JP2008091597A - Clamp mechanism - Google Patents

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JP2008091597A
JP2008091597A JP2006270330A JP2006270330A JP2008091597A JP 2008091597 A JP2008091597 A JP 2008091597A JP 2006270330 A JP2006270330 A JP 2006270330A JP 2006270330 A JP2006270330 A JP 2006270330A JP 2008091597 A JP2008091597 A JP 2008091597A
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Inventor
Mitsuo Natsume
光夫 夏目
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Shinko Electric Co Ltd
神鋼電機株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a clamp mechanism by which the space under a placement table can be effectively utilized.
SOLUTION: A carrier base 3 is placed so that it can move with respect to the top of a FOUP opener body 50b. A clamp base 4 is placed so that it can move with respect to the top of a carrier base 3. A clamp lever 5a is supported so that it can rotate on the top of the clamp base 4 via an axis 5c of rotation. A nail part 5b for clamping is protruded from the clamp lever 5a in undocking direction. The clamp base 4 is forced in the undocking direction with respect to the carrier base 3. The clamp lever 5a is forced so that the nail part 5b for clamping may be displaced downward. The carrier base 3 and a FOUP 2 move together. The FOUP 2 is fixed to the placement table 51 by pressing a part 2c to be clamped from above downward by the nail 5b for clamping which is put in a concave portion 2h for clamping.
COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、ウエハを収容するFOUPを載置台に固定するためのクランプ機構に関する。 The present invention relates to a clamping mechanism for fixing the mounting table FOUP accommodating wafers.

クリーンルームにおいて、電子デバイス用のウエハを収容して搬送したり、保管したりするためにFOUP(Front Open Unified Pod)が用いられる。 In a clean room, or conveyed to accommodate wafers for electronic devices, FOUP (Front Open Unified Pod) is used to or store. FOUPの内部を半導体製造装置の内部と連通させるため、FOUPは、FOUPオープナ(又はロードポート)と呼ばれるインターフェース機構に固定される。 Order to communicate with the interior of the semiconductor manufacturing device inside the FOUP, FOUP is fixed to the interface mechanism called FOUP opener (or load port). そして、FOUPオープナにおいて、半導体製造装置内部への連通口を遮蔽するポートドアにFOUPをドッキングさせ、FOUPの内部と半導体製造装置の内部とを密閉連通させて、FOUP及び半導体製造装置内部を高クリーン度とし、その外側を低クリーン度とすることで、クリーンルーム建設・運転コストが抑制されるとされている。 Then, the FOUP opener, to dock the FOUP to the port door to shield the communication port to the interior semiconductor manufacturing device, and the inside of the inside and the semiconductor manufacturing apparatus of the FOUP by through sealed communication with highly purified internal FOUP and the semiconductor manufacturing device and degrees, by the outer low cleanliness, clean room construction and operation costs are to be suppressed.

FOUPオープナにおいては、半導体内部への異物微粒子の混合防止のため、FOUPが設置・固定されている載置台がアンドック位置からドック位置へと移動することにより、FOUPとポートドアとが密閉状態でドッキングする。 In FOUP opener, for preventing mixing of foreign matter particles into the semiconductor inside, by the mounting table FOUP is placed and fixed moves to the docked position from the undocked position, docking the FOUP and the port door in a closed state to. そして、ウエハの出し入れを行なうために、FOUPの蓋部及びポートドアの開閉が行なわれる。 Then, in order to perform the loading and unloading of the wafer, the opening and closing of the lid portion and the port door of the FOUP is performed. この際、FOUPと半導体製造装置との密閉状態を保つことができる程度の固定力により、FOUPをFOUPオープナの載置台上に固定しておく必要がある。 At this time, the fixing force of a degree that can keep the sealing state between the FOUP and the semiconductor manufacturing device, it is necessary to fix the FOUP onto the mounting base of the FOUP opener. このようなFOUPの固定に関しては、SEMI(Semiconductor Equipment and Materials International)の規格において、FOUPオープナにFOUPクランプ機構を設けることについて定められており、さらに、FOUP底部のクランプ用凹部の形状、当該クランプ機構に求められるクランプ力、等も規定されている。 For the fixing of such FOUP, SEMI in (Semiconductor Equipment and Materials International) standard, has been established for the provision of the FOUP clamping mechanism FOUP opener, Furthermore, the shape of the clamping recess of the FOUP bottom, the clamping mechanism clamping force required for, etc. have also been defined. そして、そのような規格に準じたクランプ機構の例として、特許文献1乃至3に開示されているような技術が知られている。 Then, as an example of a clamping mechanism in accordance with such standards, there is known a technique as disclosed in Patent Documents 1 to 3. 特許文献1、2の技術においては、FOUP底部のクランプ用凹部にクランプ用の爪部を引っ掛け、この爪部を下降させることで、爪部をFOUPオープナの載置台に押し付けてFOUPを固定している。 In the technique of Patent Document 1 and 2, hooking the claw portion of the clamp to the clamp recess of the FOUP bottom, the claw portion by lowering the, to secure the FOUP by pressing the claw portion to the mounting table of the FOUP opener there.

また、特許文献3には、載置台(接続プレート及び容器搭載片)に切欠きが形成され、当該切欠きの中に、FOUPが搭載される搭載板が上端に設けられた、回転・昇降可能な筒状部が配置されており、載置台の下方に設けられた支持片内部に、筒状部を駆動させるモータが設けられ、FOUPの設置方向の調整が可能なFOUPオープナが記載されている。 Further, Patent Document 3, the mounting table is a notch formed in the (connecting plates and containers mounted pieces), in the notches, FOUP is mounted board to be mounted is provided at the upper end, the rotation-liftable a cylindrical portion is disposed, inside the supporting piece provided below the mounting table, the motor is provided for driving the cylindrical portion, are described FOUP opener capable installation direction of the adjustment of the FOUP . このような構成により、大掛かりなFOUPのハンドリング用のハンドを設けることなく、FOUPの設置方向を調整して、FOUPの取出口(蓋部)を半導体製造装置へ正対させることができる。 With such a configuration, without providing a large-scale FOUP hand for handling, by adjusting the installation direction of the FOUP, thereby confronting the FOUP outlet (the lid) to the semiconductor manufacturing device.
特開2003−297903号公報 JP 2003-297903 JP 特開2005−129706号公報 JP 2005-129706 JP 特開2004−140011号公報 JP 2004-140011 JP

FOUPオープナが設置されるクリーンルームにおいては、活用できる空間は貴重で、少しでも広い方が良いため、載置台の下方スペースについても有効活用できることが望ましい。 In the clean room where the FOUP opener is placed, a space can be utilized is a valuable, since it is the wider even a little, it is desirable to be able to be effectively used for the space below the mounting table. 上記の特許文献1、2に開示されているクランプ機構は、クランプ用の爪部を駆動させるために、エアシリンダやモータ等のアクチュエータを含んで構成されている。 Clamping mechanism disclosed in Patent Documents 1 and 2 described above, to drive the pawl portion of the clamping is configured to include an actuator such as an air cylinder or a motor. そして、そのようなアクチュエータは、FOUPを固定する載置台の下方スペースに設置されている。 Then, such actuators are installed in a space below the mounting base for fixing the FOUP. そのため、載置台の下方スペースがそれらのアクチュエータ等により占有されてしまい、載置台の下方スペースを有効活用できない。 Therefore, the lower space of the mounting table will be occupied by their actuators can not effectively utilize the space below the mounting table.

また、このように、特許文献1、2に記載されているクランプ機構は、載置台の下方スペースを占有するものであるため、載置台の下方に上記の筒状部やモータを設置できず、特許文献3のような技術には適用できない。 Moreover, in this way, the clamping mechanism described in Patent Documents 1 and 2, because it is intended to occupy the space below the mounting table can not be placed above the cylindrical portion and the motor below the table, It can not be applied to technologies such as Patent Document 3.

一方で、特許文献1、2に記載されているようなクランプ機構は、エアシリンダやモータ等といった複雑な機構を有するアクチュエータを有しているため、その製造及び維持のためのコストが高くなってしまう。 On the other hand, the clamping mechanism as described in Patent Documents 1 and 2, since it has an actuator having a complicated mechanism such as an air cylinder or a motor or the like, is high cost for its manufacture and maintenance put away.

さらに、特許文献1、2に記載されているクランプ機構を用いる場合、FOUPをポートドアにドッキングさせるには、FOUPを載置台に設置したあと、(1)クランプ動作(2)ドッキング動作という二段階の動作を要し、当該二段階分のサイクルタイムが必要となる。 Furthermore, when using the clamping mechanism described in Patent Documents 1 and 2, in order to dock the FOUP to the port door, then after installing the mounting table FOUP, (1) the clamping operation (2) two of the docking operation stage requires operation, the cycle time of the two-stage content would be required.

そこで、本発明の目的は、載置台の下方スペースを有効活用できるクランプ機構を提供することである。 An object of the present invention is to provide a clamping mechanism which can effectively utilize the space below the mounting table.

また、本発明の他の目的は、単純な機構を採用することにより、製造・維持のためのコストが低いクランプ機構を提供することである。 Another object of the present invention, by employing a simple mechanism is that the cost for manufacturing and maintenance to provide a low clamping mechanism.

さらに、本発明の他の目的は、ドッキング動作の中でクランプを行なうことにより、サイクルタイムが短いクランプ機構を提供することである。 Furthermore, another object of the present invention, by performing clamping in a docking operation, is that the cycle time to provide a short clamping mechanism.

課題を解決するための手段及び効果 Means and effects for Solving the Problems

上記の目的を達成するために、本発明のクランプ機構は、複数のウエハを収容可能なFOUPを載置台に固定し、基板処理装置の内部への連通口を開閉するポートドアに対して当該固定されたFOUPをドッキングさせて、前記FOUPの内部と、前記基板処理装置の内部と、を密閉連通させるFOUPオープナにおける、前記FOUPを前記載置台に固定するためのクランプ機構であって、FOUPオープナ本体部の上部に対して、前記ドッキングの方向であるドック方向及び当該ドック方向とは逆のアンドック方向へ移動可能に設置されている板状の第1載置台と、前記第1載置台の上部に対して前記ドック方向及び前記アンドック方向へ移動可能に設置されている板状の第2載置台と、水平方向に延在し且つ前記ドック方向及び前記ア To achieve the above object, the clamping mechanism of the present invention, the fixed relative to the port door is fixed a plurality of wafer mounting table can accommodate FOUP, to open and close the communication port to the interior of the substrate processing apparatus by docking FOUP which is, with the interior of the FOUP, the the inside of the substrate processing apparatus, the FOUP opener to communicate sealed communication with, a clamping mechanism for fixing the FOUP to the mounting table, the FOUP opener body relative to the upper parts, a first table plate of which is installed to be movable in the opposite undocking direction to the dock direction and the dock direction in the docked, the top of the first table the dock direction and the second table plate of the undocking is movably installed in the direction, it extends in the horizontal direction and the dock direction and the a for ドック方向に直交する回転軸を介して、前記第2載置台の上部において回動可能に支持されたクランプレバーと、前記クランプレバーから前記アンドック方向へ突出形成されたクランプ用爪部と、前記第2載置台を前記第1載置台に対して前記アンドック方向へ付勢する第1付勢手段と、前記クランプ用爪部が下方向へ変位するように前記クランプレバーを付勢する第2付勢手段と、を有している。 Through an axis of rotation perpendicular to the dock direction, and the clamp lever at the top of the second table is rotatably supported, and the clamping claws from the clamp lever is protruded to the undocking direction, the first a first biasing means for biasing the second loading stage to the undocking direction with respect to the first mounting base, second urging said clamping claws for biasing the clamping lever so as to be displaced downward It has a means, a. そして、前記FOUPの底部には位置決め用凹部が形成され、前記第1載置台には当該位置決め用凹部と係合する位置決め用凸部が形成されており、前記位置決め用凹部及び前記位置決め用凸部が係合することで前記第1載置台及び前記FOUPが一体となって移動し、前記クランプ用爪部が、前記FOUPの底部に形成されたクランプ用凹部に収容され、前記第2載置台が前記第1載置台に対して前記アンドック方向に移動し、前記クランプ用爪部が、前記クランプ用凹部の前記アンドック方向側の内壁面から前記ドック方向へ向かって突出形成された被クランプ部を上方から下方へ向けて押圧することにより、前記FOUPが前記載置台に固定される。 Then, the the bottom of the FOUP is formed positioning recess, said the first table are positioning protrusion to be engaged with the positioning recess is formed, and the positioning recess and the positioning projection There move the first table and the FOUP by engagement together, the clamping claws, the housed on the bottom clamp recess formed in the portion of FOUP, the second mounting base the first placement moves to the undocking direction relative table, the clamping claw, upward clamped portion which is protruded from the inner wall surface of the undocking direction side of the clamp recess toward the dock direction by pressing downwardly from the FOUP it is fixed to the mounting table.

この構成によると、載置台(第1載置台及び第2載置台)の下方に、エアシリンダやモータ等のアクチュエータを設置することなく、FOUPのクランプが可能であるため、載置台の下方スペースが占有されない。 According to this configuration, below the mounting table (first table and a second table), without installing an actuator such as an air cylinder or a motor, since it is possible to clamp the FOUP, the lower space of the mounting table not occupied. そのため、載置台の下方スペースを有効活用できる。 Therefore, it is possible to effectively utilize the space below the mounting table. また、エアシリンダやモータ等の複雑な機構のアクチュエータを使用せず、付勢されたクランプ用爪部により被クランプ部を押圧するという単純な機構を採用することにより、製造・維持のためのコストが低いクランプ機構が得られる。 Moreover, by employing a simple mechanism that presses the clamp portion without the actuator of complex mechanisms such as an air cylinder or a motor, by biased clamping claw portion, the cost for manufacturing and maintenance lower clamp mechanism can be obtained. また、ドッキング動作の中でクランプを行なうことにより、サイクルタイムが短いクランプ機構が得られる。 Further, by performing clamping in docking operations, the cycle time is short clamping mechanism is obtained.

前記第1付勢手段は、前記第2載置台と前記第1載置台とを接続する弾性部材であってもよい。 It said first biasing means may be an elastic member that connects the second table and the first table. これによると、簡易な構成により、第2載置台を付勢することができる。 According to this, with a simple configuration, it is possible to urge the second table. ここで、弾性部材とは、伸縮可能で且つ高弾性である部材のことであり、具体的には、金属ばね(コイルスプリング等)、樹脂ばね、ゴム等が該当する。 Here, the elastic member is that the stretchable in and highly elastic member, specifically, a metal spring (coil spring, etc.), a resin spring, rubber or the like.

前記FOUPオープナ本体部に固定された状態で設けられ、且つ、前記第2載置台の前記アンドック方向への移動を制限するストッパをさらに有していてもよい。 The FOUP opener is provided in the state of being fixed to the main body, and the movement may further have a stop for limiting the to the undocking direction of the second table. これによると、FOUPを上方から下降させてセットする時に、クランプ用爪部を、クランプ用凹部に確実に収容可能な位置に配置できる。 According to this, when setting lowers the FOUP from above, the clamping claw portion can be located reliably accommodate possible positions the clamping recess.

前記第1載置台に設けられた第1当接部と、前記第2載置台に設けられ且つ前記第1当接部よりも前記アンドック方向側に配置された第2当接部と、をさらに有し、前記第1載置台及び前記FOUPが前記ドック方向へ移動するときに、前記第1当接部が前記第2当接部を押圧することで、前記第1載置台、前記FOUP及び前記第2載置台が一体となって移動してもよい。 A first abutting portion provided on the first mounting base, and a second contact portion disposed in the undocking direction than and the first contact portion provided on the second table, a further has, when the first mounting table and the FOUP is moved to the dock direction, by the first contact portion presses the second contact portion, the first table, the FOUP and the the second table may move together. これによると、第1載置台、FOUP及び第2載置台が一体として移動する時に、第2載置台が安定して押圧される。 According to this, the first table, when the FOUP and the second table is moved integrally, the second table is pressed stably. また、クランプレバーへ負荷をかけることなく、第2載置台が押圧される。 Further, without imposing a load on the clamp lever, the second table is pressed.

前記第2付勢手段は、前記第2載置台の上部に設置された弾性部材であり、前記クランプレバーからは、前記ドック方向へ付勢用凸部が突出形成されており、前記付勢用凸部と前記第2載置台との間に挟まれた当該弾性部材が、下方から上方へ向けて前記付勢用凸部を押圧してもよい。 Said second biasing means, said a second mounting elastic member installed on top of table, from said clamping lever, the biasing projections with is formed to project to the dock direction, for the energizing said resilient member sandwiched between said convex portion and the second mounting table may be pressing the urging projecting portion toward the bottom to the top. これによると、簡易な構成により、クランプレバーを付勢することができる。 Accordingly, it is possible to urge a simple configuration, the clamp lever. ここで、弾性部材とは、伸縮可能で且つ高弾性である部材のことであり、具体的には、金属ばね(コイルスプリング等)、樹脂ばね等が該当する。 Here, the elastic member is that the stretchable in and highly elastic member, specifically, a metal spring (coil spring, etc.), a resin spring or the like.

前記第2載置台には、前記付勢用凸部の上方向への変位量を規制する規制部がさらに設けられていてもよい。 Wherein the second mounting base, regulating portion for regulating the amount of upward displacement of the biasing projection portion may be further provided. これによると、クランプ力を確保し、且つ、クランプレバーの傾きを制限することで、被クランプ部の上にクランプ用爪部が乗り上げられるようにすることができる。 According to this, to ensure the clamping force, and, by limiting the inclination of the clamping lever can be made to clamp pawl on the clamped portion is riding.

水平方向に延在し且つ前記ドック方向及び前記アンドック方向に直交する回転軸を介して、前記クランプ用爪部の先端において回動可能に支持されたローラーをさらに有していてもよい。 Through a rotation axis perpendicular to and the dock direction and the undocking direction extending in the horizontal direction, it may further include a rotatably supported roller at the tip of the clamping claw portion. これによると、クランプ時に、クランプ用爪部が被クランプ部に乗り上げ易く、クランプが容易となる。 According to this, at the time of clamping, the clamping claws easily ride over the clamped portion, it is easy to clamp.

前記第2載置台と前記第1載置台とは、前記ドック方向及び前記アンドック方向に沿って設置されたリニアモーションガイドを介して接続されていてもよい。 Wherein the second table and the first table, or it may be connected via the dock direction and linear motion guides disposed along the undocking direction. これによると、簡易な構成により、第2載置台を、第1載置台の上部に対してドック方向及びアンドック方向へ移動可能に設置することができる。 According to this, with a simple configuration, the second table can be installed to be movable in the dock direction and undocking direction with respect to the upper of the first table.

以下、本発明の好適な実施形態について、図面を参照しつつ説明する。 Preferred embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

まず、図1及び図2を用いて、本発明の一実施形態に係るクランプ機構を含むFOUPオープナの全体構成について説明する。 First, with reference to FIGS. 1 and 2, a description will be given of the overall structure of the FOUP opener comprising a clamping mechanism according to an embodiment of the present invention. 図1、2は、本発明の一実施形態に係るFOUPオープナの側面概略図であり、図2は、図1のA−A'矢視上面概略図である。 Figure 2 is a side schematic view of a FOUP opener according to an embodiment of the present invention, FIG 2 is an A-A 'arrow top schematic view of FIG.

(FOUPオープナ) (FOUP opener)
本実施形態に係るFOUPオープナ50は、図1に示すようなものであり、FOUP(Front Open Unified Pod)2の内部と、半導体製造装置(基板処理装置)の内部とを連通させるために、FOUP2が固定されるインターフェース機構である。 FOUP opener 50 of this embodiment is such as shown in FIG. 1, the interior of the FOUP (Front Open Unified Pod) 2, and therein for communicating the semiconductor manufacturing apparatus (substrate processing apparatus), FOUP 2 There is an interface mechanism is fixed. また、FOUPオープナ50はクリーンルームに設置されている。 Further, FOUP opener 50 is installed in a clean room.

FOUPオープナ50においては、FOUPオープナ本体部50b上に載置台51が設置されており、載置台51上に、複数のウエハ9を収容可能なFOUP2が固定設置される。 In FOUP opener 50 is installed table 51 mounting on the FOUP opener main body 50b, on the mounting table 51, which can accommodate a plurality of wafers 9 FOUP 2 is fixedly installed. この際、FOUP2は、クランプ機構1の作用により載置台51へ固定される。 In this case, FOUP 2 is fixed to the mounting base 51 by the action of the clamping mechanism 1. また、FOUPオープナ50は、半導体製造装置側に設けられている壁部50cを含み、壁部50cには、半導体製造装置に連通して連通口50hが形成され、連通口50hを遮蔽するようにポートドア50dが設けられている。 Further, FOUP opener 50 includes a wall portion 50c provided in the semiconductor manufacturing apparatus, the wall portion 50c, the communication port 50h communicates is formed in the semiconductor manufacturing device, so as to shield the communication port 50h port door 50d is provided. 載置台51は、FOUP2が設置された状態で、FOUP2とポートドア50dとがドッキングする方向(ドック方向)、及び、それとは逆の方向(アンドック方向)へ移動可能となるように、FOUPオープナ本体部50bに対して設置されている。 Mounting base 51, with the FOUP 2 is installed, FOUP 2 and the port door 50d and the direction of docking (docked direction), and, to be movable in the opposite direction (undocking direction) from that, FOUP opener main body It is placed against the part 50b. ここで、載置台51は、後述するキャリアベース(第1載置台)及びクランプベース(第2載置台)を含んで構成されている。 Here, the mounting table 51 is configured to include a later-described carrier base (first table) and the clamping base (second table). また、本実施形態に係るクランプ機構1は、後述するように載置台51を含んで構成されている。 Further, the clamp mechanism 1 according to this embodiment is configured to include a table 51 as will be described later. そして、FOUPオープナ50は、ポートドア50dに対してFOUP2をドッキングさせ、その後、ポートドア50d及びFOUP2の蓋部2d(後述)を開放することで、FOUP2の内部と半導体製造装置の内部とを密閉連通させる。 Then, FOUP opener 50, FOUP 2 is docked to the port door 50d, then, by opening the port door 50d and FOUP 2 of the lid portion 2d (described later), sealing the interior of the inner and the semiconductor manufacturing apparatus FOUP 2 to communicate.

(FOUP) (FOUP)
次に、図1及び図2を用いてFOUP2の構成について説明する。 Next, description will be given of a configuration of FOUP2 with reference to FIGS. FOUP2は、電子デバイス用のウエハ9を収容して搬送したり、保管したりするためのものであり、筐体2bと、筐体2bに対して開閉可能な蓋部2dとを含んで構成される。 FOUP2 is or conveyed accommodates wafer 9 for electronic devices is for or store, and the housing 2b, is constituted and a openable lid portion 2d with respect to the housing 2b that. ここで、FOUP2は種々の基板の搬送・保管に適用できる。 Here, FOUP 2 is applicable to the transport and storage of various substrates. そして、筐体2bに蓋部2dが装着された状態では、FOUP2内部への異物微粒子の侵入、化学的な汚染が防止されるようになっている。 In a state where the lid portion 2d in the housing 2b is attached, so that the entry of foreign matter particles to the interior FOUP 2, chemical pollution is prevented. また、筐体2bの頂上部には、搬送用ロボット等がFOUP2を搬送するときに把持するための把持部2zが設けられている。 Further, the top portion of the housing 2b, the grip portion 2z for gripping when such transfer robot transports the FOUP2 is provided. さらに、図2に示すように、FOUP2の底部には、後述する位置決め用凹部2aが三箇所に形成されている。 Furthermore, as shown in FIG. 2, the bottom of the FOUP 2, positioning recess 2a to be described later is formed in three locations. なお、図2は上面図であり、本来位置決め用凹部2aは、FOUP2の底部にあるため、隠れて見えない位置にあるが、図2では説明のために図示している。 Note that FIG. 2 is a top view, originally positioning recess 2a, since the bottom of the FOUP 2, but in a position not visible, are shown for illustration in FIG. さらに、FOUP2の底部には、図1に破線で示しているように、クランプ用凹部2hが設けられている。 Furthermore, the bottom of the FOUP 2, as indicated by broken lines in FIG. 1, the clamping recess 2h is provided. また、図2のB−B'位置における断面概略図(断面を示す斜線は省略)である図5に示すように、クランプ用凹部2hの、アンドック方向側(図の矢印参照)の内壁面2wからドック方向へ向かって、被クランプ部2cが突出形成されている。 Further, as shown in FIG. 5 (hatched omitted showing the cross-section) is a cross-sectional schematic view of B-B 'position of Fig. 2, the clamping recess 2h, the inner wall surface 2w undocking direction (see arrows in FIG.) toward the dock direction from the clamped portion 2c is formed to project.

(クランプ機構) (Clamping mechanism)
次に、図3を参照しながら、クランプ機構1について説明する。 Next, referring to FIG. 3, described clamp mechanism 1. 図3は、図2のB−B'位置における拡大断面概略図(断面を示す斜線は省略)を示している。 Figure 3 is an enlarged cross-sectional schematic view of B-B 'position of Fig. 2 (oblique lines showing the cross section is omitted) shows. また、図3ではFOUP2を省略して示している。 Moreover, it is not shown to FOUP2 in FIG. ここで、クランプ機構1は、載置台51を含み、載置台51は、キャリアベース(第1載置台)3、及び、クランプベース(第2載置台)4を含んで構成されている。 Here, the clamping mechanism 1 comprises a table 51, table 51, the carrier base (first table) 3, and is configured to include a clamp base (second table) 4. 以下、それぞれの詳細な構成について説明する。 The following describes each of the detailed structure.

(キャリアベース) (Carrier-based)
キャリアベース3は板状に形成された部材であり、底部にはリニアモーションガイド3gが設けられている。 The carrier base 3 is a member formed in a plate shape, the bottom linear motion guide 3g is provided. また、FOUPオープナ本体部50bの上部には、ドック方向及びアンドック方向に沿ってレール50rが設置されている。 Further, the upper portion of the FOUP opener main body portion 50b, the rails 50r are installed along the dock direction and undocking direction. そして、リニアモーションガイド3gとレール50rとは係合しており、リニアモーションガイド3gがレール50rに沿って移動する。 Then, the linear motion guide 3g and rails 50r engages, linear motion guide 3g is moved along the rails 50r. 以上により、キャリアベース3は、FOUPオープナ本体部50bの上部に対して、ドック方向及びアンドック方向へ移動可能に設置されていることになる。 By the above, the carrier base 3, so that relative to the upper of the FOUP opener main body portion 50b, is installed to be movable in the dock direction and undocking direction.

また、キャリアベース3の上部には、位置決め用凸部3aが形成されている。 Further, the upper part of the carrier base 3, positioning projections 3a are formed. そして、図5に示すように、FOUP2がキャリアベース3にセットされた状態では、FOUP2の位置決め用凹部2aと位置決め用凸部3aとは係合する。 Then, as shown in FIG. 5, FOUP 2 is in the state of being set on the carrier base 3, engages the positioning projection 3a and the positioning recess 2a of the FOUP 2. また、位置決め用凹部3aは、図3においては一つしか示されていないが、図2に示すように、キャリアベース3の上部において、FOUP2の3つの位置決め用凹部2aと対応する位置に、3つの位置決め用凸部3aが形成されている。 The positioning recess 3a is not only one shown in FIG. 3, as shown in FIG. 2, in the upper part of the carrier base 3, at positions corresponding to the three positioning recesses 2a of the FOUP 2, 3 One of the convex portion 3a is formed for positioning. 本来、上面図である図2において、位置決め用凸部3aは、FOUP2に隠れて見えない位置にあるが、図2では説明のために図示している。 Originally, in FIG. 2 is a top view, the positioning projection 3a is in a position not visible to the FOUP 2, are shown for illustration in FIG. そして、位置決め用凹部2a及び位置決め用凸部3aが係合することで、キャリアベース3及びFOUP2が一体となって移動することになる。 The positioning recess 2a and the positioning convex portion 3a by engaging the carrier base 3 and FOUP2 will move together. すなわち、キャリアベース3がレール50r上を移動すると、キャリアベース3と一緒にFOUP2も移動する。 That is, when the carrier base 3 moves on rails 50r, FOUP 2 is also moved together with the carrier base 3.

また、キャリアベース3の上部には、レール50r上にキャリアベース3が設置された状態において、ドック方向及びアンドック方向に沿ったレール3rが設けられている。 Further, the upper part of the carrier base 3, in a state where the carrier base 3 is placed on the rails 50r, rail 3r is provided along the dock direction and undocking direction.

(クランプベース) (Clamp base)
次に、図3を参照しながら、クランプベース4について説明する。 Next, referring to FIG. 3, described clamping base 4. クランプベース4もまた、板状に形成された部材であり、底部にリニアモーションガイド4gが設けられている。 Clamping base 4 is also a member formed in a plate shape, a linear motion guide 4g is provided in the bottom portion. そして、リニアモーションガイド4gとレール3rとが係合しており、リニアモーションガイド4gがレール3rに沿って移動する。 Then, the linear motion guide 4g and the rail 3r is engaged, the linear motion guide 4g moves along the rail 3r. 以上により、クランプベース4は、キャリアベース3の上部に対して、ドック方向及びアンドック方向へ移動可能に設置されていることになる。 By the above, the clamping base 4, to the upper part of the carrier base 3, so that is installed to be movable in the dock direction and undocking direction. また、このようにリニアモーションガイド4g及びレール3rを用いることで、簡易な構成により、クランプベース4を、キャリアベース3の上部に対してドック方向及びアンドック方向へ移動可能に設置することができる。 Further, thus using the linear motion guide 4g and rail 3r, a simple configuration, the clamping base 4 can be installed to be movable in the dock direction and undocking direction with respect to the upper of the carrier base 3.

また、クランプベース4の上部の支持部4cにおいて、回転軸5cを介して、クランプレバー5aが回動可能に支持されている。 Further, the support portion 4c of the top of the clamping base 4, through the rotation axis 5c, the clamp lever 5a is rotatably supported. ここで、クランプレバー5aの回転軸5cは、水平方向に延在し且つドック方向及びアンドック方向に直交する。 Here, the rotation axis 5c of the clamp lever 5a extends horizontally and perpendicular to the dock direction and undocking direction. すなわち、回転軸5cは、紙面に対して垂直な方向に延在しており、クランプレバー5aは、図3において、右回り及び左回りに回動可能となっている。 That is, the rotation shaft 5c extends in a direction perpendicular to the paper surface, the clamp lever 5a is 3, and can rotate clockwise and counterclockwise. また、クランプレバー5aからは、アンドック方向へクランプ用爪部5bが突出形成されている。 Further, the clamp lever 5a, the clamping claw portions 5b are formed to project undocking direction. また、クランプレバー5aからは、ドック方向へ付勢用凸部5dが突出形成されており、付勢用凸部5dとクランプベース4との間に挟まれた位置には、コイルスプリング(第2付勢手段)5sが設けられている。 Further, the clamp lever 5a, the urging projection 5d to the dock direction is formed to project, the position sandwiched between the biasing projection 5d and the clamp base 4, a coil spring (second It is provided biasing means) 5s. コイルスプリング5sは、図3に示すように、軸方向と上下方向とが一致するように、且つ、短縮した状態でクランプベース4に埋設されており、その伸長する方向への弾性力を用いて、クランプベース4の上方へ突き抜けているその先端部5kに対して、下方から上方へ付勢する力(押圧する力)を付与したものである。 Coil spring 5s, as shown in FIG. 3, as the axial direction and the vertical direction coincides, and are embedded in the clamping base 4 in shortened state, by using an elastic force in the direction of its extension are those for the front end portion 5k which penetrates above the clamping base 4, and applying a force (force of pressing) for urging upward from below. そして、コイルスプリング5sが付勢用凸部5dを、常に下方から上方へ向けて押圧することで、クランプレバー5a及びクランプ用爪部5bが、図3での右回りに付勢されているので、クランプ用爪部5bが下方向へ変位するように、クランプレバー5aが付勢されていることになる。 Then, the convex portion 5d for urging the coil spring 5s, always be pressed toward the bottom to top, the clamp lever 5a and the clamping pawl 5b is because it is biased clockwise in FIG. 3 as clamping claw portions 5b is displaced downward, so that the clamp lever 5a is biased. また、クランプベース4には、規制部4aが、ボルト4tにより固定設置されている。 Further, the clamping base 4, restricting portion 4a is fixed installed with bolts 4t. 規制部4aの先端部分は、付勢用凸部5dに対して上下方向について所定の変位量を許容しつつ、付勢用凸部5dの上方に設けられており、これにより、付勢用凸部5dの上方向への変位量が、すなわちクランプレバー5aの回動可能角度が規制される。 The distal end portion of the regulating unit 4a, while allowing a predetermined displacement of the vertical direction against the bias protrusion 5d, disposed above the biasing protrusion 5d, thereby biasing projection amount of upward displacement of the part 5d, i.e. the rotatable angle of the clamp lever 5a is restricted.

ここで、クランプ用爪部5b及び付勢用凸部5dは、クランプレバー5aから、それぞれアンドック方向及びドック方向へ突出形成されているとしたが、クランプレバー5aは回動可能に支持されているため、ここでは、FOUP2が、クランプ用爪部5bによってクランプされた状態(図6、7参照)において、アンドック方向及びドック方向へ突出形成されているとする。 Here, the clamping claw portion 5b and the bias projection 5d from the clamp lever 5a, was to have been respectively protrude to the undocking direction and dock direction, the clamp lever 5a is rotatably supported Therefore, here, FOUP 2 is in a state of being clamped by the clamping claw portions 5b (see FIGS. 6 and 7), and are protruded to the undocking direction and dock direction. また、クランプレバー5bの回動可能角度、すなわちクランプ用爪部5bの上下揺動可能幅は、コイルスプリング5sが最も短縮した状態における先端部5kの位置、及び、規制部4aの先端部の位置によって規制されるために、その幅は大きくはないので、FOUP2が、クランプ機構1によってクランプされた状態(図6、7)と、FOUP2がクランプされていない状態(図3〜5)との両方において、クランプ用爪部5b及び付勢用凸部5dは、クランプレバー5aから、それぞれ、ほぼアンドック方向、及び、ほぼドック方向へ突出形成された状態であるといえる。 Furthermore, rotatable angle of the clamp lever 5b, i.e. vertically swingable width of the clamping claw portion 5b, the position of the distal end portion 5k in a state where the coil spring 5s is most shortened, and the position of the distal end portion of the restricting portion 4a to be regulated by, since its width is not large, both FOUP2 is, the state of being clamped by the clamp mechanism 1 (Fig. 6,7), a state in which FOUP2 is not clamped (Fig. 3-5) in, the clamping claw portion 5b and the bias projection 5d from the clamp lever 5a, respectively, substantially undocking direction, and can be said to be a state of being formed protrude to substantially the dock direction. 具体的には、FOUP2がクランプされていない状態では、クランプされた状態に比べて、クランプ用爪部5bは、下方へ変位する方向(図3での右回り方向)へ傾いている(図3〜5参照)。 Specifically, in the state where FOUP2 is not clamped, as compared to the clamped state, the clamping claw portions 5b is inclined in the direction of displaced downward (clockwise direction in FIG. 3) (Fig. 3 see 5).

また、クランプベース4には、第2当接部4bが形成されており、キャリアベース3上には、第1当接部3bが設けられている。 Further, the clamping base 4, the second being the contact portion 4b formed, on the carrier base 3 is provided with a first contact portion 3b. 第1当接部3bは、キャリアベース3上に固定設置されたホルダー部3hと、ドック方向及びアンドック方向に沿ってホルダー部3hへ貫通設置されたボルト3tとを含む。 The first contact portion 3b includes a holder portion 3h, which is fixedly mounted on the carrier base 3, a bolt 3t that is through installed to the holder portion 3h along the dock direction and undocking direction. そして、ボルト3hの回転量(挿入量)が調整できるようになっている。 The rotation of the bolt 3h (insertion amount) is adapted to be adjusted. また、第2当接部4bは、第1当接部3bよりもアンドック方向側に配置されている。 The second contact portion 4b is disposed on the undocking direction side than the first contact portion 3b. そして、キャリアベース3及びFOUP2がドック方向へ移動するときに、第1当接部3bが第2当接部4bを押圧することで、キャリアベース3、FOUP2及びクランプベース4が一体となって移動することになる。 When the carrier base 3 and FOUP 2 moves dock direction, that the first contact portion 3b presses the second contact portion 4b, the carrier base 3, FOUP 2 and the clamping base 4 together move It will be. ここで、図3〜5に示すように、FOUP2がクランプ機構1によってクランプされていない状態では、第2当接部4bと、第1当接部3bとは、当接しないように配置されており、図6、7に示すように、FOUP2がクランプ機構1によってクランプされた状態では、第2当接部4bと、第1当接部3bとは、当接するようになる。 Here, as shown in FIGS. 3-5, in the state where FOUP2 is not clamped by the clamp mechanism 1, and a second contact portion 4b, and the first contact portion 3b, it is arranged so as not to abut cage, as shown in FIGS. 6 and 7, in the state where FOUP2 is clamped by the clamp mechanism 1, and a second contact portion 4b, and the first contact portion 3b, so contact. また、第2当接部4bと第1当接部3bとが当接するときの、クランプベース4とキャリアベース3との位置関係は、ボルト3tの挿入量を調整することで調整できる。 Further, when the second contact portion 4b and the first contact portion 3b abuts, the positional relationship between the clamping base 4 and the carrier base 3 can be adjusted by adjusting the amount of insertion of the bolt 3t.

さらに、クランプ用爪部5bの先端において、回転軸5cと平行な方向に延在する回転軸5jを介して、ローラー5eが回動可能に支持されている。 Further, at the tip of the clamping claw portions 5b, via the rotary shaft 5j extending in the rotation axis 5c direction parallel rollers 5e are rotatably supported. そのため、ローラー5eは、図3において、右回り及び左回りに回動可能である。 Therefore, the roller 5e is 3, is rotatable clockwise and counterclockwise.

また、クランプベース4には、接続部4fが、キャリアベース3には接続部3fが設けられており、接続部4fと接続部3fとは、コイルスプリング(第1付勢手段)4sを介して接続されている。 Further, the clamping base 4, the connecting portion 4f is, the carrier base 3 is provided with a connecting portion 3f, and the connecting portion 4f and the connecting portion 3f, via a coil spring (first biasing means) 4s It is connected. すなわち、クランプベース4とキャリアベース3とは、コイルスプリング4sを介して接続されている。 That is, the clamping base 4 and the carrier base 3, and is connected via a coil spring 4s. また、FOUP2がクランプされる前の初期状態において、コイルスプリング4は、伸長した状態で、すなわち、短縮する方向への弾性力を受けている状態でセットされる。 Further, in the initial state before the FOUP2 is clamped, the coil spring 4 is in a stretched state, i.e., is set in a state undergoing an elastic force in a direction to shorten. そのため、クランプベース4は、コイルスプリング4sにより、キャリアベース3に対して(キャリアベース3を基準として見た場合に)アンドック方向へ付勢される。 Therefore, the clamp base 4, by the coil spring 4s, (when viewed as a reference carrier base 3) with respect to the carrier base 3 is urged undocking direction.

また、FOUPオープナ本体部50bの上部には、ストッパ50sが固定された状態で設けられており、クランプベース4には、ストッパ50sと当接するストッパ当接部4mが形成されている。 Further, the upper portion of the FOUP opener main body portion 50b, is provided in a state where the stopper 50s is fixed, the clamping base 4, the stopper 50s that abuts the stopper abutting portion 4m is formed. 詳細は後述するが、ストッパ50sは、クランプベース4のアンドック方向への移動を制限するためのものである。 Details will be described later, the stopper 50s is for limiting the movement of the undocking direction of the clamping base 4. これにより、クランプベース4が、コイルスプリング4sの作用により、キャリアベース3に対してアンドック方向へ付勢されていても、ストッパ50sの位置において、ストッパ当接部4mとストッパ50sとが当接するので、クランプベース4は、ストッパ50sの位置よりもアンドック方向側へは移動できない。 Thus, the clamp base 4, by the action of the coil spring 4s, be urged against the carrier base 3 to undocking direction, at the position of the stopper 50s, the stopper contact portion 4m and the stopper 50s is in contact , clamping base 4 can not move in the undocking direction side than the position of the stopper 50s.

ここで、ストッパ50sは、キャリアベース3とは接触しないように設置されている。 Here, the stopper 50s is installed so as not to contact with the carrier base 3. そのため、ストッパ50sの、図3において破線で示している部分は、キャリアベース3との接触を避け、且つ、クランプベース4のストッパ当接部4mとは接触(当接)できるように迂回形成されている。 Therefore, the stopper 50s, the portion is shown in dashed lines in Figure 3, avoiding contact with the carrier base 3, and, the stopper contact portion 4m of the clamping base 4 is bypassed formed so as to be in contact (abutment) ing. また、ストッパは、このような形態には限られず、キャリアベース3に設けられた貫通溝を貫通するように設けられていてもよい。 The stopper is not limited to such an embodiment, it may be provided so as to penetrate through the through groove provided in the carrier base 3. また、ストッパと、クランプベース4との位置関係はこのようなものには限られず、例えば、ストッパが下方からでなく、側方、上方から延在するものであってもよいし、ストッパがクランプベース4と接触する位置も、アンドック方向側において接触するものでなくてもよい。 Further, a stopper, the positional relationship between the clamping base 4 is not limited to such, for example, the stopper is not from below, laterally, it may be one that extends from the top, the stopper clamp position in contact with the base 4 may also not intended to contact the undocking direction.

また、ストッパ50sは、FOUPオープナ本体部50bに直接固定されているが、FOUPオープナ本体50bが設置されている基部に対して移動しないように設置されている場所(例えば、キャリアベース3、クランプベース4については、FOUPオープナ本体50bが設置されている基部に対して移動するように設置されているものである)に固定設置されていればよく、その他の位置に固定されていてもよい。 The stopper 50s is directly fixed to the FOUP opener main body portion 50b, where they are installed so as not to move relative to the base of the FOUP opener main body 50b is provided (e.g., a carrier base 3, the clamp base for 4 may be fixed installed in it) which is installed so as to move relative to the base of the FOUP opener main body 50b is provided, may be fixed in other positions.

(クランプ動作) (Clamping operation)
次に、図4〜7を参照しながら、以上のように構成されたクランプ機構1のクランプ動作について説明する。 Next, with reference to FIGS. 4-7, a description is given of the clamping operation of the clamping mechanism 1 as described above will be described. 図4〜7は、図2のB−B'位置における断面概略図であり、動作過程を示している。 Figure 4-7 is a sectional schematic view of B-B 'position of Fig. 2 shows an operation process. また、図4〜7においては、断面を示す斜線を省略して示している。 Further, in FIG. 4-7, it is not shown hatched showing a cross section.

FOUP2がクランプされる前の初期状態において、コイルスプリング4sは伸長した状態となっており、また、コイルスプリング5sは、短縮した状態となっている。 In the initial state before the FOUP2 is clamped, the coil spring 4s is a state of being extended, also the coil springs 5s has a shortened state. また、クランプ用爪部5bは、(クランプされた状態に比べて)下方へ変位する方向へ傾いている。 Moreover, the clamping claw portions 5b is inclined in the direction of displacement downwards (compared to the state of being clamped).

まず、図示しない搬送用ロボットによって、FOUP2の把持部2zが把持されて、FOUPオープナ50のクランプ機構1の上方へとFOUP2が搬送される。 First, the transfer robot (not shown) is gripped gripper 2z of FOUP 2, FOUP 2 is transported upward of the clamping mechanism 1 of the FOUP opener 50. そして、搬送用ロボットの動作によって、FOUP2はクランプ機構1の方向へ下降する(図4参照)。 Then, the operation of the transport robot, FOUP 2 is lowered in the direction of the clamping mechanism 1 (see FIG. 4).

そして、さらにFOUP2が下降し、FOUP2底部の位置決め用凹部2aと、キャリアベース3の位置決め用凸部3aとが係合する(図5参照(矢印C))。 Then, further FOUP2 descends, the positioning recess 2a of FOUP2 bottom, a positioning projection 3a of the carrier base 3 is engaged (see FIG. 5 (arrow C)). これにより、FOUP2がキャリアベース3にセットされ、セット後は、キャリアベース3及びFOUP2が一体となって移動することになる。 Thus, FOUP 2 is set on the carrier base 3, after setting a carrier base 3 and FOUP 2 will move together. ここで、上記のように、クランプベース4は、キャリアベース3に対してアンドック方向へ付勢されているが、ストッパ50sが設置されているために、クランプベース4は、ストッパ50sの位置よりもアンドック方向側へは移動できない。 Here, as described above, the clamping base 4 is biased against the carrier base 3 to undocking direction for the stopper 50s is installed, the clamp base 4, than the position of the stopper 50s undocking can not move in the direction side. そのため、FOUP2を上方から下降させてキャリアベース3にセットする時に、クランプ用爪部5bと被クランプ部2cとが接触せず、クランプレバー5a及びクランプ用爪部5bがクランプ用凹部2hに収容可能となるような位置に、クランプ用爪部5bを配置することができる。 Therefore, when setting the carrier base 3 lowers the FOUP2 from above, without contact between the clamping claw portion 5b and the clamped portion 2c, the clamp lever 5a and the clamping pawl 5b is receivable in the clamping recess 2h to become such a position, it is possible to arrange the clamping claw portions 5b. そのため、FOUP2のセット時に、クランプレバー5a及びクランプ用爪部5bが、クランプ用凹部2hに確実に収容される。 Therefore, when the set of FOUP 2, the clamp lever 5a and the clamping pawl 5b is securely housed in the clamping recess 2h.

次に、搬送用ロボットの動作により、FOUP2とキャリアベース3とがドック方向へと移動する(図5参照(矢印D))。 Next, the operation of the carrier robot, a FOUP2 the carrier base 3 is moved to the dock direction (see FIG. 5 (arrow D)). このとき、クランプベース4は、コイルスプリング4sの作用により、キャリアベース3に対してアンドック方向へ付勢されているが、FOUPオープナ本体部50bに固定設置されたストッパ50sにより、アンドック方向への移動が制限されている。 At this time, the clamp base 4, by the action of the coil spring 4s, but is biased against the carrier base 3 to undocking direction, by a stopper 50s, which is fixedly installed on the FOUP opener main body portion 50b, the movement of the undocking direction There has been limited. そのため、クランプベース4はストッパ50sとストッパ当接部4mとが当接する位置に静止し、FOUP2及びキャリアベース3のみがドック方向へと移動する。 Therefore, the clamping base 4 is stationary in a position where the stopper 50s and the stopper abutting portion 4m abuts only FOUP2 and carrier base 3 moves to dock direction. このとき、コイルスプリング4sは弾性により短縮する。 At this time, the coil spring 4s is shortened by the elastic. また、ここでは、弾性部材であるコイルスプリング4sの作用により、クランプベース4が付勢されているため、簡易な構成により、クランプベース4を付勢することができる。 Further, here, by the action of the coil spring 4s is an elastic member, the clamp base 4 is biased, can be biased by a simple configuration, the clamping base 4.

上記のように、クランプ動作時の初期状態においては、クランプ用爪部5bは、(クランプ時において)アンドック方向へ突出した状態に比べて、下方へ変位する方向へ傾いている。 As described above, in the initial state at the time of clamping operation, the clamping claw portion 5b is inclined in the direction of displacement as compared with the state of protruding to the undocking direction (at the time of clamping) downwards. また、規制部4aにより、付勢用凸部5dの上方向への変位量が規制されている。 Further, the regulating portion 4a, the displacement amount of the upward biasing protrusion 5d is restricted. ここで、クランプ力を確保するため、クランプ用爪部5bの回動可能角度は大きい方がよい。 Here, in order to secure the clamping force, rotatable angle of the clamping claw portion 5b it is better larger. すなわち、クランプ用爪部5bは、下方へ大きく変位できたほうがよい。 That is, the clamping claw portion 5b is better to be greatly displaced downward. しかし、この回動可能角度が大きいということは、一方で、初期状態において、クランプ用爪部5bが、下方へ大きく変位しているということでもあり、クランプ用爪部5bが、クランプ時に被クランプ部2cに乗り上げることが、これらの当接角度的に困難となってしまう。 However, the fact that the this rotatable angle larger, whereas in the initial state, the clamping claw portions 5b is, also means that are largely displaced downward, the clamping claw portions 5b is clamped at the clamp it runs onto the part 2c is, becomes these contact angle difficult. そこで、クランプ力を確保しながら、規制部4aを設けることによりクランプレバー5a及びクランプ用爪部5bの傾きを制限することで、被クランプ部2cの上にクランプ用爪部5bが乗り上げられるようにすることができる。 Therefore, while ensuring the clamping force, by limiting the inclination of the clamp lever 5a and the clamping claw portion 5b by providing the restricting portion 4a, as the clamping claw portions 5b on the clamped portion 2c is riding can do. ここで、規制部4aを、高さの異なる別の規制部に交換したり、規制部4aとクランプベース4との間に別途準備されたスペーサを挿入したりすること等によって、初期状態におけるクランプ用爪部5bの傾きを調整することができる。 Here, the regulating portion 4a, or replaced with another regulating portion having different heights, such as by or insert spacer which is separately prepared between the restricting portion 4a and the clamping base 4, clamping in the initial state the inclination of the use claw portion 5b can be adjusted. また、FOUP2がドック方向へ移動して、クランプ用爪部5bが被クランプ部2cの上に乗り上げるときに、ローラー5eの作用により、クランプ用爪部5bと被クランプ部2cとが滑らかに接触するので、クランプ用爪部5bが被クランプ部2cに乗り上げ易くなり、クランプが容易となる。 Further, FOUP 2 is moved to dock direction, when the clamping claw portion 5b rides over the clamped portion 2c, by the action of the rollers 5e, a clamping claw portion 5b and the clamped portion 2c is smoothly contacted since, the clamping pawl 5b is likely run on the clamped portion 2c, it is easy to clamp. また、弾性部材であるコイルスプリング5sにより、クランプレバー5aが付勢されているため、簡易な構成により、クランプレバー5aを付勢することができる。 Further, by the coil spring 5s is an elastic member, the clamp lever 5a is biased, by a simple structure, it is possible to bias the clamp lever 5a.

そして、被クランプ部2cの上にクランプ用爪部5bが乗り上げた後、クランプベース4の位置が不変のまま、FOUP2及びキャリアベース3が、さらにドック方向へ移動する。 After the clamping claw portion 5b on the clamped portion 2c rides, while the position of the clamping base 4 is unchanged, the FOUP2 and the carrier base 3, moves further docks direction. 換言すると、クランプベース4がキャリアベース3に対してアンドック方向に移動する。 In other words, the clamping base 4 is moved relative to the carrier base 3 in the undocking direction. そして、クランプ用爪部5bが、被クランプ部2cを上方から下方へ向けて押圧することにより、FOUP2が載置台51(キャリアベース3及びクランプベース4)に固定される(図6参照)。 The clamping pawl 5b is by pressing downwardly the clamped portion 2c from above, it is secured to FOUP2 mounting table 51 (the carrier base 3 and the clamping base 4) (see FIG. 6). 以上より、載置台51(キャリアベース及びクランプベース)の下方スペース50uに、エアシリンダやモータ等のアクチュエータを設置することなく、FOUP2のクランプが可能であるため、載置台51の下方スペース50uが占有されない(図1参照)。 Thus, the lower space 50u of the mounting table 51 (the carrier base and clamp base), without installing an actuator such as an air cylinder or a motor, since it is possible to clamp the FOUP 2, the lower space 50u of the mounting table 51 is occupied not (see FIG. 1). それにより、載置台51の下方スペース50uを有効活用できるので、FOUPオープナ本体部50bの内部空間50i全体を有効に活用できる。 Thereby, since the lower space 50u of the mounting table 51 can be effectively utilized, it can be effectively utilized the entire inner space 50i of the FOUP opener main body portion 50b. そのため、例えば、上記の特許文献3に記載されているような技術にもクランプ機構1を適用できる。 Therefore, for example, applying the technique to the clamping mechanism 1 is also as described in Patent Document 3 above.

また、エアシリンダやモータ等の複雑な機構のアクチュエータを使用せず、付勢されたクランプ用爪部5bにより被クランプ部2cを押圧するという単純な機構を採用することにより、製造・維持のためのコストが低いクランプ機構が得られる。 Further, without using the actuators of complex mechanisms such as an air cylinder or a motor, by employing a simple mechanism that presses the clamp portion 2c by biased clamping claw portions 5b, for the manufacture and maintenance clamping mechanism is obtained cost is low.

また、この時点で(図6参照)、第1当接部3bと第2当接部4bとが当接した状態となっている。 Further, (see FIG. 6) At this point, the first contact portion 3b and the second contact portion 4b is in the contact state.

次に、搬送用ロボットの動作により、FOUP2がさらにドック方向へ移動して、ドッキング位置へと到達し、FOUP2が、ポートドア50dとドッキングする(図7参照)。 Next, the operation of the transport robot moves FOUP 2 to further docks direction, and reaches the docking position, FOUP 2 is, port door 50d and docking (see FIG. 7). このとき、第1当接部3bが第2当接部4bを押圧することになるので、FOUP2がドック方向へ移動すると、それに伴ってキャリアベース3もまたドック方向へ移動し、さらに、キャリアベース3に伴って、クランプベース4もまたドック方向へ移動するので、キャリアベース3、FOUP2及びクランプベース4が一体となって移動することになる。 At this time, since the first contact portion 3b so that it presses the second contact portion 4b, when FOUP2 moves dock direction, the carrier base 3 also moves to dock direction along therewith, further, the carrier base with the 3, since clamping base 4 also moves to dock direction, the carrier base 3, FOUP 2 and the clamping base 4 will move together. このような構成により、キャリアベース3、FOUP2及びクランプベース4が一体として移動する時に、例えば、被クランプ部2cによってクランプレバー5aが押圧されることでクランプベース4がドック方向へ押圧される場合に比べて、クランプベース4が、第1当接部3bによって安定して押圧される。 With this arrangement, when the carrier base 3, FOUP 2 and the clamping base 4 are moved integrally, for example, when the clamping base 4 is pressed into the dock direction by the clamp lever 5a by the clamped portion 2c is pressed compared with the clamp base 4 it is stably pressed by the first contact portion 3b. また、クランプレバー5aへ負荷をかけることなく、クランプベース4が押圧される。 Further, without imposing a load on the clamp lever 5a, the clamping base 4 is pressed.

以上のようにして、FOUP2のドッキングが完了し、その後、ポートドア50d及びFOUP2の蓋部2d(後述)を開放して、FOUP2の内部と半導体製造装置の内部とを密閉連通させる。 As described above, by docking FOUP 2 is completed, then you open the port door 50d and FOUP 2 of the lid portion 2d (described later), to communicate sealed communication between the interior of the inner and the semiconductor manufacturing apparatus FOUP 2. そして、FOUP2内の基板9が、図示しない基板搬送ロボットにより取り出されて、半導体製造装置の内部の所定位置へ搬送される。 Then, the substrate 9 in FOUP2 is taken out by a substrate transfer robot (not shown), it is transported to a predetermined position in the semiconductor manufacturing device.

以上により、クランプ機構1においては、ドッキング動作の中でFOUP2のクランプを行なうことになる。 By the above, in the clamping mechanism 1, thereby performing the clamp FOUP2 in the docking operation. そのため、クランプ動作と、ドッキング動作とを別々に行なう場合に比べて、サイクルタイムが短いクランプ機構が得られる。 Therefore, as compared with the case of performing the clamping operation, and a docking operation separately, the cycle time is short clamping mechanism is obtained.

(変形例) (Modification)
次に、本発明に係るクランプ機構の変形例について、図8、9を参照しながら、上記の実施形態と異なる部分を中心に説明する。 Next, a modified example of the clamping mechanism according to the present invention, with reference to FIGS, will be mainly to parts different from the above embodiment. 図8は第1変形例を、図9は第2変形例を示す拡大断面概略図である。 Figure 8 is a first modification, FIG. 9 is an enlarged cross-sectional schematic view showing a second modification. なお、上記の実施形態と同様の部分については、同一の符号を付してその説明を省略する。 Incidentally, the same parts as the above embodiment, the description thereof is omitted are denoted by the same reference numerals. まず、第1変形例に係るクランプ機構200については、図8に示すように、上記の実施形態とはクランプレバー及びその付近における構造が異なっている。 First, the clamping mechanism 200 according to the first modification, as shown in FIG. 8, the above embodiment has a different structure in the clamping lever and the vicinity thereof. 本変形例に係るクランプレバー205a、クランプ用爪部205b及び付勢用凸部205dは、上記の実施形態とは異なり、これらが直線状に構成されている。 Clamp lever 205a according to this modification, the clamping claw portion 205b and the urging projecting portion 205d is different from the above embodiment, it is configured in a straight line. そして、支持部204cにおいて、回転軸205cを介して回動可能に支持されている。 Then, the supporting portion 204c, and is rotatably supported via a rotary shaft 205c. このような形態のクランプ機構200によっても、上記の実施形態と同様の効果が得られる。 By clamping mechanism 200 such forms, the same effect as the above embodiment can be obtained.

また、第2変形例に係るクランプ機構300についても、図9に示すように、上記の実施形態とはクランプレバー及びその付近における構造が異なっている。 As for the clamping mechanism 300 according to the second modification, as shown in FIG. 9, the above embodiment has a different structure in the clamping lever and the vicinity thereof. 本変形例に係るクランプレバー305aは、上記の実施形態とは異なり、クランプベース上部に設けられた支持部(4c、204c)ではなく、クランプベース304本体部の上部において支持されている。 Clamp lever 305a according to this modification, unlike the above embodiments, the support portion provided on the clamp base top (4c, 204c) rather than being supported at the top of the clamp base 304 main body. そして、同様に、クランプレバー305aは、回転軸305cを介して回動可能に支持されている。 Then, similarly, the clamp lever 305a is rotatably supported via a rotary shaft 305c. このような形態のクランプ機構300によっても、上記の実施形態と同様の効果が得られる。 By clamping mechanism 300 such forms, the same effect as the above embodiment can be obtained.

以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上述の実施の形態に限られるものではなく、特許請求の範囲に記載した限りにおいて様々に変更して実施することができるものである。 Having described embodiments of the present invention, the present invention is not limited to the embodiments described above, but can be practiced with various modifications made within the scope recited in the claims.

例えば、上記の実施形態においては、第1、第2付勢手段として、弾性部材を用いているが、付勢手段は、付勢機能を有するものであれば弾性部材には限られず、例えば制御された付勢機構であってもよい。 For example, in the above embodiment, as the first, second biasing means, it is used an elastic member, the urging means is not limited to the elastic member as long as it has a biasing function, for example, control it may be a biasing mechanism that is. また、弾性部材として、上記の実施形態ではコイルスプリングを用いているが、ここでの弾性部材とは、伸縮可能で且つ高弾性である部材のことであり、コイルスプリングには限られない。 Further, as the elastic member, in the above embodiment uses a coil spring, but the elastic member herein refers to a stretchable and and a high elastic member, not limited to the coil spring. そのため、例えば、樹脂ばね、ゴム等であってもよい。 Therefore, for example, a resin spring may be a rubber or the like.

本発明の一実施形態に係るクランプ機構を含むFOUPオープナの側面概略図。 Schematic side view of a FOUP opener comprising a clamping mechanism according to an embodiment of the present invention. 図1のA−A'矢視上面概略図。 A-A 'arrow top schematic view of FIG. 図2のB−B'位置における拡大断面概略図。 Enlarged schematic cross-sectional view of B-B 'position of Fig. FOUPがクランプ機構の上方に搬送された状態を示す、図2のB−B'位置における断面概略図。 It shows a state in which the FOUP is transported above the clamping mechanism, cross-sectional schematic view of B-B 'position of Fig. FOUPがキャリアベースにセットされた状態を示す、図2のB−B'位置における断面概略図。 It shows a state in which the FOUP is set on the carrier base, cross-sectional schematic view of B-B 'position of Fig. FOUPがクランプ機構によりクランプされた状態を示す、図2のB−B'位置における断面概略図。 It shows a state in which the FOUP is clamped by the clamp mechanism, cross-sectional schematic view of B-B 'position of Fig. FOUPがポートドアに対してドッキングされた状態を示す、図2のB−B'位置における断面概略図。 It shows a state in which the FOUP is docked to the port door, sectional schematic view of B-B 'position of Fig. 本発明の一実施形態に係るクランプ機構の第1変形例を示す拡大断面概略図。 Enlarged schematic cross-sectional view showing a first modification of the clamping mechanism according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態に係るクランプ機構の第2変形例を示す拡大断面概略図。 Enlarged schematic cross-sectional view showing a second modification of the clamping mechanism according to an embodiment of the present invention.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1、200、300 クランプ機構2 FOUP 1,200,300 clamp mechanism 2 FOUP
2a 位置決め用凹部2c 被クランプ部2w アンドック方向側の内壁面3 キャリアベース(第1載置台) 2a positioning recess 2c clamped portion 2w undocking direction side of the inner wall surface 3 carrier base (first table)
3a 位置決め用凸部3b 第1当接部3r レール4 クランプベース(第2載置台) 3a positioning protrusions 3b first contact portion 3r rail 4 clamping base (second table)
4a 規制部4b 第2当接部4g リニアモーションガイド4s コイルスプリング(第1付勢手段) 4a restricting portion 4b second contact portion 4g linear motion guide 4s coil spring (first biasing means)
5a クランプレバー5b クランプ用爪部5c 回転軸(クランプレバー用) 5a clamp lever 5b clamping claw portions 5c rotary shaft (clamping lever)
5d 付勢用凸部5e ローラー5j 回転軸(ローラー用) For urging 5d protrusions 5e roller 5j rotary shaft (roller)
5s コイルスプリング(第2付勢手段) 5s coil spring (second biasing means)
9 ウエハ50 FOUPオープナ50b FOUPオープナ本体部50d ポートドア50h 連通口50s ストッパ51 載置台 9 wafer 50 FOUP opener 50b FOUP opener main body portion 50d port door 50h communicating port 50s stopper 51 table

Claims (8)

  1. 複数のウエハを収容可能なFOUPを載置台に固定し、基板処理装置の内部への連通口を開閉するポートドアに対して当該固定されたFOUPをドッキングさせて、前記FOUPの内部と、前記基板処理装置の内部と、を密閉連通させるFOUPオープナにおける、前記FOUPを前記載置台に固定するためのクランプ機構であって、 Fixing the plurality of wafer mounting table can accommodate FOUP, by docking a FOUP, which is the fixed to the port door for opening and closing the communication port to the interior of the substrate processing apparatus, the inside of the FOUP, the substrate and internal processing apparatus, the FOUP opener to communicate sealed communication with, a clamping mechanism for fixing the FOUP to the mounting table,
    FOUPオープナ本体部の上部に対して、前記ドッキングの方向であるドック方向及び当該ドック方向とは逆のアンドック方向へ移動可能に設置されている板状の第1載置台と、 Against the upper portion of the FOUP opener main body portion, a first table plate of which is installed to be movable in the opposite undocking direction to the dock direction and the dock direction in the docked,
    前記第1載置台の上部に対して前記ドック方向及び前記アンドック方向へ移動可能に設置されている板状の第2載置台と、 A second mounting base plate of the relative top of the first table being movably mounted to said dock direction and the undocking direction,
    水平方向に延在し且つ前記ドック方向及び前記アンドック方向に直交する回転軸を介して、前記第2載置台の上部において回動可能に支持されたクランプレバーと、 Through a rotation axis perpendicular to and the dock direction and the undocking direction extending in the horizontal direction, and a clamp lever pivotally supported at an upper portion of the second table,
    前記クランプレバーから前記アンドック方向へ突出形成されたクランプ用爪部と、 And clamping claws from the clamp lever is protruded to the undocking direction,
    前記第2載置台を前記第1載置台に対して前記アンドック方向へ付勢する第1付勢手段と、 A first biasing means for biasing to the undocking direction with respect to the said second table first table,
    前記クランプ用爪部が下方向へ変位するように前記クランプレバーを付勢する第2付勢手段と、を有し、 And a second biasing means for biasing said clamp lever to the clamp pawl is displaced downward,
    前記FOUPの底部には位置決め用凹部が形成され、前記第1載置台には当該位置決め用凹部と係合する位置決め用凸部が形成されており、前記位置決め用凹部及び前記位置決め用凸部が係合することで前記第1載置台及び前記FOUPが一体となって移動し、 Wherein the bottom of the FOUP is formed positioning recess, said the first table is formed positioning projection to be engaged with the positioning recess, the positioning recess and the positioning projection is engaged wherein by engagement first table and the FOUP is moved together,
    前記クランプ用爪部が、前記FOUPの底部に形成されたクランプ用凹部に収容され、前記第2載置台が前記第1載置台に対して前記アンドック方向に移動し、前記クランプ用爪部が、前記クランプ用凹部の前記アンドック方向側の内壁面から前記ドック方向へ向かって突出形成された被クランプ部を上方から下方へ向けて押圧することにより、前記FOUPが前記載置台に固定されることを特徴とするクランプ機構。 The clamping claws, said housed in the bottom clamp recess formed in the portion of the FOUP, to move in the undocking direction the second mounting base relative to the first table, the clamping claw, by pressing the clamped portion which is protruded from the inner wall surface of the undocking direction side of the clamping recess to the dock direction from above to below, in that the FOUP is fixed to the mounting table clamp mechanism which is characterized.
  2. 前記第1付勢手段は、前記第2載置台と前記第1載置台とを接続する弾性部材であることを特徴とする請求項1に記載のクランプ機構。 Wherein the first biasing means, the clamping mechanism according to claim 1, characterized in that an elastic member for connecting the second table and the first table.
  3. 前記FOUPオープナ本体部に固定された状態で設けられ、且つ、前記第2載置台の前記アンドック方向への移動を制限するストッパをさらに有していることを特徴とする請求項1又は2に記載のクランプ機構。 Wherein provided in the state of being fixed to the FOUP opener main body portion, and, according to claim 1 or 2, characterized in that it further comprises a stopper for limiting the movement to the undocking direction of the second mounting base clamping mechanism.
  4. 前記第1載置台に設けられた第1当接部と、 A first abutting portion provided on the first mounting base,
    前記第2載置台に設けられ且つ前記第1当接部よりも前記アンドック方向側に配置された第2当接部と、をさらに有し、 Additionally and a second contact portion disposed in the undocking direction than and the first contact portion provided on the second mounting base,
    前記第1載置台及び前記FOUPが前記ドック方向へ移動するときに、前記第1当接部が前記第2当接部を押圧することで、前記第1載置台、前記FOUP及び前記第2載置台が一体となって移動することを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載のクランプ機構。 When said first table and said FOUP is moved to the dock direction, by the first contact portion presses the second contact portion, the first table, the FOUP and the second mounting table clamp mechanism according to any one of claims 1 to 3, characterized in that integrally move.
  5. 前記第2付勢手段は、前記第2載置台の上部に設置された弾性部材であり、 It said second biasing means is an elastic member installed in the upper portion of the second table,
    前記クランプレバーからは、前記ドック方向へ付勢用凸部が突出形成されており、 From the clamp lever, the convexity biased to the dock direction is protruded,
    前記付勢用凸部と前記第2載置台との間に挟まれた当該弾性部材が、下方から上方へ向けて前記付勢用凸部を押圧することを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載のクランプ機構。 The elastic members sandwiched between said second table and the urging projections, toward from the lower side to the upper side of claims 1 to 4, characterized in that for pressing the urging projections the clamping mechanism according to any one.
  6. 前記第2載置台には、前記付勢用凸部の上方向への変位量を規制する規制部がさらに設けられていることを特徴とする請求項5に記載のクランプ機構。 Wherein the second table, the clamping mechanism according to claim 5, characterized in that the regulating unit is further provided for regulating the amount of upward displacement of the biasing projection.
  7. 水平方向に延在し且つ前記ドック方向及び前記アンドック方向に直交する回転軸を介して、前記クランプ用爪部の先端において回動可能に支持されたローラーをさらに有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のクランプ機構。 Through a rotation axis perpendicular to and the dock direction and the undocking direction extending in the horizontal direction, according to claim 1, further comprising a rotatably supported roller at the tip of the clamp pawl or clamping mechanism according to any one of 6.
  8. 前記第2載置台と前記第1載置台とは、前記ドック方向及び前記アンドック方向に沿って設置されたリニアモーションガイドを介して接続されていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のクランプ機構。 Wherein the second table and the first table, any one of claims 1 to 7, characterized in that it is connected via the dock direction and the undocking direction disposed along the linear motion guide the clamping mechanism described in (1).
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