JP2008227473A - 半導体パッケージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体パッケージは、複数の薄板12,14を相互に密着させ接合することにより構成されたベース部10と、ベース部の第1表面10aに設けられ半導体素子16が収容される半導体素子収容部18と、を含むパッケージ本体20と、上記収容部中の半導体素子と電気接続され上記収容部の外表面に露出した電気端子22と、ベース部中に設けられパッケージ本体の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有し、ベース部中において半導体素子の発熱部位に対応した発熱部位対応位置から発熱部位対応位置の外側の位置まで配置され、半導体素子の熱をベース部において発熱部位対応位置から外側の位置まで伝達する熱高伝達要素26と、を備えたことを特徴としている。
【選択図】 図1
Description
図1及び図2を参照しながら、この発明の第1の実施の形態に従った半導体パッケージSP1の構成を説明する。
次に、図1及び図2を参照しながら前述した第1の実施の形態の変形例に従った半導体パッケージSP1´を、図3を参照しながら説明する。
次に、図6を参照しながら、この発明の第2の実施の形態に従った半導体パッケージSP2を説明する。
次に、図7乃至図9を参照しながら、この発明の第3の実施の形態に従った半導体パッケージSP3を説明する。
次に、図7乃至図9を参照した第3の実施の形態に従った半導体パッケージSP3の変形例を、図10を参照しながら説明する。
次に、図11、図12(A)、そして図12(B)を参照しながら、この発明の第4の実施の形態に従った半導体パッケージSP4を説明する。
SP1´…半導体パッケージ、10´…ベース部、10´a…第1表面、10´b…第2表面、12´,14´…薄板、32…放熱効果増大機構、32a…半導体パッケージ支持体、32b…冷却ファン、RF…放熱フィン、34…切り欠き、
SP2…半導体パッケージ、0P…開口、36…ヒートパイプ、36a…パイプ本体、
SP3…半導体パッケージ、10´´…ベース部、10´´a…第1表面、10´´b…第2表面、12´´,14´´…薄板、38……層状部材、40…開口、
SP3´…半導体パッケージ、10´´´…ベース部、10´´´a…第1表面、16´…半導体素子、20´…パッケージ本体、26´…熱高伝達要素、38´層状部材、40´…開口、
SP4…半導体パッケージ、50…ベース部、50a…第1表面、50b…第2表面、52,54,56,58…薄板、60…半導体素子、62…半導体素子収容部、64…パッケージ本体、66…電気端子、67…周辺回路実装基板、68…蓋、70…熱高伝達要素
Claims (14)
- 第1表面と上記第1表面とは反対側の第2表面とを有し複数枚の薄板を相互に密着させて一体的に接合することにより構成されているベース部と、上記第1表面に設けられ半導体素子が収容される半導体素子収容部と、を含んでいるパッケージ本体と、
上記半導体素子収容部に設けられ、上記半導体素子と電気接続されるとともに上記半導体素子収容部の外表面に露出した電気端子と、
上記ベース部中に設けられ、上記ベース部の熱伝導率よりも高い熱伝導率を有しており、上記ベース部中に上記半導体素子の発熱部位に対応した発熱部位対応位置から上記発熱部位対応位置の外側の位置まで配置され、上記半導体素子の発熱部位から発生した熱を上記ベース部において上記発熱部位対応位置から上記外側の位置まで伝達する熱高伝達要素と、
を備えたことを特徴とする半導体パッケージ。 - 前記熱高伝達要素が、前記ベース部中において前記発熱部位対応位置から前記外側の位置まで延出した流路と、この流路中に密封され相変化により熱を移送する熱移送流体と、の組み合わせを少なくとも1つ含む、ことを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記ベース部の前記複数枚の薄板は、前記流路に対応した形状の開口を有しており、夫々の開口の少なくとも一部を重複させた状態で相互に密着させて一体的に接合されている、ことを特徴とする請求項2に記載の半導体パッケージ。
- 前記半導体素子収容部中には前記半導体素子の為の周辺回路を実装した周辺回路実装基板がさらに収容されていて、
前記ベース部の前記複数枚の薄板は、前記半導体素子の基板又は上記周辺回路実装基板の熱膨張係数と等しいか又はそれ以下の熱膨張係数を有した少なくとも1枚の薄板を含む、ことを特徴とする請求項3に記載の半導体パッケージ。 - 前記熱高伝達要素が、前記ベース部から独立して構成されているとともに前記ベース部中に前記発熱部位対応位置から前記外側の位置まで延出して配置されているヒートパイプを少なくとも1つ含む、ことを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記ベース部の前記複数枚の薄板は、前記ヒートパイプに対応した形状の開口を有しており、夫々の開口を重複させた状態で相互に密着させて一体的に接合されている、ことを特徴とする請求項5に記載の半導体パッケージ。
- 前記半導体素子収容部中には前記半導体素子の為の周辺回路を実装した周辺回路実装基板がさらに収容されていて、
前記ベース部の前記複数枚の薄板は、前記半導体素子の基板又は上記周辺回路実装基板の熱膨張係数と等しいか又はそれ以下の熱膨張係数を有した少なくとも1枚の薄板を含む、ことを特徴とする請求項6に記載の半導体パッケージ。 - 前記高熱伝達要素が、前記ベース部の熱伝達効率よりも高い熱伝達効率を有する材料により前記ベース部から独立して構成されているとともに前記ベース部中に前記発熱部位対応位置から前記外側の位置まで延出して配置されている層形状部材を少なくとも1つ含む、ことを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。
- 前記ベース部の前記複数枚の薄板は、前記層形状部材に対応した形状の開口を有しており、夫々の開口を重複させた状態で相互に密着させて一体的に接合されている、ことを特徴とする請求項8に記載の半導体パッケージ。
- 前記半導体素子収容部中には前記半導体素子の為の周辺回路を実装した周辺回路実装基板がさらに収容されていて、
前記ベース部の前記複数枚の薄板は、前記半導体素子の基板又は上記周辺回路実装基板の熱膨張係数と等しいか又はそれ以下の熱膨張係数を有した少なくとも1枚の薄板を含む、ことを特徴とする請求項9に記載の半導体パッケージ。 - 前記熱高伝達要素が、前記ベース部の熱伝達効率よりも高い熱伝達効率を有する材料により構成され前記ベース部中に分散された粒体を含んでおり、
前記熱高伝達要素の前記粒体が、前記ベース部の前記複数枚の薄板の中の相互に隣接した2枚の間に分散している、ことを特徴とする請求項1に記載の半導体パッケージ。 - 前記ベース部の前記複数枚の薄板の中の前記第1表面を含む第1の薄板及び前記第2表面を含む第2の薄板は、前記第1表面及び前記第2表面から前記熱高伝達要素の前記粒体を露出させない、ことを特徴とする請求項11に記載の半導体パッケージ。
- 前記半導体素子収容部中には前記半導体素子の為の周辺回路を実装した周辺回路実装基板がさらに収容されていて、
前記ベース部の前記複数枚の薄板は、前記半導体素子の基板又は上記周辺回路実装基板の熱膨張係数と等しいか又はそれ以下の熱膨張係数を有した少なくとも1枚の薄板を含む、ことを特徴とする請求項11又は12に記載の半導体パッケージ。 - 前記熱高伝達要素の前記粒体がダイヤモンドの粒体を含む、ことを特徴とする請求項11乃至13のいずれか1項に記載の半導体パッケージ。
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