JP2008171840A - Liquid-cooled heat sink and design method thereof - Google Patents

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Ken Yanagawa
謙 柳川
Satoru Sakuma
哲 佐久間
Takashi Ueno
孝史 上野
Masatoshi Nozaki
正敏 野崎
Tsutomu Wada
努 和田
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Abstract

【課題】 ヒートシンクの表面に互いに離間して複数の電子部品を配置するものにおいて、各電子部品の容量等に基づき最適な設計を行うこと。
【解決手段】 より発熱量の大きな加熱体または下流側に位置する加熱体の伝熱性を向上させるため、そのフィンの伝熱面積を大とするかまたは、その直下を流通する冷却液の流量または流速を大きくする。
【選択図】 図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To perform an optimal design based on the capacity and the like of each electronic component in a case where a plurality of electronic components are arranged on the surface of a heat sink so as to be separated from each other.
In order to improve the heat transfer property of a heating element having a larger calorific value or a heating element located downstream, the heat transfer area of the fin is increased, or the flow rate of the coolant flowing directly under the fin or Increase the flow rate.
[Selection] Figure 1

Description

本発明は、発熱量の大きいパワーIC等の半導体その他の電子部品を冷却する液冷ヒートシンクおよびその設計方法に関する。   The present invention relates to a liquid-cooled heat sink that cools a semiconductor or other electronic component such as a power IC that generates a large amount of heat, and a design method thereof.

パワーIC等の発熱量の大きな電子部品は、内部に冷却液が流通するヒートシンク本体の外面に取付けられる。その電子部品が複数の場合には、互いに離間させ、夫々の電子部品の発熱量および大きさに応じて最適な冷却条件を設定する必要がある。   An electronic component having a large calorific value, such as a power IC, is attached to the outer surface of the heat sink body through which the coolant flows. When there are a plurality of the electronic components, it is necessary to set the optimum cooling condition according to the heat generation amount and the size of each electronic component separated from each other.

ところがヒートシンクに複数の電子部品を互いに離間して取付けた場合、複数の要因が重なり合って影響を及ぼすため、各電子部品毎に最適な冷却性能を得ることが困難である。即ち、各電子部品はその発熱量やサイズ或いは用途が異なること、冷却液の上流側と下流側で液温が異なること、冷却液の流量が各電子部品直下で均一にならないこと、隣接する電子部品どうしの距離等により互いに熱的影響を及ぼすこと、ヒートシンクの表面と電子部品との接着状態が均一にならないこと、その他の要因により、各電子部品の冷却を最適設計にすることは極めて困難である。   However, when a plurality of electronic components are mounted on the heat sink so as to be separated from each other, a plurality of factors overlap and affect each other, so that it is difficult to obtain optimum cooling performance for each electronic component. That is, each electronic component has a different calorific value, size or application, liquid temperature is different between the upstream and downstream sides of the cooling liquid, the flow rate of the cooling liquid is not uniform directly under each electronic component, It is extremely difficult to optimize the cooling of each electronic component due to thermal effects on each other depending on the distance between components, non-uniform adhesion between the heat sink surface and the electronic component, and other factors. is there.

特開2001−168569号公報JP 2001-168869 A

そこで従来、最も温度の高くなる可能性の高いの電子部品を基準に、全体の冷却設計を行っている。すると、それによって他の電子部品に対しては過剰な伝熱面積の確保が生じ、ヒートシンクのコスト高や重量の増大、圧力損失の増大等をまねいていた。
そこで、本発明は係る問題点を解決することを課題とする。
Therefore, conventionally, the entire cooling design has been performed based on electronic components that are most likely to have the highest temperature. As a result, an excessive heat transfer area is secured for other electronic components, which increases the cost, weight, and pressure loss of the heat sink.
Then, this invention makes it a subject to solve the problem which concerns.

請求項1に記載の本発明は、偏平なヒートシンク本体(1)の内部にインナーフィン(2)が介装され、内部に冷却液(3) が流通すると共に、ヒートシンク本体(1)の平坦な外表面の一部に複数の電子部品(4)が接触固定される複数の取付面を有する液冷ヒートシンクにおいて、
第1の取付面(5a)に取り付ける電子部品(4)の発熱量が第2の取付面(5b)のそれより大であるとき、
または前記発熱量が同一で第1の取付面(5a)が冷却液(3)の下流側に位置し、第2の取付面(5b)がその上流側に位置するとき、
前記第1の取付面(5a)の直下の前記インナーフィン(2a) の伝熱性が第2の取付面(5b)のインナーフィン(2b)のそれより大になるように構成した液冷ヒートシンクである。
According to the present invention, the inner fin (2) is interposed in the flat heat sink body (1), the coolant (3) is circulated therein, and the heat sink body (1) is flat. In a liquid-cooled heat sink having a plurality of mounting surfaces on which a plurality of electronic components (4) are fixed in contact with a part of the outer surface,
When the heat generation amount of the electronic component (4) attached to the first mounting surface (5a) is larger than that of the second mounting surface (5b),
Or when the first heating surface (5a) is located downstream of the coolant (3) and the second mounting surface (5b) is located upstream of the same calorific value,
A liquid-cooled heat sink configured such that the heat transfer property of the inner fin (2a) immediately below the first mounting surface (5a) is greater than that of the inner fin (2b) of the second mounting surface (5b). is there.

請求項2に記載の本発明は、請求項1において、
前記インナーフィン(2)全体が波形に曲折したコルゲートタイプのものであって、
前記第1の取付面(5a)の直下のインナーフィン(2a)の伝熱面積が、第2の取付面(5b)の直下の前記フィン(2b)のそれに比べて大となるように、下記のいずれか一以上の構成を有する液冷ヒートシンク。
フィンピッチが小さい、フィンの振幅が大きい、フィンの板厚が厚い、フィンにルーバが設けられている、フィン材料の熱伝導率が高い、他の部分にはフィンが存在しないものである。
The present invention according to claim 2 is the method according to claim 1,
The inner fin (2) is a corrugated type that is bent into a waveform,
The heat transfer area of the inner fin (2a) immediately below the first mounting surface (5a) is larger than that of the fin (2b) directly below the second mounting surface (5b) as follows. A liquid-cooled heat sink having one or more of the configurations.
The fin pitch is small, the fin amplitude is large, the fin plate thickness is thick, the fin is provided with a louver, the fin material has high thermal conductivity, and the fin is not present in other portions.

請求項3に記載の本発明は、請求項1において、
前記インナーフィン(2)は、両側に側枠部(7)を有し、その側枠部(7)間を傾斜した多数の互いに離間した傾斜骨(8)または波形に曲折された波骨(6)からなる骨部で連結され、それらが面一に配置された少なくとも一対存在し、それらが厚み方向に積層されて、その隣り合うインナーフィン(2)の前記骨部が互いに交差するように構成したヘリボーンタイプのものであり、
前記第1の取付面(5a)の直下の前記骨部の伝熱面積が、第2の取付面(5b)の直下の前記骨部のそれに比べて大となるように、下記のいずれか一以上の構成を有する液冷ヒートシンク。
傾斜骨または波骨のピッチが小さい、傾斜骨または波骨の幅が広い、傾斜骨または波骨の熱伝達率が高い、段数が多い、他の部分には傾斜骨または波骨が存在しないものである。
The present invention according to claim 3 provides the method according to claim 1,
The inner fin (2) has side frame parts (7) on both sides, and a plurality of spaced apart inclined bones (8) inclined between the side frame parts (7) or corrugated bones ( 6) are connected by a bone part, and there is at least a pair of them arranged in a plane, and they are stacked in the thickness direction so that the bone parts of the adjacent inner fins (2) intersect each other. It is of the configured helibone type,
One of the following, so that the heat transfer area of the bone part immediately below the first attachment surface (5a) is larger than that of the bone part immediately below the second attachment surface (5b). A liquid-cooled heat sink having the above configuration.
Inclined bone or wave bone pitch is small, inclined bone or wave bone is wide, inclined bone or wave bone has a high heat transfer coefficient, has a large number of steps, and there is no inclined bone or wave bone in other parts It is.

請求項4に記載の本発明は、請求項1〜請求項3のいずれかにおいて、
ヒートシンク本体(1)の冷却液(3)の流通方向の上流端部と下流端部とに一対の前記取付面(5a)(5b)が存在し、中間部に取付面が存在しない構成において、
各取付面(5a)(5b)直下の前記フィンの伝熱面積が中間部の直下のそれに比べて大となるように、下記のいずれかの条件とする液冷ヒートシンク。
前記コルゲートフィンタイプの場合
フィンピッチが小さい、フィンの振幅が大きい、フィンの板厚が厚い、フィンにルーバが設けられている、フィン材料の熱伝導率が高い、中間部の直下部分にはフィンが存在しない。
前記ヘリボーンタイプのインナーフィンの場合
前記各取付面(5a)(5b)の直下の前記骨部 は、中間部直下の前記骨部 に比べて、下記のいずれか一以上の構成を有するもの。
傾斜骨または波骨のピッチが小さい、傾斜骨または波骨の幅が広い、傾斜骨または波骨の熱伝達率が高い、段数が多い、他の部分には傾斜骨または波骨が存在しないものである。
A fourth aspect of the present invention provides the method according to any one of the first to third aspects,
In the configuration in which there is a pair of mounting surfaces (5a) and (5b) at the upstream end and the downstream end in the flow direction of the coolant (3) of the heat sink body (1), and there is no mounting surface at the intermediate portion.
A liquid-cooled heat sink having any of the following conditions so that the heat transfer area of the fins directly below each mounting surface (5a) and (5b) is larger than that directly below the intermediate portion.
For the corrugated fin type
The fin pitch is small, the fin amplitude is large, the fin plate is thick, the fin is provided with a louver, the heat conductivity of the fin material is high, and no fin exists in the portion directly below the intermediate portion.
In the case of the above-mentioned helicone type inner fin
The bone part immediately below the attachment surfaces (5a) and (5b) has one or more of the following configurations as compared to the bone part directly below the intermediate part.
Inclined bone or wave bone pitch is small, inclined bone or wave bone is wide, inclined bone or wave bone has a high heat transfer coefficient, has a large number of steps, and there is no inclined bone or wave bone in other parts It is.

請求項5に記載の本発明は、請求項3において、
前記インナーフィン(2)は、両側枠部(7)間でその側枠部(7)の方向に設けた仕切部(9) を有し、その仕切部(9)と両側枠部(7)間が多数の前記骨部で連結された少なくも一対有し、それらが厚み方向に積層されて、その隣り合う前記インナーフィン(2)は、前記骨部が平面的に互いに交差すると共に、前記側枠部(7)および仕切部(9)が整合して積層され、その積層体の外周が一対のプレートまたは偏平チューブからなるヒートシンク本体で閉塞され、
前記仕切部(9) の両側に第1流通部(10)と第2流通部(11)とを有すると共に、両流通部(10)(11)の両端に入口側マニホールド部(12)と出口側マニホールド部(13)とを有し、その入口側マニホールド(12)で前記冷却液(3)が第1流通部(10)と第2流通部(11)とに分流して導かれると共に、出口側マニホールド部(13)でそれが合流するように構成され、
その入口側マニホールド部(12)で仕切部(9)の端またはその近傍に流路縮小手段(14)を設けて、第2流通部(11)への冷却液(3)の流通を制限した液冷ヒートシンクである。
The present invention according to claim 5 is the invention according to claim 3,
The inner fin (2) has a partition part (9) provided in the direction of the side frame part (7) between the side frame parts (7), and the partition part (9) and both side frame parts (7) There are at least one pair connected by a large number of the bone parts, and they are stacked in the thickness direction, and the adjacent inner fins (2) have the bone parts intersecting each other in a plane, and The side frame part (7) and the partition part (9) are laminated in alignment, and the outer periphery of the laminated body is closed with a heat sink body composed of a pair of plates or flat tubes,
The partition portion (9) has a first flow portion (10) and a second flow portion (11) on both sides of the partition portion (9), and an inlet side manifold portion (12) and an outlet at both ends of the flow portions (10) and (11). A side manifold portion (13), and at the inlet side manifold (12), the coolant (3) is divided and guided to the first flow portion (10) and the second flow portion (11), It is configured so that it merges at the outlet side manifold part (13),
The inlet side manifold section (12) is provided with a flow path reducing means (14) at or near the end of the partition section (9) to restrict the flow of the coolant (3) to the second circulation section (11). It is a liquid-cooled heat sink.

請求項6に記載の本発明は、請求項3において、
少なくとも3枚の前記インナーフィン(2)は、それぞれ両側枠部(7)間でその一方の側枠部(7)側に第1の前記骨部を有し、他方側に第2の骨部を有し、
それらが厚み方向に積層されて、そのうち二枚の隣り合う前記インナーフィン(2)は、第1の骨部の傾斜骨(8a)または波骨が平面的に互いに重なり合い、第2の骨部の傾斜骨(8b)または波骨が互いに交差すると共に、前記側枠部(7)および仕切部(9)が整合して積層され、
少なくとも残りの一枚のインナーフィン(2) とそれに隣接するインナーフィン(2) は、第1の骨部の傾斜骨(8a)または波骨および、第2の骨部の傾斜骨(8b)または波骨がそれぞれ互いに交差すると共に、前記側枠部(7)および仕切部(9)が整合して積層され、
その積層体の外周が一対のプレートまたは偏平チューブからなるヒートシンク本体で閉塞され、
前記第1の骨部側に第1流通部(10)が設けられ、第2の骨部側に第2流通部(11)が設けられると共に、両流通部(10)(11)の両端に入口側マニホールド部(12)と出口側マニホールド部(13)とを有し、その入口側マニホールド(12)で前記冷却液(3)が第1流通部(10)と第2流通部(11)とに分流して導かれると共に、出口側マニホールド部(13)でそれが合流するように構成された液冷ヒートシンクである。
The present invention according to claim 6 provides the method according to claim 3,
At least three of the inner fins (2) each have a first bone part on one side frame part (7) side between both side frame parts (7), and a second bone part on the other side. Have
The two adjacent inner fins (2) are laminated in the thickness direction, and the inclined bone (8a) or wave bone of the first bone portion overlaps each other in a plane so that the second bone portion The inclined bone (8b) or the corrugated bone intersect each other, and the side frame portion (7) and the partition portion (9) are aligned and laminated,
The at least one remaining inner fin (2) and the adjacent inner fin (2) include the inclined bone (8a) or wave bone of the first bone portion and the inclined bone (8b) or second bone portion. Waves intersect each other, and the side frame portion (7) and the partition portion (9) are aligned and laminated,
The outer periphery of the laminate is closed with a heat sink body consisting of a pair of plates or flat tubes,
A first flow portion (10) is provided on the first bone portion side, a second flow portion (11) is provided on the second bone portion side, and both flow portions (10) and (11) are provided at both ends. An inlet side manifold portion (12) and an outlet side manifold portion (13) are provided, and the coolant (3) is supplied to the inlet side manifold (12) from the first flow portion (10) and the second flow portion (11). And a liquid-cooled heat sink configured to be guided by the outlet manifold section (13).

請求項7に記載の本発明は、請求項3において、
前記インナーフィン(2)は、両側枠部(7)間でその側枠部(7)の方向に設けた仕切部(9) を有し、その仕切部(9)と両側枠部(7)間が前記骨部で連結された少なくも一対有し、それらが厚み方向に積層されて、その隣り合う前記インナーフィン(2)は、前記骨部が平面的に互いに交差し、その積層体の外周が一対のプレートまたは偏平チューブからなるヒートシンク本体で閉塞され、
前記仕切部の両側に第1流通部(10)と第2流通部(11)とを有し、
前記仕切部(9) の両側に第1流通部(10)と第2流通部(11)とを有すると共に、両流通部(10)(11)の両端に入口側マニホールド部(12)と出口側マニホールド部(13)とを有し、その入口側マニホールド(12)で前記冷却液(3)が第1流通部(10)と第2流通部(11)とに分流して導かれると共に、出口側マニホールド部(13)でそれが合流するように構成され、
その仕切部(9)の幅および/または前記側枠(7) の幅が増幅されて、第1流通部(10)と第2流通部(11)の一部に流路断面を縮小する流速増速部(22)が設けられ、その流速増速部(22)の直上に電子部品の取付面(5)が配置される液冷ヒートシンクである。
The present invention described in claim 7 provides the method according to claim 3,
The inner fin (2) has a partition part (9) provided in the direction of the side frame part (7) between the side frame parts (7), and the partition part (9) and both side frame parts (7) There are at least one pair connected between the bone parts, and they are laminated in the thickness direction, and the adjacent inner fins (2) are such that the bone parts intersect each other in a plane, The outer periphery is closed by a heat sink body consisting of a pair of plates or flat tubes,
A first circulation part (10) and a second circulation part (11) on both sides of the partition part;
The partition portion (9) has a first flow portion (10) and a second flow portion (11) on both sides of the partition portion (9), and an inlet side manifold portion (12) and an outlet at both ends of the flow portions (10) and (11). A side manifold portion (13), and at the inlet side manifold (12), the coolant (3) is divided and guided to the first flow portion (10) and the second flow portion (11), It is configured so that it merges at the outlet side manifold part (13),
The flow velocity at which the width of the partitioning portion (9) and / or the width of the side frame (7) is amplified to reduce the cross section of the flow path to a part of the first flow portion (10) and the second flow portion (11). The liquid cooling heat sink is provided with a speed increasing portion (22), and a mounting surface (5) of the electronic component is disposed immediately above the flow speed increasing portion (22).

請求項8に記載の本発明は、偏平なヒートシンク本体(1)の内部にインナーフィン(2)が介装され、内部に冷却液(3) が流通すると共に、ヒートシンク本体(1)の平坦な外表面の一部に複数の電子部品(4)が接触固定される複数の取付面を有する液冷ヒートシンクの製造方法において、
それぞれの取付面(5)に電子部品(4)を取付て、前記冷却液(3)を流通させたとき、最も温度が高くなる電子部品(4)の直下の前記インナーフィンの伝熱部の熱交換量を他の電子部品(4)の直下のそれより大になるように、伝熱面積を大としまたは、冷却液の流量を大とするように調整したことを特徴とする液冷ヒートシンクの設計方法である。
According to the present invention, the inner fin (2) is interposed in the flat heat sink body (1), the coolant (3) is circulated therein, and the heat sink body (1) is flat. In a method for manufacturing a liquid-cooled heat sink having a plurality of mounting surfaces on which a plurality of electronic components (4) are fixed in contact with a part of the outer surface,
When the electronic component (4) is attached to each mounting surface (5) and the coolant (3) is circulated, the heat transfer portion of the inner fin immediately below the electronic component (4) that has the highest temperature. A liquid-cooled heat sink characterized by adjusting the heat transfer area to be large or the flow rate of the coolant to be large so that the heat exchange amount is larger than that directly below other electronic components (4) This is the design method.

本発明は、取付け面5aに取付ける電子部品4の発熱量が取付け面5bに取付ける電子部品4より大きいか、冷却液3の下流側に位置する第2の取付面5aの直下部分のインナーフィン2の伝熱性を上流側に位置するインナーフィン2より大になるように構成したから、一部の電子部品4が異常に高温になることを防止し、それらの温度を均一化することができる。   In the present invention, the heat generation amount of the electronic component 4 attached to the attachment surface 5a is larger than that of the electronic component 4 attached to the attachment surface 5b, or the inner fin 2 directly below the second attachment surface 5a located on the downstream side of the coolant 3. Since the heat transfer property is configured to be larger than that of the inner fin 2 positioned on the upstream side, some of the electronic components 4 can be prevented from becoming abnormally high in temperature, and the temperature can be made uniform.

上記構成において、冷却液3の流通方向の上流端部と下流端部とに電子部品4の第1の取付面5a,第2の取付面5bが存在し、中間部にはそれが存在しない場合、第1の取付面5a,第2の取付面5bの直下のインナーフィン2の伝熱面積を、中間部の直下のそれに比べて大となるように構成することができる。
この場合には、各取付面5a,5bにおける電子部品4の冷却を効率的に行うと共に、冷却液3の流通方向中間部においては流通抵抗を小とし、冷却液3を円滑に流通し得る。そして、その中間部の存在により、両取付面5a、5bを互いに離間し、両者の熱的影響が互いに及ぼすのを可及的に小とし得る。それにより、両取付面5a,5bに取り付けられる各電子部品4を確実に冷却することが可能となる(請求項4)。
In the above configuration, the first mounting surface 5a and the second mounting surface 5b of the electronic component 4 are present at the upstream end portion and the downstream end portion in the flow direction of the coolant 3 and are not present at the intermediate portion. The heat transfer area of the inner fin 2 immediately below the first mounting surface 5a and the second mounting surface 5b can be configured to be larger than that directly below the intermediate portion.
In this case, the electronic component 4 can be efficiently cooled on the mounting surfaces 5a and 5b, and the flow resistance can be reduced at the intermediate portion in the flow direction of the coolant 3 so that the coolant 3 can flow smoothly. Then, due to the presence of the intermediate portion, the mounting surfaces 5a and 5b can be separated from each other, and the influence of the thermal influences of both can be made as small as possible. Thus, it is possible to reliably cool the electronic components 4 attached to both the attachment surfaces 5a and 5b (claim 4).

ヘリボーンタイプのインナーフィン2において、仕切部9を設け、その両側に第1流通部10とタンク第2流通部11とを設け、その仕切部9の端またはその近傍に流路縮小部14を設けて第2流通部11への冷却液3の流通を制限することができる。
この場合には、積極的に第1流通部10により多くの冷却液3を流通させ、第1流通部10における電子部品4の冷却効果を増大させることができる(請求項5)。
In the inner fin 2 of the helibone type, a partition portion 9 is provided, a first flow portion 10 and a tank second flow portion 11 are provided on both sides thereof, and a flow path reduction portion 14 is provided at an end of the partition portion 9 or in the vicinity thereof. Thus, the flow of the coolant 3 to the second flow part 11 can be restricted.
In this case, a large amount of the coolant 3 can be actively circulated through the first circulation part 10 to increase the cooling effect of the electronic component 4 in the first circulation part 10 (Claim 5).

上記構成において、二枚の隣り合う前記インナーフィン2の第1の骨部の傾斜骨8a(波骨6を含む、以下同じ)を平面的に互いに重なり合わせ、第2の骨部の傾斜骨8bを互いに交差し、残りのインナーフィン2とそれに隣接するインナーフィン2の第1の骨部の傾斜骨8aおよび、第2の骨部の傾斜骨8bをそれぞれ互いに交差したものにおいては、第1の骨部側の冷却液の攪拌効果を第2のそれに比べて抑制し、第2の骨部側の冷却を促進し、その部分に取付られる電子部品の冷却効果を第1のそれより向上することができる(請求項6)。   In the above-described configuration, the inclined bones 8a (including the wave bone 6, the same applies hereinafter) of the first bone portions of the two adjacent inner fins 2 are overlapped with each other in plan view, and the inclined bones 8b of the second bone portion are overlapped. In which the remaining inner fin 2 and the inclined bone 8a of the first bone portion and the inclined bone 8b of the second bone portion of the inner fin 2 adjacent thereto intersect with each other, the first Suppressing the stirring effect of the cooling fluid on the bone side compared to the second, promoting the cooling on the second bone side, and improving the cooling effect of the electronic components attached to that part from that of the first (Claim 6).

上記構成において、その仕切部8の幅および/または前記側枠7の幅を増幅して、第1流通部10と第2流通部11の一部に流路断面を縮小する流速増速部22を設け、その流速増速部22の直上に電子部品の取付面5を配置したものにおいては、その流速増速部22上の電子部品の冷却効果を他の部分のそれよりも向上することができる(請求項7)。   In the above-described configuration, the flow velocity accelerating portion 22 that amplifies the width of the partition portion 8 and / or the width of the side frame 7 and reduces the cross section of the flow path to a part of the first flow portion 10 and the second flow portion 11. In the case where the electronic component mounting surface 5 is disposed immediately above the flow velocity accelerating portion 22, the cooling effect of the electronic component on the flow velocity accelerating portion 22 can be improved more than that of other portions. (Claim 7).

本発明の液冷ヒートシンクの設計方法によれば、ヒートシンク本体1の外面の各取付面5に複数の電子部品4を取付けて、冷却液3を内部に流通させたとき、最も温度が高くなる電子部品4の直下のインナーフィン2の伝熱部の熱交換量を他の電子部品4の直下のそれより大となるように、その伝熱面積を大としまたは冷却液の流通を大とするように調整するものであるから、効率良く且つ迅速に最適な液冷ヒートシンクを設計できる。
即ち、ヒートシンクの上面に異なる発熱量の複数の電子部品4が設けられている場合において、各電子部品4の温度を均一になるように迅速に設計できる(請求項8)。
According to the design method of the liquid-cooled heat sink of the present invention, when the plurality of electronic components 4 are attached to the respective attachment surfaces 5 on the outer surface of the heat sink body 1 and the coolant 3 is circulated inside, the electron whose temperature is highest The heat transfer area is increased or the circulation of the coolant is increased so that the heat exchange amount of the heat transfer portion of the inner fin 2 immediately below the component 4 is greater than that directly below the other electronic component 4. Therefore, an optimum liquid-cooled heat sink can be designed efficiently and quickly.
That is, when a plurality of electronic components 4 having different heat generation amounts are provided on the upper surface of the heat sink, the temperature of each electronic component 4 can be designed quickly so as to be uniform.

次に、図面に基づいて本発明の実施の形態につき説明する。
図1は本発明の第1の実施の形態を示すヒートシンクの分解斜視略図であり、図2はその組立て状態で、その上側のプレート16を取り除いた平面図である。
このヒートシンクは、一対のヘリボーンタイプのインナーフィン2とその上下両面に配置される一対のプレート16,17を有する。そしてそれらが厚み方向に積層され、各接触部が一体的にろう付け固定されるものである。そしてプレート16の外表面に設けた複数の取付面5上に、夫々電子部品4が互いに離間して配置される。そしてこの例では下側のプレート17の入口パイプ18から冷却液3として水が一対のプレート16,17間のインナーフィン2内に流通して、それが出口パイプ19から流出するものである。
Next, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.
FIG. 1 is an exploded perspective schematic view of a heat sink showing a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a plan view with the upper plate 16 removed in its assembled state.
This heat sink has a pair of helibone type inner fins 2 and a pair of plates 16 and 17 disposed on both upper and lower surfaces thereof. And they are laminated in the thickness direction, and each contact part is integrally brazed and fixed. The electronic components 4 are arranged on the plurality of mounting surfaces 5 provided on the outer surface of the plate 16 so as to be separated from each other. In this example, water flows from the inlet pipe 18 of the lower plate 17 as the coolant 3 into the inner fin 2 between the pair of plates 16 and 17, and flows out from the outlet pipe 19.

各インナーフィン2は金属板のプレス打ち抜き成形体からなり、外周が一対づつの側枠部7および端枠部20によって略方形の平面を有すると共に、その一方の対角線の両隅部に冷却液流出入用の突出枠部が形成されている。また一対の側枠部7の中間に仕切部9が配置され、仕切部9と左側の側枠部7との間に第1流通部10が配置され、仕切部9と右側の側枠部7との間に第2流通部11が配置されている。
第1流通部10には多数の傾斜骨8が互いに平行に仕切部9および側枠部7と一体に形成され、第2流通部11にはその上流部および下流部に夫々多数の波骨6が互いに平行に配置され、夫々の波骨6の上流部と下流部との間に多数の傾斜骨8が配置されている。なお、第2流通部11における傾斜骨8の間隔は、第1流通部10におけるそれの間隔よりも大である。
また、図示されていないが各波骨6間の間隔は、第1流通部10における傾斜骨8の間隔よりも小に且つ、傾斜骨8の幅を広く形成して伝熱面積を広くしている。さらに、各流通部10、11の下流部の伝熱面積は上流部のそれより大にしている。なお、これらの伝熱面積を同一とすることもできる。
Each inner fin 2 is made of a stamped and formed body of a metal plate, and the outer periphery has a substantially rectangular plane by a pair of side frame portion 7 and end frame portion 20, and coolant flows out at both corners of one diagonal line. A protruding frame portion for entry is formed. A partition 9 is arranged between the pair of side frames 7, a first flow part 10 is arranged between the partition 9 and the left side frame 7, and the partition 9 and the right side frame 7. The second circulation part 11 is arranged between the two.
A large number of inclined bones 8 are formed in the first flow part 10 in parallel with the partition part 9 and the side frame part 7 in parallel with each other, and the second flow part 11 has a large number of wave bones 6 in the upstream and downstream parts, respectively. Are arranged in parallel to each other, and a large number of inclined bones 8 are arranged between the upstream portion and the downstream portion of each wave bone 6. The interval between the inclined bones 8 in the second circulation part 11 is larger than that in the first circulation part 10.
Although not shown in the drawing, the interval between the corrugated bones 6 is smaller than the interval between the inclined bones 8 in the first flow part 10 and the width of the inclined bones 8 is widened to increase the heat transfer area. Yes. Furthermore, the heat transfer area of the downstream part of each circulation part 10 and 11 is made larger than that of the upstream part. In addition, these heat transfer areas can also be made the same.

次に、積層方向の上側に位置するインナーフィン2と下側に位置するインナーフィン2とは、その傾斜骨8の向きが逆向きである。また、波骨6はその波の位相が上下のインナーフィン2で半ピッチ位置ずれしている。また、仕切部9の先端は最上流側の波骨6および傾斜骨8よりも突出し、それに対向する端枠部20は仕切部9側に突出し、それらによって上流側マニホールド部12の流路縮小部14を形成する。そして各波骨6,傾斜骨8,側枠部7,端枠部20は面一に且つ、一体に形成され、上下の仕切部9並びにインナーフィン2、端枠部20は互いに整合する。これらの傾斜骨および波骨6により骨部を構成し、その上流側に上流側マニホールド部12が設けられ、下流側に下流側マニホールド部13が設けられている。
そして複数のインナーフィン2および各プレート16、17が厚み方向に積層され、各接触部間が一体にろう付け固定される。なお、積層方向の最下側のプレート17には一対の入口パイプ18,出口パイプ19の端部が連通する。
Next, the direction of the inclined bone 8 is opposite between the inner fin 2 positioned on the upper side in the stacking direction and the inner fin 2 positioned on the lower side. Further, the wave bone 6 is shifted in half pitch position by the upper and lower inner fins 2 in the wave phase. Further, the tip of the partition 9 protrudes more than the most upstream corrugated bone 6 and the inclined bone 8, and the end frame portion 20 facing it protrudes toward the partition 9, and thereby the flow path reducing portion of the upstream manifold section 12. 14 is formed. The corrugated bones 6, the inclined bones 8, the side frame portions 7, and the end frame portions 20 are formed flush with each other, and the upper and lower partition portions 9, the inner fins 2, and the end frame portions 20 are aligned with each other. These inclined bones and corrugated bones 6 constitute a bone portion, an upstream manifold portion 12 is provided on the upstream side, and a downstream manifold portion 13 is provided on the downstream side.
The plurality of inner fins 2 and the plates 16 and 17 are laminated in the thickness direction, and the contact portions are integrally brazed and fixed. The ends of the pair of inlet pipes 18 and outlet pipes 19 communicate with the lowermost plate 17 in the stacking direction.

このようにしてなるヒートシンクのプレート16上の各取付面5には、互いに離間し電子部品4がハンダ付け等の手段により取付けられる。なお、電子部品4がパワーIC等の場合には、通常その電子部品4の下面側は図示しない伝熱性の絶縁基板を介して取付面5に接合される。
そして冷却液3が入口パイプ18から一対のインナーフィン2のマニホールド部13に供給され、それが第1流通部10および第2流通部11の傾斜骨8間および波骨6間の隙間を上下方向に蛇行して流通し、下流側のマニホールド部13から出口パイプ19に導かれ外部に流出する。
The electronic parts 4 are attached to the respective attachment surfaces 5 on the heat sink plate 16 thus separated by means such as soldering. When the electronic component 4 is a power IC or the like, the lower surface side of the electronic component 4 is usually bonded to the mounting surface 5 via a heat conductive insulating substrate (not shown).
Then, the coolant 3 is supplied from the inlet pipe 18 to the manifold portion 13 of the pair of inner fins 2, which vertically moves the gaps between the inclined bones 8 and the corrugated bones 6 of the first flow portion 10 and the second flow portion 11. Circulates in a meandering manner, flows from the downstream manifold portion 13 to the outlet pipe 19 and flows out.

外部に流出した冷却液3は図示しない熱交換器により冷却され、再び入口パイプ18から内部に流入して循環する。そして冷却液3がヒートシンク内部を流通する間に、各電子部品4からの熱を吸熱する。
夫々の電子部品4は、その発熱量サイズおよび用途が異なると共に、冷却液3の流通方向上流側に位置するものと下流側に位置するものとがある。また、第1流通部10と第2流通部11とは流路縮小部14の存在および流路抵抗の違いにより流量が異なる。また、各流路の各部でフィンの放熱面積が異なる。それら各部における熱交換量の違い、電子部品4の発熱量の違い、その他により各電子部品4の表面温度は比較的高いものと低いものとが並存することになる。
The coolant 3 that has flowed to the outside is cooled by a heat exchanger (not shown), and flows into the inside through the inlet pipe 18 again and circulates. And while the cooling fluid 3 distribute | circulates the inside of a heat sink, the heat | fever from each electronic component 4 is absorbed.
Each electronic component 4 has a different calorific value size and application, and is located on the upstream side in the flow direction of the coolant 3 and located on the downstream side. Further, the first flow part 10 and the second flow part 11 have different flow rates due to the presence of the flow path reduction part 14 and the difference in flow path resistance. In addition, the heat radiation area of the fin is different in each part of each flow path. The surface temperature of each electronic component 4 is relatively high and low due to the difference in the heat exchange amount between these parts, the difference in the heat generation amount of the electronic component 4, and others.

この場合、本発明は、最も表面温度の高い電子部品4の直下のフィンの伝熱面積を大として調整することとする。即ち、図1のヘリボーンタイプにおいては、その幅を同一とするならば波骨6または傾斜骨8のピッチを短くする。或いはそれらの板厚を厚くする。さらには、熱伝達率の良いものとすることもできる。それらの複数の組合せをとることもできる。それらにより各電子部品4からの吸熱を最適状態にし、各電子部品4の表面温度を均一化することができる。   In this case, the present invention adjusts the heat transfer area of the fin immediately below the electronic component 4 having the highest surface temperature to be large. That is, in the helibone type of FIG. 1, if the width is the same, the pitch of the wave bone 6 or the inclined bone 8 is shortened. Alternatively, the plate thickness is increased. Furthermore, the heat transfer coefficient can be improved. A plurality of combinations thereof can also be taken. As a result, the heat absorption from each electronic component 4 can be optimized and the surface temperature of each electronic component 4 can be made uniform.

なお、このヒートシンクの設計に当たって、次のことが考慮される。
第1の取付面5aに取付ける電子部品4の発熱量が第2の取付面5bのそれより大であるとき、または発熱量が同一で第1の第1の取付面5aが冷却液3の下流側に位置し、第2の取付面5bのそれが上流側に位置するときには、第1の取付面5aの直下のフィン2aの伝熱性を第2の取付面5bの直下のフィン2bのそれより大とする。
また、インナーフィン2に仕切部9を有する場合には、仕切部9を挟んでその両側に位置する電子部品4において、いずれかより発熱量の大きい方の流量をより大きくするように上流側マニホールド部12に流路縮小部14を設けて調節する。
In designing the heat sink, the following is considered.
When the calorific value of the electronic component 4 attached to the first mounting surface 5a is larger than that of the second mounting surface 5b, or when the calorific value is the same, the first first mounting surface 5a is downstream of the coolant 3. When the second mounting surface 5b is positioned on the upstream side, the heat conductivity of the fin 2a immediately below the first mounting surface 5a is greater than that of the fin 2b directly below the second mounting surface 5b. Great.
Further, when the inner fin 2 has the partitioning portion 9, the upstream side manifold is configured to increase the flow rate of the heat generation amount larger than any one of the electronic components 4 located on both sides of the partitioning portion 9. The flow path reduction part 14 is provided in the part 12 for adjustment.

なお、第2流通部11において、その上流端部と下流端部とに設けた波骨6からなるフィンの密集度は中間の傾斜骨8のそれより大である。それと共に、第2流通部11の傾斜骨8における流路抵抗は小となる。このように構成することにより、波骨6の集合体上の電子部品4の直下における伝熱性を向上させて、その冷却効果を増大させると共に、第2流通部11の中流域における圧力損失を減少させ且つ、その中流域を設けることにより上流側の電子部品4と下流側の電子部品4との熱的影響を可能な限り少なくすることができる。
また、第2流通部11における傾斜骨8はそれを取り除いても良い。さらには、第1流通部10における中流域においても傾斜骨8を取り除くことができる。それにより第1流通部10における中流域の圧力損失を減少させると共に、上流側の電子部品4と下流側の電子部品4との熱的影響を可及的に少なくすることができる。
In the second flow part 11, the density of fins made of the corrugated bones 6 provided at the upstream end part and the downstream end part thereof is larger than that of the intermediate inclined bone 8. At the same time, the flow path resistance in the inclined bone 8 of the second flow part 11 becomes small. With this configuration, the heat transfer directly under the electronic component 4 on the aggregate of the corrugated bones 6 is improved, the cooling effect is increased, and the pressure loss in the midstream region of the second circulation part 11 is reduced. In addition, by providing the midstream region, the thermal influence between the electronic component 4 on the upstream side and the electronic component 4 on the downstream side can be reduced as much as possible.
Further, the inclined bone 8 in the second flow part 11 may be removed. Furthermore, the inclined bone 8 can be removed also in the middle flow area in the first flow part 10. As a result, the pressure loss in the midstream region in the first flow section 10 can be reduced, and the thermal influence between the upstream electronic component 4 and the downstream electronic component 4 can be reduced as much as possible.

次に、図3は本発明の第2の実施の形態を示すヒートシンクの分解斜視図であり、この例のインナーフィン2は金属板を波型に曲折したコルゲートフィン型のものである。そして、上流に位置するインナーフィン2bと下流部に位置するインナーフィン2aは夫々フィンピッチが小さく、中流部に位置するインナーフィン2は大きくなっている。なお、この例では各インナーフィン2b、2aの波の振幅は同一である。
これらのインナーフィン2がヒートシンク本体1内に収納され、その両端が端蓋21で閉塞されると共に、そのヒートシンク本体1の長手方向両端側部(または下部)に入口パイプ18,出口パイプ19が連通されたものである。
Next, FIG. 3 is an exploded perspective view of a heat sink showing a second embodiment of the present invention, and the inner fin 2 of this example is of a corrugated fin type in which a metal plate is bent into a corrugated shape. And the inner fin 2b located in the upstream and the inner fin 2a located in the downstream part each have a small fin pitch, and the inner fin 2 located in the midstream part is larger. In this example, the wave amplitudes of the inner fins 2b and 2a are the same.
These inner fins 2 are accommodated in the heat sink body 1 and both ends thereof are closed by end lids 21, and an inlet pipe 18 and an outlet pipe 19 are communicated with both ends (or lower parts) in the longitudinal direction of the heat sink body 1. It has been done.

そしてこの例では、ヒートシンク本体1の上流部の取付面5と下流部の取付面5とに夫々電子部品4が取付けられる。そして入口パイプ18から冷却液3が内部に導かれ、各インナーフィン2を流通して出口パイプ19からそれが流出する。夫々冷却液3の上流部および下流部には、伝熱面積が大となるインナーフィン2a、2bが配置され、そこに配置された電子部品4からの熱を効率よく吸熱する。   In this example, the electronic components 4 are respectively attached to the upstream attachment surface 5 and the downstream attachment surface 5 of the heat sink body 1. Then, the coolant 3 is guided to the inside from the inlet pipe 18, flows through each inner fin 2, and flows out from the outlet pipe 19. Inner fins 2a and 2b having a large heat transfer area are disposed at the upstream and downstream portions of the coolant 3, respectively, and efficiently absorb the heat from the electronic components 4 disposed therein.

このようなコルゲート型のインナーフィン2の設計においても、前記ヘリボーンタイプのインナーフィン2と同様のフィンの設計が可能である。例えば、冷却液3の下流側に位置する電子部品4の冷却液3の温度は上流側のそれよりも高温であるので、上流側と下流側とで同一の電子部品4の場合には、下流側のインナーフィン2aの放熱面積を上流側のそれより大とする必要がある。それによって、夫々の電子部品4の表面温度を均一化することができる。そのために、さらに下流側のインナーフィン2のピッチを小さくし、伝熱面積を向上させればよい。   Also in the design of such a corrugated inner fin 2, the same fin design as the above-described helibone type inner fin 2 is possible. For example, since the temperature of the coolant 3 of the electronic component 4 located on the downstream side of the coolant 3 is higher than that of the upstream side, in the case of the same electronic component 4 on the upstream side and the downstream side, the downstream side It is necessary to make the heat radiation area of the inner fin 2a on the side larger than that on the upstream side. Thereby, the surface temperature of each electronic component 4 can be made uniform. Therefore, the pitch of the inner fins 2 on the downstream side may be further reduced to improve the heat transfer area.

なお、フィンピッチに代えて或いはそれと共に、次の手段を講じることもできる。フィンの板厚を厚くすること、フィンにルーバを設けること、フィン材料の熱伝達の高いものを選ぶこと、上記何れか1以上の構成をとることができる。それにより、上流側の電子部品4と下流側の電子部品4との表面温度を均一化することができる。
また、ヒートシンク本体1内の幅方向中間に図示しない仕切を設け、その両側に異なるインナーフィンを配置し、各インナーフィンの直上に電子部品を取り付けることができる。この場合、仕切の両側でその流量を変えたり、フィンの伝熱面積を変えて各電子部品の冷却を最適にすることができる。
The following means can be taken instead of or together with the fin pitch. One or more of the above-described configurations can be employed, such as increasing the fin plate thickness, providing a fin with a louver, and selecting a fin material with high heat transfer. Thereby, the surface temperature of the electronic component 4 on the upstream side and the electronic component 4 on the downstream side can be made uniform.
Moreover, a partition (not shown) is provided in the middle of the heat sink body 1 in the width direction, different inner fins are arranged on both sides thereof, and electronic components can be attached immediately above the inner fins. In this case, the cooling of each electronic component can be optimized by changing the flow rate on both sides of the partition or changing the heat transfer area of the fins.

次に、図4は本発明の第3の実施の形態を示し、その(A)はヒートシンクの分解斜視図、(B)はその組立て状態を示す縦断面図である。
この例のコルゲートフィンはオフセット型のものであり、波の進行方向および稜線方向に夫々多数の切り起こし部が形成されたものである。この例では、上流側のインナーフィン2の振幅が、下流側の振幅より大に形成されている。
この例においては、下流側の第1の取付面5aの電子部品4が上流側のそれに比べて発熱量が著しく小さい例である。そこで、出口パイプ19に近い下流側のインナーフィン2の振幅を小さくし、その放熱面積を小さくしても、下流側の電子部品4の発熱を充分に吸熱することができる。なお、この例では上流側と下流側との中間である中流部においてはインナーフィン2が存在しない。
このようにすることにより、上流側の電子部品4と下流側の電子部品4とが互いに熱的影響を与えることなく且つ、中流部において冷却液3の圧力損失を減少させることができる。
Next, FIG. 4 shows a third embodiment of the present invention, in which (A) is an exploded perspective view of the heat sink, and (B) is a longitudinal sectional view showing an assembled state thereof.
The corrugated fin of this example is of an offset type, and has a large number of cut-and-raised portions formed in the wave traveling direction and the ridge line direction, respectively. In this example, the amplitude of the upstream inner fin 2 is formed larger than the amplitude of the downstream side.
In this example, the electronic component 4 on the first mounting surface 5a on the downstream side has an extremely small amount of heat generation compared to that on the upstream side. Therefore, even if the amplitude of the downstream inner fin 2 close to the outlet pipe 19 is reduced and the heat dissipation area is reduced, the heat generation of the electronic component 4 on the downstream side can be sufficiently absorbed. In this example, the inner fin 2 does not exist in the midstream portion that is intermediate between the upstream side and the downstream side.
By doing so, the upstream electronic component 4 and the downstream electronic component 4 do not affect each other thermally, and the pressure loss of the coolant 3 can be reduced in the midstream portion.

次に、図5は本発明の第4の液冷ヒートシンクの実施の形態であり、その(A)は同ヒートシンクの分解斜視略図、(B)はその左から第2番目インナーフィン2と第3番目のインナーフィン2との組合せ状態を示す斜視説明図である。
この例では、6枚のインナーフィン2(最少3枚あればよい)を有し、各インナーフィン2は、それぞれその幅方向の中間に仕切部9を有し、その両側に第1の前記骨部と第2の骨部とを有する。
そして、各インナーフィン2が厚み方向に積層される。この例では左から1〜3番目と、4〜6番目の各組で、隣り合う前記インナーフィン2どうしは、図で左側に位置する第1の骨部の傾斜骨8a(または図示しない波骨、以下同じ)が平面的に互いに重なり合い(図5(B)参照)、右側に位置する第2の骨部の傾斜骨8bは全てが互いに交差する。それと共に、前記側枠部7および仕切部9が整合する。
左から1〜3番目と、4〜6番目の各組どうしは、左側に位置する第1の傾斜骨8aどうしも互いに交差する。それらのインナーフィン2の積層体の両側には一対のプレート17、18が被着される。
Next, FIG. 5 shows an embodiment of a fourth liquid-cooled heat sink according to the present invention, in which (A) is a schematic exploded perspective view of the heat sink, and (B) is the second inner fin 2 and the third third from the left. It is a perspective explanatory view showing a combination state with the second inner fin 2.
In this example, there are six inner fins 2 (a minimum of three is sufficient), each inner fin 2 has a partition 9 in the middle in the width direction, and the first bones on both sides thereof. Part and a second bone part.
And each inner fin 2 is laminated | stacked on the thickness direction. In this example, the adjacent inner fins 2 in the first to third and fourth to sixth groups from the left are the inclined bones 8a (or unillustrated wave bones) of the first bone portion located on the left side in the figure. , The same applies hereinafter) overlap each other in plan view (see FIG. 5B), and all the inclined bones 8b of the second bone portion located on the right side intersect each other. At the same time, the side frame portion 7 and the partition portion 9 are aligned.
In the first to third and fourth to sixth pairs from the left, the first inclined bones 8a located on the left side also intersect each other. A pair of plates 17 and 18 are attached to both sides of the laminated body of the inner fins 2.

そして、第1の骨部側に第1流通部10が設けられ、第2の骨部側に第2流通部11が設けられると共に、両流通部10、11の両端に入口側マニホールド部12と出口側マニホールド部13とを有し、その入口側マニホールド12で冷却液3が第1流通部10と第2流通部11とに分流して導かれると共に、出口側マニホールド部13でそれが合流するように構成されている。
このように構成することにより、第1の骨部側の冷却液の攪拌効果を第2のそれに比べて抑制し、第2の骨部側の冷却を促進し、その部分に取付られる電子部品の冷却効果を第1のそれより向上することができる。
The first flow part 10 is provided on the first bone part side, the second flow part 11 is provided on the second bone part side, and the inlet side manifold part 12 is provided at both ends of both flow parts 10 and 11. An outlet side manifold portion 13, and the coolant 3 is branched and guided to the first flow portion 10 and the second flow portion 11 by the inlet side manifold 12, and is merged by the outlet side manifold portion 13. It is configured as follows.
By comprising in this way, the stirring effect of the 1st bone | frame part side cooling liquid is suppressed compared with the 2nd thing, cooling of the 2nd bone | frame part side is accelerated | stimulated, and the electronic component attached to the part The cooling effect can be improved over that of the first.

次に、図6は本発明の液冷ヒートシンクの第5の実施の形態を示す分解斜視略図である。この液冷ヒートシンクは一対のヘリボーンタイプのインナーフィン2と一対のプレート16、17とを有する。各インナーフィン2は、その幅方向の中間に仕切部9を有し、その仕切部9と両側枠部7間が骨部で連結されている。各インナーフィン2は、前記骨部が平面的に互いに交差する。
前記仕切部の両側に第1流通部10と第2流通部11とを有し、両流通部10、11の両端に入口側マニホールド部12と出口側マニホールド部13とを有する。その仕切部9の幅および側枠7の幅が長手方向の中間で増幅されて、第1流通部10と第2流通部11の一部に流路断面を縮小する流速増速部22が設けられ、その流速増速部22の直上に放熱量の大きな電子部品4の取付面5が配置され、他の部分に放熱量の小さい電子部品4が取付られる。これは、その流速増速部22の冷却液の流速が大となり、そこの真上の取付面5の単位面積あたりの吸熱量が増大するからである。
Next, FIG. 6 is a schematic exploded perspective view showing a fifth embodiment of the liquid-cooled heat sink of the present invention. This liquid-cooled heat sink has a pair of helibone type inner fins 2 and a pair of plates 16 and 17. Each inner fin 2 has a partition portion 9 in the middle in the width direction, and the partition portion 9 and both side frame portions 7 are connected by a bone portion. As for each inner fin 2, the said bone part mutually cross | intersects planarly.
A first flow part 10 and a second flow part 11 are provided on both sides of the partition part, and an inlet side manifold part 12 and an outlet side manifold part 13 are provided at both ends of both flow parts 10 and 11. The width of the partition portion 9 and the width of the side frame 7 are amplified in the middle in the longitudinal direction, and a flow velocity accelerating portion 22 for reducing the cross section of the flow path is provided in a part of the first flow portion 10 and the second flow portion 11. The mounting surface 5 of the electronic component 4 having a large heat dissipation amount is disposed immediately above the flow velocity accelerating portion 22, and the electronic component 4 having a small heat dissipation amount is attached to the other portion. This is because the flow rate of the cooling liquid in the flow rate accelerating portion 22 becomes large, and the amount of heat absorbed per unit area of the mounting surface 5 directly above it increases.

本発明のヒートシンクの第1の実施の形態を示す分解斜視略図。1 is an exploded perspective view schematically showing a first embodiment of a heat sink according to the present invention. 同ヒートシンクの組立て状態であってプレート16を取り除いた平面図。The top view which removed the plate 16 in the assembly state of the heat sink. 本発明のヒートシンクの第2の実施の形態を示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows 2nd Embodiment of the heat sink of this invention. 本発明のヒートシンクの第3の実施の形態を示す分解斜視図およびその組立て状態を示す縦断面図。The exploded perspective view which shows 3rd Embodiment of the heat sink of this invention, and the longitudinal cross-sectional view which shows the assembly state. 本発明のヒートシンクの第4の実施の形態を示す分解斜視図および、インナーフィンの組合せ状態を示す斜視説明図。The disassembled perspective view which shows 4th Embodiment of the heat sink of this invention, and the perspective explanatory drawing which shows the combined state of an inner fin. 本発明のヒートシンクの第5の実施の形態を示す分解斜視図。The disassembled perspective view which shows 5th Embodiment of the heat sink of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

1 ヒートシンク本体
2 インナーフィン
2a インナーフィン
2b インナーフィン
3 冷却液
4 電子部品
5 取付面
1 Heat sink body 2 Inner fin
2a Inner fin
2b Inner fin 3 Coolant 4 Electronic component 5 Mounting surface

5a 第1の取付面
5b 第2の取付面
6 波骨
7 側枠部
8 傾斜骨
8a 傾斜骨
8b 傾斜骨
9 仕切部
10 第1流通部
11 第2流通部
5a First mounting surface
5b Second mounting surface 6 Corrugated bone 7 Side frame 8 Inclined bone
8a inclined bone
8b Inclined bone 9 Partition
10 1st Distribution Department
11 Second Distribution Department

12 入口側マニホールド部
13 出口側マニホールド部
14 流路縮小部
16 プレート
17 プレート
18 入口パイプ
19 出口パイプ
20 端枠部
21 端蓋
22 流速増速部
23 中央幅広部
24 側部幅広部
12 Inlet side manifold
13 Outlet manifold
14 Channel reduction part
16 plates
17 plates
18 inlet pipe
19 Outlet pipe
20 End frame
21 End cover
22 Flow speed increaser
23 Central wide part
24 Wide side

Claims (8)

偏平なヒートシンク本体(1)の内部にインナーフィン(2)が介装され、内部に冷却液(3) が流通すると共に、ヒートシンク本体(1)の平坦な外表面の一部に複数の電子部品(4)が接触固定される複数の取付面を有する液冷ヒートシンクにおいて、
第1の取付面(5a)に取り付ける電子部品(4)の発熱量が第2の取付面(5b)のそれより大であるとき、
または前記発熱量が同一で第1の取付面(5a)が冷却液(3)の下流側に位置し、第2の取付面(5b)がその上流側に位置するとき、
前記第1の取付面(5a)の直下の前記インナーフィン(2a) の伝熱性が第2の取付面(5b)のインナーフィン(2b)のそれより大になるように構成した液冷ヒートシンク。
An inner fin (2) is interposed inside the flat heat sink body (1), the coolant (3) circulates inside, and a plurality of electronic components are formed on a part of the flat outer surface of the heat sink body (1). In the liquid cooling heat sink having a plurality of mounting surfaces to which (4) is fixed in contact,
When the heat generation amount of the electronic component (4) attached to the first mounting surface (5a) is larger than that of the second mounting surface (5b),
Or when the first heating surface (5a) is located downstream of the coolant (3) and the second mounting surface (5b) is located upstream of the same calorific value,
A liquid-cooled heat sink configured such that the heat transfer property of the inner fin (2a) immediately below the first mounting surface (5a) is greater than that of the inner fin (2b) of the second mounting surface (5b).
請求項1において、
前記インナーフィン(2)全体が波形に曲折したコルゲートタイプのものであって、
前記第1の取付面(5a)の直下のインナーフィン(2a)の伝熱面積が、第2の取付面(5b)の直下の前記フィン(2b)のそれに比べて大となるように、下記のいずれか一以上の構成を有する液冷ヒートシンク。
フィンピッチが小さい、フィンの振幅が大きい、フィンの板厚が厚い、フィンにルーバが設けられている、フィン材料の熱伝導率が高い、他の部分にはフィンが存在しない。
In claim 1,
The inner fin (2) is a corrugated type that is bent into a waveform,
The heat transfer area of the inner fin (2a) immediately below the first mounting surface (5a) is larger than that of the fin (2b) directly below the second mounting surface (5b) as follows. A liquid-cooled heat sink having one or more of the configurations.
The fin pitch is small, the fin amplitude is large, the fin plate thickness is thick, the fin is provided with a louver, the heat conductivity of the fin material is high, and there are no fins in other portions.
請求項1において、
前記インナーフィン(2)は、両側に側枠部(7)を有し、その側枠部(7)間を傾斜した多数の互いに離間した傾斜骨(8)または波形に曲折された波骨(6)からなる骨部で連結され、それらが面一に配置された少なくとも一対存在し、それらが厚み方向に積層されて、その隣り合うインナーフィン(2)の前記骨部が互いに交差するように構成したヘリボーンタイプのものであり、
前記第1の取付面(5a)の直下の前記骨部の伝熱面積が、第2の取付面(5b)の直下の前記骨部のそれに比べて大となるように、下記のいずれか一以上の構成を有する液冷ヒートシンク。
傾斜骨または波骨のピッチが小さい、傾斜骨または波骨の幅が広い、傾斜骨または波骨の熱伝達率が高い、段数が多い、他の部分には傾斜骨または波骨が存在しない。
In claim 1,
The inner fin (2) has side frame parts (7) on both sides, and a plurality of spaced apart inclined bones (8) inclined between the side frame parts (7) or corrugated bones ( 6) are connected by a bone part, and there is at least a pair of them arranged in a plane, and they are stacked in the thickness direction so that the bone parts of the adjacent inner fins (2) intersect each other. It is of the configured helibone type,
One of the following, so that the heat transfer area of the bone part immediately below the first attachment surface (5a) is larger than that of the bone part immediately below the second attachment surface (5b). A liquid-cooled heat sink having the above configuration.
The pitch of the tilted bone or wave bone is small, the width of the tilted bone or wave bone is wide, the heat transfer rate of the tilted bone or wave bone is high, the number of steps is high, and there is no tilted bone or wave bone in other parts.
請求項1〜請求項3のいずれかにおいて、
ヒートシンク本体(1)の冷却液(3)の流通方向の上流端部と下流端部とに一対の前記取付面(5a)(5b)が存在し、中間部に取付面が存在しない構成において、
各取付面(5a)(5b)直下の前記フィンの伝熱面積が中間部の直下のそれに比べて大となるように、下記のいずれかの条件とする液冷ヒートシンク。
前記コルゲートフィンタイプの場合
フィンピッチが小さい、フィンの振幅が大きい、フィンの板厚が厚い、フィンにルーバが設けられている、フィン材料の熱伝導率が高い、中間部の直下部分にはフィンが存在しない。
前記ヘリボーンタイプのインナーフィンの場合
前記各取付面(5a)(5b)の直下の前記骨部 は、中間部直下の前記骨部 に比べて、下記のいずれか一以上の構成を有するもの。
傾斜骨または波骨のピッチが小さい、傾斜骨または波骨の幅が広い、傾斜骨または波骨の熱伝達率が高い、段数が多い、他の部分には傾斜骨または波骨が存在しない。
In any one of Claims 1-3,
In the configuration in which there is a pair of mounting surfaces (5a) and (5b) at the upstream end and the downstream end in the flow direction of the coolant (3) of the heat sink body (1), and there is no mounting surface at the intermediate portion.
A liquid-cooled heat sink having any of the following conditions so that the heat transfer area of the fins directly below each mounting surface (5a) and (5b) is larger than that directly below the intermediate portion.
For the corrugated fin type
The fin pitch is small, the fin amplitude is large, the fin plate is thick, the fin is provided with a louver, the heat conductivity of the fin material is high, and no fin exists in the portion directly below the intermediate portion.
In the case of the above-mentioned helicone type inner fin
The bone part immediately below the attachment surfaces (5a) and (5b) has one or more of the following configurations as compared to the bone part directly below the intermediate part.
The pitch of the tilted bone or wave bone is small, the width of the tilted bone or wave bone is wide, the heat transfer rate of the tilted bone or wave bone is high, the number of steps is high, and there is no tilted bone or wave bone in other parts.
請求項3において、
前記インナーフィン(2)は、両側枠部(7)間でその側枠部(7)の方向に設けた仕切部(9) を有し、その仕切部(9)と両側枠部(7)間が多数の前記骨部で連結された少なくも一対有し、それらが厚み方向に積層されて、その隣り合う前記インナーフィン(2)は、前記骨部が平面的に互いに交差すると共に、前記側枠部(7)および仕切部(9)が整合して積層され、その積層体の外周が一対のプレートまたは偏平チューブからなるヒートシンク本体で閉塞され、
前記仕切部(9) の両側に第1流通部(10)と第2流通部(11)とを有すると共に、両流通部(10)(11)の両端に入口側マニホールド部(12)と出口側マニホールド部(13)とを有し、その入口側マニホールド(12)で前記冷却液(3)が第1流通部(10)と第2流通部(11)とに分流して導かれると共に、出口側マニホールド部(13)でそれが合流するように構成され、
その入口側マニホールド部(12)で仕切部(9)の端またはその近傍に流路縮小手段(14)を設けて、第2流通部(11)への冷却液(3)の流通を制限した液冷ヒートシンク。
In claim 3,
The inner fin (2) has a partition part (9) provided in the direction of the side frame part (7) between the side frame parts (7), and the partition part (9) and both side frame parts (7) There are at least one pair connected by a large number of the bone parts, and they are stacked in the thickness direction, and the adjacent inner fins (2) have the bone parts intersecting each other in a plane, and The side frame part (7) and the partition part (9) are laminated in alignment, and the outer periphery of the laminated body is closed with a heat sink body composed of a pair of plates or flat tubes,
The partition portion (9) has a first flow portion (10) and a second flow portion (11) on both sides of the partition portion (9), and an inlet side manifold portion (12) and an outlet at both ends of the flow portions (10) and (11). A side manifold portion (13), and at the inlet side manifold (12), the coolant (3) is divided and guided to the first flow portion (10) and the second flow portion (11), It is configured so that it merges at the outlet side manifold part (13),
The inlet side manifold section (12) is provided with a flow path reducing means (14) at or near the end of the partition section (9) to restrict the flow of the coolant (3) to the second circulation section (11). Liquid-cooled heat sink.
請求項3において、
少なくとも3枚の前記インナーフィン(2)は、それぞれ両側枠部(7)間でその一方の側枠部(7)側に第1の前記骨部を有し、他方側に第2の骨部を有し、
それらが厚み方向に積層されて、そのうち二枚の隣り合う前記インナーフィン(2)は、第1の骨部の傾斜骨(8a)または波骨が平面的に互いに重なり合い、第2の骨部の傾斜骨(8b)または波骨が互いに交差すると共に、前記側枠部(7)および仕切部(9)が整合して積層され、
少なくとも残りの一枚のインナーフィン(2) とそれに隣接するインナーフィン(2) は、第1の骨部の傾斜骨(8a)または波骨および、第2の骨部の傾斜骨(8b)または波骨がそれぞれ互いに交差すると共に、前記側枠部(7)および仕切部(9)が整合して積層され、
その積層体の外周が一対のプレートまたは偏平チューブからなるヒートシンク本体で閉塞され、
前記第1の骨部側に第1流通部(10)が設けられ、第2の骨部側に第2流通部(11)が設けられると共に、両流通部(10)(11)の両端に入口側マニホールド部(12)と出口側マニホールド部(13)とを有し、その入口側マニホールド(12)で前記冷却液(3)が第1流通部(10)と第2流通部(11)とに分流して導かれると共に、出口側マニホールド部(13)でそれが合流するように構成された液冷ヒートシンク。
In claim 3,
At least three of the inner fins (2) each have a first bone part on one side frame part (7) side between both side frame parts (7), and a second bone part on the other side. Have
The two adjacent inner fins (2) are laminated in the thickness direction, and the inclined bone (8a) or wave bone of the first bone portion overlaps each other in a plane so that the second bone portion The inclined bone (8b) or the corrugated bone intersect each other, and the side frame portion (7) and the partition portion (9) are aligned and laminated,
The at least one remaining inner fin (2) and the adjacent inner fin (2) include the inclined bone (8a) or wave bone of the first bone portion and the inclined bone (8b) or second bone portion. Waves intersect each other, and the side frame portion (7) and the partition portion (9) are aligned and laminated,
The outer periphery of the laminate is closed with a heat sink body consisting of a pair of plates or flat tubes,
A first flow portion (10) is provided on the first bone portion side, a second flow portion (11) is provided on the second bone portion side, and both flow portions (10) and (11) are provided at both ends. An inlet side manifold portion (12) and an outlet side manifold portion (13) are provided, and the coolant (3) is supplied to the inlet side manifold (12) from the first flow portion (10) and the second flow portion (11). And a liquid-cooled heat sink configured to be guided at the outlet and to join at the outlet side manifold section (13).
請求項3において、
前記インナーフィン(2)は、両側枠部(7)間でその側枠部(7)の方向に設けた仕切部(9) を有し、その仕切部(9)と両側枠部(7)間が前記骨部で連結された少なくも一対有し、それらが厚み方向に積層されて、その隣り合う前記インナーフィン(2)は、前記骨部が平面的に互いに交差し、その積層体の外周が一対のプレートまたは偏平チューブからなるヒートシンク本体で閉塞され、
前記仕切部の両側に第1流通部(10)と第2流通部(11)とを有し、
前記仕切部(9) の両側に第1流通部(10)と第2流通部(11)とを有すると共に、両流通部(10)(11)の両端に入口側マニホールド部(12)と出口側マニホールド部(13)とを有し、その入口側マニホールド(12)で前記冷却液(3)が第1流通部(10)と第2流通部(11)とに分流して導かれると共に、出口側マニホールド部(13)でそれが合流するように構成され、
その仕切部(9)の幅および/または前記側枠(7) の幅が増幅されて、第1流通部(10)と第2流通部(11)の一部に流路断面を縮小する流速増速部(22)が設けられ、その流速増速部(22)の直上に電子部品の取付面(5)が配置される液冷ヒートシンク。
In claim 3,
The inner fin (2) has a partition part (9) provided in the direction of the side frame part (7) between the side frame parts (7), and the partition part (9) and both side frame parts (7) There are at least one pair connected between the bone parts, and they are laminated in the thickness direction, and the adjacent inner fins (2) are such that the bone parts intersect each other in a plane, The outer periphery is closed by a heat sink body consisting of a pair of plates or flat tubes,
A first circulation part (10) and a second circulation part (11) on both sides of the partition part;
The partition portion (9) has a first flow portion (10) and a second flow portion (11) on both sides of the partition portion (9), and an inlet side manifold portion (12) and an outlet at both ends of the flow portions (10) and (11). A side manifold portion (13), and at the inlet side manifold (12), the coolant (3) is divided and guided to the first flow portion (10) and the second flow portion (11), It is configured so that it merges at the outlet side manifold part (13),
The flow velocity at which the width of the partitioning portion (9) and / or the width of the side frame (7) is amplified to reduce the cross section of the flow path to a part of the first flow portion (10) and the second flow portion (11). A liquid-cooled heat sink in which a speed increasing portion (22) is provided, and a mounting surface (5) for an electronic component is disposed immediately above the speed increasing portion (22).
偏平なヒートシンク本体(1)の内部にインナーフィン(2)が介装され、内部に冷却液(3) が流通すると共に、ヒートシンク本体(1)の平坦な外表面の一部に複数の電子部品(4)が接触固定される複数の取付面を有する液冷ヒートシンクの製造方法において、
それぞれの取付面(5)に電子部品(4)を取付て、前記冷却液(3)を流通させたとき、最も温度が高くなる電子部品(4)の直下の前記インナーフィンの伝熱部の熱交換量を他の電子部品(4)の直下のそれより大になるように、伝熱面積を大としまたは、冷却液の流量を大とするように調整したことを特徴とする液冷ヒートシンクの設計方法。
An inner fin (2) is interposed inside the flat heat sink body (1), the coolant (3) circulates inside, and a plurality of electronic components are formed on a part of the flat outer surface of the heat sink body (1). In the manufacturing method of the liquid cooling heat sink having a plurality of mounting surfaces to which (4) is contact-fixed,
When the electronic component (4) is attached to each mounting surface (5) and the coolant (3) is circulated, the heat transfer portion of the inner fin immediately below the electronic component (4) that has the highest temperature. A liquid-cooled heat sink characterized by adjusting the heat transfer area to be large or the flow rate of the coolant to be large so that the heat exchange amount is larger than that directly below other electronic components (4) Design method.
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