JP2008182512A - バルク音響振動子の製造方法及びバルク音響振動子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明のバルク音響振動子の製造方法は、圧電体膜12、該圧電体膜を挟む一対の電極11,13、及び、温度補償膜14A,14Bを含む積層構造10Xを具備するバルク音響振動子の製造方法において、前記圧電体膜、前記一対の電極、及び、前記一対の電極間に配置される第1の前記温度補償膜14Aを含む積層部分10Yを形成する第1積層工程と、前記一対の電極の外側に配置される第2の前記温度補償膜14Bを形成する第3の工程と、を具備することを特徴とする。
【選択図】図1
Description
本発明において、前記第1積層工程の後、前記第2積層工程の前に、前記積層部分の周波数温度特性を測定する特性測定工程をさらに具備することが好ましい。この特性測定工程を設けることで、第2積層工程において当該特性測定工程の測定結果に応じて第2の温度補償膜を形成できるため、第2の温度補償膜による温度補償の精度をさらに高めることができる。
次に、添付図面を参照して本発明の実施形態について詳細に説明する。図1は実施形態のバルク音響振動子10の構造を模式的に示す概略断面図である。
次に、図2乃至図7を参照して、上記各実施形態の音響振動子10の積層構造10Xの特性について説明する。以下に示す特性は、基板1として厚みが200〜300μm程度のシリコン単結晶基板を用い、下部電極として膜厚30nmのTi層の上に膜厚150nmのPt層を形成したものを用い、圧電体膜として膜厚700nmのAlN層を形成したものを用い、さらに、上部電極として膜厚30nmのTi層の上に膜厚150nmのPt層を形成したものを用い、温度補償膜としてSiO2(酸化シリコン)層を形成してなる例に対するものである。
Claims (8)
- 圧電体膜、該圧電体膜を挟む一対の電極、及び、温度補償膜を含む積層構造を具備するバルク音響振動子の製造方法において、
前記圧電体膜、前記一対の電極、及び、前記一対の電極間に配置される第1の前記温度補償膜を含む積層部分を形成する第1積層工程と、
前記一対の電極の外側に配置される第2の前記温度補償膜を形成する第2積層工程と、
を具備することを特徴とするバルク音響振動子の製造方法。 - 前記第1積層工程の後、前記第2積層工程の前に、前記積層部分の周波数温度特性を測定する特性測定工程をさらに具備することを特徴とするバルク音響振動子の製造方法。
- 前記第1積層工程では、前記積層部分の周波数温度特性が負となるように形成されることを特徴とする請求項1又は2に記載のバルク音響振動子の製造方法。
- 前記第1積層工程では、前記積層部分の共振周波数が目標周波数より高く形成されることを特徴とする請求項3に記載のバルク音響振動子の製造方法。
- 前記第2の温度補償膜を含めた前記積層構造の周波数温度特性を測定する追加特性測定工程と、当該追加特性測定工程の測定結果に応じて前記第2の温度補償膜の膜厚を調整する膜厚調整工程と、をさらに具備することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載のバルク音響振動子の製造方法。
- 圧電体膜、該圧電体膜を挟む一対の電極、及び、温度補償膜を含む積層構造を具備するバルク音響振動子の製造方法において、
前記圧電体膜、前記一対の電極、及び、前記一対の電極間に配置される第1の前記温度補償膜を含む積層部分を形成する第1積層工程と、
前記積層部分の周波数温度特性を測定する特性測定工程と、
前記特性測定工程の測定結果に応じて前記一対の電極の外側に配置される第2の前記温度補償膜を形成する第2積層工程と、
を具備し、
前記特性測定工程の測定結果が前記周波数温度特性の許容範囲内にある場合には第2積層工程を省略することを特徴とするバルク音響振動子の製造方法。 - 前記第2の温度補償膜を含めた前記積層構造の周波数温度特性を測定する追加特性測定工程と、当該追加特性測定工程の測定結果に応じて前記第2の温度補償膜の膜厚を調整する膜厚調整工程と、をさらに具備し、
前記追加特性測定工程の測定結果が前記許容範囲内にある場合には前記膜厚調整工程を省略することを特徴とする請求項6に記載のバルク音響振動子の製造方法。 - 圧電体膜、及び、該圧電体膜を挟む一対の電極を含む積層構造を具備するバルク音響振動子において、
前記積層構造には、前記一対の電極間に配置された第1の温度補償膜と、前記一対の電極の外側に配置された第2の温度補償膜とが含まれることを特徴とするバルク音響振動子。
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