JP2008021997A - リソグラフィ装置およびデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターニングデバイスを支持するように構成された支持体を有するリソグラフィ装置が開示される。パターニングデバイスはパターン化された放射ビームを形成するために放射ビームの断面にパターンを与えることができ、支持体はパターニングデバイスを支持体にクランプするように構成された支持クランプを含む。リソグラフィ装置はさらに、クランプされたパターニングデバイスに曲げトルクを加えるように構成された曲げ機構を有し、曲げ機構は支持クランプによってパターニングデバイスに加えられたクランプ力を実質的に減少させることなしにクランプされたパターニングデバイスに作用するよう構成された力/トルクアクチュエータを備える。
【選択図】図2
Description
放射ビームを調整するように構成された照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構成された支持体とを備え、パターニングデバイスはパターン化された放射ビームを形成するために放射ビームの断面にパターンを与えることができ、支持体はパターニングデバイスを支持体にクランプするように構成された支持クランプを備え、さらに、
クランプされたパターニングデバイスに曲げトルクを加えるように構成された曲げ機構を備え、曲げ機構は支持クランプによってパターニングデバイスに加えられたクランプ力を実質的に減少させることなしにクランプされたパターニングデバイスに作用するように構成された力/トルクアクチュエータを備え、さらに、
基板を保持するように構成された基板テーブルと、
パターン化された放射ビームを基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
を備えるリソグラフィ装置が提供される。
支持クランプを使用してパターニングデバイスを支持体にクランプし、
支持クランプによってパターニングデバイスに加えられたクランプ力を実質的に減少させることなしにクランプされたパターニングデバイスに曲げトルクを加え、
パターン化された放射ビームを形成するためにパターニングデバイスを使用して放射ビームの断面にパターンを与え、
パターン化された放射ビームを基板に投影する、
ことを含むデバイス製造方法が提供される。
Fpush−Fpull=モーメント/(h/6)
Claims (23)
- 放射ビームを調整するように構成された照明システムと、
パターニングデバイスを支持するように構成された支持体とを備え、前記パターニングデバイスはパターン化された放射ビームを形成するために放射ビームの断面にパターンを与えることができ、前記支持体は前記パターニングデバイスを前記支持体にクランプするように構成された支持クランプを備え、さらに、
前記クランプされたパターニングデバイスに曲げトルクを加えるように構成された曲げ機構を備え、前記曲げ機構は前記支持クランプによって前記パターニングデバイスに加えられた前記クランプ力を実質的に減少させることなしに前記クランプされたパターニングデバイスに作用するように構成された力/トルクアクチュエータを備え、さらに、
前記基板を保持するように構成された基板テーブルと、
前記パターン化された放射ビームを前記基板のターゲット部分に投影するように構成された投影システムと、
を備えるリソグラフィ装置。 - 前記曲げ機構が前記支持クランプとは別々である、
請求項1に記載の装置。 - 前記力/トルクアクチュエータが、前記クランプされたパターニングデバイスの中立線に対してオフセットした高さで、引き力、押し力、または両方を加えるように構成される、
請求項1に記載の装置。 - 前記オフセットした高さe=h/6であり、hが前記パターニングデバイスの高さである、
請求項3に記載の装置。 - 少なくとも2つの力/トルクアクチュエータが設けられ、第一力/トルクアクチュエータは、前記中立線の上で引き力、押し力、またはその両方を加えるように構成され、第二力/トルクアクチュエータは、前記中立線の下で引き力、押し力、またはその両用を加えるように構成される、
請求項3に記載の装置。 - 前記力/トルクアクチュエータが、前記クランプされたパターニングデバイスの周側縁に引き力、押し力、またはその両方を加えるように構成される、
請求項1に記載の装置。 - 2組の力/トルクアクチュエータが、前記クランプされたパターニングデバイスの2つの対向する周側縁に設けられる、
請求項1に記載の装置。 - 前記曲げ機構がさらに、前記クランプされたパターニングデバイスと接続するよう構成されたコネクタを備える、
請求項1に記載の装置。 - 前記コネクタが真空要素を備える、
請求項8に記載の装置。 - 前記コネクタが、前記クランプされたパターニングデバイスの周側縁と接続するように構成される、
請求項8に記載の装置。 - 前記コネクタが前記支持クランプに組み込まれる、
請求項1に記載の装置。 - 前記曲げ機構が押し/引きビームを備える、
請求項1に記載の装置。 - 前記力/トルクアクチュエータが押すタイプである、
請求項1に記載の装置。 - 前記力/トルクアクチュエータがガスベローズを備える、
請求項1に記載の装置。 - 前記力/トルクアクチュエータがローレンツアクチュエータを備える、
請求項1に記載の装置。 - 前記力/トルクアクチュエータが圧電素子を備える、
請求項1に記載の装置。 - 前記パターニングデバイスの周側縁に沿って相互に隣り合って配置された複数の力/トルクアクチュエータを備える、
請求項1に記載の装置。 - 前記力/トルクアクチュエータが別個に駆動可能である、
請求項17に記載の装置。 - 前記支持体が、前記パターニングデバイスを支持するために3点サスペンションを備える、
請求項1に記載の装置。 - 前記力/トルクアクチュエータが、前記支持クランプに接続されたインタフェースに回転力/トルクを加えるように配置され、前記インタフェースが、前記クランプされたパターニングデバイスの中立線に配置された回転中心を有する、
請求項1に記載の装置。 - 前記インタフェースが、回転自在に連結システムとして前記支持クランプに接続されたバーを備え、前記連結システムが、前記クランプされたパターニングデバイスの前記中立線に配置された回転中心を有する、
請求項20に記載の装置。 - 前記支持クランプが、その底面、上面、または両方で前記パターニングデバイスをクランプするように構成される、
請求項1に記載の装置。 - 支持クランプを使用してパターニングデバイスを支持体にクランプし、
前記支持クランプによって前記パターニングデバイスに加えられたクランプ力を実質的に減少させることなしに前記クランプされたパターニングデバイスに曲げトルクを加え、
パターン化された放射ビームを形成するために前記パターニングデバイスを使用して放射ビームの断面にパターンを与え、
前記パターン化された放射ビームを基板に投影する、
ことを含むデバイス製造方法。
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