JP2008082748A - エッジセンサ、位置検出方法および位置合わせ方法 - Google Patents
エッジセンサ、位置検出方法および位置合わせ方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2008082748A JP2008082748A JP2006260614A JP2006260614A JP2008082748A JP 2008082748 A JP2008082748 A JP 2008082748A JP 2006260614 A JP2006260614 A JP 2006260614A JP 2006260614 A JP2006260614 A JP 2006260614A JP 2008082748 A JP2008082748 A JP 2008082748A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- edge
- linear image
- detection object
- light
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
- Machine Tool Sensing Apparatuses (AREA)
Abstract
【解決手段】予め定めた光線束幅の単色平行光を照射する投光器に対向配置されて、前記単色平行光の光路中に位置付けられた検出対象物のエッジによる前記単色平行光の回折パターンを検出する受光器に、第1および第2のリニアイメージセンサを、その検出ライン方向を前記単色平行光の光軸に垂直な面において互いに直交させて設けた。
【選択図】図4
Description
また本発明に係る位置合わせ方法によれば、矩形状の検出対象物の1つの隅部に相当する位置と、この隅部に連なる一方の辺を横切る位置に前述した構成のエッジセンサをそれぞれ設けるだけで、これらのエッジセンサが有する特徴、即ち、各エッジセンサがそれぞれ備える第1および第2のリニアイメージセンサを有効に活用して、前記検出対象物の1つの隅部において隣接する2辺の各エッジ位置(x1,y1)と、上記隅部に連なる一方の辺のエッジ位置(y2)とを一括して検出することができる。そしてこれらのエッジ位置検出情報に従って直交座標似対する検出対象物の傾き角θ、および直交座標の基準位置に対する各軸方向のずれ量(Δx,Δy)を求め、これを補正するように検出対象物を回転・移動するだけで良いので、その位置合わせを簡易に、しかも精度良く実行することができる。
図3はこの発明に係るエッジセンサの概略構成を示している。このエッジセンサは、概略的には所定の光線束幅の単色平行光を照射する投光器1と、この投光器1に所定の距離を隔てて対向配置され、上記単色平行光の光路中に位置付けられた検出対象物Sのエッジ位置にて生じた前記単色平行光の回折パターンを検出する受光器2と、例えばマイクロコンピュータを主体として構成され、上記受光器2の出力を解析して前記検出対象物Sのエッジ位置を検出する信号処理部3とを具備して構成される。
θ=arctan[(y1−y2)/D]
(=tan−1[(y1−y2)/D])
として求め、この回転角θが零[0]となるように検出対象物10を回転させる。そして検出対象物10を回転補正した後、この状態で改めて検出される検出対象物10の一辺aのエッジ位置y1',y2'(=y1')が予め設定された基準位置からの距離となるように検出対象物10をy軸方向に移動させるようにしても良い。
x1=(d−x2)
或いは
(d−x1)=x2
となるように、検出対象物10をx軸方向に移動させるようにすれば良い。但し、上記dは第2のリニアイメージセンサ2xのセンサ長である。また上記各辺b,cのエッジ位置x1,x2は、第2のリニアイメージセンサ2xの一端側、例えば左側端を基準として求められるものとしている。
x1=x2
となるように検出対象物10をx軸方向に移動させるようにすれば良い。またエッジセンサ11,12を、前記検出対象物10の隅部と、この隅部に隣接した一方の辺a上に配置した場合は、前記検出対象物10の辺bのエッジ位置x1が予め設定された基準位置(原点)になるように検出対象物10をx軸方向に移動させるようにすれば十分である。
2 受光器
2a リニアイメージセンサ(ラインセンサ)
2x 第1のリニアイメージセンサ
2y 第2のリニアイメージセンサ
3 信号処理部
10 検出対象物
11,12 エッジセンサ
Claims (7)
- 予め定めた光線束幅の単色平行光を照射する投光器と、
この投光器に対向配置され、前記単色平行光の光路中に位置付けられた検出対象物のエッジによる前記単色平行光の回折パターンを検出する受光器とを具備し、
前記受光器は、前記単色平行光の光軸に垂直な面において互いに直交して設けられた第1および第2のリニアイメージセンサを備えることを特徴とするエッジセンサ。 - 前記受光器は、一定のピッチで複数の受光セルを所定長に亘って直線上に配列した2つまたは3つのリニアイメージセンサの1つを前記第1のリニアイメージセンサとし、残りのリニアイメージセンサを前記第2のリニアイメージセンサとして、これらのリニアイメージセンサをT字状、十字状、L字状、またはH字状に配置したものである請求項1に記載のエッジセンサ。
- 前記投光器は、前記受光器の互いに直交して設けられた前記第1および第2のリニアイメージセンサの受光領域幅にそれぞれ相当する光線束幅の光路断面を有する単色平行光を照射するものである請求項1に記載のエッジセンサ。
- 請求項1〜3のいずれかに記載のエッジセンサを用いて、透明または半透明の検出対象物のエッジ位置を検出する位置検出方法であって、
前記第1および第2のリニアイメージセンサの一方の出力から前記単色平行光の光軸中心を検出し、検出した光軸中心に他方のリニアイメージセンサを位置付けた後、該他方のリニアイメージセンサの出力から前記検出対象物のエッジ位置を検出することを特徴とする位置検出方法。 - 請求項1〜3のいずれかに記載のエッジセンサを用いて、ドリル刃の先端位置を検出する位置検出方法であって、
前記第1および第2のリニアイメージセンサの一方の出力から前記ドリル刃の回転中心を検出し、検出した回転中心に他方のリニアイメージセンサを位置付けた後、該他方のリニアイメージセンサの出力から前記ドリル刃の先端位置を検出することを特徴とする位置検出方法。 - 請求項1〜3のいずれかに記載のエッジセンサを用いて、基準となる直交座標の各軸方向に矩形状の検出対象物をそれぞれ移動させると共に、これらの各軸方向に直交する軸を中心として上記検出対象物を回転させて該検出対象物を基準位置に位置合わせする位置合わせ方法であって、
前記検出対象物が位置合わせされる基準位置において、前記検出対象物の隣接した2辺が交わる隅部に相当する位置およびこの隅部に連なる一方の辺を横切る位置に前記エッジセンサをそれぞれ設けて、これらの各エッジセンサにて前記検出対象物における上記各辺のエッジ位置をそれぞれ検出するようにし、
上記2つのエッジセンサの前記各第1のリニアイメージセンサによりそれぞれ検出される前記検出対象物の一辺のエッジ位置が予め指定した位置となるように前記検出対象物を回転・移動させると共に、
前記検出対象物の隅部に位置付けた前記エッジセンサの前記第2のリニアイメージセンサにより検出される前記検出対象物の他の一辺のエッジ位置が予め指定した位置となるように前記検出対象物を移動させることを特徴とする位置合わせ方法。 - 前記矩形状の検出対象物は、前記エッジセンサにおけるの単色平行光の光線束幅に比較して十分に大きい大型の液晶ガラス基板である請求項6に記載の位置合わせ方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006260614A JP4822342B2 (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 位置検出方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006260614A JP4822342B2 (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 位置検出方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008082748A true JP2008082748A (ja) | 2008-04-10 |
JP4822342B2 JP4822342B2 (ja) | 2011-11-24 |
Family
ID=39353783
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006260614A Expired - Fee Related JP4822342B2 (ja) | 2006-09-26 | 2006-09-26 | 位置検出方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4822342B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014050829A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 三菱重工業株式会社 | 加工装置の制御装置、加工装置、及び加工データの補正方法 |
WO2017002395A1 (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-05 | 大昭和精機株式会社 | 工具形状測定装置 |
JP2017058136A (ja) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | アズビル株式会社 | エッジセンサ |
US10755135B2 (en) * | 2018-09-23 | 2020-08-25 | Paulo Eduardo Xavier da Silveira | Computational imaging device and method for improved corner detection |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50122880A (ja) * | 1974-03-13 | 1975-09-26 | ||
JPS5981505A (ja) * | 1982-11-02 | 1984-05-11 | Toshiba Corp | 形状測定方法及びその装置 |
JPH06267815A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-09-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 近接露光装置 |
JPH07335723A (ja) * | 1994-06-08 | 1995-12-22 | Nikon Corp | 位置決め装置 |
JPH0961775A (ja) * | 1995-08-22 | 1997-03-07 | Nec Corp | 基板アライメント装置 |
JP2000071190A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-07 | Komatsu Ltd | ワーク搬送システム |
JP2004226372A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Yamatake Corp | 位置検出方法および装置 |
JP2005224900A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Yamatake Corp | 棒状体の先端検出方法 |
JP2006112964A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Yamatake Corp | 光学センサ装置 |
-
2006
- 2006-09-26 JP JP2006260614A patent/JP4822342B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS50122880A (ja) * | 1974-03-13 | 1975-09-26 | ||
JPS5981505A (ja) * | 1982-11-02 | 1984-05-11 | Toshiba Corp | 形状測定方法及びその装置 |
JPH06267815A (ja) * | 1993-03-11 | 1994-09-22 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 近接露光装置 |
JPH07335723A (ja) * | 1994-06-08 | 1995-12-22 | Nikon Corp | 位置決め装置 |
JPH0961775A (ja) * | 1995-08-22 | 1997-03-07 | Nec Corp | 基板アライメント装置 |
JP2000071190A (ja) * | 1998-08-27 | 2000-03-07 | Komatsu Ltd | ワーク搬送システム |
JP2004226372A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Yamatake Corp | 位置検出方法および装置 |
JP2005224900A (ja) * | 2004-02-13 | 2005-08-25 | Yamatake Corp | 棒状体の先端検出方法 |
JP2006112964A (ja) * | 2004-10-15 | 2006-04-27 | Yamatake Corp | 光学センサ装置 |
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014050829A1 (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-03 | 三菱重工業株式会社 | 加工装置の制御装置、加工装置、及び加工データの補正方法 |
JP2014067158A (ja) * | 2012-09-25 | 2014-04-17 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 加工装置の制御装置、加工装置、及び加工データの補正方法 |
US9897993B2 (en) | 2012-09-25 | 2018-02-20 | Mitsubishi Heavy Industries, Ltd. | Control device for machining apparatus, machining apparatus, and correction method of machining data |
WO2017002395A1 (ja) * | 2015-06-30 | 2017-01-05 | 大昭和精機株式会社 | 工具形状測定装置 |
EP3318837A4 (en) * | 2015-06-30 | 2019-01-02 | Big Daishowa Co., Ltd. | Tool-shape measurement device |
US10189137B2 (en) | 2015-06-30 | 2019-01-29 | Big Daishowa Co., Ltd. | Tool shape measuring apparatus |
JP2017058136A (ja) * | 2015-09-14 | 2017-03-23 | アズビル株式会社 | エッジセンサ |
US10755135B2 (en) * | 2018-09-23 | 2020-08-25 | Paulo Eduardo Xavier da Silveira | Computational imaging device and method for improved corner detection |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4822342B2 (ja) | 2011-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR101911006B1 (ko) | 이미지 센서 포지셔닝 장치 및 방법 | |
US10006757B1 (en) | Optical configuration for measurement device using emitter material configuration with quadrant photodetectors | |
CN102538679B (zh) | 图像相关位移传感器 | |
WO1994004942A1 (en) | Validation of optical ranging of a target surface in a cluttered environment | |
JP6288280B2 (ja) | 表面形状測定装置 | |
JP3647608B2 (ja) | 測量機の自動追尾装置 | |
JP7089401B2 (ja) | 真直度測定装置 | |
JP4822342B2 (ja) | 位置検出方法 | |
TWI627513B (zh) | 用於感測或判定一工件之對準及高度之器件及方法、對準感測器及電子束微影之裝置 | |
US9243898B2 (en) | Positioning device comprising a light beam | |
JP2005205429A (ja) | レーザ加工機 | |
JP2756331B2 (ja) | 間隔測定装置 | |
US11353583B2 (en) | Optical position-measurement device with varying focal length along a transverse direction | |
JP2001084093A (ja) | 座標入力装置 | |
JP2007155401A (ja) | 変位センサおよび形状測定装置 | |
US20030142290A1 (en) | Optical motion detector, transport system and transport processing system | |
JP6256316B2 (ja) | 変位センサ及び変位測定装置 | |
CN112469536A (zh) | 切削装置、传感器单元和检测方法 | |
JP2008275492A (ja) | オートコリメータ | |
CN112902838B (zh) | 一种零位传感器及检测系统 | |
JP2004325120A (ja) | 真直度補正機能を備えたプローブ走査型形状測定器 | |
JP2009097986A (ja) | 光源装置及び光学式測定装置 | |
KR20230159406A (ko) | 이물 검사 장치 및 이물 검사 방법 | |
JP2004077267A (ja) | 位置検出装置 | |
JP2009270945A (ja) | 光学式測定装置及び位置合わせシステム |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090326 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110617 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110622 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110808 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110831 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110901 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4822342 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140916 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |