JP2008003111A - パターン検査装置、及びパターン検査方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】パターン検査装置は、検査対象試料内の特定パターンの周辺にあり特定パターンと類似する複数の類似周辺パターンを求める類似周辺パターン探査部14と、特定パターンと類似周辺パターンとの非類似度を求める非類似度算出部20と、非類似度から許容誤差を除いて、ローカルCDエラー判定値を求めるばらつき評価部22と、ローカルCDエラー判定値が特定パターンと類似周辺パターン間の距離が増大した時に、しきい値を超えるとローカルCDエラーと判定するローカルCDエラー判定部24とを備える。
【選択図】図1
Description
Die比較)と、ダイとデータベースとの比較(Die to Database比較)がある。Die to Die比較(DD比較)は、レチクル上の2つのダイを比較して欠陥を検出する方法であり、Die
to Database比較(DB比較)は、レチクル上のダイとLSI設計用CADデータから発生させたデータベースを比較して欠陥を検出する方法である。なお、DD比較における2枚のダイのうち、欠陥検査対象となる画像を光学画像と呼び、もう一枚のリファレンスとなる光学画像を基準画像と呼ぶ。また、DB比較におけるダイ画像を光学画像と呼び、データベースの参照画像を基準画像とよぶ。
(2)又は、本発明は、検査対象試料のパターンのローカルCDエラーを簡単に検出することにある。
(2)また、本発明は、検査対象試料に形成されたパターンを検査するパターン検査方法において、検査対象試料内の特定パターンの周辺にあり、特定パターンと類似する複数の類似周辺パターンを求める類似周辺パターン探査ステップと、特定パターンと類似周辺パターンとの非類似度を求める非類似度算出ステップと、非類似度から許容誤差を除いて、ローカルCDエラー判定値を求めるばらつき評価ステップと、ローカルCDエラー判定値が、特定パターンと類似周辺パターン間の距離が増大した時に、しきい値を超えるとローカルCDエラーと判定するローカルCDエラー判定ステップと、を備えるパターン検査方法にある。
図1は、パターンの欠陥を検査するパターン検査装置10のブロック図を示している。パターン検査装置10は、基準画像12、類似周辺パターン探査部14、光学画像の特定パターン抽出部16、光学画像の複数の類似周辺パターン抽出部18、非類似度算出部20、ばらつき評価部22、ローカルCDエラー判定部24を備えている。
マスクなどの検査対象物40は、オートローダ機構32によりテーブル42上に自動的に搬送され、検査終了後に自動的に排出される。テーブル42の上方に配置されている光源34から照射される光束は、照明光学系36を介して検査対象物40を照射する。検査対象物40の下方には、結像光学系50及びセンサ回路54が配置されており、露光用マスクなどの検査対象物40を透過した透過光は結像光学系50を介してセンサ回路54のセンサ面に結像される。結像光学系50は図示しない自動焦点機構により自動的に焦点調整がなされていてもよい。
図4は、検査対象物40のパターンを検査するパターン検査方法を示している。検査対象試料40の基準画像を用いて、特定パターンと類似する類似周辺パターンを探査する(類似周辺パターン探査ステップS1)。次に、光学画像取得装置30で所得した光学画像から特定パターンと複数の類似周辺パターンの抽出を行う(光学画像の特定パターンと複数の類似周辺パターンの抽出ステップS2)。光学画像の特定パターンと類似周辺パターンの非類似度(R(n))を算出する(非類似度算出ステップS3)。非類似度から許容誤差を除いて、ローカルCDエラー判定値を求める(ばらつき評価ステップS4)。ローカルCDエラー判定値が、特定パターンと類似周辺パターン間の距離が増大した時に、しきい値を超えるとローカルCDエラーと判定する(ローカルCDエラー判定ステップS5)。
類似周辺パターン探査ステップは、類似周辺パターン探査部14により、記憶装置80、82、中央演算処理部62などを用いて、検査対象画像の中の類似するパターンを探査するものである。まず、基準画像の検査対象画素近傍の特定パターンと同じ図形パターンの類似周辺パターンを検査対象画素の周辺から最大k個探し出す。ここで、基準画像は、CAD等の設計データから求めた参照画像でも、又は、光学画像取得装置で求めた光学画像でもよい。
特定パターンと類似周辺パターン抽出ステップは、特定パターン抽出部16と類似周辺パターン抽出部18により、基準画像で求めた降順類似周辺点列{Fl}を利用して、検査対象の光学画像から降順類似周辺点列{Fl}を抽出するステップである。例えば、特定パターン抽出ステップは、検査の対象である光学画像から特定パターンの15x15画素の諧調(s11、s12、・・・、s1515)の矩形領域を抽出する。同様に、類似周辺パターン抽出ステップは、類似周辺パターンの中心点列(降順類似周辺点列){Fl}の要素Fi(i=1,2,..,n)について、その中心とする類似周辺パターンの15x15画素の諧調(r11、r12、・・・、r1515)の矩形領域を検査の対象である光学画像から抽出する。
非類似度算出ステップは、非類似度算出部20により、特定パターンと類似周辺パターンとの似ていない程度、即ち、非類似度を求めるステップである。非類似度R(n)は、類似していない程度を数値的に表すものであればよく、例えば、次のようにして求めることができる。なお、非類似度R(n)は、n番目の類似周辺パターンとの非類似を示している。ただしn≦Nである。そこで、先ず、類似周辺パターンの15x15画素の諧調(r11、r12、・・・、r1515)の矩形領域と、特定パターンの15x15画素の諧調(s11、s12、・・・、s1515)の矩形領域との間で、両矩形に属する画素間の累積2乗差異を算出し、Gi(=(r11−s11)2+(r12−s12)2+・・・+(r1515−s1515)2)とする。ここで、非類似度R(n)=(G1+G2+…+Gn)/nとする。ただし、nが0のときはR=0とする。この非類似度R(n)が大きいほど、非類似度が大きいことを示している。
非類似度R(n)が、図5のように求まったとすると、従来の技術では、求まった全ての類似周辺パターンを使って求めた非類似度R(5)=80(nが5の場合)を最終的な非類似度としていた。しかし、図5の例の場合、nの増加に伴って非類似度R(n)が小さくなっている。すなわち、検査対象画素と距離が近い画素を使って検査するほど非類似度が小さくなっている。このことから、図2の領域Aが局所的に同一変形を受けたときのように、ローカルCDエラーの存在が疑われる。そこで、ばらつき評価ステップは、ばらつき評価部22により、非類似度R(n)からローカルCDエラーの存在を判定するローカルCDエラー判定値を求めるものである。
ローカルCDエラー判定ステップは、ローカルCDエラー判定部24により、あるn(≦N)に対して、予め定められたしきい値と比較して、ローカルCDエラー判定値(R(n)−t(n))>しきい値、であれば、ローカルCDエラーが存在すると判定する。図5の例では、しきい値を100とすると、R(1)−t(1)=160>100、R(2)−t(2)=150>100、R(4)−t(4)=90<100、R(5)−t(5)=75<100であるから、n=1、2では、しきい値より大きく、n=4、5では、しきい値より小さい。このように、本発明は、従来、最終的な非類似度(R(5)=80(nが5の場合))を求めていた途中の工程や値を利用して、容易にローカルCDエラーの存在を判定することができる。
12・・・基準画像
14・・・類似パターン探査部
16・・・光学画像の特定パターン抽出部
18・・・光学画像の複数の類似周辺パターン抽出部
20・・・非類似度算出部
22・・・ばらつき評価部
24・・・ローカルCDエラー判定部
30・・・光学画像取得装置
32・・・オートローダ
34・・・光源
36・・・照明光学系
38・・・レーザ測長システム
40・・・レチクル
42・・・載置台
44〜48・X、Y、θモータ
50・・・結像光学系
52・・・光学画像受光部
54・・・センサ回路
60・・・データ処理装置
62・・・中央演算処理部
64・・・オートローダ制御部
66・・・テーブル制御部
68・・・データベース
70・・・データベース作成部
72・・・展開部
74・・・参照部
76・・・比較処理部
78・・・位置測定部
80・・・主記憶装置
82・・・大容量記憶装置
84・・・表示装置
86・・・印刷装置
88・・・バス
Claims (5)
- 検査対象試料に形成されたパターンを検査するパターン検査装置において、
検査対象試料内の特定パターンの周辺にあり、特定パターンと類似する複数の類似周辺パターンを求める類似周辺パターン探査部と、
特定パターンと類似周辺パターンとの非類似度を求める非類似度算出部と、
非類似度から許容誤差を除いて、ローカルCDエラー判定値を求めるばらつき評価部と、
ローカルCDエラー判定値が、特定パターンと類似周辺パターン間の距離が増大した時に、しきい値を超えるとローカルCDエラーと判定するローカルCDエラー判定部と、を備えるパターン検査装置。 - 請求項1に記載のパターン検査装置において、
非類似度算出部は、ローカルCDエラーが存在しない場合の特定パターンと類似パターンの非類似度から許容誤差を求める、パターン検査装置。 - 請求項1に記載のパターン検査装置において、
類似周辺パターン探査部は、設計データから求めた参照画像を用いて、特定パターンと類似する複数の類似周辺パターンを求める、パターン検査装置。 - 検査対象試料に形成されたパターンを検査するパターン検査方法において、
検査対象試料内の特定パターンの周辺にあり、特定パターンと類似する複数の類似周辺パターンを求める類似周辺パターン探査ステップと、
特定パターンと類似周辺パターンとの非類似度を求める非類似度算出ステップと、
非類似度から許容誤差を除いて、ローカルCDエラー判定値を求めるばらつき評価ステップと、
ローカルCDエラー判定値が、特定パターンと類似周辺パターン間の距離が増大した時に、しきい値を超えるとローカルCDエラーと判定するローカルCDエラー判定ステップと、を備えるパターン検査方法。 - 請求項4に記載のパターン検査方法において、
ローカルCDエラーが存在しない場合の特定パターンと類似パターンの非類似度から許容誤差を求める許容値算出ステップを備える、パターン検査方法。
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