JP2007532433A - Method and system for liquid dispensing with headspace degassing - Google Patents

Method and system for liquid dispensing with headspace degassing Download PDF

Info

Publication number
JP2007532433A
JP2007532433A JP2007508510A JP2007508510A JP2007532433A JP 2007532433 A JP2007532433 A JP 2007532433A JP 2007508510 A JP2007508510 A JP 2007508510A JP 2007508510 A JP2007508510 A JP 2007508510A JP 2007532433 A JP2007532433 A JP 2007532433A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
gas
container
liquid
detecting
space
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2007508510A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP2007532433A5 (en
Inventor
グレゴリー ビー. エイデン,
ラッセル エフ. エーベルグ,
ケビン ティー. オドウアティー,
ドナルド シー. グラント,
ジョセフ ピー. メニング,
Original Assignee
アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Priority to US10/823,127 priority Critical patent/US20050224523A1/en
Application filed by アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド filed Critical アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド
Priority to PCT/US2005/012593 priority patent/WO2005100203A2/en
Publication of JP2007532433A publication Critical patent/JP2007532433A/en
Publication of JP2007532433A5 publication Critical patent/JP2007532433A5/ja
Granted legal-status Critical Current

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B67OPENING, CLOSING OR CLEANING BOTTLES, JARS OR SIMILAR CONTAINERS; LIQUID HANDLING
    • B67DDISPENSING, DELIVERING OR TRANSFERRING LIQUIDS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B67D7/00Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes
    • B67D7/02Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants
    • B67D7/0238Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers
    • B67D7/0255Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers squeezing collapsible or flexible storage containers
    • B67D7/0261Apparatus or devices for transferring liquids from bulk storage containers or reservoirs into vehicles or into portable containers, e.g. for retail sale purposes for transferring liquids other than fuel or lubricants utilising compressed air or other gas acting directly or indirectly on liquids in storage containers squeezing collapsible or flexible storage containers specially adapted for transferring liquids of high purity

Abstract

外側容器と内側容器とを備える容器から分配するための、液体分配方法およびそのシステム。このシステムにおいて、内側容器の一部分が、液体によって占められており、そして、内側容器の残りの部分は、上部スペースの気体によって占められている。このシステムは、内部に流体通路を有するプローブ、および、内側容器の内部と外側容器の外部との間を連絡する気体通路を備える。流体(例えば、空気または窒素)は、圧力下で、外側容器の内壁と内側容器との間の空間内に流され、気体通路を介して、内側容器から上部スペースの気体を押し出し、そして、プローブ内の流体通路を通して、内側容器から製造プロセスへと液体を押し出す。A liquid dispensing method and system for dispensing from a container comprising an outer container and an inner container. In this system, a portion of the inner container is occupied by the liquid and the remaining portion of the inner container is occupied by the headspace gas. The system includes a probe having a fluid passage therein, and a gas passage communicating between the interior of the inner container and the exterior of the outer container. A fluid (eg, air or nitrogen) is flowed under pressure into the space between the inner wall of the outer container and the inner container, extruding the upper space gas from the inner container via the gas passage, and the probe The liquid is pushed from the inner container through the fluid passage into the manufacturing process.

Description

本発明は、液体を保管および分配するための、保管および分配のシステムに関する。特に、本発明は、液体を、上部スペース(headspace)の気体を含む容器から製造プロセスへと分配するための方法およびシステムに関する。   The present invention relates to a storage and dispensing system for storing and dispensing liquids. In particular, the present invention relates to a method and system for dispensing a liquid from a container containing a headspace gas to a manufacturing process.
特定の製造プロセスは、液状の化学物質(例えば、酸、溶媒、塩基、フォトレジスト、ドーパント、無機溶液、有機溶液、生物学的溶液、医薬品および放射活性化学物質)の使用を必要とする。保管および分配のシステムは、代替的な容器が、特定の時間に、液状の化学物質を製造プロセスへと送達するために使用されることを可能にする。これらの処理された液体は、通常、専用の分配ポンプによって、加圧された保管および分配の容器から分配される。   Certain manufacturing processes require the use of liquid chemicals such as acids, solvents, bases, photoresists, dopants, inorganic solutions, organic solutions, biological solutions, pharmaceuticals and radioactive chemicals. The storage and dispensing system allows alternative containers to be used to deliver liquid chemicals to the manufacturing process at specific times. These treated liquids are typically dispensed from pressurized storage and dispensing containers by a dedicated dispensing pump.
充填施設においてこれらの容器を充填した後、容器は、代表的に、製造プロセスにおいて使用するための位置に輸送される。一旦製造プロセスの施設に移されると、これらの容器は、製造プロセスに接続される前に、長期にわたって保管され得る。しかし、上記の化学物質のいくつかの純度は、長期にわたって保管された場合、減衰する傾向がある。例えば、薄膜トランジスタのフラットパネルディスプレイの製造において、使用されるカラーフィルターの化学物質は、減衰する傾向にある。なぜならば、カラーフィルターの化学物質中のフリーラジカルは、温度の変動の結果として、輸送および保管の間に放出されるからである。このことが生じることを回避するために、上部スペースと呼ばれる、容器の空の部分に、上部スペースの気体が充填される。上部スペースの気体は、保管の間に、液体中で化学反応が生じることを抑制することによって、液状の化学物質の減衰を防止する。例えば、カラーフィルターの化学物質の場合、充填施設において、酸素を含む上部スペースの気体が、容器内へと導入される。なぜならば、酸素は、放出されると、化学物質内のフリーラジカルを除去し、それによって、カラーフィルターの化学物質の減衰を防止する傾向があるからである。   After filling these containers at the filling facility, the containers are typically transported to a location for use in the manufacturing process. Once transferred to the manufacturing process facility, these containers can be stored for long periods of time before being connected to the manufacturing process. However, the purity of some of the above chemicals tends to decay when stored over time. For example, in the manufacture of thin film transistor flat panel displays, the color filter chemicals used tend to decay. This is because free radicals in the color filter chemical are released during transport and storage as a result of temperature fluctuations. To avoid this happening, the empty space of the container, called the upper space, is filled with the gas in the upper space. The gas in the upper space prevents liquid chemicals from decaying by inhibiting chemical reactions from occurring in the liquid during storage. For example, in the case of a color filter chemical, an upper space gas containing oxygen is introduced into the container at the filling facility. This is because when released, oxygen tends to remove free radicals in the chemical, thereby preventing the decay of the color filter chemical.
容器が、製造プロセスに接続される予定である場合、上部スペースの気体は、もはや、不必要であるか、または所望されない。従って、上部スペースの気体は、液体を製造プロセスへと分配する前に除去されなければならない。しかし、上部スペースの気体を排出する間に、容器をかき回すこと、または、上部スペースの気体を液状の化学物質へと押し出すことを回避するために、注意が払われなければならない。液状の化学物質に気体を導入すると、化学物質中に気泡の形成を生じ得、これは、この液状の化学物質を製造プロセスにおいて使用するには不完全なものにし得る。   If the container is to be connected to a manufacturing process, the headspace gas is no longer needed or desired. Thus, the headspace gas must be removed prior to dispensing the liquid into the manufacturing process. However, care must be taken to avoid stirring the container or extruding the headspace gas into liquid chemicals while venting the headspace gas. Introducing a gas into a liquid chemical can result in the formation of bubbles in the chemical, which can make the liquid chemical incomplete for use in the manufacturing process.
さらに、上部スペースの気体を除去した後に、容器内に少量の気体を残すことが望ましくあり得る。全ての液体が容器から分配された場合、この少量の空であることを検出するための気体(empty detect gas)が、ディスペンサーによって検出されて、容器が空であることを示す。従来のシステムにおいて、空であることを検出するための気体の容器内に残る量は、容易には制御できない。   Furthermore, it may be desirable to leave a small amount of gas in the container after the headspace gas is removed. When all the liquid has been dispensed from the container, this small amount of empty detect gas is detected by the dispenser to indicate that the container is empty. In conventional systems, the amount left in the gas container to detect emptyness cannot be easily controlled.
従って、上部スペースの気体を容易に除去すること、そして、所望される場合、上部スペースの気体を除去した後に、空であることを検出するための気体の容器内に残る量を容易に調節することが可能なシステムが望ましい。   Thus, it is easy to remove the headspace gas and, if desired, easily adjust the amount left in the gas container to detect emptiness after the headspace gas is removed. A system that can do this is desirable.
(発明の要旨)
本発明は、外側容器と内側容器とを備える容器から製造プロセスへと液状の化学物質を分配するための方法およびしシステムであって、上記内側容器の一部分は、液状の化学物質で占められており、そして、この内側容器の残りの部分は、上部スペースの気体で占められている。上記システムは、内部に流体経路を有する、内側容器の内部に挿入可能なプローブ、および内側容器の内部と外側容器の外部との間を連絡する気体通路を備える。このシステムは、さらに、外側容器の内壁と、内側容器との間の空間と流体連絡する手段を備え、この手段は、圧力下で、流体が、外側容器の内壁と内側容器との間の空間に流入することを可能にして、気体通路を介して、上部スペースの気体を、内側容器から上部スペースの気体の排気管へと押し出し、そして、プローブ内の流体通路を通して、液体を、内側容器から製造プロセスへと押し出す。
(Summary of the Invention)
The present invention is a method and system for dispensing a liquid chemical from a container comprising an outer container and an inner container to a manufacturing process, wherein a portion of the inner container is occupied by a liquid chemical. And the remainder of the inner container is occupied by the gas in the top space. The system includes a probe that has a fluid path therein and is insertable into the interior of the inner container and a gas passage that communicates between the interior of the inner container and the exterior of the outer container. The system further comprises means for fluid communication with the space between the inner wall of the outer container and the inner container, which means that, under pressure, the fluid passes between the inner wall of the outer container and the inner container. Through the gas passage to push the upper space gas from the inner container to the upper space gas exhaust and through the fluid passage in the probe, the liquid is removed from the inner container. Push into the manufacturing process.
好ましい実施形態において、上記システムは、さらに、上部スペースの気体の排気管と気体通路との間に接続された排気弁を備える。この排気弁は、上部スペースの気体を、気体通路を介して上部スペースの気体の排気管へと排出することを可能にするために選択可能な開位置を有する。この排気弁はまた、上部スペースの気体が、内側容器の内部から排出されたときに選択可能な閉位置を有する。このシステムはまた、好ましくは、気体通路と上部スペースの気体の排気管との間に接続された液体センサを備え、この液体センサは、液状の化学物質が、気体通路内に流入し始めるときを検知して、上部スペースの気体が、内側容器の内部から排出されたことを示す。   In a preferred embodiment, the system further comprises an exhaust valve connected between the upper space gas exhaust pipe and the gas passage. The exhaust valve has an open position that is selectable to allow the gas in the upper space to be discharged through the gas passageway to the gas exhaust pipe in the upper space. The exhaust valve also has a selectable closed position when the headspace gas is exhausted from the interior of the inner container. The system also preferably includes a liquid sensor connected between the gas passage and the upper space gas exhaust pipe, the liquid sensor detecting when liquid chemicals begin to flow into the gas passage. Detected to indicate that the gas in the upper space has been exhausted from the inside of the inner container.
このシステムはまた、好ましくは、液状の化学物質が、内側容器から排出されたときを検知するための、空を検出するための手段を備える。1つの実施形態において、空を検出するための手段は、空であることを検出するための気体のセンサである。使用の際、液状の化学物質を製造プロセスへと分配する直前に、少量の空であることを検出するための気体が、内側容器の内部に導入される。空であることを検出するための気体のセンサは、液状の化学物質が、容器から排出されたときに、この空であることを検出するための気体を検知する。空であることを検出するための気体が、空であることを検出するための気体のセンサによって検知されると、製造プロセスへの液体の分配が終了する。別の実施形態において、空を検出するための手段は、液体が製造プロセスへと分配される間に、流体容器の重量を計測するためのスケールを備え、その結果、このスケールにより測定された場合に、流体容器が所定の空重量に達したときに、液体の分配が終了する。   The system also preferably comprises means for detecting the sky to detect when the liquid chemical is discharged from the inner container. In one embodiment, the means for detecting sky is a gas sensor for detecting that it is empty. In use, just before dispensing the liquid chemical into the manufacturing process, a small amount of gas for detecting emptyness is introduced into the inner container. The gas sensor for detecting the empty state detects the gas for detecting the empty state when the liquid chemical substance is discharged from the container. When the gas for detecting the empty state is detected by the gas sensor for detecting the empty state, the liquid distribution to the manufacturing process is finished. In another embodiment, the means for detecting the sky comprises a scale for measuring the weight of the fluid container while the liquid is dispensed into the manufacturing process, so that if measured by this scale In addition, when the fluid container reaches a predetermined empty weight, the liquid distribution is finished.
(詳細な説明)
図1は、液体12を、上部スペースの気体18が充填された上部スペース16を備える容器14から製造プロセス13へと分配するための、本発明の好ましい実施形態によるシステム10の模式図である。容器16は、可撓性の内側容器20と剛性の外側容器22とを備える。システム10はさらに、圧縮空気または窒素の供給源30、圧縮空気の通路32、上部スペースの気体の通路34、排気弁36、液体センサ38、上部スペースの気体の排気管40、流体通路42、容器のスケール44、およびシステムコントロール46を備える。
(Detailed explanation)
FIG. 1 is a schematic diagram of a system 10 according to a preferred embodiment of the present invention for dispensing liquid 12 from a container 14 comprising an upper space 16 filled with an upper space gas 18 to a manufacturing process 13. The container 16 includes a flexible inner container 20 and a rigid outer container 22. The system 10 further includes a compressed air or nitrogen source 30, a compressed air passage 32, an upper space gas passage 34, an exhaust valve 36, a liquid sensor 38, an upper space gas exhaust pipe 40, a fluid passage 42, a container. Scale 44 and system control 46.
圧縮気体の供給源30は、圧縮空気の通路32を介して、圧縮空間31(すなわち、外側容器22の内壁と、内側容器20の外側表面との間の空間)に接続されている。内側容器20の内部は、気体通路34を介して上部スペースの気体の排気管40に接続されている。排気弁36および液体センサ38は、内側容器20の内側と上部スペースの気体の排気管40との間で、気体通路34に沿って接続されている。最後に、内側容器20の内側は、流体通路42を介して、製造プロセス13に流体連絡している。   The compressed gas supply source 30 is connected to a compressed space 31 (that is, a space between the inner wall of the outer container 22 and the outer surface of the inner container 20) via a compressed air passage 32. The inside of the inner container 20 is connected to a gas exhaust pipe 40 in the upper space via a gas passage 34. The exhaust valve 36 and the liquid sensor 38 are connected along the gas passage 34 between the inside of the inner container 20 and the gas exhaust pipe 40 in the upper space. Finally, the inside of the inner container 20 is in fluid communication with the manufacturing process 13 via a fluid passage 42.
気体通路34および流体通路42は、好ましくは、単一のコネクタパッケージ内であわされ、その結果、内側容器20の内部は、上部スペースの気体の排気管40および製造プロセス13と、1つの接続部で流体連絡する。流体通路42は、代表的には、容器のポートを通して、内側容器20内へと挿入可能なプローブ内に提供され、液体12と製造プロセス13との間に流体連絡を提供する。   The gas passage 34 and the fluid passage 42 are preferably contained within a single connector package so that the interior of the inner container 20 is connected to the upper space gas exhaust 40 and the manufacturing process 13 in one connection. In fluid communication. A fluid passageway 42 is typically provided in the probe that can be inserted through the port of the container and into the inner container 20 to provide fluid communication between the liquid 12 and the manufacturing process 13.
外側容器22は、充填の間、輸送の間、処理の間、および分配の間に、可撓性の内側容器20(例えば、可撓性のポリマー製バッグ)によって必要とされる機械的な支持および保護を提供する。外側容器22は、代表的には、金属から構築されるが、容器14内に含まれる特定の液体の処理についての政府規制の規格に依存して、他の材料(プラスチック材料を含む)もまた、使用され得る。好ましくは、容器14は、1994年8月9日に発行された、Osgarに対する米国特許第5,335,821号(本明細書中に参考として援用される)に示されるような容器である。   The outer container 22 is the mechanical support required by the flexible inner container 20 (eg, flexible polymer bag) during filling, shipping, processing, and dispensing. And provide protection. The outer container 22 is typically constructed from metal, but other materials (including plastic materials) may also be used, depending on government regulatory standards for the treatment of the particular liquid contained within the container 14. Can be used. Preferably, the container 14 is a container as shown in US Pat. No. 5,335,821 issued Aug. 9, 1994 to Osgar (incorporated herein by reference).
システムコントロール46は、好ましくは、マイクロプロセッサベースのコントロールシステムであり、これは、圧縮空気の供給源30、排気弁36、液体センサ38および容器のスケール44に接続されている。システムコントロール46は、システム10の種々の構成要素から受信されるシグナルに基づいて、システム10の動作を制御する。   The system control 46 is preferably a microprocessor based control system that is connected to a source 30 of compressed air, an exhaust valve 36, a liquid sensor 38 and a container scale 44. System control 46 controls the operation of system 10 based on signals received from various components of system 10.
製造プロセス13に取り付ける前に、容器14は、充填施設において充填される。充填の間、内側容器20は、まず、窒素のような気体で膨張させられる。次いで、液体12が、容器14内のポートを通して導入され、外側容器22内で、内側容器20を満たす。   Prior to attachment to the manufacturing process 13, the container 14 is filled at a filling facility. During filling, the inner container 20 is first expanded with a gas such as nitrogen. Liquid 12 is then introduced through a port in container 14 to fill inner container 20 in outer container 22.
いくつかの化学物質の純度は、長時間にわたり保管される場合、特に、温度の変動に供される場合、減衰する傾向がある。例えば、薄膜トランジスタのフラットパネルディスプレイの製造において、使用されるカラーフィルターの化学物質は、減衰または架橋する傾向がある。なぜならば、輸送および保管の間にカラーフィルターの化学物質中のフリーラジカルが放出されるからである。このことが生じることを防ぐために、容器の空の部分、上部スペース16が、上部スペースの気体18で満たされる。上部スペースの気体18は、容器14の輸送および保管の間に、液体12内で化学反応が生じることを防ぐことによって、液体12の減衰を防ぐ。例えば、カラーフィルターの化学物質の場合、酸素を含む上部スペースの気体18は、充填施設において、内側容器20内へと導入される。なぜならば、酸素は、放出されると、化学物質内のフリーラジカルを除去して、それによって、カラーフィルターの化学物質の減衰および架橋を防ぐ傾向があるからである。   The purity of some chemicals tends to decay when stored over time, especially when subjected to temperature fluctuations. For example, in the manufacture of thin film transistor flat panel displays, the color filter chemicals used tend to attenuate or crosslink. This is because free radicals in the color filter chemicals are released during transport and storage. To prevent this from happening, the empty portion of the container, the upper space 16, is filled with the gas 18 in the upper space. The headspace gas 18 prevents the liquid 12 from decaying by preventing chemical reactions from occurring in the liquid 12 during transport and storage of the container 14. For example, in the case of a color filter chemical, the headspace gas 18 containing oxygen is introduced into the inner container 20 at the filling facility. This is because when released, oxygen tends to remove free radicals in the chemical, thereby preventing the decay and cross-linking of the color filter chemical.
容器14が、製造プロセス13に接続される予定である場合、上部スペースの気体18は、もはや、不必要であるか、または所望されない。したがって、上部スペースの気体18は、液体12を製造プロセス13へと分配する前に取り外されなければならない。まず、圧縮空気の通路32、気体通路34、および流体通路42が、容器14に接続される。次いで、シグナルが、システムコントロール46(好ましくは、マイクロプロセッサベースのシステム)により送られ、排気弁36を開く。これにより、内側容器20の内部と上部スペースの気体の排気管40との間に流体連絡を生じる。その後、加圧された流体(好ましくは、圧縮された空気もしくは窒素)が、圧縮空気の供給源30によって圧縮空間31へと供給され、そして、気体通路34を介して、液体センサ38を通って、そして、上部スペースの気体の排気管40へと上部スペースの気体18を押し出す。上部スペースの気体18が、容器14の内側容器20から引き抜かれると、空気は、圧縮空間31へと入ることが可能になり、それによって、可撓性の内側容器20を潰す。内側容器20は、好ましくは、加圧された空気により潰されるが、上部スペースの気体18を、気体の通路34を通して押し出すための、内側容器20を潰し得るあらゆる手段(油圧式もしくは機械ベースのデバイスを含む)が使用され得る。あるいは、気体通路34に接続されたポンプが、容器14から上部スペースの気体18を引き抜き得る。   If the container 14 is to be connected to the manufacturing process 13, the headspace gas 18 is no longer needed or desired. Thus, the headspace gas 18 must be removed prior to dispensing the liquid 12 into the manufacturing process 13. First, the compressed air passage 32, the gas passage 34, and the fluid passage 42 are connected to the container 14. A signal is then sent by the system control 46 (preferably a microprocessor based system) to open the exhaust valve 36. This creates fluid communication between the interior of the inner container 20 and the gas exhaust pipe 40 in the upper space. A pressurized fluid (preferably compressed air or nitrogen) is then supplied to the compression space 31 by a compressed air source 30 and through a liquid sensor 38 via a gas passage 34. Then, the gas 18 in the upper space is pushed out to the gas exhaust pipe 40 in the upper space. As the headspace gas 18 is withdrawn from the inner container 20 of the container 14, air can enter the compression space 31, thereby collapsing the flexible inner container 20. The inner container 20 is preferably crushed by pressurized air, but any means (hydraulic or mechanical based device) that can collapse the inner container 20 to push the headspace gas 18 through the gas passage 34. Can be used. Alternatively, a pump connected to the gas passage 34 can draw the upper space gas 18 from the container 14.
上部スペースの気体18が、内側容器20から排気された後、液体12は、気体通路34内へと流入し始める。なぜならば、圧縮空気の供給源30は、圧縮空間31へと空気を供給し続けているからである。液体12が、液体センサ38に達すると、シグナルがシステムコントロール46へと送られ、そして、排気弁36を閉じる。これにより、内側容器20の内部と、上部スペースの気体の排気管40との間の接続が終了する。あるいは、システム10の使用者は、液体12が、気体通路34へと流れ始めたときを視覚的に決定し、排気弁36を手で止めて、上部スペースの気体の排気管40への接続を終了させ得る。   After the headspace gas 18 is exhausted from the inner container 20, the liquid 12 begins to flow into the gas passage 34. This is because the compressed air supply source 30 continues to supply air to the compressed space 31. When the liquid 12 reaches the liquid sensor 38, a signal is sent to the system control 46 and the exhaust valve 36 is closed. Thereby, the connection between the inside of the inner container 20 and the gas exhaust pipe 40 in the upper space is completed. Alternatively, the user of the system 10 visually determines when the liquid 12 has begun to flow into the gas passage 34 and manually shuts the exhaust valve 36 to connect the upper space gas to the exhaust pipe 40. Can be terminated.
内側容器20の内部と上部スペースの気体の排気管40との間の接続が終了すると、液体12は、流体通路42を通して押し出される。なぜならば、圧縮空気が、圧縮空気の供給源30によって圧縮空間31へと供給され続けているからである。液体12が、容器14の可撓性の内側容器20から引き抜かれると、空気は、圧縮空間31へと入ることが可能になり、それによって、内側容器20を潰す。内側容器20は、好ましくは、加圧された空気によって潰されるが、内側容器20を潰して、流体通路42を通して液体を押し出し得るあらゆる手段(油圧式もしくは機械ベースのデバイスを含む)が使用され得る。あるいは、流体通路42に接続されたポンプもしくはベンチュリが、容器14から液体12を引き抜き得る。   When the connection between the inside of the inner container 20 and the gas exhaust pipe 40 in the upper space is terminated, the liquid 12 is pushed out through the fluid passage 42. This is because the compressed air continues to be supplied to the compressed space 31 by the compressed air supply source 30. As the liquid 12 is withdrawn from the flexible inner container 20 of the container 14, air can enter the compression space 31, thereby collapsing the inner container 20. The inner container 20 is preferably crushed by pressurized air, but any means (including hydraulic or mechanical based devices) that can collapse the inner container 20 and push liquid through the fluid passage 42 can be used. . Alternatively, a pump or venturi connected to the fluid passage 42 can draw the liquid 12 from the container 14.
ここで、上部スペースの気体18が、液体12を製造プロセス13へと分配する前に除去される場合、上部スペースの気体18は、ヘンリーの法則に従って、溶液中に溶け始めることに注意することが重要である。ヘンリーの法則は、一定温度において、溶液中に溶解する気体の量は、溶液の上部にある気体の圧力に直接比例すると述べている。従って、内側容器20は、圧縮空気の供給源30によって潰されて、液体12を内側容器20から外へと押し出すので、上部スペースの気体18の圧力は、このプロセスの間に高くなる。これにより、上部スペースの気体18が、液体12内へと溶解し、それによって、液体12がプロセス13へと運ばれるときに、有害な気泡の形成を生じる。   Note that if the headspace gas 18 is removed before dispensing the liquid 12 into the manufacturing process 13, the headspace gas 18 begins to dissolve in the solution according to Henry's law. is important. Henry's law states that at a constant temperature, the amount of gas dissolved in the solution is directly proportional to the pressure of the gas at the top of the solution. Thus, as the inner container 20 is crushed by the compressed air source 30, pushing the liquid 12 out of the inner container 20, the pressure of the headspace gas 18 is increased during this process. This causes the headspace gas 18 to dissolve into the liquid 12, thereby creating harmful bubble formation when the liquid 12 is transported to the process 13.
液体12が、製造プロセス13へと分配されると、容器14の重量が減少する。容器のスケール44は、容器14が所定の空重量に達した時点を決定するために、液体12が製造プロセス13に分配されているとき、連続して容器14の重量を計測する。容器14の空重量は、内側にある内側容器20が空である、外側容器22の重量である。容器のスケール44による空重量の決定は、全ての液体12が内側容器20から分配されたことを確実にする。   As the liquid 12 is dispensed into the manufacturing process 13, the weight of the container 14 decreases. The container scale 44 continuously measures the weight of the container 14 as the liquid 12 is being dispensed into the manufacturing process 13 to determine when the container 14 has reached a predetermined empty weight. The empty weight of the container 14 is the weight of the outer container 22 where the inner container 20 inside is empty. Determination of the empty weight by the container scale 44 ensures that all the liquid 12 has been dispensed from the inner container 20.
容器のスケール44が、容器14が空であることを決定すると、システムコントロール46が、シグナルを送って、圧縮空気の供給源30を止める。その後、圧縮空気の通路32、気体通路34、および流体通路42が、空の容器14から接続を断たれて、空の容器14が、システム10から取り外され、そして、液体12および上部スペースの気体18を含む新しい容器14が、システム10に接続される。次いで、容器14からの液体12の分配が再開する。   When the container scale 44 determines that the container 14 is empty, the system control 46 sends a signal to turn off the source 30 of compressed air. The compressed air passage 32, gas passage 34, and fluid passage 42 are then disconnected from the empty container 14, the empty container 14 is removed from the system 10, and the liquid 12 and headspace gas A new container 14 containing 18 is connected to the system 10. The dispensing of the liquid 12 from the container 14 then resumes.
図2は、液体12を容器14から製造プロセス13へと分配するための、本発明の別の好ましい実施形態に従うシステム50の模式図である。容器14は、容器14の輸送および保管の間に、液体12を安定化するために提供される、上部スペースの気体18を備える。図1に示されるシステム10と同様に、システム50は、圧縮空気の供給源30、圧縮空気の通路32、上部スペースの気体の通路34、液体センサ38、上部スペースの気体の排気管40、流体通路42、およびシステムコントロール46を備える。さらに、システム50は、空であることを検出するための気体の供給源52、レギュレーターゲージ54、第1ブロック弁55、気体量制御装置(gas quantity controller)56、第2ブロック弁58、選択弁60、および空であることを検出するための気体のセンサ62を備える。   FIG. 2 is a schematic diagram of a system 50 according to another preferred embodiment of the present invention for dispensing liquid 12 from container 14 to manufacturing process 13. The container 14 includes a headspace gas 18 that is provided to stabilize the liquid 12 during transport and storage of the container 14. Similar to the system 10 shown in FIG. 1, the system 50 includes a compressed air source 30, a compressed air passage 32, an upper space gas passage 34, a liquid sensor 38, an upper space gas exhaust 40, a fluid. A passage 42 and a system control 46 are provided. Further, the system 50 includes a gas supply source 52, a regulator gauge 54, a first block valve 55, a gas quantity controller 56, a second block valve 58, a selection valve for detecting emptyness. 60 and a gas sensor 62 for detecting that it is empty.
圧縮空気の供給源30は、圧縮空気の通路32を介して、圧縮空間31に接続される。選択弁60は、選択弁60の位置状態に依存して選択弁ポート60aまたは選択弁ポート60bに接続されたデバイスに、(気体通路34を介して)内側容器20の内部を接続する、3ポート弁である。より具体的には、第1の位置において、選択弁60は、内側容器20の内部と、ポート60aに接続されたデバイス(すなわち、液体センサ38および上部スペースの気体の排気管40)との間の流体連絡を提供する。液体センサ38は、選択弁60と上部スペースの気体の排気管40との間に接続される。第2の位置において、選択弁60は、内側容器20の内部と、ポート60bに接続されたデバイス(すなわち、空であることを検出するための気体の供給源52、レギュレーターゲージ54、第1ブロック弁55、気体量制御装置56および第2ブロック弁58)との間の流体接続を提供する。レギュレーターゲージ54、第1ブロック弁55、気体量制御装置56、および第2ブロック弁58は、空であることを検出するための気体の供給源52と、選択弁60との間に接続される。最終的に、内側容器20の内部は、流体通路42を介して、製造プロセス13と流体連絡する。空であることを検出するための気体のセンサ62は、流体通路42に沿って接続される。   The compressed air supply source 30 is connected to the compressed space 31 via a compressed air passage 32. The selection valve 60 is connected to the device connected to the selection valve port 60a or the selection valve port 60b depending on the position state of the selection valve 60 (via the gas passage 34), and connects to the inside of the inner container 20 with three ports. It is a valve. More specifically, in the first position, the selection valve 60 is between the interior of the inner container 20 and the device connected to the port 60a (ie, the liquid sensor 38 and the upper space gas exhaust pipe 40). Provide fluid communication. The liquid sensor 38 is connected between the selection valve 60 and the gas exhaust pipe 40 in the upper space. In the second position, the selector valve 60 is connected to the interior of the inner container 20 and the device connected to the port 60b (ie, the gas source 52 for detecting emptyness, the regulator gauge 54, the first block). A fluid connection is provided between the valve 55, the gas control device 56 and the second block valve 58). The regulator gauge 54, the first block valve 55, the gas amount control device 56, and the second block valve 58 are connected between the gas supply source 52 for detecting that it is empty and the selection valve 60. . Finally, the interior of the inner container 20 is in fluid communication with the manufacturing process 13 via the fluid passage 42. A gas sensor 62 for detecting emptyness is connected along the fluid passage 42.
気体通路34、流体通路42、および選択弁60は、好ましくは、単一のコネクタパッケージ内で合わされ、その結果、内側容器20の内部は、上部スペースの気体の排気管40、空であることを検出するための気体の供給源52、および、製造プロセス13と、1つの接続部で接続される。流体通路42は、代表的には、容器のポートを通して、そして、内側容器20内へと挿入可能なプローブ内に提供され、液体12と製造プロセス13との間の流体連絡を提供する。   The gas passage 34, fluid passage 42, and selection valve 60 are preferably combined in a single connector package so that the interior of the inner container 20 is empty in the upper space gas exhaust 40, empty. It is connected to the gas supply source 52 for detection and the manufacturing process 13 through one connection. A fluid passageway 42 is typically provided in the probe that can be inserted through the port of the container and into the inner container 20 to provide fluid communication between the liquid 12 and the manufacturing process 13.
図2に示される実施形態において、システムコントロール46は、圧縮空気の供給源30、液体センサ38、レギュレーターゲージ54、第1ブロック弁55、第2ブロック弁58、選択弁60、および空であることを検出するための気体のセンサ62に接続される。システムコントロール46は、システム50の種々の構成要素から受信するシグナルに基づいて、システム50の動作を制御する。   In the embodiment shown in FIG. 2, the system control 46 is a compressed air source 30, a liquid sensor 38, a regulator gauge 54, a first block valve 55, a second block valve 58, a selection valve 60, and empty. Is connected to a gas sensor 62 for detecting. System control 46 controls the operation of system 50 based on signals received from the various components of system 50.
上記のように、容器14が、製造プロセス13に接続される予定である場合、上部スペースの気体18は、もはや、不必要であるか、または所望されない。従って、上部スペースの気体18は、液体12を製造プロセス13へと分配する前に除去されなければならない。システム50内の容器14から上部スペースの気体18を除去する手順は、システム10における同じプロセスと類似する。まず、圧縮空気の通路32、気体通路34、および流体通路42が、容器14に接続される。次いで、システムコントロール46が、シグナルを選択弁60に送って、弁を第1の位置に戻し、(選択弁ポート60aを介して)内側容器20の内部と上部スペースの気体の排気管40との間に流体接続を生じる。システム50の使用者はまた、手で、選択弁60をその第1の位置に戻し得る。その後、加圧された流体(好ましくは、圧縮された空気もしくは窒素)が、圧縮空気の供給源30によって、圧縮空間31へと供給され、上部スペースの気体18を、気体通路34を通して、液体センサ38を通して、そして、上部スペースの気体の排気管40へと押し出す。上部スペースの気体18が、容器14の内側容器20から引き抜かれると、空気が、圧縮空間31内に入ることが可能になり、それにより、可撓性の内側容器20が潰される。内側容器20は、好ましくは、加圧された気体によって潰されるが、内側容器20を潰して、上部スペースの気体18を、気体通路34を通して押し出し得るあらゆる手段(油圧式もしくは機械ベースのデバイスを含む)が使用され得る。あるいは、気体通路34に接続されたポンプもしくはベンチュリが、上部スペースの気体18を容器14から引き抜き得る。   As noted above, if the container 14 is to be connected to the manufacturing process 13, the headspace gas 18 is no longer needed or desired. Thus, the headspace gas 18 must be removed prior to dispensing the liquid 12 into the manufacturing process 13. The procedure for removing the headspace gas 18 from the container 14 in the system 50 is similar to the same process in the system 10. First, the compressed air passage 32, the gas passage 34, and the fluid passage 42 are connected to the container 14. The system control 46 then sends a signal to the selection valve 60 to return the valve to the first position (via the selection valve port 60a) between the interior of the inner vessel 20 and the upper space gas exhaust line 40. A fluid connection is created between them. The user of the system 50 can also manually return the selection valve 60 to its first position. Thereafter, a pressurized fluid (preferably compressed air or nitrogen) is supplied to the compression space 31 by a source 30 of compressed air, and the gas 18 in the upper space passes through the gas passage 34 to the liquid sensor. 38 and then into the gas exhaust pipe 40 in the upper space. As the headspace gas 18 is withdrawn from the inner container 20 of the container 14, air can enter the compressed space 31, thereby collapsing the flexible inner container 20. The inner container 20 is preferably crushed by pressurized gas, but any means that can collapse the inner container 20 and push the headspace gas 18 through the gas passageway 34 (including hydraulic or mechanical based devices). ) Can be used. Alternatively, a pump or venturi connected to the gas passage 34 can draw the headspace gas 18 from the container 14.
上部スペースの気体18が、内側容器20から排出された後、液体12は、気体通路34内に流入し始める。なぜならば、圧縮空気の供給源30が、空気を圧縮空間31へと供給し続けているからである。液体12が、液体センサ38に到達すると、選択弁60を第2の位置に動かすことによって、システムコントロール46が応答する。これにより、内側容器20の内部と上部スペースの気体の排気管40との間の連絡が終了し、そして、内側容器20の内部と選択弁ポート60bとの間の接続を開く。あるいは、システム50の使用者は、液体12が気体通路34内に流入し始めたときを視覚的に決定し、そして、選択弁60を第2の位置へと手で動かし、上部スペースの気体の排気管40への接続を終了させ得る。   After the headspace gas 18 is exhausted from the inner container 20, the liquid 12 begins to flow into the gas passage 34. This is because the compressed air supply source 30 continues to supply air to the compressed space 31. When the liquid 12 reaches the liquid sensor 38, the system control 46 responds by moving the selection valve 60 to the second position. This terminates the communication between the inside of the inner container 20 and the gas exhaust pipe 40 in the upper space, and opens the connection between the inside of the inner container 20 and the selection valve port 60b. Alternatively, the user of the system 50 visually determines when the liquid 12 has begun to flow into the gas passage 34 and manually moves the selection valve 60 to the second position so that the gas in the upper space can be The connection to the exhaust pipe 40 can be terminated.
ここで、上部スペースの気体18が、液体12を製造プロセス13へと分配する前に除去される場合、上部スペースの気体18は、ヘンリーの法則に従って、溶液中に溶け始めることに注意することが重要である。内側容器20は、圧縮空気の供給源30によって潰されて、液体12を内側容器20から外へと押し出すので、上部スペースの気体18の圧力は、このプロセスの間に高くなる。これにより、上部スペースの気体18が、液体12内へと溶解し、それによって、液体12がプロセス13へと運ばれるときに、液体12内に有害な気泡の形成を生じる。   Note that if the headspace gas 18 is removed before dispensing the liquid 12 into the manufacturing process 13, the headspace gas 18 begins to dissolve in the solution according to Henry's law. is important. As the inner container 20 is crushed by the compressed air source 30, pushing the liquid 12 out of the inner container 20, the pressure of the headspace gas 18 is increased during this process. This causes the headspace gas 18 to dissolve into the liquid 12, thereby resulting in the formation of harmful bubbles in the liquid 12 as the liquid 12 is carried to the process 13.
多くの液体分配システムにおいて、上部スペースの気体18が除去された後に、容器14内に少量の気体を残すことが望ましい。全ての液体12が容器14から分配された場合、この少量の気体(空であることを検出するための気体と呼ばれる)が、センサ(例えば、図2における空であることを検出するための気体のセンサ62)によって検出され、容器が空であることを示す。従来のシステムにおいて、空であることを検出するための気体の容器14内に残る量は、容易には調節可能ではない。なぜならば、上部スペースの気体の排気管40に排出される気体の量が、容易に測定可能でないからである。   In many liquid dispensing systems, it is desirable to leave a small amount of gas in the container 14 after the headspace gas 18 has been removed. When all the liquid 12 has been dispensed from the container 14, this small amount of gas (referred to as gas for detecting emptyness) is used as a sensor (eg, gas for detecting emptyness in FIG. 2). Sensor 62) indicating that the container is empty. In conventional systems, the amount remaining in the gas container 14 for detecting emptyness is not easily adjustable. This is because the amount of gas discharged to the gas exhaust pipe 40 in the upper space cannot be easily measured.
システム50において、内側容器20内への空であることを検出するための気体の追加は、空であることを検出するための気体の供給源52、レギュレーターゲージ54、第1ブロック弁55、気体量制御装置56、および第2ブロック弁58によって制御される。まず、システムコントロール46は、第1ブロック弁55を開いて、空であることを検出するための気体の供給源52と気体量制御装置56との間の流体接続を生じる。次いで、空であることを検出するための気体が、空であることを検出するための気体の供給源52から気体量制御装置56内へと流入し始める。気体量制御装置56に空であることを検出するための気体が充填されると、気体量制御装置56内の圧力が高くなる。圧力は、レギュレーターゲージ54によって調節され、そして、気体量制御装置56内に一体的になった圧力トランスデューサによって測定され得る。気体量制御装置56内に流入する空であることを検出するための気体の量は、気体量制御装置56の最大容量、および気体量制御装置56内の空であることを検出するための気体の圧力に依存する。これらの要因に基づいて、空であることを検出するための気体の供給源52は、気体量制御装置56に、所望の量の気体(例えば、1平方インチのゲージあたり100ポンド)が充填されるまで、流入し続ける。   In the system 50, the addition of the gas for detecting that it is empty into the inner container 20 includes the gas supply source 52 for detecting that it is empty, the regulator gauge 54, the first block valve 55, the gas. It is controlled by a quantity control device 56 and a second block valve 58. First, the system control 46 opens the first block valve 55 to create a fluid connection between the gas source 52 and the gas quantity controller 56 for detecting that it is empty. Next, the gas for detecting that it is empty begins to flow into the gas amount control device 56 from the gas supply source 52 for detecting that it is empty. When the gas amount control device 56 is filled with a gas for detecting that the gas amount control device 56 is empty, the pressure in the gas amount control device 56 increases. The pressure is regulated by a regulator gauge 54 and can be measured by a pressure transducer integrated within the gas volume controller 56. The amount of gas for detecting that it is empty flowing into the gas amount control device 56 is the maximum capacity of the gas amount control device 56 and the gas for detecting that it is empty in the gas amount control device 56. Depends on the pressure. Based on these factors, the gas source 52 for detecting emptyness fills the gas volume controller 56 with a desired amount of gas (eg, 100 pounds per square inch gauge). Inflow continues until
所望の量の気体が気体量制御装置56に充填されると、システムコントロール46は、第1ブロック弁55を閉じて、空であることを検出するための気体の供給源52と気体量制御装置56との間の接続を終了させる。その後、または、同時に、システムコントロール46は、第2ブロック弁58を開いて、気体量制御装置56と内側容器20の内部との間の流体接続を生じる。これにより、気体量制御装置56内に含まれる空であることを検出するための気体が、内側容器20の内部に流入することが可能になる。空であることを検出するための気体が、気体量制御装置56から内側容器20内へと流入する間に、圧縮空気の供給源30が停止される場合、気体量制御装置56内に含まれる空であることを検出するための気体が、内側容器20に流入する。空であることを検出するための気体が気体量制御装置56から内側容器20内へと流入する間に、圧縮空気の供給源30が活性状態のままである場合、空であることを検出するための気体は、圧縮空気の供給源30と気体量制御装置56内の圧力との間で平衡圧に達するまで、気体量制御装置56から内側容器20内へと流入する。代表的には、圧縮空気の供給源30が、活性状態であるかどうかは、圧縮空気の供給源30と圧縮空間31との間に接続される、二方向弁もしくは三方向弁によって制御される。一般に、気体量制御装置56から内側容器20内へと流入する空であることを検出するための気体の量は、気体量制御装置56の大きさ、気体量制御装置56内の圧力と、圧縮空間31内の圧力との差に基づく。   When the gas amount control device 56 is filled with a desired amount of gas, the system control 46 closes the first block valve 55 to detect that the gas source 52 is empty and the gas amount control device. The connection with 56 is terminated. Thereafter, or simultaneously, the system control 46 opens the second block valve 58 to create a fluid connection between the gas volume control device 56 and the interior of the inner container 20. Thereby, the gas for detecting that it is empty contained in the gas amount control device 56 can flow into the inner container 20. When the gas for detecting that it is empty flows from the gas amount control device 56 into the inner container 20 and the compressed air supply source 30 is stopped, it is included in the gas amount control device 56. A gas for detecting that it is empty flows into the inner container 20. While the gas for detecting that it is empty flows into the inner container 20 from the gas amount control device 56, when the compressed air supply source 30 remains in an active state, it detects that it is empty. The gas to flow from the gas amount control device 56 into the inner container 20 until an equilibrium pressure is reached between the compressed air supply source 30 and the pressure in the gas amount control device 56. Typically, whether the compressed air source 30 is in an active state is controlled by a two-way or three-way valve connected between the compressed air source 30 and the compression space 31. . In general, the amount of gas for detecting that it is empty flowing from the gas amount control device 56 into the inner container 20 is the size of the gas amount control device 56, the pressure in the gas amount control device 56, and the compression. Based on the difference with the pressure in the space 31.
空であることを検出するための気体が、気体量制御装置56から流出し終わった後、システムコントロール46は、第2ブロック弁58を閉じて、気体量制御装置56から内側容器20への接続を終了させる。第2ブロック弁58が閉じられた後、圧縮空気が、圧縮空気の供給源30により圧縮空間31に供給されると、液体12が、流体通路42を通して上向きに押し出される。内側容器20は、好ましくは、加圧された空気により潰されるが、内側容器20を潰して、流体通路42を通して液体を押し出し得るあらゆる手段(油圧式もしくは機械ベースのデバイスを含む)が、使用され得る。あるいは、流体通路42に接続されたポンプまたはベンチュリが、容器14から液体12を引き抜き得る。   After the gas for detecting that it is empty has flowed out of the gas amount control device 56, the system control 46 closes the second block valve 58 and connects the gas amount control device 56 to the inner container 20. End. When the compressed air is supplied to the compressed space 31 by the compressed air supply source 30 after the second block valve 58 is closed, the liquid 12 is pushed upward through the fluid passage 42. The inner container 20 is preferably crushed by pressurized air, but any means (including hydraulic or machine-based devices) that can collapse the inner container 20 and push liquid through the fluid passage 42 is used. obtain. Alternatively, a pump or venturi connected to the fluid passage 42 can draw the liquid 12 from the container 14.
内側容器20は、圧縮空気の供給源30によって潰されると、液体12は、液体12が、内側容器20から排出されるまで、製造プロセス13へと流れ続ける。液体12が、内側容器20から排出された後、内側容器20には、空であることを検出するための気体のみが残る。圧縮空気の供給源30は、内側容器20を圧迫し続けるので、空であることを検出するための気体は、流体通路42を通って、製造プロセス13へと向かって押し出される。空であることを検出するための気体が空であることを検出するための気体のセンサ62を通過するとき、空であることを検出するための気体のセンサ62は、システムコントロール46にシグナルを送って、圧縮空気の供給源30を停止し、それによって、システム50の動作を終了させる。その後、圧縮空気の通路32、気体通路34、および流体通路42が、空の容器14から接続を断たれ、空の容器14がシステム50から取り外され、そして、液体12および上部スペースの気体18を含む新しい容器14が、システム50に接続される。次いで、容器14からの液体12の分配が再開する。   When the inner container 20 is crushed by the compressed air source 30, the liquid 12 continues to flow into the manufacturing process 13 until the liquid 12 is drained from the inner container 20. After the liquid 12 is discharged from the inner container 20, only the gas for detecting that it is empty remains in the inner container 20. Since the source 30 of compressed air continues to squeeze the inner container 20, the gas for detecting emptyness is pushed out through the fluid passage 42 toward the manufacturing process 13. When the gas for detecting that it is empty passes through the gas sensor 62 for detecting that it is empty, the gas sensor 62 for detecting that it is empty sends a signal to the system control 46. To stop the source 30 of compressed air, thereby terminating the operation of the system 50. Thereafter, the compressed air passage 32, the gas passage 34, and the fluid passage 42 are disconnected from the empty container 14, the empty container 14 is removed from the system 50, and the liquid 12 and headspace gas 18 are removed. A new container 14 containing is connected to the system 50. The dispensing of the liquid 12 from the container 14 then resumes.
まとめると、いくつかの化学物質の純度は、長期にわたり保存される場合、特に、温度の変動に供される場合、減衰もしくは架橋する傾向を有する。この減衰もしくは架橋が生じるのを防ぐために、容器の空の部分(上部スペースと呼ばれる)に、上部スペースの気体が充填される。上部スペースの気体は、保存の間に、液体中で化学反応が生じることを防ぐことによって、液状の化学物質の減衰を防止する。容器が、製造プロセスに接続される予定である場合、上部スペースの気体は、もはや、不必要であるか、または所望されない。従来の分配システムは、液状の化学物質を分配する前の、上部スペースの気体の容易な除去を可能にしない。本発明は、外側容器、内側容器、および、内側容器の内部と連絡するポートを備える容器から製造プロセスへと、液状の化学物質を分配するための方法およびシステムであり、この内側容器の一部分は、液状の化学物質によって占められており、そして、内側容器の残りの部分は、容器が製造プロセスに接続されるまで、液状の化学物質の減衰を防止するために、上部スペースの気体により占められている。このシステムは、内部に流体通路を有するプローブ、および内側容器の内部と外側容器の外部との間を連絡する気体通路を備える。このシステムは、さらに、圧力下で外側容器の内壁と内側容器との間の空間内に流体が流入することを可能にし、気体通路を介して上部スペースの気体を内側容器から上部スペースの気体の排気管へと押し出し、そして、液体を、内側容器からプローブ内の流体通路を通して製造プロセスへと押し出すための、外側容器の内壁と内側容器との間の圧縮空間と流体連絡する手段を備える。   In summary, the purity of some chemicals has a tendency to decay or crosslink when stored over time, especially when subjected to temperature fluctuations. To prevent this attenuation or cross-linking from occurring, an empty portion of the container (referred to as the upper space) is filled with gas in the upper space. The headspace gas prevents decay of liquid chemicals by preventing chemical reactions from occurring in the liquid during storage. If the container is to be connected to a manufacturing process, the headspace gas is no longer needed or desired. Conventional dispensing systems do not allow easy removal of headspace gas prior to dispensing liquid chemicals. The present invention is a method and system for dispensing liquid chemicals from a container comprising an outer container, an inner container, and a port in communication with the interior of the inner container to a manufacturing process, a portion of the inner container comprising: The remaining portion of the inner container is occupied by the headspace gas to prevent the liquid chemical from decaying until the container is connected to the manufacturing process. ing. The system includes a probe having a fluid passage therein and a gas passage communicating between the interior of the inner container and the exterior of the outer container. The system further allows fluid to flow under pressure into the space between the inner wall of the outer container and the inner container, and allows the upper space gas to pass from the inner container to the upper space gas via a gas passageway. Means are provided for fluid communication with the compressed space between the inner wall of the outer container and the inner container for extruding the exhaust pipe and forcing liquid from the inner container through the fluid passage in the probe to the manufacturing process.
本発明は、好ましい実施形態を参照して記載されてきたが、当業者は、本発明の範囲および精神から逸脱することなく、形状および細部に対して変更がなされ得ることを認識する。   Although the present invention has been described with reference to preferred embodiments, workers skilled in the art will recognize that changes may be made in form and detail without departing from the scope and spirit of the invention.
図1は、液体を容器から製造プロセスへと分配するための、本発明の好ましい実施形態に従うシステムの模式図である。この容器は、容器の輸送および保管の間に、液体を安定化させるために提供された、上部スペースの気体を備える。FIG. 1 is a schematic diagram of a system according to a preferred embodiment of the present invention for dispensing liquid from a container to a manufacturing process. The container comprises a headspace gas provided to stabilize the liquid during shipping and storage of the container. 図2は、液体を容器から製造プロセスへと分配するための、本発明の別の好ましい実施形態に従うシステムも模式図である。この容器は、容器の輸送および保管の間に液体を安定化させるために提供された、上部スペースの気体を備える。FIG. 2 is also a schematic diagram of a system according to another preferred embodiment of the present invention for dispensing liquid from a container to a manufacturing process. The container comprises a headspace gas provided to stabilize the liquid during shipping and storage of the container.

Claims (23)

  1. 液体を分配する方法であって、該方法は、以下:
    外側容器と内側容器とを備える流体容器を提供する工程であって、該内側容器の一部分は液体で占められており、そして、該内側容器の残りの部分は、上部スペースの気体で占められている、工程;
    該内側容器から、該上部スペースの気体を排出させる工程;
    該内側容器に圧力を供給して、該内側容器から製造プロセスへと液体を押し出す工程
    を包含する、方法。
    A method of dispensing a liquid, the method comprising:
    Providing a fluid container comprising an outer container and an inner container, wherein a portion of the inner container is occupied by a liquid, and the remaining portion of the inner container is occupied by a gas in the upper space. A process;
    Discharging the gas in the upper space from the inner container;
    Applying pressure to the inner container to push liquid from the inner container into the manufacturing process.
  2. 前記内側容器に圧力を供給する工程が、以下:
    該内側容器と前記外側容器との間の圧力下に流体を供給して、該内側容器から製造プロセスへと液体を分配する工程
    を包含する、請求項1に記載の方法。
    The step of supplying pressure to the inner container includes the following:
    The method of claim 1, comprising supplying fluid under pressure between the inner container and the outer container to distribute liquid from the inner container to a manufacturing process.
  3. 請求項1に記載の方法であって、該方法は、前記上部スペースの気体を排出させる前に、さらに、以下:
    コネクタを前記流体容器に取り付ける工程であって、該コネクタは、内部に流体通路を有するプローブを備え、該コネクタは、さらに、前記内側容器の内部と、前記外側容器の外部との間を連絡する、気体通路を備える、工程
    を包含する、方法。
    The method according to claim 1, wherein the method further comprises:
    Attaching a connector to the fluid container, the connector comprising a probe having a fluid passage therein, the connector further communicating between the interior of the inner container and the exterior of the outer container A method comprising: providing a gas passage.
  4. 前記上部スペースの気体を排出させる工程が、以下:
    上部スペースの気体の排気管と、前記気体通路との間に、排水弁を接続する工程;
    該排気弁を開いて、該上部スペースの気体を、該気体通路を介して、該上部スペースの気体の排気管へと排出させる工程;および
    液体が該気体通路内に流入し始めると、該排気弁を閉じる工程
    を包含する、請求項3に記載の方法。
    The step of discharging the gas in the upper space includes the following:
    Connecting a drain valve between the gas exhaust pipe in the upper space and the gas passage;
    Opening the exhaust valve to exhaust the gas in the upper space through the gas passage to the gas exhaust pipe in the upper space; and when liquid begins to flow into the gas passage, the exhaust 4. The method of claim 3, comprising the step of closing the valve.
  5. 請求項4に記載の方法であって、該方法は、前記排気弁を閉じる前に、さらに、以下:
    前記内側容器と前記外側容器との間に圧力下に流体を供給して、前記気体通路を介して、前記上部スペースの気体を、該内側容器から前記上部スペースの気体の排気管へと押し出す工程
    を包含する、請求項4に記載の方法。
    5. The method according to claim 4, wherein the method further comprises the following before closing the exhaust valve:
    Supplying a fluid under pressure between the inner container and the outer container to push the gas in the upper space from the inner container to the gas exhaust pipe in the upper space through the gas passage. The method of claim 4 comprising:
  6. 請求項4に記載の方法であって、以下:
    前記気体通路と前記上部スペースの気体の排気管との間に液体センサを接続して、液体が該気体経路内に流入し始めたときを検知する工程
    を包含する、方法。
    5. A method according to claim 4, wherein:
    Connecting a liquid sensor between the gas passage and a gas exhaust pipe in the upper space to detect when liquid begins to flow into the gas path.
  7. 請求項1に記載の方法であって、該方法は、前記内側容器と前記外側容器との間の圧力下に流体を供給する前に、さらに、以下:
    該内側容器内へと、空であることを検出するための気体のある量を導入する工程
    を包含する、方法。
    The method of claim 1, wherein the method further comprises: before supplying fluid under pressure between the inner and outer containers:
    Introducing a quantity of gas for detecting emptyness into the inner container.
  8. 前記内側容器内へと、空であることを検出するための気体のある量を導入する工程が、以下:
    空であることを検出するための気体の供給源と前記気体通路との間に、第1ブロック弁、気体量制御装置、および第2ブロック弁を接続する工程;
    該第1ブロック弁を開いて、該空であることを検出するための気体を、該空であることを検出するための気体の供給源から該気体量制御装置へと流入させる工程;

    一定量の空であることを検出するための気体が該気体量制御装置を満たしたときに、該第1ブロックを閉じる工程;および
    該第2ブロック弁を開いて、該空であることを検出するための気体を、該気体通路を介して、該気体量制御装置から該内側容器の内部へと流入させる工程
    を包含する、請求項7に記載の方法。
    The step of introducing into the inner container a certain amount of gas for detecting emptyness is as follows:
    Connecting a first block valve, a gas amount control device, and a second block valve between a gas supply source for detecting being empty and the gas passage;
    Opening the first block valve to cause the gas for detecting the empty state to flow from the gas supply source for detecting the empty state to the gas amount control device;

    Closing the first block when a gas for detecting a certain amount of empty fills the gas quantity control device; and opening the second block valve to detect the empty The method according to claim 7, further comprising the step of causing a gas to be discharged from the gas amount control device to the inside of the inner container through the gas passage.
  9. 前記一定量の空であることを検出するための気体が前記気体量制御装置を満たしたときに、前記第1ブロックを閉じる工程が、以下:
    該空であることを検出するための気体が該気体量制御装置内に導入されたときに、該気体量制御装置内の圧力を調節するために、前記空であることを検出するための気体の供給源と該気体量制限装置との間に圧力調節ゲージを接続する工程;および
    該気体量制御装置内の圧力に基づいて、該一定量の空であることを検出するための気体が該気体量制御装置内に導入されたときに、該第1ブロック弁を閉じる工程
    を包含する、請求項8に記載の方法。
    The step of closing the first block when the gas for detecting the certain amount of empty fills the gas amount control device includes the following:
    When the gas for detecting the empty state is introduced into the gas amount control device, the gas for detecting the empty state is used to adjust the pressure in the gas amount control device. Connecting a pressure adjustment gauge between the gas supply source and the gas volume restriction device; and based on the pressure in the gas volume control device, the gas for detecting that the constant volume is empty 9. The method of claim 8, comprising the step of closing the first block valve when introduced into a gas quantity control device.
  10. 請求項7に記載の方法であって、該方法は、さらに、以下:
    前記液体が、前記内側容器から排出されたときに、前記空であることを検出するための気体を検知する工程;および
    該空であることを検出するための気体が検知されたときに、該液体の前記製造プロセスへの分配を終了させる工程
    を包含する、方法。
    8. The method according to claim 7, further comprising:
    Detecting the gas for detecting that the liquid is empty when the liquid is discharged from the inner container; and when the gas for detecting the empty is detected, Terminating the dispensing of the liquid into the manufacturing process.
  11. 請求項1に記載の方法であって、該方法は、さらに、以下:
    前記液体が、前記製造プロセスへと分配される間に、該流体容器を秤量する工程;
    該流体容器が空の重量に達したときに、該液体の該製造プロセスへの分配を終了させる工程
    を包含する、方法。
    The method of claim 1, further comprising:
    Weighing the fluid container while the liquid is dispensed into the manufacturing process;
    Terminating the dispensing of the liquid into the manufacturing process when the fluid container reaches an empty weight.
  12. 外側容器と内側容器とを備える容器から製造プロセスへと液体を分配するためのシステムであって、該内側容器は、該液体および上部スペースの気体で占められており、該システムは、以下:
    該内側容器内へと挿入可能なプローブであって、該プローブは、内部に流体通路を有する、プローブ;
    該内側容器の内部と、該外側容器の外部との間を連絡する、気体通路;
    該気体通路を介して、該内側容器から上部スペースの気体の排気管へと、該上部スペースの気体を押し出すため、そして、該プローブ内の流体通路を通して、該内側容器から該製造プロセスへと液体を押し出すための手段
    を備える、システム。
    A system for dispensing liquid from a container comprising an outer container and an inner container to a manufacturing process, the inner container being occupied by the liquid and headspace gas, the system comprising:
    A probe insertable into the inner container, the probe having a fluid passage therein;
    A gas passage communicating between the interior of the inner container and the exterior of the outer container;
    Liquid is pumped from the inner vessel through the gas passage to the upper space gas exhaust pipe and into the manufacturing process through the fluid passage in the probe. A system comprising means for extruding.
  13. 請求項12に記載のシステムであって、該システムは、さらに、以下:
    前記上部スペースの気体の排気管と前記気体通路との間に接続された排気弁であって、該排気弁は、該気体通路を介して、前記上部スペースの気体を、該上部スペースの気体の排気管へと排出させるために選択可能な開位置と、該上部スペースの気体が、前記内側容器の内部から排出されたときに選択可能な閉位置とを有する、排気弁
    を備える、システム。
    13. The system of claim 12, further comprising:
    An exhaust valve connected between the gas exhaust pipe of the upper space and the gas passage, wherein the exhaust valve passes the gas of the upper space through the gas passage. A system comprising an exhaust valve having an open position selectable for discharge to an exhaust pipe and a closed position selectable when gas in the upper space is exhausted from the interior of the inner container.
  14. 請求項13に記載のシステムであって、該システムは、さらに、以下:
    該気体通路と該上部スペースの気体の排気管との間に接続された液体センサであって、該センサは、液体が、該気体通路内へと流入し始めたときを検知して、該上部スペースの気体が前記内側容器の内部から排出されたことを示すためのものである、液体センサ
    を備える、システム。
    The system of claim 13, further comprising:
    A liquid sensor connected between the gas passage and a gas exhaust pipe in the upper space, wherein the sensor detects when liquid begins to flow into the gas passage; A system comprising a liquid sensor for indicating that space gas has been exhausted from the interior of the inner container.
  15. 請求項12に記載のシステムであって、該システムは、さらに、以下:
    前記液体が、前記内側容器から排出されたときを検出するための、空であることを検出するための手段
    を備える、システム。
    13. The system of claim 12, further comprising:
    A system comprising means for detecting that the liquid is empty for detecting when the liquid is drained from the inner container.
  16. 前記空であることを検出するための手段が、空であることを検出するための気体のセンサであって、該空であることを検出するための気体のセンサは、前記液体を前記製造プロセスへと分配する直前に、前記内側容器の内部へと導入された空であることを検出するための気体を検知する、請求項15に記載のシステム。 The means for detecting that it is empty is a gas sensor for detecting that it is empty, and the gas sensor for detecting that it is empty means that the liquid is used in the manufacturing process. The system of claim 15, wherein the system detects gas for detecting emptyness introduced into the interior of the inner container just prior to dispensing into the inner container.
  17. 請求項16に記載のシステムであって、該システムは、さらに、以下:
    気体量制御装置;
    空であることを検出するための気体の供給源と該気体量制御装置との間に接続された第1ブロック弁であって、該第1ブロック弁は、空であることを検出するための気体が、該空であることを検出するための気体の供給源から該気体量制御装置内へと流入することを可能にするために選択可能な開位置と、一定量の空であることを検出するための気体が該気体量制御装置内へと導入されたときに選択可能な閉位置とを有する、第1ブロック弁;および
    該気体量制御装置と前記内側容器の内部との間に接続された第2ブロック弁であって、該第2ブロック弁は、空であることを検出するための気体が、該気体量制御装置から該内側容器の内部内へと流入することを可能にするために選択可能な開位置と、一定量の空であることを検出するための気体が該気体量制御装置から排出されたときに選択可能な閉位置とを有する、第2ブロック弁
    を備える、システム。
    17. The system of claim 16, further comprising:
    Gas volume control device;
    A first block valve connected between a gas supply source for detecting that it is empty and the gas amount control device, wherein the first block valve is for detecting that it is empty An open position selectable to allow gas to flow into the gas quantity control device from a gas source for detecting that it is empty, and a certain amount of sky. A first block valve having a closed position selectable when gas for detection is introduced into the gas quantity control device; and connected between the gas quantity control device and the interior of the inner container A second block valve configured to allow gas for detecting emptyness to flow from the gas quantity control device into the interior of the inner container. Selectable open position for detecting a certain amount of empty A system comprising a second block valve having a closed position selectable when gas is exhausted from the gas quantity control device.
  18. 請求項17に記載のシステムであって、該システムは、さらに、以下:
    前記空であることを検出するための気体の供給源と前記気体量制御装置との間に接続された、圧力調節ゲージであって、該圧力調節ゲージは、該気体量制御装置内の圧力に基づいて、該一定量の空であることを検出するための気体が該気体量制御装置内に導入されたときに、前記第1ブロック弁が閉じられるように、該空であることを検出するための気体が該気体量制御装置内に導入されたときに、該気体量制御装置内の圧力を調節するためのものである、圧力調節ゲージ
    を備える、システム。
    The system of claim 17, further comprising:
    A pressure adjustment gauge connected between the gas supply source for detecting the empty state and the gas amount control device, wherein the pressure adjustment gauge adjusts the pressure in the gas amount control device. Based on this, when the gas for detecting that the fixed amount is empty is introduced into the gas amount control device, the empty is detected so that the first block valve is closed. A system comprising a pressure adjustment gauge for adjusting the pressure in the gas quantity control device when a gas for introduction is introduced into the gas quantity control device.
  19. 請求項17に記載のシステムであって、該システムは、さらに、以下:
    前記ブロック弁、前記上部スペースの気体の排気管、および前記内側容器の内部に接続されたポートを有する選択弁であって、該選択弁は、該ブロック弁および該上部スペースの気体の排気管の、該内側容器の内部への選択可能な流体接続を可能にする、選択弁
    を備える、システム。
    The system of claim 17, further comprising:
    A selection valve having a port connected to the block valve, the upper space gas exhaust pipe, and a port connected to the inside of the inner container, the selection valve comprising the block valve and the upper space gas exhaust pipe; A system comprising a selection valve that allows a selectable fluid connection to the interior of the inner container.
  20. 前記空であることを検出するための手段が、計量器で測定した場合に、前記流体容器が所定の重量に達したときに、前記液体の分配を終了させるように、該液体を前記製造プロセスへと分配させている間に、該流体容器を秤量するための計量器を備える、請求項15に記載のシステム。 When the means for detecting emptyness is measured with a meter, the liquid is removed from the manufacturing process so that the liquid dispensing is terminated when the fluid container reaches a predetermined weight. 16. The system of claim 15, comprising a meter for weighing the fluid container while being dispensed.
  21. 液体取り扱いシステムであって、以下:
    容器であって、以下:
    外側容器;および
    内側を有する内側容器;
    を備える容器であって、該内側容器の一部分は、該液体によって占められており、そして、該内側容器の残りの部分は、上部スペースの気体によって占められている、容器;
    該容器に取り付け可能なコネクタであって、該コネクタは、該内側容器内に挿入可能であり、かつ内部に流体通路を有するプローブを備え、該コネクタは、さらに、該内側容器の内部と、該外側容器の外部との間を連絡する気体通路を備える、コネクタ;ならびに
    該気体通路を介して、該内側容器から上部スペースの気体の排気管へと該上部スペースの気体を押し出すため、および、該プローブ内の流体通路を通して、該内側容器から該製造プロセスへと液体を押し出すために、圧力下で、該外側容器の内壁と該内側容器との間の空間内に流体を流入させるための、該外側容器の内壁と該内側容器との間の空間と流体連絡している、流体空気供給源
    を備える、システム。
    Liquid handling system, which:
    A container, the following:
    An outer container; and an inner container having an inner side;
    A portion of the inner container occupied by the liquid, and a remaining portion of the inner container occupied by a gas in the upper space;
    A connector attachable to the container, the connector comprising a probe insertable into the inner container and having a fluid passage therein; the connector further comprising an interior of the inner container; A connector comprising a gas passage communicating with the exterior of the outer container; and for extruding the upper space gas from the inner container to the upper space gas exhaust pipe via the gas passage; and For injecting fluid under pressure into a space between the inner wall of the outer container and the inner container to push liquid from the inner container to the manufacturing process through a fluid passage in the probe. A system comprising a fluid air source in fluid communication with a space between an inner wall of an outer container and the inner container.
  22. 請求項21に記載のシステムであって、該システムは、さらに、以下:
    前記気体通路と前記上部スペースの気体の排気管との間に接続された液体センサであって、該センサは、液体が該気体通路内に流入し始めたときを検知して、前記上部スペースの気体が、前記内側容器の内部から排出されたことを示すためのものである、液体センサ
    を備える、システム。
    The system of claim 21, further comprising:
    A liquid sensor connected between the gas passage and a gas exhaust pipe in the upper space, wherein the sensor detects when liquid begins to flow into the gas passage; A system comprising a liquid sensor for indicating that gas has been exhausted from the interior of the inner container.
  23. 請求項21に記載のシステムであって、該システムは、さらに、以下:
    前記液体が前記内側容器から排出されたときを検出するための、空であることを検出するための手段
    を備える、システム。
    The system of claim 21, further comprising:
    A system comprising means for detecting emptyness for detecting when the liquid is drained from the inner container.
JP2007508510A 2004-04-13 2005-04-13 Method and system for liquid dispensing with headspace degassing Granted JP2007532433A (en)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US10/823,127 US20050224523A1 (en) 2004-04-13 2004-04-13 Liquid dispensing method and system with headspace gas removal
PCT/US2005/012593 WO2005100203A2 (en) 2004-04-13 2005-04-13 Liquid dispensing method and system with headspace gas removal

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2007532433A true JP2007532433A (en) 2007-11-15
JP2007532433A5 JP2007532433A5 (en) 2008-05-29

Family

ID=35059518

Family Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2007508510A Granted JP2007532433A (en) 2004-04-13 2005-04-13 Method and system for liquid dispensing with headspace degassing
JP2011112901A Active JP5186583B2 (en) 2004-04-13 2011-05-19 Method and system for liquid dispensing with headspace degassing

Family Applications After (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011112901A Active JP5186583B2 (en) 2004-04-13 2011-05-19 Method and system for liquid dispensing with headspace degassing

Country Status (9)

Country Link
US (1) US20050224523A1 (en)
EP (1) EP1737758B1 (en)
JP (2) JP2007532433A (en)
KR (1) KR101174928B1 (en)
CN (1) CN101010241A (en)
AT (1) AT546409T (en)
MY (1) MY147252A (en)
TW (1) TWI356141B (en)
WO (1) WO2005100203A2 (en)

Families Citing this family (29)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20050279207A1 (en) * 2004-06-16 2005-12-22 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid delivery system
US7172096B2 (en) * 2004-11-15 2007-02-06 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid dispensing system
EP1879829B1 (en) 2005-04-25 2016-04-20 Advanced Technology Materials, Inc. Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability
WO2006133026A2 (en) * 2005-06-06 2006-12-14 Advanced Technology Materials, Inc. Fluid storage and dispensing systems and processes
WO2007101248A2 (en) * 2006-02-28 2007-09-07 Levtech, Inc. Disposable pumping apparatus based on flexible vessels in pressurized containers
CN103101867B (en) 2006-06-13 2017-07-28 恩特格里斯公司 Fuid distribution system and method, connector, microelectronic product manufacturing equipment
US7750173B2 (en) 2007-01-18 2010-07-06 Advanced Technology Materials, Inc. Tantalum amido-complexes with chelate ligands useful for CVD and ALD of TaN and Ta205 thin films
EP2188190B1 (en) 2007-08-28 2011-10-12 Entegris, Inc. Method and apparatus for dispensing fluids
CN102648148B (en) * 2009-06-03 2014-07-30 朝日啤酒株式会社 Liquid supply system, liquid supply and switching device, and liquid flow path adjustment device
JP2012532807A (en) 2009-07-09 2012-12-20 アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド Substantially rigid and foldable liners, flexible wrinkled or wrinkled liners, methods for their production, and methods for inhibiting choke-off in a liner
US8733598B2 (en) 2009-12-30 2014-05-27 Advanced Technology Materials, Inc. Closure/connector for liner-based dispense containers
JP5891177B2 (en) 2010-01-06 2016-03-22 アドバンスド テクノロジー マテリアルズ,インコーポレイテッド Liquid dispensing system with gas removal and detection capability
US9126749B2 (en) 2010-10-15 2015-09-08 Advanced Technology Materials, Inc. Connectors for liner-based dispense containers
EP2643094A4 (en) 2010-11-23 2017-05-24 Advanced Technology Materials, Inc. Liner-based dispenser
KR20140008418A (en) 2011-03-01 2014-01-21 어드밴스드 테크놀러지 머티리얼즈, 인코포레이티드 Nested blow molded liner and overpack and methods of making same
SG11201400066SA (en) 2011-08-22 2014-03-28 Advanced Tech Materials Substantially rigid collapsible container with fold pattern
US10870565B2 (en) 2011-09-02 2020-12-22 Bevolution Systems, Llc Scalable modular system and method for storing, preserving, managing, and selectively dispensing beverages
US20130056504A1 (en) 2011-09-02 2013-03-07 Ottocom, Llc System and Method for Interfacing with, and Controlling, Beverage Dispensing Containers
CN103974882B (en) * 2011-10-13 2016-05-04 高级技术材料公司 For the roughly transport based on liner and the dispense container of aseptic storage, transport and distribution of material
CN103946125A (en) * 2011-11-18 2014-07-23 高级技术材料公司 Closure/connectors for liner-based shipping and dispensing containers and methods for filling liner-based shipping and dispensing containers
JP2013112379A (en) * 2011-11-29 2013-06-10 Shibuya Kogyo Co Ltd Liquid filling device
USD702128S1 (en) 2012-04-12 2014-04-08 Advanced Technology Materials, Inc. Packaging
JP2015523903A (en) * 2012-04-20 2015-08-20 ノードソン コーポレーションNordson Corporation Device, system and method for tracking configuration or operational history of nozzles in a fluid ejection system
US20140263433A1 (en) * 2013-03-15 2014-09-18 Heineken Uk Limited Beverage Dispense System and Method
JP6458024B2 (en) * 2013-07-11 2019-01-23 インテグリス・インコーポレーテッド Apparatus and method for filling and dispensing liquids
EP3377438B1 (en) * 2015-11-17 2020-01-08 Coravin, Inc. Beverage extractor for sparkling beverages
WO2017104485A1 (en) * 2015-12-18 2017-06-22 株式会社日立国際電気 Storage device, vaporizer, substrate processing device, and method for manufacturing semiconductor device
CN106082094A (en) * 2016-06-17 2016-11-09 胡江 Liquid taking device and method thereof
GB201703549D0 (en) * 2017-03-06 2017-04-19 Hodges & Drake Design Ltd Apparatus for dispensing a flowable product

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02133471A (en) * 1988-11-15 1990-05-22 Ube Ind Ltd Coating composition
JPH06135471A (en) * 1992-10-29 1994-05-17 Nippon Sheet Glass Co Ltd Fluid transfer device
JP2002090965A (en) * 2000-09-14 2002-03-27 Chugai Photo Chemical Co Ltd Solution supplying method and device

Family Cites Families (50)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
USRE26006E (en) * 1959-12-23 1966-04-26 Transfusion set
US3802470A (en) * 1966-12-05 1974-04-09 C Coleman Composite container and method of handling fluent materials
US3756367A (en) * 1972-01-10 1973-09-04 Ammco Tools Inc Hydraulic brake system bleeder
US4138036A (en) * 1977-08-29 1979-02-06 Liqui-Box Corporation Helical coil tube-form insert for flexible bags
DE2951667A1 (en) * 1979-12-21 1981-07-02 Merck Patent Gmbh TRANSPORT AND REMOVAL DEVICE
US4313419A (en) * 1980-04-21 1982-02-02 Halm Instrument Co., Inc. Solar heating system
FR2599496B1 (en) * 1986-05-28 1992-02-14 Mms Bubble detector in a liquid circuit
US5102010A (en) * 1988-02-16 1992-04-07 Now Technologies, Inc. Container and dispensing system for liquid chemicals
US5014208A (en) * 1989-01-23 1991-05-07 Siemens Corporate Research, Inc. Workcell controller employing entity-server model for physical objects and logical abstractions
JPH0622464Y2 (en) * 1989-04-04 1994-06-15 大日本スクリーン製造株式会社 Chemical discharge device
JPH0369700U (en) * 1989-11-07 1991-07-11
NO174942C (en) * 1990-12-03 1994-08-03 Corrocean As Device for mounting, resp. disassembly of probes in process pipes, tanks, etc.
US5277336A (en) * 1990-12-31 1994-01-11 L'oreal Device for the pressurized dispensing of a product, especially a foaming product, and processes for filling a container for a device of this kind
US5693017A (en) * 1991-02-14 1997-12-02 Wayne State University Apparatus and method of delivery of gas-supersaturated solutions to a delivery site
US5223796A (en) * 1991-05-28 1993-06-29 Axiomatics Corporation Apparatus and methods for measuring the dielectric and geometric properties of materials
US5248069A (en) * 1992-05-29 1993-09-28 International Business Machines Corporation Viscous fluid pressurizing apparatus
US5526956A (en) * 1992-09-11 1996-06-18 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing and recirculating system
US5335821A (en) * 1992-09-11 1994-08-09 Now Technologies, Inc. Liquid chemical container and dispensing system
US5558083A (en) * 1993-11-22 1996-09-24 Ohmeda Inc. Nitric oxide delivery system
US5638285A (en) * 1993-12-22 1997-06-10 Ingersoll-Dresser Pump Company System for dispensing dry agricultural chemicals
US5507192A (en) * 1994-09-13 1996-04-16 Beaudin; Allen B. Automated gas measurement system
US5764522A (en) * 1995-02-28 1998-06-09 Shalev; Matti Programmable system for controlling, regulating, and adjusting flow of animal-feed material from a material storage vessel
US5663488A (en) * 1995-05-31 1997-09-02 Hewlett-Packard Co. Thermal isolation system in an analytical instrument
US5594162A (en) * 1995-06-06 1997-01-14 Dolan; James P. Valve stem gas leak detector
US5699940A (en) * 1996-07-08 1997-12-23 C.H. & I. Technologies, Inc. Device for removing fluid from a container with pressurized air and thereafter placing the container under vacuum
US5891096A (en) * 1996-08-20 1999-04-06 Critical Device Corporation Medicament infusion device
US5802859A (en) * 1996-12-16 1998-09-08 Hudson Technologies, Inc. Apparatus for recovering and analyzing volatile refrigerants
US5875921A (en) * 1997-03-12 1999-03-02 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing system with sensor
US6067844A (en) * 1997-08-15 2000-05-30 Shell Oil Company Nondestructive method for detection of defects and the condition of liners in polymer-lined pipes and equipment
US6019250A (en) * 1997-10-14 2000-02-01 The Boc Group, Inc. Liquid dispensing apparatus and method
US5942980A (en) * 1997-11-20 1999-08-24 Innovative Measurement Methods, Inc. Multi-sensor hydrostatic gauge for fuel storage tanks
US6085576A (en) * 1998-03-20 2000-07-11 Cyrano Sciences, Inc. Handheld sensing apparatus
JP3929000B2 (en) * 1998-05-08 2007-06-13 アイセロ化学株式会社 Container for high-purity chemical liquid
US6065638A (en) * 1998-05-29 2000-05-23 Gilbarco Inc. Real time blending apparatus and method
US6206240B1 (en) * 1999-03-23 2001-03-27 Now Technologies, Inc. Liquid chemical dispensing system with pressurization
US6165347A (en) * 1999-05-12 2000-12-26 Industrial Scientific Corporation Method of identifying a gas
US6556949B1 (en) * 1999-05-18 2003-04-29 Applied Materials, Inc. Semiconductor processing techniques
WO2001002106A1 (en) * 1999-07-06 2001-01-11 Semitool, Inc. Chemical solutions system for processing semiconductor materials
US6264064B1 (en) * 1999-10-14 2001-07-24 Air Products And Chemicals, Inc. Chemical delivery system with ultrasonic fluid sensors
US6405745B1 (en) * 2000-03-22 2002-06-18 Delphi Technologies, Inc. Ultra accurate gas injection system
US6542848B1 (en) * 2000-07-31 2003-04-01 Chart Inc. Differential pressure gauge for cryogenic fluids
US6516249B1 (en) * 2000-09-05 2003-02-04 Lockheed Martin Corporation Fluid control system with autonomously controlled pump
US6843414B2 (en) * 2001-04-02 2005-01-18 Honeywell International Inc. Smart container for bulk delivery
AT406338T (en) * 2001-05-21 2008-09-15 Colder Prod Co Method for regulating a liquid dispenser
US6879876B2 (en) * 2001-06-13 2005-04-12 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid handling system with electronic information storage
JP2003192100A (en) * 2001-12-26 2003-07-09 Sony Corp Liquid medicine feed device
US6698619B2 (en) * 2002-05-03 2004-03-02 Advanced Technology Materials, Inc. Returnable and reusable, bag-in-drum fluid storage and dispensing container system
US7188644B2 (en) * 2002-05-03 2007-03-13 Advanced Technology Materials, Inc. Apparatus and method for minimizing the generation of particles in ultrapure liquids
JP2004089810A (en) * 2002-08-30 2004-03-25 Mitsubishi Heavy Ind Ltd Slurry high pressure conveying apparatus
US20050279207A1 (en) * 2004-06-16 2005-12-22 Advanced Technology Materials, Inc. Liquid delivery system

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH02133471A (en) * 1988-11-15 1990-05-22 Ube Ind Ltd Coating composition
JPH06135471A (en) * 1992-10-29 1994-05-17 Nippon Sheet Glass Co Ltd Fluid transfer device
JP2002090965A (en) * 2000-09-14 2002-03-27 Chugai Photo Chemical Co Ltd Solution supplying method and device

Also Published As

Publication number Publication date
EP1737758A2 (en) 2007-01-03
EP1737758A4 (en) 2010-11-10
JP2011157136A (en) 2011-08-18
EP1737758B1 (en) 2012-02-22
US20050224523A1 (en) 2005-10-13
CN101010241A (en) 2007-08-01
KR20060135943A (en) 2006-12-29
TW200533858A (en) 2005-10-16
JP5186583B2 (en) 2013-04-17
WO2005100203A3 (en) 2007-03-22
TWI356141B (en) 2012-01-11
AT546409T (en) 2012-03-15
KR101174928B1 (en) 2012-08-17
MY147252A (en) 2012-11-14
WO2005100203A2 (en) 2005-10-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10676341B2 (en) Liquid dispensing systems with gas removal and sensing capabilities
US9802749B2 (en) Liner-based liquid storage and dispensing systems with empty detection capability
EP0989090B1 (en) Methods and systems for distributing liquid chemicals
US5568882A (en) Precise volume fluid dispenser
KR100369089B1 (en) Computer controlled chemical dispenser with alternating modes of operation
US5616305A (en) Flexible medical hemodialysis packaging unit for the production of concentrated dialysis solution including a device for the same
US9120616B2 (en) Liquid dispensing systems encompassing gas removal
US5425803A (en) Device for removing dissolved gas from a liquid
JP3586776B2 (en) Method and apparatus for accurate volumetric dilution / mixing of chemicals
EP1171376B1 (en) Chemical delivery system and method
JP4351149B2 (en) Chemical mixture and transport system and method
KR101223462B1 (en) Apparatus for measuring relative permeability of core having measuring unit of saturation fraction in core and method for measuring relative permeability of core using the same
US6098843A (en) Chemical delivery systems and methods of delivery
US5480063A (en) Volumetric fluid dispensing apparatus
EP0139202A1 (en) Apparatus for testing membrane filters, and apparatus for sterilizing liquids with use of membrane filter
US9725844B2 (en) Powdered and liquid chemical dispensing and distribution system
KR100417659B1 (en) Chemical delivery system with ultrasonic fluid sensors
US9149939B2 (en) Disposable isolator comprising means for filling containers
EP0516240B1 (en) Apparatus for supplying liquid under constant pressure
KR100379648B1 (en) Resist processing method and resist processing apparatus
EP2447167B1 (en) A pressure dispense apparatus for minimizing the generation of particles in ultrapure liquids and dispensing method utilizing such an apparatus
US7063455B2 (en) Chemical dilution system for semiconductor device processing system
US7007828B2 (en) Chemical metering pump
US4386634A (en) Proportioning system
US20160161361A1 (en) Test system and method for flexible containers

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20080409

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20080409

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20101102

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20101119

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20110216

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20110223

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20110318

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20110328

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20110418

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20110425

A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20110519

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20111221