JP2008216217A - 位置決めステージ - Google Patents
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Abstract
【課題】 平行配置されたリニアガイド間の不平行性を吸収する機能を備える位置決めステージを実現する。
【解決手段】 軸方向に移動制御されるスライダを有する一対のリニアモータを、所定距離を隔てて平行に配置し、前記一対のリニアモータの夫々のスライダ間をブリッジ部材で橋渡しした位置決めステージにおいて、
前記ブリッジ部材と前記スライダの一方との結合部に介在し、前記ブリッジ部材の橋渡し方向の移動を可能とするスライド機構を備える。
【選択図】 図1
【解決手段】 軸方向に移動制御されるスライダを有する一対のリニアモータを、所定距離を隔てて平行に配置し、前記一対のリニアモータの夫々のスライダ間をブリッジ部材で橋渡しした位置決めステージにおいて、
前記ブリッジ部材と前記スライダの一方との結合部に介在し、前記ブリッジ部材の橋渡し方向の移動を可能とするスライド機構を備える。
【選択図】 図1
Description
本発明は、軸方向に移動制御されるスライダを有する一対のリニアモータを、所定距離を隔てて平行に配置し、前記一対のリニアモータの夫々のスライダ間をブリッジ部材で橋渡しした位置決めステージに関するものである。
軸方向に移動制御されるスライダを有する一対のリニアモータを、所定距離を隔てて平行に配置し、前記一対のリニアモータの夫々のスライダ間をブリッジ部材で橋渡しした構造の位置決めステージについては、特許文献1に技術的な開示がある。
図3は、特許文献1に開示されている従来の位置決めステージの平面図である。上位装置1は、パルス信号による目標位置信号Psを位置制御手段2に与える。位置制御手段2は、この目標位置信号Psと中点位置検出手段3の中点位置検出信号Pfoとの偏差を演算して共通推力ドライバ4に推力指令Foを出力する。
マスタ軸を形成する第1のリニアモータ5は、ステータ51及びモータ部を内在するスライダ52を備える。スレーブ軸を形成する第2のリニアモータ6は、ステータ61及びモータ部を内在するスライダ62を備える。
スライダ52は、第1のリニアモータ5の軸方向に平行配置されたレール状のリニアガイド53,53´に結合し、軸方向に移動する。スライダ62は、第2のリニアモータ6の軸方向に平行配置されたレール状のリニアガイド63,63´に結合し、軸方向に移動する。
位置検出手段7は、ステータ51に沿って配置されたスケール(図示せず)を読み取り、移動距離より第1のリニアモータ5のスライダ52の位置を検出し、その位置検出信号Pfaを出力する。
同様に、位置検出手段8は、ステータ61に沿って配置されたスケール(図示せず)を読み取り、移動距離より第2のリニアモータ6のスライダ62の位置を検出し、その位置検出信号Pfbを出力する。
中点位置検出手段3は、位置検出信号Pfa及び位置検出信号Pfbを入力し、平均演算処理した中点位置検出信号Pfoを出力する。中点位置検出信号Pfoは、位置制御手段2にフィードバックされる。
共通推力ドライバ4は、位置制御手段2からの推力指令Foを入力して第1のリニアモータ5のスライダ52及び第2のリニアモータ6のスライダ62に共通の駆動電流Ioを供給してこれらを移動制御する。
第1のリニアモータ5のステータ51と第2のリニアモータ6のステータ61は、所定距離を隔てて平行に配置されている。ブリッジ部材9は、これら一対のリニアモータのスライダ52及び62間を橋渡しして結合している。
ブリッジ部材9の中点9aの位置に、最終的な位置決めの対象となるターゲットが搭載される。Xaは位置制御されたスライダ52の位置、Xbは追従位置制御されたスライダ62の位置、Xは位置制御された中点9aの位置を示す。
このように、一対のリニアモータのスライダ間を橋渡し結合するブリッジ部材の中点位置を演算で検出し、この位置を位置制御手段によりフィードバック制御することにより、中点を高精度で位置決めすることができる。
図4は、従来の位置決めステージの斜視図である。第1のリニアモータ5と第2のリニアモータ6は、複数の結合部材10で平行関係を維持して結合されている。ブリッジ部材9は、両端に脚部91及び92を有し、この両脚部が一対のリニアモータのスライダ52及び62に結合している。
図5は、従来の位置決めステージの正面図である。ステータ51及びステータ61を挟んで、ステータ51及びステータ61に平行してリニアガイド53,53´及びリニアガイド63,63´が配置され、スライダ52及びスライダ62は夫々これらリニアガイドに結合している。
従来の位置決めステージでは、ブリッジ部材9がスライダ52及びスライダ62に固定結合し、更にスライダ52及びスライダ62がリニアガイド53,53´及びリニアガイド63,63´に結合している剛体構造のため、次のような問題点が発生する。
(1)架台の機械的な加工精度及び雰囲気(温度等)の影響により、リニアガイド53,53´及びリニアガイド63,63´が、スライダ52及びスライダ62の移動範囲で平行関係を高精度で維持できない。
(1)架台の機械的な加工精度及び雰囲気(温度等)の影響により、リニアガイド53,53´及びリニアガイド63,63´が、スライダ52及びスライダ62の移動範囲で平行関係を高精度で維持できない。
(2)リニアガイド間の平行が維持できないと、リニアガイドの直動方向に対して直交する矢印P,P´で示す力が発生し、スライダの進行に対して摩擦やこじれが発生する。この摩擦やこじれに抗して位置制御が実行された場合には、モータ駆動電流Ioが増加し、消費電力が増加する。
(3)リニアガイド53,53´及びリニアガイド63,63´に無理な力が常時発生することで、リニアガイドの寿命が短くなる。
本発明は上述した問題点を解決するためになされたものであり、平行配置されたリニアガイド間の不平行性を吸収する機能を備える位置決めステージの実現を目的としている。
このような課題を達成するために、本発明は次の通りの構成になっている。
(1)軸方向に移動制御されるスライダを有する一対のリニアモータを、所定距離を隔てて平行に配置し、前記一対のリニアモータの夫々のスライダ間をブリッジ部材で橋渡しした位置決めステージにおいて、
前記ブリッジ部材と前記スライダの一方との結合部に介在し、前記ブリッジ部材の橋渡し方向の移動を可能とするスライド機構を備えることを特徴とする位置決めステージ。
(1)軸方向に移動制御されるスライダを有する一対のリニアモータを、所定距離を隔てて平行に配置し、前記一対のリニアモータの夫々のスライダ間をブリッジ部材で橋渡しした位置決めステージにおいて、
前記ブリッジ部材と前記スライダの一方との結合部に介在し、前記ブリッジ部材の橋渡し方向の移動を可能とするスライド機構を備えることを特徴とする位置決めステージ。
(2)前記スライド機構は、前記ブリッジ部材の橋渡し方向のみの移動を可能とするリニアガイド部材であることを特徴とする(1)に記載の位置決めステージ。
(3)前記スライド機構は、前記スライダと前記ブリッジ部材の間に形成され、前記ブリッジ部材の橋渡し方向にスライド可能なあり溝結合構造であることを特徴とする(1)に記載の位置決めステージ。
(4)前記ブリッジ部材はその両端部に前記一対のスライダと結合する一対の脚部を有し、前記スライド機構は、前記脚部の一方と前記スライダの一方間に形成されていることを特徴とする(1)乃至(3)のいずれかに記載の位置決めステージ。
本発明によれば、次のような効果を期待することができる。
(1)架台の機械的な加工精度及び雰囲気(温度等)の影響により、リニアガイド53,53´及びリニアガイド63,63´が、スライダ52及びスライダ62の移動範囲で平行関係を維持できない場合でも、ブリッジ部材9の橋渡し方向のみの移動を可能とするスライド機構100の働きにより、ブリッジ部材9が移動できることで平行精度は障害の要因にはならない。
(1)架台の機械的な加工精度及び雰囲気(温度等)の影響により、リニアガイド53,53´及びリニアガイド63,63´が、スライダ52及びスライダ62の移動範囲で平行関係を維持できない場合でも、ブリッジ部材9の橋渡し方向のみの移動を可能とするスライド機構100の働きにより、ブリッジ部材9が移動できることで平行精度は障害の要因にはならない。
(2)ブリッジ部材の橋渡し方向のみの移動を可能とするスライド機構100の働きにより、リニアガイド53,53´及びリニアガイド63,63´の平行が維持できないときでも、リニアガイドの直動方向に対して直交する矢印P,P´で示す力は発生しない。従って、スライダの位置制御系においてモータ駆動電流Ioが増加による消費電力が増加する問題は解消される。
(3)リニアガイド53,53´及びリニアガイド63,63´に無理な力が常時発生することがないので、リニアガイドの寿命が短くなる問題は解消される。
以下、本発明を図面により詳細に説明する。図1は、本発明を適用した位置決めステージの一実施形態を示す正面図である。図3乃至図5で説明した従来の位置決めステージと同一要素には同一符号を付して説明を省略する。
本発明の特徴部は、ブリッジ部材9の一方の脚部91とスライダの一方52との結合部に介在させたスライド機構100の構成にある。このスライド機構100は、ブリッジ部材9の橋渡し方向P−P´のみの移動を可能とする。
このスライド機構100は、ブリッジ部材9の橋渡し方向P−P´のみの移動を可能とする機構であれば任意の構造を採用することができる。例えば、スライダ51,61をガイドするリニアガイド53,53´、63,63´と同一構造のリニアガイド部材で実現することができる。
図2は、本発明の他の実施形態を示す側面図及び正面図である。図2(A)は、第1のリニアモータ5側からの側面図、(B)は正面図である。この実施形態におけるスライド機構は、スライダ52とブリッジ部材9の脚部91間に形成されたあり溝結合構造200にある。このあり溝結合構造は、ブリッジ部材9の橋渡し方向P−P´のみの移動を可能とする。
あり溝結合構造は、Oリングのガイド部材、工作機械のスライド部等で広く利用されている周知技術である。あり溝構結合造をとることで、スライド機能を備えながら高い剛性を維持してブリッジ部材9を移動させることができる。
5 第1のリニアモータ
51 ステータ
52 スライダ
53 リニアガイド
6 第2のリニアモータ
61 ステータ
62 スライダ
63 リニアガイド
9 ブリッジ部材
91,92 脚部
10 連結部材
100 スライド機構
51 ステータ
52 スライダ
53 リニアガイド
6 第2のリニアモータ
61 ステータ
62 スライダ
63 リニアガイド
9 ブリッジ部材
91,92 脚部
10 連結部材
100 スライド機構
Claims (4)
- 軸方向に移動制御されるスライダを有する一対のリニアモータを、所定距離を隔てて平行に配置し、前記一対のリニアモータの夫々のスライダ間をブリッジ部材で橋渡しした位置決めステージにおいて、
前記ブリッジ部材と前記スライダの一方との結合部に介在し、前記ブリッジ部材の橋渡し方向の移動を可能とするスライド機構を備えることを特徴とする位置決めステージ。 - 前記スライド機構は、前記ブリッジ部材の橋渡し方向のみの移動を可能とするリニアガイド部材であることを特徴とする請求項1に記載の位置決めステージ。
- 前記スライド機構は、前記スライダと前記ブリッジ部材の間に形成され、前記ブリッジ部材の橋渡し方向にスライド可能なあり溝結合構造であることを特徴とする請求項1に記載の位置決めステージ。
- 前記ブリッジ部材はその両端部に前記一対のスライダと結合する一対の脚部を有し、前記スライド機構は、前記脚部の一方と前記スライダの一方間に形成されていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の位置決めステージ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007057941A JP2008216217A (ja) | 2007-03-08 | 2007-03-08 | 位置決めステージ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2007057941A JP2008216217A (ja) | 2007-03-08 | 2007-03-08 | 位置決めステージ |
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JP2008216217A true JP2008216217A (ja) | 2008-09-18 |
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ID=39836409
Family Applications (1)
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JP2007057941A Pending JP2008216217A (ja) | 2007-03-08 | 2007-03-08 | 位置決めステージ |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2008216217A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012123612A1 (es) * | 2011-03-15 | 2012-09-20 | Loxin 2002, S.L. | Sistema de guiado para desplazamiento longitudinal |
ES2400640R1 (es) * | 2010-03-18 | 2013-05-14 | Loxin 2002 Sl | Sistema de guiado para desplazamiento longitudinal |
CN103295651A (zh) * | 2013-05-10 | 2013-09-11 | 上海大学 | 基于柔性放大原理的压电驱动尺蠖式定位工作台 |
CN103969030A (zh) * | 2014-04-14 | 2014-08-06 | 上海大学 | 用于激光陀螺镜片筛选的接触式检测装置 |
-
2007
- 2007-03-08 JP JP2007057941A patent/JP2008216217A/ja active Pending
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WO2012123612A1 (es) * | 2011-03-15 | 2012-09-20 | Loxin 2002, S.L. | Sistema de guiado para desplazamiento longitudinal |
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