JP2007530790A - 高融点金属ポット - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、高融点金属又は高融点合金から形成されたプレート、ポット、及びこのようなポットを含む又はこのようなポットに基づく製品に関する。
歴史的に、深絞りによる金属ポットの製造のための装置が試行錯誤しながら開発されている。通常、これは複数の反復及び実験を伴う。高融点金属、例えばタンタル等の高価な金属の場合、このような実験において消費される材料のコストは法外に高い場合がある。また、通常の方法は、劣悪な結晶粒組織構造を有するポットを製造する。慣用的に準備された金属ポットは標準グレードのインゴット誘導プレートから形成される。これらのプレートは、特にタンタル及びニオビウムの場合、粗く不均一な結晶粒と、不均一な結晶組織とで知られている。あいにく、これらのプレートは、スパッタリングターゲットにおけるコンポーネントとして使用するためには不適切である。
本発明のこれらの及びその他の特徴、態様及び利点は、以下の説明及び添付の請求項を参照することによってより理解されるであろう。
図10は、金型が本発明に従って設計されなかった場合に、形成されたポットの側壁に対して生じるものを示すコンピュータ画像である。側壁は"トラップ"されず、したがって、その内径は正確に制御されていない。
本発明は、ポットを形成する方法において、(a)高融点金属コンポーネントを含むインゴットを第1の工作物に切断し;(b)第1の工作物にアプセット鍛造を行い、これにより、第2の工作物を形成し;(c)第2の工作物の少なくとも部分的な再結晶を生ぜしめるように十分に高い第1の温度まで、真空又は不活性ガス中で、第2の工作物に第1の焼きなまし工程を行い;(d)第2の工作物の直径を減じることによって、焼きなましされた第2の工作物を再び鍛造し、これにより、第3の工作物を形成し;(e)第3の工作物にアプセット鍛造条件を行い、これにより、第4の工作物を形成し、(f)第4の工作物の直径を減じることによって、第4の工作物を再び鍛造し、これにより、第5の工作物を形成し;(g)第5の工作物を少なくとも部分的に再結晶させるように十分に高い温度まで第5の工作物に第2の焼きなまし工程を行い;(h)第5の工作物にアプセット鍛造を行い、これにより、第6の工作物を形成し;(i)第6の工作物に第3の焼きなまし工程を行い、これにより、焼きなましされた第6の工作物を形成し;(j)焼きなましされた第6の工作物に複数の圧延パスを行うことによって、焼きなましされた第6の工作物をプレートに圧延し、この場合、焼きなましされた第6の工作物が、少なくとも1つのパスの後に厚さが減じられ、焼きなましされた第6の工作物少なくとも1つのパスの間に回転させられ、これにより、プレートを形成し(k)プレートをポットに深絞りし、これにより、ポットを形成し;この場合、第4の焼きなまし工程が、(1)工程(j)の後でかつ工程(k)の前、又は(2)工程(k)の後に行われ、これにより、ポットに処理するのに適した少なくとも1つの工作物又はプレートの寸法が、コンピュータ実行される有限要素モデリング評価法によって予め決定され、工程(b)〜(j)における少なくとも1つの工作物又は工程(k)におけるプレートが、コンピュータ実行される有限要素モデリング評価法によって決定された寸法と実質的に同じ寸法を有するようになっている方法に関する。
操作例以外又はそうでないことが指示された場合以外は、明細書中または特許請求の範囲中で使用される、成分の量、反応条件等に関連する全ての数又は表現は、全ての場合に"約"という用語によって変更されるものと理解されてよい。様々な数値範囲が本特許明細書に開示されている。これらの範囲は連続的であるので、最小値と最大値との間の全ての値を含む。そうでないことが明らかに指示されない限り、本明細書中で記載された種々の数値範囲は近似値である。
Claims (36)
- ポットを形成する方法において、(a)高融点金属コンポーネントを含むインゴットを第1の工作物に切断し;(b)第1の工作物にアプセット鍛造を行い、これにより、第2の工作物を形成し;(c)第2の工作物の少なくとも部分的な再結晶を生ぜしめるために十分に高い第1の温度まで、真空又は不活性ガス中で、第2の工作物に第1の焼きなまし工程を行い、これにより、焼きなましされた第2の工作物を形成し;(d)第2の工作物の直径を減じることによって、焼きなましされた第2の工作物を再び鍛造し、これにより、第3の工作物を形成し;(e)第3の工作物にアプセット鍛造を行い、これにより、第4の工作物を形成し、(f)第4の工作物の直径を減じることによって、第4の工作物を再び鍛造し、これにより、第5の工作物を形成し;(g)第5の工作物を少なくとも部分的に再結晶させるために十分に高い温度まで、第5の工作物に第2の焼きなまし工程をこない;(h)第5の工作物にアプセット鍛造を行い、これにより、第6の工作物を形成し;(i)第6の工作物に第3の焼きなまし工程を行い、これにより、焼きなましされた第6の工作物を形成し;(j)焼きなましされた第6の工作物に複数の圧延パスを行うことによって、焼きなましされた工作物をプレートに圧延し;この場合、焼きなましされた第6の工作物が少なくとも1つのパスの後に厚さが減じられ、焼きなましされた第6の工作物が少なくとも1つのパスの間に回転させられ、これによって、プレートを形成し;(k)プレートをポットに深絞りし、これにより、ポットを形成し;この場合、第4の焼きなまし工程が、(1)工程(j)の後でかつ工程(k)の前、又は(2)工程(k)の後に行われ、ポットに処理するために適した少なくとも1つの工作物又はプレートの寸法が、コンピュータ実行される有限要素モデリング評価法によって予め決定され、これにより、工程(b)〜(j)における少なくとも1つの工作物又は工程(k)におけるプレートが、コンピュータ実行される有限要素モデリング評価法によって決定される寸法と実質的に同じ寸法を有することを特徴とする、ポットを形成する方法。
- 第1の温度が少なくとも約1200℃である、請求項1記載の方法。
- 高融点金属コンポーネントが、(a)ニオビウム、(b)タンタル、(c)ニオビウム合金、(f)タンタル合金、及びこれらの組合せから成るグループから選択されている、請求項1記載の方法。
- インゴットが、少なくとも99.99%の純度を有するタンタルインゴットである、請求項1記載の方法。
- インゴットが、少なくとも99.999%の純度を有するタンタルインゴットである、請求項1記載の方法。
- インゴットが、少なくとも99.9999%の純度を有するタンタルインゴットである、請求項1記載の方法。
- アプセット鍛造工程(h)が平型の間においてプレスによって行われる、請求項1記載方法。
- アプセット鍛造工程(h)が、第1ステージ及び第2ステージにおいて行われ、この場合、第1のステージは平型を用いて行われ、第2のステージは複数のブローを用いて、シートバーダイを使用して行われ、工作物は、ブローの間において適切な角度だけ回転させられる、請求項1記載の方法。
- 第1の焼きなまし工程温度が約1300℃よりも高い、請求項1記載の方法。
- ポットが均一な結晶粒度を有しており、あらゆる顕微鏡フィールドの平均結晶粒度が、全体の平均結晶粒度の0.5ASTMポイント内である、請求項1記載の方法。
- ポットが均一な結晶粒度を有しており、あらゆる顕微鏡フィールドの平均結晶粒度が、全体の平均結晶粒度の1ASTMポイント内である、請求項1記載の方法。
- 平均結晶粒度が、ASTM規格E112に規定されているように、約ASTM4〜約ASTM6の範囲である、請求項1記載の方法。
- インゴットが円筒状であり、150mm〜400mmの範囲の直径を有する、請求項1記載の方法。
- 第1の工作物が、インゴットの直径と等しい直径と、約1.5:1〜約3:1の範囲の長さ対直径比とを有している、請求項1記載の方法。
- 第2の工作物が、元の長さの約50%から元の長さの約70%の範囲の長さを有する、請求項1記載の方法。
- 第3の工作物が、第1の工作物の直径の約60%から第1の工作物の直径の約120%までの範囲の直径を有する、請求項1記載の方法。
- 第4の工作物が、第2の工作物の長さの約80%から第2の工作物の長さの約120%までの範囲の長さを有する、請求項1記載の方法。
- 第5の工作物が、第1の工作物の直径の約60%から第1の工作物の直径の約120%までの範囲の直径を有する、請求項1記載の方法。
- 第6の工作物が、約1:2〜約1:5の範囲の長さ対直径比を有する、請求項1記載の方法。
- プレートが、約500mm〜約1mの範囲の直径と、約6mm〜約15mmの範囲の厚さを有する、請求項1記載の方法。
- ポットが、約150mm〜約500mmの範囲の高さと、約100mm〜約500mmの範囲の直径とを有する、請求項1記載の方法。
- 第1の工作物が、第1の焼きなまし工程の前に約0.25〜約0.5の真ひずみを受け、第1の焼きなまし工程が、少なくとも約1300℃の温度において行われる、請求項1記載の方法。
- 第5の工作物が第2の焼きなまし工程を行われる前に工程(d)、(e)及び(f)において第2の工作物が約1よりも大きくかつ約2よりも小さなひずみを受ける、請求項1記載の方法。
- 第3の焼きなまし工程が行われる前に第6の工作物が約1よりも大きくかつ約2よりも小さな真ひずみを受ける、請求項1記載の方法。
- プレート又はポットが、第4の焼きなまし工程を受ける前に約1よりも大きなひずみを受ける、請求項1記載の方法。
- さらに、コンピュータ実行される有限要素モデリング評価法を用いて、少なくとも1つの工作物又はプレートをポットに処理されるのに不適切にするおそれのある欠陥のタイプ及び寸法を予め決定する工程を含み、これにより、工程(b)〜(j)における少なくとも1つの工作物又は工程(k)におけるプレートは、コンピュータ実行される有限要素モデリング評価法によって不都合であると決定された少なくとも1つの欠陥を有することはない、請求項1記載の方法。
- 請求項1記載の方法により製造されたポット。
- (a)高融点金属コンポーネントを有するポットと、(b)ポットに取り付けられたカラーとを有するスパッタリングターゲットにおいて、ポットが、(a)高融点金属コンポーネントを含むインゴットを第1の工作物に切断し;(b)第1の工作物にアプセット鍛造を行い、これにより、第2の工作物を形成し;(c)第2の工作物の少なくとも部分的な再結晶を生ぜしめるために十分に高い第1の温度まで、真空又は不活性ガス中で、第2の工作物に第1の焼きなまし工程を行い、これにより、焼きなましされた第2の工作物を形成し;(d)第2の工作物の直径を減じることによって、焼きなましされた第2の工作物を再び鍛造し、これにより、第3の工作物を形成し;(e)第3の工作物にアプセット鍛造を行い、これにより、第4の工作物を形成し、(f)第4の工作物の直径を減じることによって、第4の工作物を再び鍛造し、これにより、第5の工作物を形成し;(g)第5の工作物を少なくとも部分的に再結晶させるために十分に高い温度まで、第5の工作物に第2の焼きなまし工程をこない;(h)第5の工作物にアプセット鍛造を行い、これにより、第6の工作物を形成し;(i)第6の工作物に第3の焼きなまし工程を行い、これにより、焼きなましされた第6の工作物を形成し;(j)焼きなましされた第6の工作物に複数の圧延パスを行うことによって、焼きなましされた工作物をプレートに圧延し;この場合、焼きなましされた第6の工作物が少なくとも1つのパスの後に厚さが減じられ、焼きなましされた第6の工作物が少なくとも1つのパスの間に回転させられ、これによって、プレートを形成し;(k)プレートをポットに深絞りし、これにより、ポットを形成し;この場合、第4の焼きなまし工程が、(1)工程(j)の後でかつ工程(k)の前、又は(2)工程(k)の後に行われ、ポットに処理するために適した少なくとも1つの工作物又はプレートの寸法が、コンピュータ実行される有限要素モデリング評価法によって予め決定され、これにより、工程(b)〜(j)における少なくとも1つの工作物又は工程(k)におけるプレートが、コンピュータ実行される有限要素モデリング評価法によって決定される寸法と実質的に同じ寸法を有することを特徴とする、スパッタリングターゲット。
- カラーがポットに溶接されている、請求項28記載のスパッタリングターゲット。
- カラーが、き裂のない接合部を提供するように、ポット材料に溶接されることができる高融点金属コンポーネント又は金属から形成されている、請求項28記載のスパッタリングターゲット。
- カラーが、(a)ニオビウム、(b)タンタル、(c)ニオビウム合金、(f)タンタル合金、及びこれらの組合せから成るグループから選択された高融点金属コンポーネントから形成されている、請求項28記載のスパッタリングターゲット。
- コンピュータ実行される有限要素モデリング評価法を用いて、ポットに処理されるのに不適切な少なくとも1つの工作物又はプレートの欠陥を予め決定することを含む方法。
- コンピュータ実行される有限要素モデリング評価法を用いて、ポットに処理されるのに適切な少なくとも1つの工作物又はプレートの欠陥を予め決定することを含む方法。
- プレートを形成する方法において、
(a)高融点金属コンポーネントを含むインゴットを第1の工作物に切断し、
(b)第1の工作物にアプセット鍛造を行い、これにより、第2の工作物を形成し、
(c)第2の工作物の少なくとも部分的な再結晶を生ぜしめるために十分に高い第1の温度まで真空中又は不活性ガス中で第2の工作物に第1の焼きなまし工程を行い、これにより、焼きなましされた第2の工作物を形成し、
(d)第2の工作物の直径を減じることによって、焼きなましされた第2の工作物が再び鍛造され、これにより、第3の工作物を形成し、
(e)第3の工作物にアプセット鍛造を行い、これにより、第4の工作物を形成し、
(f)第4の工作物の直径を減じることによって、第4の工作物を再び鍛造し、これにより、第5の工作物を形成し、
(g)第5の工作物を少なくとも部分的に再結晶させるために十分に高い温度まで第5の工作物に第2の焼きなまし工程を行い、
(h)第5の工作物にアプセット鍛造を行い、これにより、第6の工作物を形成し、
(i)第6の工作物に第3の焼きなまし工程を行い、これにより、焼きなましされた第6の工作物を形成し、
(j)焼きなましされた第6の工作物に複数の圧延パスを行うことによって、焼きなましされた第6の工作物をプレートに圧延し、少なくとも1つのパスの後に、焼きなましされた第6の工作物の直径が減じられており、焼きなましされた第6の工作物が、少なくとも1つのパスの間に回転させられ、これにより、プレートを形成することを特徴とする、プレートを形成する方法。 - 請求項34記載の方法により製造されたポット。
- 方法の発展が、さらに、工作物がパンチとダイとの間に捕捉されこれにより工作物の寸法が正確に制御されるように、深絞りのために使用されるダイの内面の直径を予め決定する工程を含む、請求項34記載の方法。
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