純水供給量を制御するコントローラ51と、を備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、半導体製造装置に関するものである。
半導体ウェーハ等の基板表面に形成されたシリコン窒化膜を除去するウェットエッチング装置は、例えば、エッチング液としての燐酸(H3PO4)溶液を貯留する処理槽を備え、基板を燐酸溶液中に浸漬することでシリコン窒化膜がエッチング処理されるように構成される。
エッチングレートを安定化させるためには、燐酸溶液の濃度を一定に維持することが求められる。燐酸溶液の濃度と比重には相関関係があるため、処理槽(燐酸溶液)温度と共に、燐酸溶液の比重を所定範囲にするように制御する基板処理装置が提案されている(例えば特許文献1参照)。ここでは、燐酸溶液内に窒素ガスを吹き込み、その時の放出圧力から比重を求め、その比重に基づいて濃度を算出し、濃度が所定値になるように純水を補充して濃度制御を行っている。
しかし、窒素ガスは室温であるため、処理槽内の燐酸溶液中に吹き込むと、その周辺で局所的に燐酸溶液の温度低下が発生する。シリコン窒化膜のエッチング処理に伴い燐酸液中のシリカ(SiO2)濃度は高くなっており、窒素ガスによる燐酸溶液の温度低下により、窒素ガス配管にシリカが析出する。窒素ガス配管に析出したシリカが蓄積すると、窒素ガスの放出圧力が正確に検出できなくなり、燐酸溶液の正確な比重が算出されない。そのため、安定したエッチングレートが得られなくなるという問題があった。
特開2004−221540号公報
本発明は処理槽内の処理液の比重値を算出するためのガスの配管にシリカが析出することを防止することができ、比重値が正確に計測され、エッチングレートの安定した半導体製造装置を提供することを目的とする。
本発明の一態様による半導体製造装置は、加熱した処理液に半導体基板を浸漬して基板の表面処理を行う半導体製造装置において、前記処理液を貯留する処理槽と、前記処理液中の所定深さからガスを放出し、その放出圧力から前記処理液の液圧を検出する圧力検出部と、前記検出された液圧に基づき前記処理液の比重を算出する比重算出部と、前記処理液中に放出されるガスを加熱するヒータと、前記算出された比重に基づいて前記処理槽への純水供給量を制御するコントローラと、を備えるものである。
また、本発明の一態様による半導体製造装置は、処理液を貯留する処理槽と、前記処理槽から流出した処理液を回収する回収槽と、前記回収槽に純水を供給する純水供給部と、前記回収槽内の処理液を前記処理槽に戻す循環経路と、前記循環経路内の処理液を加熱する第1のヒータと、前記処理槽内の処理液を加熱する第2のヒータと、前記処理槽内の処理液が所定温度になるように前記第1及び第2のヒータを制御する第1のコントローラと、一端が前記処理槽内の所定の高さに位置するよう設けられ、前記処理槽内の処理液中にガスを放出するガス供給配管と、前記ガス供給配管に設置され、前記ガス供給管内の前記ガスを加熱する第3のヒータと、前記ガス供給配管内のガス圧力を測定する圧力センサと、前記測定されたガス圧力に基づいて前記処理槽内の処理液の比重を算出する比重算出部と、前記算出された比重に基づき前記純水供給部が供給する純水量を制御する第2のコントローラと、を備えるものである。
本発明によれば、処理槽内の処理液の比重値を算出するためのガスの配管にシリカが析出することを防止することができ、比重値が正確に計測され、安定したエッチングレートが得られる。
以下、本発明の実施形態による半導体製造装置を図面に基づいて説明する。
図1に本発明の実施形態に係る半導体製造装置の概略構成を示す。ここで、半導体製造装置は、例として、燐酸と純水とを混合した燐酸溶液中にウェーハを浸漬してシリコン窒化膜をエッチング処理する装置として説明する。
この半導体製造装置は、燐酸溶液を貯留する処理槽1を備える。処理槽1の周囲には回収槽2が設けられており、回収された燐酸溶液は循環系3を介して処理槽1に戻される。
循環系3は処理槽1の底部開口と回収槽2の底部開口を接続する配管31を有し、配管31の途中には回収槽2の底部開口から処理槽1の底部開口に向かって順に循環ポンプ32、ヒータ33、濾過フィルタ34が設けられている。
ヒータ33は処理槽1に戻される燐酸溶液を所定の温度に加熱する。濾過フィルタ34は処理槽1に戻される燐酸溶液中のパーティクルを除去し、一定レベルの清浄度にする。
処理槽1の外周には槽内の燐酸溶液を加熱するヒータ4が設けられている。
処理槽1内の燐酸溶液が加熱されて溶液中の水分が蒸発すると、燐濃度(比重)が上昇する。後述する比重検出部5のコントローラ51からの制御信号に基づいて流量制御弁6の開度が調節され、純水槽7から純水供給管8を介して純水が回収槽2に供給される。
純水が供給されて比重(濃度)が低くなった燐酸溶液は循環系3を介して処理槽1に供給され、処理槽1内の燐酸溶液の水分含有量が増加して、燐酸溶液の比重が所定の範囲の値になるように調整される。
比重検出部5について説明する。比重検出部5はコントローラ51、検出用配管52、圧力センサ53、比重算出部54、配管ヒータ55、温度センサ56及び窒素ガス供給源57を備える。
検出用配管52は窒素ガス供給源57から窒素ガスが供給され、その先端部は処理槽1内の所定の高さに位置する。検出用配管52は高温の酸性薬液(燐酸溶液)に接するため、材質は耐熱、耐薬性に優れたフッ素樹脂性とすることが好ましい。
圧力センサ53は検出用配管52内の窒素ガス圧力を測定し、測定した窒素ガス圧力に基づく電圧値の検出信号を比重算出部54へ出力する。比重算出部54は窒素ガス圧力に基づく電圧値と燐酸溶液の比重との対応関係を記憶しており、検出信号に基づく処理槽1内の燐酸溶液の比重を算出する。
窒素ガス圧力は、検出用配管52の先端が位置する深さにおける燐酸溶液の液圧とみなすことができる。ここで液圧は、燐酸溶液の液面と検出用配管52の先端までの深さと燐酸溶液の比重とを変数とする関数で表すことができる。従って、燐酸溶液の液面から検出用配管52の先端までの所定深さにおける比重と窒素ガス圧力に基づく電圧値との関係を予め求めておくことで、圧力センサからの検出信号に基づいて処理槽1内の燐酸溶液の比重を算出することができる。
比重算出部54にて算出された燐酸溶液の比重データはコントローラ51へ出力される。コントローラ51は処理槽1内の燐酸溶液が所定の比重値になるように純水供給量を制御する制御信号を流量制御弁6へ出力し、弁の開度を調節する。
配管ヒータ55は検出用配管52内の窒素ガスを処理槽1内の燐酸溶液の温度以上となるように加熱する。これにより燐酸溶液の比重検出用の窒素ガスによる燐酸溶液の温度低下が防止され、燐酸溶液中のシリカが析出して検出用配管52に蓄積することを抑制することができる。
温度センサ56は検出用配管52内の窒素ガス温度を検出し、検出結果をヒータコントローラ9へ出力する。ヒータコントローラ9は窒素ガス温度が一定になるように配管ヒータ55の制御を行う。配管ヒータ55の制御方法は例えばPID制御とする。PID制御とはフィードバック制御の一種であり、現在値と設定値の偏差に比例した出力を出す比例動作(Proportional Action:P動作)と、その偏差の積分に比例する出力を出す積分動作(Integral Action:I動作)と、偏差の微分に比例した出力を出す微分動作(Derivative Action:D動作)の和を出力し、目標値に向かって制御する方法である。
また、ヒータコントローラ9は処理槽1内の燐酸溶液の温度を検出するセンサ(図示せず)の検出結果に基づき、燐酸溶液が所定温度になるようにヒータ4、33の制御を行う。
配管ヒータ55は検出用配管52の先端近傍に1個設けるのでも良く、また、検出用配管全体にわたって複数個設けるようにしても良い。
ヒータ4、33の加熱を停止し、処理槽1内の燐酸溶液を交換するときも、検出用配管52近傍の温度低下によるシリカ析出を防止するため、配管ヒータ55により加熱した窒素ガスを放出するようにしてもよい。
処理槽1内の燐酸溶液の設定温度が変更された場合、それに基づいて配管ヒータ55の温度を変えて、窒素ガス温度を変更するようにしてもよい。例えば燐酸溶液の温度を140℃、窒素ガスの温度を150℃として処理を行っている状態から、燐酸溶液の温度を160℃にする場合、ヒータコントローラ9は窒素ガス温度を160℃以上にするように配管ヒータ55の加熱を制御する。窒素ガス温度を150℃のままにしておくと、燐酸溶液温度より低くなり、シリカが析出するおそれがあるからである。
このように、本実施形態による半導体製造装置により、検出用配管52へのシリカ蓄積を抑制し、燐酸溶液の比重値を正確に求め、安定したエッチングレートを得ることができる。
上述した実施の形態はいずれも一例であって制限的なものではないと考えられるべきである。例えば、燐酸溶液でなく硫酸溶液等の他の処理液を用いても良い。本発明の技術的範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1 処理槽
2 回収槽
3 循環系
4 ヒータ
5 比重検出部
6 流量調整弁
7 純水槽
8 純水供給管
9 ヒータコントローラ
33 ヒータ
51 コントローラ
52 検出用配管
53 圧力センサ
54 比重算出部
55 配管ヒータ
56 温度センサ
2 回収槽
3 循環系
4 ヒータ
5 比重検出部
6 流量調整弁
7 純水槽
8 純水供給管
9 ヒータコントローラ
33 ヒータ
51 コントローラ
52 検出用配管
53 圧力センサ
54 比重算出部
55 配管ヒータ
56 温度センサ
Claims (5)
- 加熱した処理液に半導体基板を浸漬して基板の表面処理を行う半導体製造装置において、
前記処理液を貯留する処理槽と、
前記処理液中の所定深さからガスを放出し、その放出圧力から前記処理液の液圧を検出する圧力検出部と、
前記検出された液圧に基づき前記処理液の比重を算出する比重算出部と、
前記処理液中に放出されるガスを加熱するヒータと、
前記算出された比重に基づいて前記処理槽への純水供給量を制御するコントローラと、
を備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 前記ヒータは前記ガスの温度が前記処理液の温度以上になるように加熱を行うことを特徴とする請求項1に記載の半導体製造装置。
- 処理液を貯留する処理槽と、
前記処理槽から流出した処理液を回収する回収槽と、
前記回収槽に純水を供給する純水供給部と、
前記回収槽内の処理液を前記処理槽に戻す循環経路と、
前記循環経路内の処理液を加熱する第1のヒータと、
前記処理槽内の処理液を加熱する第2のヒータと、
前記処理槽内の処理液が所定温度になるように前記第1及び第2のヒータを制御する第1のコントローラと、
一端が前記処理槽内の所定の高さに位置するよう設けられ、前記処理槽内の処理液中にガスを放出するガス供給配管と、
前記ガス供給配管に設置され、前記ガス供給管内の前記ガスを加熱する第3のヒータと、
前記ガス供給配管内のガス圧力を測定する圧力センサと、
前記測定されたガス圧力に基づいて前記処理槽内の処理液の比重を算出する比重算出部と、
前記算出された比重に基づき前記純水供給部が供給する純水量を制御する第2のコントローラと、
を備えることを特徴とする半導体製造装置。 - 前記ガス供給配管内のガスの温度を検出し、検出結果を前記第1のコントローラへ出力する温度センサをさらに備え、前記第1のコントローラは前記ガスの温度が前記処理槽内の処理液の温度以上になるように前記第3のヒータを制御することを特徴とする請求項3に記載の半導体製造装置。
- 前記処理液は燐酸溶液であり、前記ガスは窒素ガスであることを特徴とする請求項3又は4に記載の半導体製造装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007068598A JP2008235333A (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 半導体製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publication Number | Publication Date |
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JP2008235333A true JP2008235333A (ja) | 2008-10-02 |
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ID=39907839
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JP2007068598A Pending JP2008235333A (ja) | 2007-03-16 | 2007-03-16 | 半導体製造装置 |
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JP (1) | JP2008235333A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014069079A1 (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
-
2007
- 2007-03-16 JP JP2007068598A patent/JP2008235333A/ja active Pending
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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WO2014069079A1 (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-08 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
JP2014093449A (ja) * | 2012-11-05 | 2014-05-19 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置 |
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