JP2008224478A - Light quantity monitor and light source apparatus using the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light quantity monitor and a light source apparatus that uses the same capable of maintaining a constant light quantity incident onto an optical fiber. <P>SOLUTION: The light quantity monitor comprises, in an optical path from a light source 2 to an object to be irradiated, both a lightguide rod 20 in a polygonal column form for emitting light, incident from one end side that serves as a light incident face, from the other end side that serves as a light emergent face and an optical fiber 30 for guiding light emergent form the lightguide rod to an object to be irradiated. The lightguide rod and the optical fiber are arranged in opposing surfaces at an interval. A part of light emergent from the lightguide rod is separated from light to be incident onto the optical fiber between the lightguide rod and the optical fiber. An optical sensor 40 receives a light guided through a separated space, and a light quantity received by the optical sensor is detected as the light quantity of irradiation. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、光源から被照射物に照射される照明光の照射光量を検出する光量モニタとそれを用いて光量制御を行う光源装置に関し、特にＣＣＤカメラ等を使用した画像処理検査装置等のように検査対象物に照射される光量を一定に維持する必要のある検査装置に用いて好適なものである。   The present invention relates to a light amount monitor that detects an irradiation light amount of illumination light irradiated on an object to be irradiated from a light source and a light source device that performs light amount control using the light amount monitor, and in particular, an image processing inspection device using a CCD camera or the like. It is suitable for use in an inspection apparatus that needs to maintain a constant amount of light irradiated to an inspection object.

例えばフラットパネルディスプレイ製造工程では、光源からの光を光ファイバーで、検査対象物となるガラス板や塗料塗布面に光を導いて照射し、これをＣＣＤカメラ等で観察して傷や塗装不良等の欠陥を検知する画像処理検査装置が使用されている。（特許文献１参照）
特開２００５−２３３９２７号公報 For example, in the flat panel display manufacturing process, the light from the light source is irradiated with an optical fiber to the glass plate or paint application surface that is the object to be inspected, and this is observed with a CCD camera etc. An image processing inspection apparatus that detects defects is used. (See Patent Document 1)
JP 2005-233927 A

検査の際、光源装置に要求される条件として、検査対象物（被照射物）への光量は少なくとも検査時間中は変化しないこと、また使用するカメラの受光感度性能レベルに応じて必要な光量の光を照射できることなどが挙げられる。   The conditions required for the light source device during the inspection are that the amount of light to the inspection object (irradiated object) does not change at least during the inspection time, and the required amount of light depends on the light reception sensitivity performance level of the camera used. For example, it can be irradiated with light.

画像処理検査用の光源装置の光源としては、ハロゲンランプ、ＬＥＤ等の固体光素子、水銀ランプおよびメタルハライドランプ等放電灯が使用されており、中でも水銀ランプやメタルハライドランプ等の放電灯は、立ち上り時間が遅いものの高光量が得られることから、この種の光源として最適である。
しかしながらこれらの放電灯は１０００〜２０００時間点灯させると検査対象物への照射光量が次第に減衰していくために、使用するにあたっては、画像の明るさが変わらないようにその都度光量調整することが必要となる。 As a light source of a light source device for image processing inspection, a solid-state light element such as a halogen lamp or an LED, a discharge lamp such as a mercury lamp or a metal halide lamp is used. Among them, a discharge lamp such as a mercury lamp or a metal halide lamp has a rise time. However, it is suitable as a light source of this type because a high light quantity can be obtained although it is slow.
However, when these discharge lamps are lit for 1000 to 2000 hours, the amount of light irradiated to the inspection object gradually attenuates. Therefore, in use, the amount of light can be adjusted each time so that the brightness of the image does not change. Necessary.

またＣＣＤカメラ等を使用した画像処理検査装置においては、例えば特開２００５−２３３９２７号公報に記載されているように、「導光ロッド８の出射端面８ｏｕｔに、照射光量が著しく低下しない程度に、導光ロッド８を透過する光の一部を導光ロッド８内に戻すフロスト処理を施すことが」実施されている（同公報段落番号００２７と００２８の説明と、図７（ａ）と（ｂ）参照）。   In an image processing inspection apparatus using a CCD camera or the like, for example, as described in Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-233927, “the amount of irradiation light is not significantly reduced on the exit end face 8out of the light guide rod 8; “A frost process is performed to return a part of the light transmitted through the light guide rod 8 into the light guide rod 8” (the description of paragraph numbers 0027 and 0028 of the publication and FIGS. 7A and 7B). )reference).

ところで、導光ロッド８の出射端面８ｏｕｔに、フロスト処理を施すと、特開２００５−２３３９２７号公報の図９に記載してあるように、光ファイバーへの入射光量は、導光ロッド８内に戻る光量分減少する。導光ロッド８内に戻る光量は可能な限り少ない構成であることが望ましい。   By the way, when the frost processing is performed on the emission end face 8out of the light guide rod 8, the incident light quantity to the optical fiber returns into the light guide rod 8 as described in FIG. 9 of Japanese Patent Application Laid-Open No. 2005-233927. Decreases by the amount of light. It is desirable that the amount of light returning into the light guide rod 8 is as small as possible.

そこで本発明は、導光ロッド内に戻る光量をなくし、光ファイバーに入射する光量の増大を図ることができ且つ光ファイバーへ入射する光量を一定にコントロールすることができる光量モニタとそれを用いた光源装置を提供することを目的とする。   Accordingly, the present invention eliminates the amount of light returning into the light guide rod, can increase the amount of light incident on the optical fiber, and can uniformly control the amount of light incident on the optical fiber, and a light source device using the same The purpose is to provide.

この課題を解決するために、本発明に係る請求項１に記載の光量モニタは、光源から被照射物へ照射される照明光の照射光量を検出する光量モニタであって、光源から被照射物に至る光路中に、光入射端面となる片端側から入射した光を光出射端面となる他端側から出射する多角柱状の導光ロッドと、同導光ロッドから出射する光を被照射物へ導く光ファイバーとを有して構成してある。
また同導光ロッドと光ファイバーは対向面に間隔を有して配置され、同導光ロッドと光ファイバーの間に、同導光ロッドから出射する光の一部が光ファイバーへ入射する光と分離される構成がなされ、分離された空間を導光された光を光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出するように構成してある。
同光量モニタによると、導光ロッド内に戻る光量はなくなり、光ファイバーに入射する光量の増大を図ることができる。また分離された空間を導光された光を光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出することができるので、結果的に光ファイバーへ入射する光量を一定に維持することができる光量モニタを得ることができる。 In order to solve this problem, a light amount monitor according to claim 1 of the present invention is a light amount monitor for detecting an irradiation light amount of illumination light irradiated from a light source to an object to be irradiated. A light guide rod having a polygonal column shape that emits light incident from one end side serving as a light incident end surface, and light emitted from the light guide rod to the irradiated object. And a guiding optical fiber.
In addition, the light guide rod and the optical fiber are arranged with an interval on the opposing surface, and a part of the light emitted from the light guide rod is separated from the light incident on the optical fiber between the light guide rod and the optical fiber. The optical sensor is configured to receive light guided through the separated space, and the amount of light received by the optical sensor is detected as the amount of irradiation light.
According to the same light quantity monitor, the quantity of light returning to the inside of the light guide rod is eliminated, and the quantity of light incident on the optical fiber can be increased. Also, the light sensor can receive the light guided through the separated space, and the amount of light received by the light sensor can be detected as the amount of irradiation light, so that the amount of light incident on the optical fiber can be kept constant as a result. A light quantity monitor that can be obtained can be obtained.

請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の導光ロッドの内接円と同じ太さの光ファイバーを用いて構成してある。
請求項２に記載の発明によると、導光ロッドで導かれた光を光ファイバーに効率よく導くことができる。 The invention according to claim 2 is configured by using an optical fiber having the same thickness as the inscribed circle of the light guide rod according to claim 1.
According to invention of Claim 2, the light guide | induced with the light guide rod can be efficiently guide | induced to an optical fiber.

請求項３に記載の発明は、請求項１及び請求項２記載の光量モニタにおいて、光ファイバーの入射端部に筒状の光路分離体を有して構成してある。
請求項３に記載の発明によると、導光ロッド内に戻る光量はなくなり、光ファイバーに入射する光量の増大を図ることができ、また光センサが受けた光量を照射光量として検出することができ、結果的に光ファイバーへ入射する光量を一定にコントロールすることができる。 According to a third aspect of the present invention, in the light amount monitor according to the first and second aspects, a cylindrical optical path separator is provided at the incident end of the optical fiber.
According to the invention described in claim 3, the amount of light returning into the light guide rod is eliminated, the amount of light incident on the optical fiber can be increased, and the amount of light received by the optical sensor can be detected as the amount of irradiation light. As a result, the amount of light incident on the optical fiber can be controlled to be constant.

請求項４に記載の発明は、請求項２記の光量モニタにおいて、光路分離体の導光路面を傾斜して構成してある。
請求項４に記載の発明によると、光路分離体により、センサ方向に入る光の減衰を最小にして導くことが可能となる。 According to a fourth aspect of the present invention, in the light quantity monitor according to the second aspect, the light guide path surface of the optical path separator is inclined.
According to the fourth aspect of the present invention, the optical path separator can guide the light entering the sensor direction with minimum attenuation.

請求項５に記載の発明は、光源から被照射物へ照射される照明光の照射光量を検出する光量モニタと、その検出光量に応じて照射光量を制御する光量コントローラを備えた光源装置に関する。
また前記光量モニタとして光源から被照射物に至る光路中に、光入射端面となる片端側から入射した光を光出射端面となる他端側から出射する多角柱状の導光ロッドと、同導光ロッドから出射する光を被照射物へ導く光ファイバーとが対向面に間隔を有して配置されている。
そして、同導光ロッドと光ファイバーの間に、同導光ロッドから出射する光の一部が光ファイバーへ入射する光と分離される構成がなされ、分離された空間を導光された、光を光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出するように構成してある。
請求項５に記載の発明によると、導光ロッド内に戻る光量はなくなり、光ファイバーに入射する光量の増大を図ることができ、また分離された空間を導光された光を光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出することができるので、結果的に光ファイバーへ入射する光量を一定に維持することができる光源装置を得ることができる。 A fifth aspect of the present invention relates to a light source device including a light amount monitor that detects an irradiation light amount of illumination light irradiated from a light source to an object to be irradiated, and a light amount controller that controls the irradiation light amount according to the detected light amount.
A light guide rod having a polygonal column shape that emits light incident from one end side serving as a light incident end surface from the other end side serving as a light exit end surface in the light path from the light source to the irradiated object as the light amount monitor, and the light guide An optical fiber that guides the light emitted from the rod to the irradiated object is disposed on the opposing surface with a gap.
A part of the light emitted from the light guide rod is separated from the light incident on the optical fiber between the light guide rod and the optical fiber, and the light guided through the separated space is transmitted as light. The sensor receives and the light quantity received by the light sensor is detected as the irradiation light quantity.
According to the invention described in claim 5, the amount of light returning into the light guide rod is eliminated, the amount of light entering the optical fiber can be increased, and the light sensor receives the light guided through the separated space, Since the amount of light received by the optical sensor can be detected as the amount of irradiation light, a light source device that can maintain a constant amount of light incident on the optical fiber can be obtained.

本発明に係る光量モニタは、導光ロッドと同導光ロッドから出射する光を被照射物へ導く光ファイバーとが対向面に間隔を有して配置され、同導光ロッドと光ファイバーの間に、同導光ロッドから出射する光の一部が光ファイバーへ入射する光と分離される構成がなされ、分離された空間を導光された光を光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出するように構成してあるので、導光ロッド内に戻る光量はなくなり、光ファイバーに入射する光量の増大を図ることができ、また導光ロッドから出力され、光ファイバーに入射される光量は正確に測定することができる。
また上記した光源装置によると、導光ロッドから出力され、光ファイバーに入射される光量を正確に測定し、その検出光量に応じて光量コントローラにより照射光量を制御することができるので、照射面への光量は一定となる特別な効果がある。 In the light amount monitor according to the present invention, a light guide rod and an optical fiber that guides light emitted from the light guide rod to the irradiated object are arranged with an interval on the opposing surface, and between the light guide rod and the optical fiber, A part of the light emitted from the light guide rod is separated from the light incident on the optical fiber, and the light sensor receives the light guided through the separated space and irradiates the light quantity received by the light sensor. Since it is configured to detect the amount of light, the amount of light returning into the light guide rod is eliminated, the amount of light incident on the optical fiber can be increased, and the amount of light output from the light guide rod and incident on the optical fiber is It can be measured accurately.
Further, according to the light source device described above, the amount of light output from the light guide rod and incident on the optical fiber can be accurately measured, and the amount of irradiation light can be controlled by the light amount controller according to the detected amount of light. There is a special effect that the amount of light is constant.

以下本発明の最良の形態を図１乃至図６について説明する。     The best mode of the present invention will be described below with reference to FIGS.

以下本発明の実施例を図１乃至図６について説明する。図１は本発明に係る光源装置を示す正面図、図２は図１に組み込む本発明に係る光量モニタの正面図、図３は図２の一部拡大図で光の進行方向を示す正面図、図４は図２における導光ロッド遮光体とファイバー保持具部の分解正面図、図５は図２における導光ロッドの内接円と光ファイバーの太さの関係を示す説明図、図６は図１における調光フィルタの側面図である。   Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 is a front view showing a light source device according to the present invention, FIG. 2 is a front view of a light intensity monitor according to the present invention incorporated in FIG. 1, and FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 4 is an exploded front view of the light guide rod light blocking body and the fiber holder portion in FIG. 2, FIG. 5 is an explanatory view showing the relationship between the inscribed circle of the light guide rod and the thickness of the optical fiber in FIG. It is a side view of the light control filter in FIG.

図１において、１は光源装置を構成する光源装置本体であって、筐体状に構成してある。２は光源装置本体１の内部に収納してなる光源であって、反射ミラー３に装着して構成してある。光源としては、例えばメタルハライドランプを用いて構成してある。４は反射ミラー３の前方に４０ｍｍの間隔を有して設けた赤外線カットフィルタであって、光ファイバーへの伝達する熱線カットする。５は赤外線カットフィルタ４の前方に１０ｍｍの間隔を有して設けた調光フィルタであって、図６に示すように、円形に構成し、開口率が除々に変化する多数のスリット６が配列形成され、回転することによって、回転方向に応じて透過光量が漸増若しくは漸減するように構成してある。７は調光フィルタ５を回転するためのステップモータであって、所定角度回転するように構成してある。 In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a light source device body constituting a light source device, which is configured in a casing shape. Reference numeral 2 denotes a light source housed inside the light source device main body 1, which is configured to be mounted on the reflection mirror 3. As the light source, for example, a metal halide lamp is used. Reference numeral 4 denotes an infrared cut filter provided in front of the reflection mirror 3 with an interval of 40 mm, which cuts heat rays transmitted to the optical fiber. 5 is a dimming filter provided in front of the infrared cut filter 4 with an interval of 10 mm, and as shown in FIG. By forming and rotating, the amount of transmitted light gradually increases or decreases according to the direction of rotation. Reference numeral 7 denotes a step motor for rotating the dimming filter 5, which is configured to rotate by a predetermined angle.

図１において、１０は光源２を点灯制御するための点灯回路である。１１は検出光量に応じて、照射光量をフィードバックする調光フィルタ５を回転制御する光量コントローラである。 In FIG. 1, reference numeral 10 denotes a lighting circuit for controlling lighting of the light source 2. Reference numeral 11 denotes a light amount controller that controls the rotation of the dimming filter 5 that feeds back the irradiation light amount in accordance with the detected light amount.

図１乃至図５において、２０は光量モニタを構成する例えば正六角柱状の導光ロッドであって、例えば断面が対辺間距離２１ｍｍの正六角形の長さ１２０ｍｍのガラス体で形成してある。また同導光ロッド２０は光源２から照射された光を集光する楕円形の反射鏡３の光軸と同軸的に配されている。２１は導光ロッド２０を収納する導光ロッド遮光体であって、アルミニウム材で筒状に構成してある。 In FIG. 1 to FIG. 5, reference numeral 20 denotes a regular hexagonal columnar light guide rod that constitutes a light quantity monitor, and is formed of, for example, a regular hexagonal glass body with a cross-section distance of 21 mm and a length of 120 mm. The light guide rod 20 is arranged coaxially with the optical axis of the elliptical reflecting mirror 3 that collects the light emitted from the light source 2. Reference numeral 21 denotes a light guide rod light-shielding body that houses the light guide rod 20 and is made of an aluminum material in a cylindrical shape.

図１、図２、図３において、３０は光量モニタを構成する光ファイバーであって、導光ロッド２０の光出射端面２３と光ファイバー３０の光入射端面３１が所定の間隔を有して対向して配されている。また導光ロッド２０の内接円と光ファイバー３０は、図５に示すように同じ太さに構成してある。導光ロッド２０の内接円と光ファイバー３０を同じ太さに構成すると、導光ロッドの内接円より外側の光ファイバーに入射しない光を光センサに入射し利用することができる。３３は光ファイバーを収束するファイバー保持具であって、アルミニウム材で構成してある。また同ファイバー保持具３３の導光ロッド２０との対向面には、筒状の光路分離体３２を有して構成する。同光路分離体３２は図２、図３、図４に示すように、入射側の外面に傾斜面を有して構成してある。傾斜角度は例えば４５度に構成してある。光路分離体の入射側の外面を傾斜面に構成すると、導光ロッド２０にて導光された光の一部をセンサ方向に効率よく導くことができる。またファイバー保持具３３の外径がΦ５０ｍｍの場合、光路分離体の内径は例えばΦ２１ｍｍに構成してある。
上記した光路分離体は、本例ではファイバー保持具３３と一体的に構成してあるが、別々に構成し、導光ロッド遮光体２１とファイバー保持具３３との間に狭持してもよい。 1, 2, and 3, reference numeral 30 denotes an optical fiber that constitutes a light amount monitor, and the light emitting end face 23 of the light guide rod 20 and the light incident end face 31 of the optical fiber 30 face each other with a predetermined interval. It is arranged. Further, the inscribed circle of the light guide rod 20 and the optical fiber 30 are configured to have the same thickness as shown in FIG. When the inscribed circle of the light guide rod 20 and the optical fiber 30 are configured to have the same thickness, light that does not enter the optical fiber outside the inscribed circle of the light guide rod can enter the optical sensor and be used. Reference numeral 33 denotes a fiber holder for converging the optical fiber, which is made of an aluminum material. The fiber holder 33 has a cylindrical optical path separator 32 on the surface facing the light guide rod 20. As shown in FIGS. 2, 3, and 4, the optical path separator 32 has an inclined surface on the outer surface on the incident side. The inclination angle is configured to be 45 degrees, for example. If the outer surface on the incident side of the optical path separator is configured as an inclined surface, a part of the light guided by the light guide rod 20 can be efficiently guided in the sensor direction. When the outer diameter of the fiber holder 33 is Φ50 mm, the inner diameter of the optical path separator is, for example, Φ21 mm.
The optical path separator described above is configured integrally with the fiber holder 33 in this example, but may be configured separately and sandwiched between the light guide rod light shield 21 and the fiber holder 33. .

図１乃至図４において、４０はファイバー保持具３３の光路分離体３２によって分離された光を受光する光センサである。本例では、導光ロッド２０の出射端面から光ファイバー３０入射端面に入射される光と、光路分離体３２によってセンサ４０に向かって導光される光に分離される。４１は光センサ４０の前側に配置した拡散板であって、センサ４０に向かって導光される光を効率よくセンサ４０に導くことができる。 In FIGS. 1 to 4, reference numeral 40 denotes an optical sensor that receives light separated by the optical path separator 32 of the fiber holder 33. In this example, the light is separated into light incident on the optical fiber 30 incident end surface from the light emitting end surface of the light guide rod 20 and light guided toward the sensor 40 by the optical path separator 32. Reference numeral 41 denotes a diffusion plate disposed on the front side of the optical sensor 40, and can efficiently guide light guided toward the sensor 40 to the sensor 40.

次に上記した本発明の光量モニタとそれを用いた光源装置の動作について説明する。
（１）光源装置を作動すると、光源２から照射された光は楕円形の反射鏡３の第二焦点に集光され、赤外線カットフィルタ４にて、赤外線がカットされた光が調光フィルタ５を通って、六角柱状の導光ロッド２０に入射され、同導光ロッド２０の光出射端面に向って直進し、あるいは側面で反射しながら光出射端面２３に導かれる。
（２）導光ロッド２０の光出射端面に導かれた光は、光量分布が均一化されて光出射端面２３から出射され、光ファイバー３０により検査対象物（被照射物）まで案内され、照明光として照射される。
一方、光路分離体３２によってセンサ４０に向かって導光される光は、光ファイバー３０に入射する光をセンサ４０が正確に検知される。つまり、センサ４０で検知する光量と光ファイバー３０に入射する光は相関関係にある。
（３）かかる後、センサ４０の検出光量に応じて、調光フィルタ５を回転制御し、照射光量をコントロールする。本発明によると、絶えず光量を照射光量として検出することができ、照射光量をコントロールすることにより、被照射面への光量は一定とすることができる。 Next, the operation of the above-described light quantity monitor of the present invention and the light source device using the same will be described.
(1) When the light source device is operated, the light emitted from the light source 2 is collected at the second focal point of the elliptical reflecting mirror 3, and the light whose infrared rays are cut by the infrared cut filter 4 is the dimming filter 5. The light is incident on the hexagonal columnar light guide rod 20 and travels straight toward the light exit end face of the light guide rod 20 or is guided to the light exit end face 23 while being reflected by the side face.
(2) The light guided to the light emitting end face of the light guide rod 20 is emitted from the light emitting end face 23 with a uniform light quantity distribution, guided to the inspection object (irradiated object) by the optical fiber 30, and illuminated light. As irradiated.
On the other hand, the light guided toward the sensor 40 by the optical path separator 32 is accurately detected by the sensor 40 as the light incident on the optical fiber 30. That is, the amount of light detected by the sensor 40 and the light incident on the optical fiber 30 are correlated.
(3) After that, according to the light amount detected by the sensor 40, the dimming filter 5 is rotationally controlled to control the irradiation light amount. According to the present invention, the amount of light can be constantly detected as the amount of irradiation light, and the amount of light applied to the irradiated surface can be made constant by controlling the amount of irradiation light.

上記の光源装置１を検査用照明光源として用いる場合、１５００〜２０００時間点灯後の照射光量は、初期光量と比して４０％程度の減光が予想されるので、当初より調光フィルタ５で光源２の光量を最大光量の６０％程度に調光しておき、光センサ４０が受ける検出光量の変化に応じて、光量コントローラ１１が信号を発し、調光フィルタ５を回転制御する。
ここでは、検出光量は経時的に低下する傾向にあるので、例えば検出光量が１％低下したときに、調光フィルタ５をそのスリット６が大きくなる方向に回転させて、被照射面への光量は一定とする。 When the light source device 1 is used as an illumination light source for inspection, the irradiation light amount after lighting for 1500 to 2000 hours is expected to be reduced by about 40% compared to the initial light amount. The light amount of the light source 2 is dimmed to about 60% of the maximum light amount, and the light amount controller 11 emits a signal according to the change in the detected light amount received by the optical sensor 40 to control the rotation of the dimming filter 5.
Here, since the detected light amount tends to decrease with time, for example, when the detected light amount decreases by 1%, the dimming filter 5 is rotated in the direction in which the slit 6 becomes larger, so that the light amount to the irradiated surface is increased. Is constant.

このようにして、検出光量に応じて徐々に調光フィルタ５により導光ロッド２０への入射光量を増大させることにより、１５００〜２０００時間点灯後でも、当初照射光量と略等しい光量に維持して照射することができる。   In this way, the light amount incident on the light guide rod 20 is gradually increased by the dimming filter 5 according to the detected light amount, so that the light amount is maintained substantially equal to the initial irradiation light amount even after lighting for 1500 to 2000 hours. Can be irradiated.

なお上述の説明では、光量コントローラ１１として導光ロッド２０への入射光量を可変制御する調光フィルタ５を用いたが、本発明はこれに限らず、光源の光量を可変制御する調光回路としも同様に実施することができる。   In the above description, the light control filter 5 that variably controls the amount of light incident on the light guide rod 20 is used as the light amount controller 11. However, the present invention is not limited to this, and the light control circuit variably controls the light amount of the light source. Can be similarly implemented.

本発明に係る光源装置を示す正面図。The front view which shows the light source device which concerns on this invention. 図２は図１に組み込む本発明に係る光量モニタの正面図。FIG. 2 is a front view of a light quantity monitor according to the present invention incorporated in FIG. 図３は図２の一部拡大図で光の進行方向を示す正面図。FIG. 3 is a partially enlarged view of FIG. 2 and a front view showing the traveling direction of light. 図４は図２における導光ロッド遮光体とファイバー保持具部の分解正面図。4 is an exploded front view of the light guide rod light blocking body and the fiber holder in FIG. 図５は図２における導光ロッドの内接円と光ファイバーの太さの関係を示す説明図。FIG. 5 is an explanatory diagram showing the relationship between the inscribed circle of the light guide rod in FIG. 2 and the thickness of the optical fiber. 図６は図１における調光フィルタの側面図。6 is a side view of the light control filter in FIG.

符号の説明Explanation of symbols

１ 光源装置本体
２ 光源
３ 反射ミラー
４ 赤外線カットフィルタ
５ 調光フィルタ
６ スリット
７ ステップモータ
１０ 点灯回路
１１ 光量コントローラ
２０ 導光ロッド
２１ 導光ロッド遮光体
２３ 光出射端面
３０ 光ファイバー
３１ 入射端面
３２ 光路分離体
３３ ファイバー保持具
４０ 光センサ
４１ 拡散板 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Light source device body 2 Light source 3 Reflection mirror 4 Infrared cut filter 5 Light control filter 6 Slit 7 Step motor 10 Lighting circuit 11 Light quantity controller 20 Light guide rod 21 Light guide rod light-shielding body 23 Light emission end face 30 Optical fiber 31 Incident end face 32 Optical path separation Body 33 Fiber holder 40 Optical sensor 41 Diffusion plate

Claims (5)

光源から被照射物へ照射される照明光の照射光量を検出する光量モニタであって、
光源から被照射物に至る光路中に、光入射端面となる片端側から入射した光を光出射端面となる他端側から出射する多角柱状の導光ロッドと、同導光ロッドから出射する光を被照射物へ導く光ファイバーとを有し、同導光ロッドと光ファイバーは対向面に間隔を有して配置され、同導光ロッドと光ファイバーの間に、同導光ロッドから出射する光の一部が光ファイバーへ入射する光と分離される構成がなされ、分離された空間を導光された光を光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出するように構成したことを特徴とする光量モニタ。 A light amount monitor for detecting the amount of illumination light irradiated from the light source to the object,
In the optical path from the light source to the object to be irradiated, light that is incident from one end that is the light incident end face, a polygonal light guide rod that emits light from the other end that is the light exit end face, and light that is emitted from the light guide rod A light guide rod to the object to be irradiated, the light guide rod and the optical fiber are arranged with an interval on the opposing surface, and one of the light emitted from the light guide rod is interposed between the light guide rod and the optical fiber. The optical sensor receives the light guided through the separated space, and detects the amount of light received by the optical sensor as the amount of irradiation light. Features a light intensity monitor. 導光ロッドの内接円と同じ太さの光ファイバーを用いて構成しことを特徴とする請求項１記載の光量モニタ。 The light quantity monitor according to claim 1, wherein the light quantity monitor is configured using an optical fiber having the same thickness as an inscribed circle of the light guide rod. 光ファイバーの入射端部に筒状の光路分離体を有することを特徴とする請求項１及び請求項２記載の光量モニタ。 3. The light quantity monitor according to claim 1, further comprising a cylindrical optical path separator at an incident end of the optical fiber. 光路分離体の導光路面を傾斜して構成したことを特徴とする請求項３記載の光量モニタ。 4. The light quantity monitor according to claim 3, wherein the light guide path surface of the optical path separator is inclined. 光源から被照射物へ照射される照明光の照射光量を検出する光量モニタと、その検出光量に応じて照射光量を制御する光量コントローラを備えた光源装置において、
前記、光量モニタとして光源から被照射物に至る光路中に、光入射端面となる片端側から入射した光を光出射端面となる他端側から出射する多角柱状の導光ロッドと、同導光ロッドから出射する光を被照射物へ導く光ファイバーとが対向面に間隔を有して配置され、同導光ロッドと光ファイバーの間に、同導光ロッドから出射する光の一部が光ファイバーへ入射する光と分離される構成がなされ、分離された空間を導光された、光を光センサが受け、同光センサが受けた光量を照射光量として検出するように構成したことを特徴とする光源装置。 In a light source device including a light amount monitor that detects an irradiation light amount of illumination light irradiated to an object to be irradiated from a light source, and a light amount controller that controls the irradiation light amount according to the detected light amount,
A light guide rod having a polygonal column shape that emits light incident from one end serving as a light incident end face from the other end serving as a light exit end face in the optical path from the light source to the irradiated object as the light amount monitor, and the light guide An optical fiber that guides the light emitted from the rod to the object to be irradiated is arranged with an interval between the light guide rod and the optical fiber, and a part of the light emitted from the light guide rod enters the optical fiber. The light source is configured to be separated from the light to be transmitted, is guided in the separated space, the light sensor receives the light, and the light amount received by the light sensor is detected as the irradiation light amount apparatus.
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