JP2008214000A - Carrying device - Google Patents

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JP2008214000A
JP2008214000A JP2007052307A JP2007052307A JP2008214000A JP 2008214000 A JP2008214000 A JP 2008214000A JP 2007052307 A JP2007052307 A JP 2007052307A JP 2007052307 A JP2007052307 A JP 2007052307A JP 2008214000 A JP2008214000 A JP 2008214000A
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Yasuhito Ikeda
Masato Mori
昌人 森
泰人 池田
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Orc Mfg Co Ltd
株式会社オーク製作所
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a carrying device capable of easily transporting between a substrate processing device and the carrying device having different heights, and enabling a substrate after transportation to be adjusted in a posture suitable for the next process, in a carrying process carrying the substrate. <P>SOLUTION: The carrying device 1 comprises a roller conveyer portion 10 having a plurality of rollers, and a plurality of rail portions equipped with the rollers and arranged at predetermined intervals, and horizontally carrying a rectangular substrate N; a vertically moving mechanism portion 3 moving the roller conveyer portion 10 in a vertical direction; and a pair of adjusting portions disposed on opposite end portion sides of the substrate N, and adjusting the posture of the substrate N by pushing the end portions of the substrate N on the roller conveyer portion 10. The vertically moving mechanism 3 is disposed on a first end side of the roller conveyer portion 10, and a second end side of the roller conveyer portion 10 is a free end. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、例えば電子回路基板や液晶基板等の基板を一方から他方に搬送するための搬送装置に関する。 The present invention relates to transport apparatus for transporting the substrate such as an electronic circuit board or a liquid crystal substrate from one to the other.

一般に、液晶基板の製造工程においては、基板に回路や識別記号を形成するために紫外線を曝露する紫外線照射工程等がある。 Generally, in the manufacturing process of the liquid crystal substrate, there is a UV irradiation process or the like exposing the ultraviolet light to form a circuit or identification mark on the substrate. この際、露光工程を行う露光装置や、紫外線照射工程を行う照射装置等の各基板処理装置の間は、ベルトコンベア等の搬送装置によって連結され、基板が水平を保った状態で搬送される。 At this time, an exposure apparatus that performs an exposure process, during each of the substrate processing apparatus of the irradiation apparatus for performing ultraviolet irradiation process are connected by a conveying device such as a belt conveyor, and is conveyed in a state where the substrate is kept horizontal. 即ち、液晶基板の製造工程は、基板処理装置から搬送装置へ又は搬送装置から基板処理装置へ基板を移載する移載工程や、搬送装置によって基板を搬送する搬送工程を繰り返し行われる。 That is, the manufacturing process of the liquid crystal substrate, and transferring step of transferring the substrate to or from the conveying device conveying device from the substrate processing apparatus to the substrate processing apparatus is repeatedly performed a conveying step of conveying the substrate by the transport device.

このような製造工程に用いられる搬送装置として、例えば、特許文献1に係る発明が知られている(従来発明1)。 As the conveying device used in such a manufacturing process, for example, it has been known an invention according to Patent Document 1 (prior invention 1). 従来発明1は、ローラ軸を複数本併設したローラコンベアであって、ローラ軸に接続された駆動軸を回転させるサーボモータと、サーボモータに内蔵された回転検出器と、ローラ軸の回転を検出する外部検出器を有することを特徴とする。 Prior invention 1 is a roller conveyor which has a plurality of features a roller shaft, a servo motor for rotating the drive shaft connected to the roller shaft, a rotation detector which is built in the servo motor, detects the rotation of the roller shaft characterized in that it has an external detector. このような構成により、回転検出器のフィードバック信号と共に、外部検出器の検出信号でサーボ制御器に与えられる指令値を補正することにより、ローラ軸の正確な回転と、ローラコンベアで搬送される基板の正確な停止位置とを制御することができる。 With this arrangement the substrate, with the feedback signal of the rotation detector, which is conveyed by correcting the command value given to the servo controller in the detection signal of the external detector, and precise rotation of the roller shaft, a roller conveyor it is possible to control the exact stop position of.

また、例えば、各基板処理装置に係る挿入口や排出口の高さが異なる場合には、例えば、特許文献2に係るトランスファロボット(従来発明2)を用いて基板の移載を行っていた。 For example, when the height of the insertion opening and the outlet of the respective substrate processing apparatuses are different, for example, it has been performed transfer of the substrate using a transfer robot (prior invention 2) according to Patent Document 2. 当該トランスファロボットは、ベースに回転可能に設置された第一アームと、第一アームに回転可能に設置された第二アームと、第二アームの先端側に取り付けられ、基板を載置するハンド部と、を有する。 The transfer robot includes a first arm which is rotatably installed on the base, a second arm rotatably disposed on the first arm is attached to the distal end side of the second arm, the hand unit for placing a substrate and, with a. 第一アーム及び第二アームが上下方向に回転してハンド部を鉛直方向に動かすことができるため、基板の鉛直方向の移動を行うことができる。 Since the first arm and the second arm can move the hand portion is rotated in the vertical direction in the vertical direction, it can be moved in the vertical direction of the substrate.
特開2004−131233号公報(図1) 特開2003−275980号公報(図1) JP 2004-131233 JP (FIG. 1) Patent 2003-275980 JP (FIG. 1)

しかしながら、従来発明2に係るトランスファロボットによって基板を移載した後に、従来発明1に係るローラコンベアで搬送すると、移載及び搬送の際に基板の姿勢が傾き、そのまま搬送されるという問題があった。 However, after transferring the substrate by a transfer robot according to the prior invention 2, when conveyed by roller conveyor according to the prior invention 1, the inclination orientation of the substrate during the transfer and transport, there is a problem that it is transported . 即ち、基板を次の工程の基板処理装置へ挿入する際に適正な姿勢で挿入することができないため、位置合せ作業に悪影響を与えたり、作業効率が悪くなったりするという問題があった。 That is, it is not possible to insert in the proper orientation when inserting the substrate into the substrate processing apparatus of the next step, or adversely affect the alignment work, there is a problem that work efficiency may become worse.
このような観点から本発明は、基板を搬送する搬送工程において、高さの異なる基板処理装置と搬送装置の間の移載を容易に行うことができると共に、基板を次の工程における適切な姿勢で搬送することができる搬送装置を提供することを課題とする。 The invention from this point of view, in a transport step of transporting the substrate, transfer it is possible to easily between the different heights substrate processing apparatus and the conveying apparatus, suitable substrates in the next step posture in and to provide a conveying apparatus capable of conveying.

かかる課題を解決するために、本発明は、複数のローラと、このローラを備え所定の間隔をあけて並設された複数本のレール部を有して、矩形の基板を水平に搬送するローラコンベア部と、前記ローラコンベア部を鉛直方向に移動させる鉛直移動機構部と、前記基板の対向する端部側に配置され、前記ローラコンベア部上において、前記基板の端部を押動することで前記基板の姿勢を整合する一対の整合部と、を備え、前記鉛直移動機構部は、 To solve such problems, the present invention, comprises a plurality of rollers, the rail portion of the plurality of which are arranged at a predetermined interval with the roller, for transporting the rectangular substrate horizontally roller a conveyor unit, a vertical movement mechanism for moving the roller conveyor in the vertical direction, disposed on the end side which faces the substrate, on the roller conveyor portion, by pressing the end portion of the substrate and a pair of matching section for matching the orientation of the substrate, the vertical movement mechanism portion,
前記ローラコンベア部の一端側に配置され、前記ローラコンベア部の他端側は、自由端であることを特徴とする。 Wherein arranged at one end of the roller conveyor unit, the other end of the roller conveyor unit, characterized in that it is a free end.

かかる構成によれば、鉛直移動機構部により、ローラコンベア部を鉛直方向に移動させ、次工程における各基板処理装置の挿入口や排出口の高さ位置が異なっても、基板を移載する。 According to such a configuration, the vertical movement mechanism to move the roller conveyor unit in the vertical direction, even if different height position of the insertion opening and the outlet of each substrate processing apparatus in the next step, to transfer the substrate. また、整合部によって、ローラコンベア部上で基板の姿勢を整え、基板を適切な姿勢で基板処理装置に搬送する。 Further, the matching unit, established a posture of the substrate on the roller conveyor section, transported to the substrate processing apparatus of the substrate in an appropriate posture. また、ローラコンベア部の他端側は、自由端となっているため、ローラコンベア部の他端側の下部及び上部の空間や、隣り合うレール部の間隙を利用して、次工程の基板処理装置の受取りステージ等を挿入し、移載工程を行う。 The other end of the roller conveyor unit, since a free end, and the lower and upper space of the other end of the roller conveyor unit, by utilizing the gap of the rail portion adjacent substrate processing in the subsequent step insert the receive stage of the apparatus, performing the transfer process.

また、本発明にかかる整合部は、前記基板に当接される複数の整合ローラと、この整合ローラを直線上に備える保持部と、この保持部を水平面内で回転させる回転軸部と、この回転軸部を駆動させる駆動手段と、前記回転軸部の回転角度を検知する角度検知手段と、この角度検知手段の検知した角度に基づいて前記駆動手段を制御する駆動制御手段と、前記回転軸部を支持する支持台と、この支持台を前記ローラコンベア部の幅方向において移動させるスライド機構部と、を備えることを特徴とする。 The matching unit according to the present invention includes a plurality of alignment rollers being contact with the substrate, and a holding portion provided with the alignment roller in a straight line, and a rotating shaft for rotating the holder in a horizontal plane, this driving means for driving the rotation shaft, an angle detecting means for detecting the rotation angle of the rotation shaft, and a drive control means for controlling said drive means based on the detected angle of the angle detection means, said rotary shaft a support base for supporting the part to a slide mechanism for the support table is moved in the width direction of the roller conveyor, comprising: a.

かかる構成によれば、対向する一対の整合部に形成された整合ローラで基板を挟持すると共に、角度検知手段及び駆動手段により、検知した角度に基づいて基板を所望の姿勢(角度)に整合する。 According to such a configuration, to clamp the substrate in alignment rollers are formed in a pair of matching portions facing, by the angle detection means and the drive means, for aligning the substrates desired posture (angle) based on the detected angle . これにより、基板を適切な姿勢で各基板処理装置に搬送することができる。 This makes it possible to convey the respective substrate processing apparatuses substrates in the proper orientation.

本発明に係る搬送装置によれば、基板を搬送する搬送工程において、高さの異なる基板処理装置と搬送装置の間の移載工程を容易に行うことができると共に、基板を次の工程における適切な姿勢で搬送することができる。 According to the transport apparatus according to the present invention, in a transport step of transporting the substrate, the transfer process it is possible to easily perform between different heights substrate processing apparatus and the conveying apparatus, suitable substrates in the next step it can be conveyed in such a posture.

本発明に係る搬送装置の最良の形態について図面を参照して詳細に説明する。 The best mode of the transport apparatus according to the present invention with reference to the accompanying drawings. 図1は、本実施形態に係る搬送装置を示した斜視図である。 Figure 1 is a perspective view showing a conveying apparatus according to the present embodiment. 図2は、本実施形態に係る搬送装置を示した側面図である。 Figure 2 is a side view showing a conveying apparatus according to the present embodiment. 図3は、本実施形態に係る搬送装置を示した平面図である。 Figure 3 is a plan view showing a conveying apparatus according to the present embodiment. 図4は、本実施形態に係るローラコンベア部を示した拡大斜視図である。 Figure 4 is an enlarged perspective view showing a roller conveyor unit according to the present embodiment. 図5は、本実施形態に係る搬送装置の正面図である。 Figure 5 is a front view of a conveying device according to the embodiment. 図6は、本実施形態に係る整合部を示した拡大斜視図である。 Figure 6 is an enlarged perspective view showing a matching unit according to the present embodiment. 図7は、本実施形態に係る制御装置を示したブロック図である。 Figure 7 is a block diagram showing a control apparatus according to the present embodiment.
なお、説明における上下左右前後は、図1の矢印に従う。 Incidentally, before and after vertical and horizontal in the description is according to the arrow in FIG.

本実施形態に係る搬送装置1は、図1に示すように、搬送装置1の下部に配設された脚部2と、脚部2の上方に配設されたローラコンベア部10と、脚部2とローラコンベア部10との間に介設された鉛直移動機構部3と、基板Nの傾きを整合する一対の整合部30と、ローラコンベア部10及び整合部30の作動を制御する制御装置50(図2参照)と、を有する。 Conveying apparatus 1 according to this embodiment, as shown in FIG. 1, and by legs 2 disposed below the conveying device 1, a roller conveyor portion 10 which is disposed above the leg 2, leg 2 and the vertical movement mechanism portion 3 which is interposed between the roller conveyor portion 10, a pair of matching unit 30 for matching the inclination of the substrate N, the control device for controlling the operation of the roller conveyor unit 10 and the matching section 30 with 50 (see FIG. 2), a.

本実施形態に係る搬送装置1は、図1の前側から後側に向けて基板Nを搬送する装置である。 Conveying apparatus 1 according to this embodiment is an apparatus for transferring a substrate N toward the rear from the front of Figure 1. 以下図2の外部コンベアG側を上流、紫外線処理装置E側を下流として説明する搬送装置1の搬送方向上流側には、例えば、露光装置(図示省略)が並設されており、搬送方向下流側には、例えば、紫外線照射装置Eが並設されている。 Hereinafter upstream external conveyer G side of FIG. 2, the upstream side of the conveying device 1 for explaining the ultraviolet treatment unit E side as a downstream, for example, an exposure apparatus (not shown) are arranged, the conveying direction downstream on the side, for example, ultraviolet irradiation apparatus E are juxtaposed. 即ち、図1の搬送方向上流側に示す外部コンベアGは、公知のコンベアであって、露光装置から排出された基板Nを水平に保持した状態で、搬送装置1に向かって搬送する装置である。 That is, the external conveyor G shown in the conveying direction upstream side of FIG. 1 is a known conveyor, a state where the substrate N discharged from the exposure device held horizontally, is an apparatus for conveying towards the transport device 1 . 一方、図1の搬送方向下流側に示す導入部Kは、基板Nを紫外線照射装置Eへ移載する装置である。 On the other hand, the introduction portion K shown in the conveying direction downstream side of FIG. 1 is a device for transferring the substrate N to ultraviolet irradiation device E. また、紫外線照射装置Eの基板Nを挿入する挿入口(図示省略)の高さ位置は、外部コンベアGの上面の高さ位置よりも高く設置されているものとする。 Also, the height position of the insertion opening for inserting the substrate N ultraviolet irradiation device E (not shown) is assumed to be installed higher than the height position of the upper surface of the external conveyor G.
即ち、搬送装置1は、露光装置から外部コンベアGを介して搬送された基板Nを低い位置から受け取り、高さ調節を行うと共に、基板Nの位置及び傾きの整合を行ったうえで、紫外線照射装置Eに向けて基板Nを搬送する装置である。 That is, the transport apparatus 1 receives the substrate N which is transported from the exposure apparatus via the external conveyor G from a low position, performs height adjustment, after conducting the position and alignment of the tilt of the substrate N, ultraviolet radiation a device for transporting the substrate N towards the device E. なお、基板Nは、例えば、平面視長方形を呈するものとする。 The substrate N, for example, it is assumed to exhibit a rectangular shape as viewed in plan.

<脚部2> <Leg 2>
脚部2は、図1及び図2に示すように、搬送装置1の設置面に載置され搬送装置1の土台となる部分である。 Leg 2, as shown in FIGS. 1 and 2, a base portion serving transport device 1 is placed on the installation surface of the conveying device 1. 脚部2は、本実施形態においては、上部板及び下部板の間に角材を介設して外観視略直方体を呈するように形成されている。 Leg 2, in this embodiment, are formed so as to present an appearance view substantially rectangular parallelepiped interposed a square timber on the top plate and bottom plate. 上部板の上面には、鉛直移動機構部3が設置されており、脚部2の内部には、制御装置50が設置されている。 On the upper surface of the upper plate are installed vertically moving mechanism part 3, the inside of the leg 2, the control unit 50 is installed.

脚部2は、図2に示すように、ローラコンベア部10の中央部よりも、搬送方向上流側を片持支持するように形成されている。 Leg 2, as shown in FIG. 2, than the central portion of the roller conveyor 10, are formed so as to cantilever support the upstream side. 即ち、ローラコンベア部10の搬送方向下流側は、自由端となるように形成されている。 That is, the transport direction downstream side of the roller conveyor unit 10 is formed such that the free end.

<鉛直移動機構部3> <Vertical movement mechanism section 3>
鉛直移動機構部3は、ローラコンベア部10の上面を水平に保った状態で、ローラコンベア部10の鉛直方向に移動させる駆動装置である。 Vertical movement mechanism 3, while maintaining the top surface of the roller conveyor unit 10 horizontally, a driving device for moving in the vertical direction of the roller conveyor unit 10. 鉛直移動機構部3は、図1及び図2に示すように、脚部2の上部板の4隅において、脚部2とローラコンベア部10の間に介設されている。 Vertical movement mechanism portion 3, as shown in FIGS. 1 and 2, in the four corners of the upper plate of the leg portion 2 is inserted between the legs 2 and the roller conveyor unit 10. 鉛直移動機構部3は、制御装置50と電気的に接続されており、制御装置50から送信される信号に基づいて上下に移動するように形成されている。 Vertical movement mechanism portion 3, the control device 50 is electrically connected to, and is formed so as to move up and down based on a signal sent from the controller 50.
鉛直移動機構部3は、本実施形態においては、公知の油圧シリンダを用いている。 Vertical movement mechanism portion 3, in this embodiment, by using a known hydraulic cylinder. 鉛直移動機構部3は、最も下降させた場合に、外部コンベアGの上面と、ローラコンベア部10の上面とが略同等の高さ位置となるように形成されている。 Vertical movement mechanism portion 3, when was the most lowered, and the upper surface of the external conveyor G, and the upper surface of the roller conveyor portion 10 is formed to have a height substantially equal. また、鉛直移動機構部3は、最も上昇させた場合に、ローラコンベア部10の上面と、紫外線照射装置Eの挿入口とが略同等もしくは鉛直移動機構部3の上面が高い位置となるように形成されている。 Further, the vertical movement mechanism portion 3, when was the most elevated, the upper surface of the roller conveyor unit 10, so that the insertion opening of the ultraviolet irradiation device E becomes the top surface and the elevated position substantially equal to or vertical movement mechanism portion 3 It is formed. 鉛直移動機構部3は、油圧シリンダに限らず、エアシリンダ等他の移動機構であってもよい。 Vertical movement mechanism portion 3 is not limited to hydraulic cylinders, it may be an air cylinder or the like other moving mechanism.

<ローラコンベア部10> <Roller conveyor section 10>
ローラコンベア部10は、上面に基板Nを載置して、基板Nを水平に保った状態で搬送する部分である。 Roller conveyor portion 10 then places the substrate N to the top surface is a portion for conveying while maintaining the substrate N horizontally. ローラコンベア部10は、図1に示すように、平板部11と、搬送方向に延設されたレール部12と、ローラコンベア部10の側部に設置された第一センサ14、第二センサ15及び第三センサ16を有する。 Roller conveyor 10, as shown in FIG. 1, a flat plate portion 11, a rail 12 extended in the conveying direction, the first sensor 14 disposed on the side of the roller conveyor unit 10, the second sensor 15 and a third sensor 16.

平板部11の下面は、鉛直移動機構部3に当接されており、鉛直移動機構部3の作動を受けて、ローラコンベア部10が水平を保持した状態で上下に移動するように形成されている。 The lower surface of the flat plate portion 11 is abutted to the vertical movement mechanism portion 3, by receiving the operation of the vertical movement mechanism portion 3, the roller conveyor 10 is formed so as to move up and down while holding the horizontal there. 平板部11は、図2に示すように、搬送装置1の搬送方向上流側にのみ配設されている。 The flat plate portion 11, as shown in FIG. 2, are arranged only in the upstream side of the conveying device 1. 平板部11の上面には、レール部12が載置されている。 The upper surface of the flat plate portion 11, the rail portion 12 is mounted.

レール部12は、図3に示すように、搬送装置1の搬送方向に亘って延在し、搬送方向に対して平行となるように、例えば6体並設されている。 Rail portion 12, as shown in FIG. 3, extends over the conveying direction of the conveying device 1, are such, for example, 6 Karadanami設 becomes parallel to the conveying direction. 隣り合うレール部12,12の間は、後記する導入部Kが挿入される間隙部U,U・・・が形成されている。 Between adjacent rails 12 and 12, the gap portion U of the introduction portion K to be described later is inserted, U · · · are formed.
6体のレール部12のうち、幅方向における両端は、駆動部17(図4参照)と接続されている主動レール部12a,12aであり、中央側4本のレール部12は、駆動部17を有しないガイドレール部12b,12b・・・である。 Of the six body rail section 12, the both ends in the width direction, the driving rail portion 12a is connected to the drive unit 17 (see FIG. 4) is a 12a, the rail portion 12 on the center side four, the drive unit 17 no guide rail 12b to a 12b · · ·. 主動レール部12a,12a間の幅W は、基板Nの幅W よりも小さくなるように形成されている。 The driving rail portion 12a, the width W 1 between 12a is formed to be smaller than the width W 2 of the substrate N. レール部12の搬送方向の長さは、後記する整合・位置修整工程と、紫外線照射装置E側への移載工程とが同時に行えるスペースが確保されていることが好ましい。 Length in the transport direction of the rail part 12, it is preferable that the alignment and position adjustment process described later, the transfer step to ultraviolet radiation device E side is secured a space that allows simultaneously.

ガイドレール部12bは、図4に示すように、平板部11の上面に垂設された板材19と、板材19に貫通されたローラ軸20と、ローラ軸20の一端側に取り付けられたローラ21とを有する。 Guide rail 12b, as shown in FIG. 4, the plate member 19 provided vertically on the upper surface of the flat plate portion 11, a roller shaft 20 passing through in the plate 19, the roller 21 attached to one end of the roller shaft 20 with the door.
ローラ軸20は、板材19に穿設された孔を貫通して形成されており、一端側にローラ21が取り付けられている。 Roller shaft 20 is formed through the hole formed in the plate 19, the roller 21 is attached to one end. ローラ21は、例えば樹脂製の円板であって、ローラ軸20を中心に回転可能に形成されている。 Roller 21 is, for example, a resin disc, is rotatably formed about a roller shaft 20.

また、主動レール部12aは、図4に示すように、ガイドレール部12bの構成に加えて駆動部17及びベルト22,23を備えており、駆動部17の駆動に伴ってローラ21が回転駆動するように形成されている。 Further, the driving rail portion 12a, as shown in FIG. 4, the guide in addition to the configuration of the rail portion 12b includes a driving unit 17 and a belt 22 and 23, by the actuation of the drive unit 17 roller 21 rotates drive It is formed so as to. 即ち、駆動部17の駆動軸17aに形成されたプーリ17bと、ローラ軸20に形成されたプーリ20aとはベルト22を介して連結されている。 That is, a pulley 17b formed in the drive shaft 17a of the drive unit 17, and the pulley 20a formed on the roller shaft 20 is coupled via a belt 22. また、駆動軸17aと、主動レール12aにおいて最も搬送方向下流側に配置されたローラ軸(図示省略)とが、ベルト23によって環状に架け渡されている。 Further, the drive shaft 17a, arranged at the furthest downstream side in the conveying direction has been the roller shaft in the main drive rails 12a and (not shown), but bridged ring by the belt 23. さらに、ベルト23の内側に、複数のローラ軸20がそれぞれ接触されている。 Further, inside the belt 23, a plurality of roller shaft 20 are contacted respectively. これにより、駆動部17の回転駆動がローラ21に伝達される。 Thus, rotation of the driving unit 17 is transmitted to the roller 21.

なお、主動レール部12a及びガイドレール部12bの構造は、上記した形態に限定されるものではない。 The structure of the driving rail portion 12a and the guide rail portion 12b is not limited to the embodiments described above. 主動レール部12aは、ローラ21が回転駆動するように適宜形成すればよく、例えば、ベルト22,23に変えて磁気で駆動するように形成してもよく、ローラ21に駆動部17を直列に構成してもよい。 The driving rail portion 12a may be so suitably formed as roller 21 is driven to rotate, for example, it may be formed to drive the magnetic instead of belts 22 and 23, the drive unit 17 to the roller 21 in series configuration may be. また、主動レール部12aは、本実施形態においては、ローラコンベア部10の幅方向の両端に設置したが中央部側にも設置してもよい。 Further, the driving rail section 12a, in this embodiment, installed in the width direction of both ends of the roller conveyor unit 10 may be provided in the central portion. なお、レール部12は、本実施形態においては、6体用いたが本数を限定するものではない。 Incidentally, the rail portion 12, in this embodiment, not has been used six bodies to limit the number.

図7に示すように、駆動部17は、制御装置50と接続されており、第一センサ14、第二センサ15及び第三センサ16から制御装置50に送信される信号に基づいて停止、作動するように形成されている。 As shown in FIG. 7, the driving unit 17 is connected to the control device 50, the first sensor 14, stopped based on a signal transmitted to the control device 50 from the second sensor 15 and third sensor 16, working It is formed so as to. また、駆動部17は、鉛直移動機構部3が上昇し、最上位に位置したときに、制御装置50から信号が送信されて作動するように形成されている。 The drive unit 17 increases the vertical movement mechanism portion 3, when at the top, the signal is formed to operate is transmitted from the controller 50. また、駆動部17は、後記する離間工程が終了し整合部30が最大離隔位置に到達した後に、制御装置50から信号が送信されて作動するように形成されている。 The drive unit 17, after the matching section 30 ends and spaced step described later has reached the maximum separation position, the signal from the control unit 50 is formed to operate is transmitted.

第一センサ14は、外部コンベアGからローラコンベア部10に移載された基板Nを検知して、鉛直移動機構部3を作動させるためのセンサである。 The first sensor 14 detects the substrate N which are transferred from the external conveyor G to the roller conveyor 10, a sensor for actuating the vertical movement mechanism portion 3. 第一センサ14は、図2に示すように、平板部11の搬送方向上流側に設置されている。 The first sensor 14, as shown in FIG. 2, are installed in the upstream side of the flat plate portion 11. 第一センサ14は、基板Nが搬送装置1の搬送方向上流側に載置されたことを検知すると、制御装置50に信号を送信するように形成されている。 The first sensor 14 detects that the substrate N is placed on the upstream side in the conveying direction of the conveying device 1, it is formed so as to transmit a signal to the controller 50. 第一センサ14は、本実施形態においては、公知の赤外線センサを用いる。 The first sensor 14 is, in this embodiment, a known infrared sensor.

第二センサ15は、ローラコンベア部10に搬送された基板Nを検知して、ローラコンベア部10の駆動部17を停止させるためのセンサである。 The second sensor 15 detects the substrate N which is conveyed to the roller conveyor unit 10 is a sensor for stopping the drive unit 17 of the roller conveyor unit 10. 第二センサ15は、図2に示すように、ローラコンベア部10の側部において、第二整合部30bの搬送方向下流側に設置されている。 The second sensor 15, as shown in FIG. 2, at the side of the roller conveyor unit 10 is installed in the downstream side of the second matching unit 30b. 第二センサ15は、基板Nの先端を検知すると、制御装置50に信号を送信するように形成されている。 The second sensor 15, upon detecting the leading edge of the substrate N, is formed so as to transmit a signal to the controller 50. 第二センサ15は、本実施形態においては、例えば公知の赤外線センサを用いる。 The second sensor 15, in this embodiment, for example, a known infrared sensor.
第二センサ15の設置位置は、図3に示すように、基板Nの搬送方向の長さLによって適宜変更するのが好ましい。 Installation position of the second sensor 15, as shown in FIG. 3, preferably suitably changed by a conveying-direction length L of the substrate N. ここで、第二整合部30b(回転軸部34)の中心から第二センサ15(検出位置)までの長さをRとすると、R≒1/2Lとなる位置に第二センサ15を設置することが好ましい。 Here, when the length from the center of the second matching portion 30b (rotary shaft portion 34) to the second sensor 15 (detecting position) and R, installing a second sensor 15 in a position to be the R ≒ 1 / 2L it is preferable.

第三センサ16は、搬送装置1の搬送方向下流側において、ローラコンベア部10に搬送された基板Nを検知して、ローラコンベア部10の駆動部17を停止させるためのセンサである。 The third sensor 16, in the conveying direction downstream side of the conveying apparatus 1, by detecting the substrate N which is conveyed to the roller conveyor unit 10 is a sensor for stopping the drive unit 17 of the roller conveyor unit 10. 第三センサ16は、図3に示すように、レール部12の搬送方向下流側に設置されている。 The third sensor 16, as shown in FIG. 3, is installed in the downstream side of the rail portion 12. 第三センサ16は、基板Nの先端を検知すると、制御装置50に信号を送信するように形成されている。 The third sensor 16, upon detecting the leading edge of the substrate N, is formed so as to transmit a signal to the controller 50. 第三センサ16は、本実施形態においては、公知の赤外線センサを用いる。 The third sensor 16, in this embodiment, a known infrared sensor.
なお、第一センサ14、第二センサ15及び第三センサ16は、赤外線センサに限定されず、他の公知のセンサを用いてもよい。 Incidentally, the first sensor 14, second sensor 15 and third sensor 16 is not limited to the infrared sensor, it may be used other known sensors.

<整合部30> <Matching section 30>
整合部30は、搬送されてくる基板Nを適切な姿勢(角度)に整合すると共に、適切な位置に配置させる装置である。 Matching unit 30 is configured to align the the conveyed substrate N to an appropriate position (angle), a device for properly positioned. 整合部30は、図1及び図2に示すように、ローラコンベア部10の幅方向において、対向して設置された一対の第一整合部30a及び第二整合部30bを有する。 Matching unit 30, as shown in FIGS. 1 and 2, in the width direction of the roller conveyor unit 10 includes a first matching unit 30a of the pair disposed to face and a second matching unit 30b. 整合部30は、それぞれ制御装置50に接続されている。 Matching unit 30 is connected to the control unit 50. 第一整合部30a及び第二整合部30bの構造は、略同等であるため、第一整合部30aを例にして詳細に説明する。 Structure of the first matching unit 30a and the second matching unit 30b is substantially the same, will be described in detail with the first matching unit 30a as an example.

第一整合部30aは、図6に示すように、複数の整合ローラ32a〜32hからなる整合ローラ部32と、整合ローラ部32が設置された保持部33と、保持部33を水平面内に回転可能に支持する回転軸部34と、回転軸部34を回転させる駆動手段35と、回転軸部34の回転角度を検知する角度検知手段36と、回転軸部34と駆動手段35の連結を係合又は解除させる断続部Dと、角度検知手段36の検知した角度に基づいて駆動手段35を制御する駆動制御手段37(図7参照)と、回転軸部34を支持する支持台38と、支持台38をスライドさせるスライド機構部39と、を有する。 The first matching unit 30a, as shown in FIG. 6 rotation, the alignment roller unit 32 consisting of a plurality of alignment rollers 32 a to 32 h, the holding portion 33 of the alignment roller unit 32 is installed, the holding portion 33 in a horizontal plane engaging a rotating shaft 34, a drive means 35 for rotating the rotating shaft portion 34, an angle detection means 36 for detecting the rotation angle of the rotating shaft 34, the coupling of the rotation shaft 34 and the drive means 35 for rotatably supported a discontinuous portion D for engagement or release, drive control means for controlling the driving means 35 based on the detected angle of the angle detecting means 36 37 (see FIG. 7), a support base 38 for supporting the rotating shaft portion 34, the support having a slide mechanism 39 for sliding the base 38, a.

整合ローラ部32は、図6に示すように、基板Nの整合を行う際に、基板Nの端部に当接される部分である。 Aligning roller 32, as shown in FIG. 6, when performing the matching of the substrate N, it is a portion that contacts the edge of the substrate N. 整合ローラ部32は、本実施形態においては、直線状に一定の間隔をあけて配設された例えば8つの整合ローラ32a〜32hからなる。 Aligning roller 32, in this embodiment, consists disposed the example eight alignment roller 32a~32h at regular intervals in a straight line.
整合ローラ32a〜32hは、円柱形状を呈し、円筒面が基板Nと垂直になるように設置され、円の中心に配設された基軸(図示省略)に対して回転可能に形成されている。 Aligning roller 32a~32h exhibits a cylindrical shape, the cylindrical surface is installed such that the substrate N perpendicular, and is rotatably formed relative to the base shaft disposed in the center of the circle (not shown). 整合ローラ32a〜32hは、略同形状からなり、それぞれの円筒面の表面が一直線上になるように設置されている。 Aligning roller 32a~32h is substantially made of the same shape, it is disposed so that the surface of each cylindrical surface is a straight line. 即ち、整合ローラ部32は、直線を有する基板Nの端面に平行な状態で整合ローラ部32に接触した場合に、全ての整合ローラ32a〜32hの円筒面が基板Nに接触するように形成されている。 That is, the alignment roller 32, when in contact with the alignment roller unit 32 in parallel with the end face of the substrate N having straight, the cylindrical surfaces of all the alignment roller 32a~32h formed in contact with the substrate N ing.

整合ローラ部32のうち、両端に係る第一整合ローラ32a及び第二整合ローラ32hの内部には、それぞれ第一圧力センサ41、第二圧力センサ42が設置されている。 Among alignment roller unit 32, the inside of the first alignment roller 32a and the second alignment roller 32h of the two ends, the first pressure sensor 41, respectively, the second pressure sensor 42 is installed.
第一圧力センサ41及び第二圧力センサ42は、図7に示すように、制御装置50に接続されており、基板Nの傾き角度を検知する際に用いられる。 The first pressure sensor 41 and the second pressure sensor 42, as shown in FIG. 7, is connected to the control device 50, and is used to detect the inclination angle of the substrate N. 即ち、第一圧力センサ41又は第二圧力センサ42のうち、一方が基板Nに当接されると、角度測定を開始する信号が制御装置50を介して角度検知手段36に送信されるように形成されている。 That is, among the first pressure sensor 41 or the second pressure sensor 42, so that one is when in contact with the substrate N, the signal to start angle measurement is transmitted to the angle detecting means 36 via the control unit 50 It is formed. また、第一圧力センサ41又は第二圧力センサ42のうち、第一整合部30aが回転して、まだ接触していない他方が基板Nに当接されると、角度測定を終了する信号が制御装置50を介して角度検知手段36に送信されるように形成されている。 Further, of the first pressure sensor 41 or the second pressure sensor 42, it rotates the first matching unit 30a, the other not yet contact is in contact with the substrate N, the signal to terminate the angle measurement control through the device 50 is formed so as to be transmitted to the angle detecting means 36.

なお、整合ローラ32a〜32hは、本実施形態においては8つ用いたが、基板Nの大きさに応じて適宜個数、間隔を設定すればよい。 Incidentally, the alignment roller 32a~32h is used eight in the present embodiment, appropriate number according to the size of the substrate N, may be set apart. また、整合ローラ32a〜32hは、本実施形態においては樹脂製のものを用いたが、他の公知の材料を用いてもよい。 The matching roller 32a~32h, in the present embodiment was used made of resin, it may use other known materials. また、本実施形態における第一圧力センサ41及び第二圧力センサ42は、微細の圧力にも反応する公知の圧力スイッチもしくは整合ローラの位置もしくは取り付け位置の微細な位置の変化を測定する変位計等を用いる。 The first pressure sensor 41 and the second pressure sensor 42 in this embodiment, displacement meter or the like to measure the change in the fine position of the position or the mounting position of the known pressure switch or alignment roller which reacts to the pressure of the fine It is used. また、第一圧力センサ41及び第二圧力センサ42は、第一整合部30a及び第二整合部30bの両方に形成してもよいが、本実施形態においては第一整合部30aのみに形成するものとする。 The first pressure sensor 41 and the second pressure sensor 42 may be formed on both the first matching unit 30a and the second matching unit 30b but, in the present embodiment is formed only on the first matching unit 30a and things.

保持部33は、図6に示すように、中央部に回転軸部34を備えると共に、端部に整合ローラ部32を備え、回転軸部34を中心にして水平面内で回転する部材である。 Holding portion 33, as shown in FIG. 6, provided with a rotation shaft portion 34 in a central portion, provided with a matching roller portion 32 in the end portion is a member that rotates in a horizontal plane around the rotation shaft portion 34. 保持部33は、回転軸部34を備える本体部33aと、本体部33aの端部から張り出して形成された張出し部33bとを有する。 Holding unit 33 includes a body portion 33a having a rotation shaft 34, and a projecting portion 33b which is formed to protrude from the end of the body portion 33a. 本体部33aは、中央部に回転軸部34が貫通して形成されており、回転軸部34を軸にして水平に回転するように形成されている。 The body portion 33a is rotary shaft portion 34 in the central portion is formed to penetrate, it is formed so as to rotate horizontally rotary shaft portion 34 in the axis. 張出し部33bは、搬送方向と平行に延設されており、整合ローラ32a〜32hが設置されている。 Overhang 33b is extended in parallel with the conveying direction, alignment roller 32a~32h is installed.

回転軸部34は、保持部33の本体部33aを貫通して形成された軸であって、下端に駆動手段35が直接接続されている。 Rotary shaft portion 34 is a shaft which is formed through the body portion 33a of the holding portion 33, the driving means 35 is directly connected to the lower end. 駆動手段35は、図6に示すように、駆動制御手段37から送信される信号に基づいて、回転軸部34を回転させる部材である。 Driving means 35, as shown in FIG. 6, based on a signal sent from the drive control unit 37 is a member for rotating the rotation shaft 34. 駆動手段35は、本実施形態においては、公知のモータを用いる。 Drive means 35, in this embodiment, a known motor.
駆動手段35は、図7に示すように、駆動制御手段37に接続されており、駆動制御手段37によって送信された信号に基づいて、回転軸部34を所定の角度に回転するように形成されている。 Driving means 35, as shown in FIG. 7, is connected to the drive control means 37, based on the signal transmitted by the drive control means 37, is formed so as to rotate the rotating shaft 34 at a predetermined angle ing.

角度検知手段36は、図6及び図7に示すように、回転軸部34の回転角度を検知する装置である。 Angle detecting means 36, as shown in FIGS. 6 and 7, a device for detecting the rotation angle of the rotation shaft 34. 角度検知手段36は、回転軸部34を貫通して形成されており、第一圧力センサ41及び第二圧力センサ42から制御装置50を介して送信された信号に基づいて、回転軸部34の回転角度が検知できるように形成されている。 Angle detecting means 36 is formed through the rotary shaft portion 34, based on signals sent through the controller 50 from the first pressure sensor 41 and the second pressure sensor 42, the rotation shaft portion 34 rotation angle is formed so that it can be detected. 角度検知手段36は、本実施形態においては、公知のエンコーダを用いている。 Angle detecting means 36, in this embodiment, by using a known encoder.

即ち、角度検知手段36は、第一整合ローラ32a又は第二整合ローラ32hのうち一方が基板Nに当接されると、当該整合ローラに内装された圧力センサから角度検知手段36に信号が送信され、角度測定が開始される。 That is, the angle detecting means 36, when one of the first alignment roller 32a or the second alignment roller 32h is brought into contact with the substrate N, the signal to the angle sensing means 36 from the pressure sensor is decorated on the alignment roller transmission is the angle measurement is started.
そして、第一圧力センサ41と第二圧力センサ42のうち最初に基板Nに接触しなかった圧力センサが、基板Nに接触する方向に回転軸部34が回転し、基板Nに当接されると、当該圧力センサから制御装置50を介して角度検知手段36に信号が送信され、角度測定および基板Nの整合動作準備が終了する。 The first pressure sensor not in contact with the substrate N is, the rotation shaft portion 34 in a direction in contact with the substrate N is rotated, it is brought into contact with the substrate N of the first pressure sensor 41 second pressure sensor 42 When the signal on the angle detection means 36 via the control unit 50 from the pressure sensor is sent, matching operation preparation angle measurement and substrate N is completed.
そして、角度検知手段36によって測定された角度(以下、検知回転角度とする)は、駆動制御手段37に送信される。 The measured angle by the angle detecting means 36 (hereinafter referred to as detected rotational angle) is transmitted to the drive control unit 37.

角度検知手段36についてより具体的に説明すると、図3に示すように、基板Nの端部の延長線を延長線J、搬送方向と平行となる基準線をHとする。 More specifically described angle sensing means 36, as shown in FIG. 3, an extension to extension J of the end portion of the substrate N, the reference line is parallel to the conveying direction and H. また、基準線H=0°、基準線Hと延長線Jの開き角度をθ、基準線Hから時計回りの方向を正、反時計回りを負とする。 The reference line H = 0 °, the opening angle of the reference line H and the extension line J theta, a clockwise direction from the reference line H positive and negative counterclockwise. 即ち、図3に示す基板Nの場合、角度検知手段36によって測定される検知回転角度は、−θとなる。 That is, in the case of a substrate N shown in FIG. 3, detected rotational angles measured by the angle sensing means 36 is a - [theta].

駆動制御手段37は、角度検知手段36によって測定された検知回転角度に基づいて演算を行い、駆動手段35に信号を送信するものである。 Drive control means 37 performs calculation on the basis of the detected rotational angle measured by the angle sensing means 36, and transmits the signal to the driving means 35.
ここで、本実施形態においては、基板Nの所望の搬送角度(姿勢)を、基板Nの端部の延長線Jと基準線Hとが平行となるように搬送するものとする。 In the present embodiment, a desired conveying angle of the substrate N (attitude), the extension line J and the reference line H of the end portion of the substrate N is assumed to convey in parallel. 即ち、本実施形態においては、基板Nの所望の搬送角度が0°となるように設定する。 That is, in this embodiment, the desired conveying angle of the substrate N is set to be 0 °.
従って、例えば、図3に示すように、角度検知手段36によって検知回転角度=−θと検知された場合、駆動手段35を+θ回転させれば、基準線Hと延長線Jが整合する。 Thus, for example, as shown in FIG. 3, if the angle detecting means 36 is detected with the detected rotational angle = - [theta], if ask the driving means 35 + theta rotating reference line H and the extension line J are aligned. 従ってこの場合、駆動制御手段37は、回転軸部34を+θ回転させるように駆動手段35に信号を送信する。 In this case, therefore, the drive control unit 37 sends a signal to the drive means 35 to rotate the rotating shaft 34 + theta.

断続部Dは、図6に示すように、制御装置50(図示省略)の信号に基づいて、回転軸部34と駆動手段35を係合させたり、係合を解除させたりする機構である。 Discontinuous portion D, as shown in FIG. 6, on the basis of a signal from the control unit 50 (not shown), or engaging the rotation shaft 34 and the drive means 35 is a mechanism or to disengage. 断続部Dは、通常は非係合状態になっており、回転軸部34が自由に回転するように形成されている。 Discontinuous portion D is usually has become disengaged, rotating shaft portion 34 is formed so as to freely rotate. そして、角度測定が終了した際に、回転軸部34と駆動手段35を係合させて、駆動手段35の駆動に基づいて回転軸部34が回転するように形成されている。 Then, when the angle measurement is finished, the rotation shaft 34 and the drive means 35 is engaged, the rotation shaft portion 34 is formed to rotate based on driving of the drive means 35. 即ち、基板Nと当接される第一圧力センサ41又は第二圧力センサ42のうち、後の圧力センサが当接した時に、回転軸部34と駆動手段35が係合するように形成されている。 That is, among the first pressure sensor 41 or the second pressure sensor 42 that contacts with the substrate N, when the pressure sensor after abuts, rotation shaft 34 and the drive means 35 is formed so as to engage there. また、駆動手段35により後記する整合・位置修整工程が終了した際に、回転軸部34と駆動手段35の係合が解除されるように形成されている。 Further, when the matching and position adjustment process described later by the drive unit 35 is completed, the engagement of the rotation shaft portion 34 and the driving means 35 is formed so as to be released.

支持台38は、回転軸部34を支持する部材である。 Support base 38 is a member for supporting the rotation shaft 34. 支持台38は、図5に示すように、回転軸部34の下端において、回転軸部34と垂直になるように形成されている。 Support base 38, as shown in FIG. 5, at the lower end of the rotary shaft portion 34 is formed so as to be perpendicular to the rotation shaft 34.

スライド機構部39は、支持台38をローラコンベア部10の幅方向に移動させる装置である。 Slide mechanism 39 is a device for moving the support base 38 in the width direction of the roller conveyor unit 10. スライド機構部39は、スライドレール部39aと、スライドレール部39a上を摺動する直動型アクチュエータ39bとを有する。 Slide mechanism 39 includes a slide rail portion 39a, and a linear actuator 39b, which slides on the slide rail portion 39a. 支持台38は、支持台38に内装された直動型アクチュエータ39bにより、スライドレール部39a上を摺動するように形成されている。 Support base 38, the support base 38 linear actuator 39b is decorated in, is formed so as to slide on the slide rail portion 39a.

制御装置50は、図7に示すように、各センサから送信された信号を受信して、駆動手段35等を作動させる信号を送信するものである。 The control device 50, as shown in FIG. 7 receives the signals transmitted from the sensors, and transmits a signal for operating the drive means 35 and the like. また、制御装置50は、記憶部51を備えており、記憶部51が保有するテーブルを参照して信号を送信するように形成されている。 The control device 50 includes a storage unit 51, storage unit 51 is formed to transmit a signal by referring to a table held.

なお、導入部Kは、図2乃至図3に示すように、基板Nを下側から受け取る受取りステージであって、略梯子状に枠組みされたフレーム部Kaと、フレーム部Kaにおいて鉛直方向に一定の間隔をあけて立設された突起部Kbとを有する。 Incidentally, introduction section K, as shown in FIGS. 2 to 3, constant a receiving stage receives the substrate N from the lower side, a frame portion Ka which is the framework in a substantially ladder shape, in the vertical direction in the frame portion Ka and a protrusion Kb erected at a distance. 導入部Kは、紫外線照射装置E(基板処理装置)の制御装置及び駆動部(図示省略)に接続されて、フレーム部Kaが上下方向及び前後方向に移動するように形成されている。 Introducing portion K, the controller and the drive unit of the ultraviolet irradiation apparatus E (substrate processing apparatus) is connected to a (not shown) is formed to the frame portion Ka is moved in the vertical and longitudinal directions. 即ち、導入部Kは、搬送装置1の搬送方向下流側に搬送された基板Nを紫外線照射装置E側に移載可能に形成されている。 That is, the introduction portion K is a substrate N which is transported in the transport direction downstream side of the conveying device 1 is transferred can be formed on the ultraviolet irradiation apparatus E side. また、導入部Kは、図示しないセンサから送信された信号に基づいて作動するように形成されている。 The introduction portion K is formed so as to operate based on a signal transmitted from a sensor (not shown).

次に、搬送装置1の動作に付いて説明する。 Next, a description is given to operation of the conveying device 1.
図8は、本実施形態に係る搬送装置1の動作を示した概略平面図であって、(a)は、移載工程、(b)は、第一停止工程、(c)は、当接工程、(d)は、角度検知工程、(e)は、整合・位置修整工程、(f)は、離間工程、(g)は、第二停止工程を示す。 Figure 8 is a schematic plan view showing the operation of the transport device 1 according to this embodiment, (a) represents, transfer process, (b), the first stop step, (c), the abutment step, (d), the angle detection step, (e), the alignment and position adjustment step, (f), the spacing step, (g) shows a second stop step. なお、説明において、搬送装置1の各装置においては、適宜該当する各図面を参照する。 In the description, in each of the units of the conveying device 1 refers to the drawings corresponding appropriate.

まず、準備段階として、搬送装置1の鉛直移動機構部3は最下端に位置させておき、第一整合部30a及び第二整合部30bは、最大離隔位置に配置させているものとする。 First, as a preparation stage, vertically moving mechanism part 3 of the conveying device 1 is allowed to position at the lowermost end, the first matching unit 30a and the second matching unit 30b is assumed to is located in the maximum distant position.

(移載工程) (Transfer process)
移載工程は、図8の(a)に示すように、外部コンベアGによって搬送された基板Nを外部コンベアGから搬送装置1の搬送方向上流側に移載する工程である。 Transfer step, as shown in FIG. 8 (a) is a step of transferring the substrate N which is conveyed by the external conveyor G in the conveying direction upstream side of the conveying device 1 from the external conveyor G. そして、基板Nが搬送装置1に載置されると、第一センサ14が検知して、第一センサ14から制御装置50を介して信号が送信され、鉛直移動機構部3が上昇する。 When the substrate N is placed on the transport device 1, with the first sensor 14 detects a signal via the control unit 50 from the first sensor 14 is transmitted, the vertical movement mechanism portion 3 increases. そして、鉛直移動機構部3が最上端もしくは移裁する先方の高さに相当する高さに位置すると、ローラコンベア部10の駆動部17が作動し、ローラ21が作動する。 Then, the vertical movement mechanism portion 3 when located at a height corresponding to the other party of the height of the uppermost end or Utsurisai, operates the driving unit 17 of the roller conveyor unit 10, the roller 21 is activated. これにより、基板Nが搬送方向に向かって搬送される。 Thus, the substrate N is conveyed toward the conveying direction.

(第一停止工程) (First stopping step)
次に、図8の(b)に示すように、基板Nがローラ21上を搬送され、基板Nの先端が第二センサ15に検知されると、制御装置50を介して信号が送信され、ローラコンベア部10の駆動部17が停止する。 Next, as shown in (b) of FIG. 8, substrate N is conveyed on the roller 21, the leading edge of the substrate N is detected by the second sensor 15, a signal is sent via the control device 50, drive unit 17 of the roller conveyor unit 10 is stopped. これにより、基板Nは、第一整合部30a及び第二整合部30bの間で停止する。 Thus, the substrate N stops between the first matching unit 30a and the second matching unit 30b.

(当接工程) (Contact process)
次に、図8の(c)に示すように、基板Nが停止すると、制御装置50からスライド機構部39に信号が送られ、第一整合部30a及び第二整合部30bが搬送装置1の中央方向に向かって、各整合ローラ部32が搬送方向と平行を保持した状態で、前進移動する。 Next, as shown in (c) of FIG. 8, the substrate N is stopped, the control unit 50 a signal is sent to the slide mechanism 39, the first matching unit 30a and the second matching portion 30b of the conveyance apparatus 1 toward the center direction, in a state where the alignment roller unit 32 is held parallel to the conveying direction, it moved forward. そして、基板Nは基準線Hに対して傾いているため、第一整合部30aの第一整合ローラ32a及び第二整合部30bの第二整合ローラ32h'は、それぞれ基板Nの端部に当接される。 Since the substrate N is tilted with respect to the reference line H, the second alignment roller 32h 'is the first alignment roller 32a and the second matching portion 30b of the first matching unit 30a, the end portion of each substrate N equivalents It is contact. すると、第一整合ローラ32aに内装された第一圧力センサ41から制御装置50を介して信号が送信され、角度検知手段36の角度測定が開始される。 Then, the signal through the controller 50 from the first pressure sensor 41, which is furnished to the first alignment roller 32a is transmitted, the angle measurement of the angle detecting means 36 is started.

(角度検知工程) (Angle detection step)
次に、図8の(d)に示すように、第一整合部30a及び第二整合部30bがさらに前進移動をして第一整合部30a及び第二整合部30bの間が縮まると、回転軸部34を中心に保持部33が回転し、第一整合部30aの第二整合ローラ32h及び第二整合部30bの第一整合ローラ32a'が基板Nの端部に当接される。 Next, as shown in FIG. 8 (d), when between the first matching unit 30a and the second first matching unit 30a, the matching unit 30b is further forward movement and the second matching unit 30b is shortened, the rotation shank 34 to rotate the holder 33 around the first alignment roller 32a of the second aligning roller 32h and the second matching portion 30b of the first matching portion 30a 'is brought into contact with an end portion of the substrate N. すると、第二整合ローラ32hに内装された第二圧力センサ42から制御装置50に信号が送信され、角度検知手段36の角度測定が終了する。 Then, the signal to the controller 50 from the second pressure sensor 42, which is furnished to the second alignment roller 32h is sent, the angle measurement of the angle detecting means 36 is completed. 例えば、本実施形態においては、検知回転角度θ=−15°とする。 For example, in the present embodiment, the detected rotational angle θ = -15 °. また、この際、制御装置50から、断続部Dに信号が送信されて、駆動手段35と回転軸部34が係合される。 At this time, the control unit 50, signals to the discontinuous portion D is transmitted, the driving means 35 and the rotary shaft portion 34 is engaged. これにより、基板Nの整合動作準備が完了する。 Accordingly, the matching operation preparation of the substrate N is completed.

(整合・位置修整工程) (Integrity and position adjustment process)
次に、図8の(e)に示すように、検知回転角度θ=−15°であるため、駆動制御手段37によって回転軸部34を+15°回転させるように信号を送信する。 Next, as shown in FIG. 8 (e), since a detected rotational angle theta = -15 °, transmits a signal to rotate the rotation shaft portion 34 a + 15 ° by the drive control means 37. これにより、基板Nの端部の延長線Jが搬送方向と平行になるため、基板Nを適切な姿勢で搬送することができる。 Thereby, since the extension J of the edge of the substrate N is parallel to the conveying direction, it is possible to transfer the substrate N in a suitable position.
また、角度の整合と共に、スライド機構部39により、ローラコンベア部10の幅方向の中心線CW と基板Nの幅方向の中心線CW とが重なるように幅方向の位置修整を行うことで、適切な位置で基板Nを搬送することができる。 Further, the angle of alignment, the sliding mechanism 39, by performing position adjustment in the width direction so that the center line CW 2 in the width direction of the center line CW 1 and the substrate N in the width direction of the roller conveyor unit 10 overlaps , it is possible to transfer the substrate N in place.

(離間工程) (Separation process)
次に、図8の(f)に示すように、整合・位置修整工程が終了すると、制御装置50からスライド機構部39に信号が送信されて、第一整合部30a及び第二整合部30bを基板Nから離間する位置に後退移動する。 Next, as shown in (f) of FIG. 8, the alignment and position adjustment process is completed, a signal transmitted to the slide mechanism portion 39 from the controller 50, the first matching unit 30a and the second matching unit 30b They retreat to a position away from the substrate N. そして、制御装置50からローラコンベア部10の駆動部17に信号が送信され、ローラ21が再び回転し、基板Nが搬送装置1の搬送方向下流側に向かって搬送される。 Then, the signal to the drive unit 17 of the roller conveyor unit 10 from the controller 50 is transmitted, the roller 21 is rotated again, the substrate N is conveyed toward the downstream side in the conveying direction of the conveying device 1.

(第二停止工程) (Second stopping step)
次に、図8の(g)に示すように、基板Nが搬送装置1の搬送方向下流側に搬送され、基板Nの先端が第三センサ16に検知されると、制御装置50に信号が送信され、ローラコンベア部10の駆動部17が停止する。 Next, as shown in (g) in FIG. 8, substrate N is conveyed in the conveying direction downstream side of the conveying device 1, when the leading end of the substrate N is detected by the third sensor 16, signals to the controller 50 sent, the driving unit 17 of the roller conveyor unit 10 is stopped. これにより、基板Nは、搬送装置1の搬送方向下流側で停止する。 Thus, the substrate N stops at the downstream side in the conveying direction of the conveying device 1. そして、紫外線照射装置Eの図示しないセンサにより導入部Kが作動しローラコンベア部10の下方に挿入される。 The introduction portion K is inserted below the then the roller conveyor unit 10 actuated by a sensor (not shown) of the ultraviolet irradiation device E. そして、導入部Kを上昇させて、基板Nを保持し、紫外線照射装置E側に移載することができる。 Then, it is possible to raise the inlet portion K, holding the substrate N, and transfers to the ultraviolet irradiation apparatus E side.

以上説明したように、本実施形態に係る搬送装置1によれば、鉛直移動機構部3により、ローラコンベア部10を鉛直方向の所定の高さに移動させることができるため、各基板処理装置の高さ位置が異なっても、容易に基板Nを移載することができる。 As described above, according to the conveying device 1 according to this embodiment, the vertical movement mechanism portion 3, it is possible to move the roller conveyor portion 10 at a predetermined height in the vertical direction, of the substrate processing apparatuses be different height positions, it can be easily transferred to the substrate N.

また、搬送装置1によれば、対向する第一整合部30a及び第二整合部30bで基板Nを挟持すると共に、角度検知手段36により検知した角度に基づいて基板Nの姿勢を整合することができる。 Further, according to the conveying device 1, thereby sandwiching the substrate N by the first matching unit 30a and the second matching unit 30b opposite, that to align the orientation of the substrate N based on the angle detected by the angle detection means 36 it can. これにより、基板Nを適切な姿勢で搬送することができる。 This makes it possible to transfer the substrate N in a suitable position.

また、レール部12の下方から間隙部Uを通して基板処理装置に係る導入部Kを挿入することができるため、搬送装置1から基板処理装置への移載工程を容易に行うことができる。 Moreover, since it is possible to insert the introducing portion K of the substrate processing apparatus through the gap portion U from the lower rail portion 12, it is possible to easily transfer step from the transport device 1 to the substrate processing apparatus. また、ローラコンベア部10の搬送方向下流側は、自由端となっているため、ローラコンベア部10の搬送方向下流側の下部及び上部の空間や、間隙部Uを利用して、次工程の基板処理装置の導入部Kを挿入することができる。 The transport direction downstream side of the roller conveyor portion 10, since the free ends, and the lower and upper space of the downstream side of the roller conveyor unit 10, by utilizing the gap U, the substrate of the next step it can be inserted introduction portion K of the processing apparatus. これにより、移載工程を容易に行うことができる。 Thus, it is possible to perform the transferring process easily.

また、スライド機構部39により、ローラコンベア部10の中心線CW と、基板Nの中心線CW とが重なるように搬送でき、基板Nを適切な位置で搬送することができる。 Further, the sliding mechanism portion 39, the center line CW 1 of the roller conveyor unit 10, can be conveyed to the center line CW 2 of substrate N overlap, it is possible to transfer the substrate N in place.

以上、本発明の最良の実施形態について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、本発明の趣旨に反しない範囲において、適宜変更が可能である。 Having described preferred embodiments of the present invention, the present invention is not limited thereto, within the range not contrary to the spirit of the present invention, can be appropriately changed.

本実施形態においては、第一整合部30a及び第二整合部30bは、最大離隔位置から搬送方向と平行になるように前進・後退移動するように形成したが、これに限定されるものではない。 In the present embodiment, the first matching unit 30a and the second matching unit 30b is formed from the maximum distant position to forward and backward movement in parallel to the conveying direction, it is not limited thereto . 例えば、第一整合部30a及び第二整合部30bのどちらか一方を主動作側とし、他方を主動作側の回転に追従して作動する従動作側となるようにしてもよい。 For example, either the first matching unit 30a and the second matching unit 30b as a main operation side, may be a driven work side operating in accordance with the rotation of the main operation side and the other.

また、本実施形態においては、基板Nの搬送角度を0°として、搬送するものであったが、これに限定されるものではない。 In the present embodiment, the conveying angle of the substrate N as 0 °, but was to transport, but is not limited thereto. 例えば、記憶部51に任意の搬送角度を記憶させておき、検知回転角度θに基づいて、制御装置50で演算し、駆動制御手段37に信号を送信することで、例えば、搬送角度が10°の状態で搬送させてもよい。 For example, may be stored any conveying angle storage unit 51, based on the detected rotational angle theta, and calculated by the control unit 50, by transmitting a signal to the drive control means 37, for example, the transport angle is 10 ° it may be conveyed in the state.

また、本実施形態においては、搬送方向上流側から、搬送方向下流側に向けて基板Nが搬送するように形成したが、駆動部17を逆回転させて、基板Nを逆方向に搬送するように形成してもよい。 In the present embodiment, from the upstream side in the conveying direction, has been formed so that the substrate N is conveyed toward the downstream side, are reversed to the drive unit 17, so as to transfer the substrate N in a reverse direction it may be formed on.

また、スライド機構部39が前進移動をする際に、第一圧力センサ41又は第二圧力センサ42のどちらか一方が当接されたことにより、スライド機構部39が減速するように、形成してもよい。 Further, when the slide mechanism 39 to the forward movement, by either of the first pressure sensor 41 or the second pressure sensor 42 is contact, so that the slide mechanism 39 is decelerated, formed by it may be. これにより、角度を検知する際に、第一整合部30a又は第二整合部30bの押動により基板Nが折れ曲がることなく、安定して挟持することができる。 Accordingly, in detecting the angle, without the substrate N bends the pressing of the first matching unit 30a or the second matching unit 30b, can be stably clamped.
また、保持部33又は支持台38が上下に昇降できるように昇降手段を形成してもよい。 The holding portion 33 or the support base 38 may form a lifting means so as to be vertically moved. 即ち、ローラコンベア部10(鉛直移動機構部3)の上下の動きに応じて、保持部33又は支持台38が追従して作動するように形成してもよい。 That is, in accordance with the vertical movement of the roller conveyor unit 10 (the vertical movement mechanism portion 3), the holding portion 33 or the support base 38 may be formed to operate to follow.

本実施形態に係る搬送装置を示した斜視図である。 Is a perspective view showing a conveying apparatus according to the present embodiment. 本実施形態に係る搬送装置を示した側面図である。 Is a side view showing a conveying apparatus according to the present embodiment. 本実施形態に係る搬送装置を示した平面図である。 Is a plan view showing a conveying apparatus according to the present embodiment. 本実施形態に係る搬送装置のローラコンベア部を示した拡大斜視図である。 The roller conveyor of the conveying device according to the present embodiment is an enlarged perspective view of the. 本実施形態に係る搬送装置を示した正面図である。 It is a front view showing a conveying apparatus according to the present embodiment. 本実施形態に係る搬送装置の整合部を示した斜視図である。 Is a perspective view showing the alignment of the conveying apparatus according to the present embodiment. 本実施形態に係る搬送装置の制御装置を示したブロック図である。 It is a block diagram showing a control device of the conveying device according to the embodiment. 本実施形態に係る搬送装置の動作状況を示した概略平面図であって、(a)は、移載工程、(b)は、第一停止工程、(c)は、当接工程、(d)は、角度検知工程、(e)は、整合・幅修整工程、(f)は、離間工程、(g)は、第二停止工程を示す。 A schematic plan view showing an operation state of the transport apparatus according to the present embodiment, (a) represents, transfer process, (b), the first stop step, (c), the contact step, (d ), the angle detection step, (e), the matching-width adjustment step, (f), the spacing step, (g) shows a second stop step.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1 搬送装置 2 脚部 3 鉛直移動機構部 10 ローラコンベア部 12 レール部 17 駆動部 30 整合部 30a 第一整合部 30b 第二整合部 32 整合ローラ 33 保持部 34 回転軸部 35 駆動手段 36 角度検知手段 37 駆動制御手段 39 スライド機構部 50 制御装置 K 導入部 N 基板 U 間隙部 1 carrying device 2 leg 3 vertical movement mechanism 10 roller conveyor unit 12 the rail portion 17 driving portion 30 matching unit 30a first matching portion 30b second matching portion 32 alignment rollers 33 holding portion 34 rotates the shaft portion 35 driving means 36 angle sensing means 37 drive control unit 39 sliding mechanism unit 50 the control device K introducing portion N substrate U gap

Claims (2)

  1. 複数のローラと、 A plurality of rollers,
    このローラを備え所定の間隔をあけて並設された複数本のレール部を有して、矩形の基板を水平に搬送するローラコンベア部と、 A rail portion of the plurality of which are arranged at a predetermined interval with the roller, and the roller conveyor unit for conveying the rectangular substrate horizontally,
    前記ローラコンベア部を鉛直方向に移動させる鉛直移動機構部と、 A vertical movement mechanism for moving the roller conveyor in the vertical direction,
    前記基板の対向する端部側に配置され、前記ローラコンベア部上において、前記基板の 端部を押動することで前記基板の姿勢を整合する一対の整合部と、を備え、 Wherein disposed on the end side facing the substrate, on the roller conveyor portion, and a pair of matching section for matching the orientation of the substrate by pressing the end portion of the substrate,
    前記鉛直移動機構部は、前記ローラコンベア部の一端側に配置され、前記ローラコンベア部の他端側は、自由端であることを特徴とする搬送装置。 The vertical movement mechanism portion is disposed at one end of the roller conveyor unit, the other end of the roller conveyor section, conveyor device, which is a free end.
  2. 前記整合部は、 The matching portion,
    前記基板に当接される複数の整合ローラと、 A plurality of alignment rollers being contact with the substrate,
    この整合ローラを直線上に備える保持部と、 A holding portion provided with the alignment roller on a straight line,
    この保持部を水平面内で回転させる回転軸部と、 A rotating shaft which rotates in a horizontal plane the holding portion,
    この回転軸部を駆動させる駆動手段と、 Driving means for driving the rotating shaft,
    前記回転軸部の回転角度を検知する角度検知手段と、 An angle detecting means for detecting the rotation angle of the rotation shaft,
    この角度検知手段の検知した角度に基づいて前記駆動手段を制御する駆動制御手段と、 Drive control means for controlling said drive means based on the detected angle of the angle detection means,
    前記回転軸部を支持する支持台と、 A support base for supporting the rotation shaft,
    この支持台を前記ローラコンベア部の幅方向において移動させるスライド機構部と、 A slide mechanism for moving the support base in the width direction of the roller conveyor section,
    を備えることを特徴とする請求項1に記載の搬送装置。 Conveying apparatus according to claim 1, characterized in that it comprises a.
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