JP2007335603A - 半導体不良解析装置、不良解析方法、及び不良解析プログラム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 半導体デバイスの不良観察画像P2を取得する検査情報取得部11と、レイアウト情報を取得するレイアウト情報取得部12と、不良解析を行う不良解析部13とによって不良解析装置10を構成する。不良解析部13は、半導体デバイスの複数のネットのうちで不良観察画像から設定された複数の解析領域の少なくとも1つを通過する候補ネット、及びその候補ネットの解析領域の通過回数を抽出し、通過回数が最も多い候補ネットを第1の不良ネットとして選択するとともに、第1の不良ネットが通過しない解析領域に着目して第2の不良ネットの選択を行う。
【選択図】 図1
Description
P1…パターン画像、P2…不良観察画像、P3…レイアウト画像、P6…重畳画像、A1〜A6…発光領域、B1〜B9…解析領域、C、C1〜C4…ネット。
Claims (18)
- 半導体デバイスの不良を解析する半導体不良解析装置であって、
半導体デバイスの観察画像として、不良についての検査を行って得られた、不良に起因する反応情報を含む不良観察画像を取得する検査情報取得手段と、
前記半導体デバイスのレイアウト情報を取得するレイアウト情報取得手段と、
前記不良観察画像及び前記レイアウト情報を参照して前記半導体デバイスの不良についての解析を行う不良解析手段とを備え、
前記不良解析手段は、前記不良観察画像を参照し、前記反応情報に対応して解析領域を設定するための領域設定手段と、前記半導体デバイスのレイアウトに含まれる複数のネットについて前記解析領域を参照して不良解析を行うネット情報解析手段とを有し、
前記ネット情報解析手段は、前記領域設定手段で複数の解析領域が設定された場合に、前記複数のネットのうちで前記複数の解析領域の少なくとも1つを通過する候補ネット、及びその候補ネットの解析領域の通過回数を抽出し、抽出された複数の候補ネットについて、前記通過回数が最も多い候補ネットを第1の不良ネットとして選択するとともに、前記第1の不良ネットが通過しない解析領域に着目して第2の不良ネットの選択を行うことを特徴とする半導体不良解析装置。 - 前記ネット情報解析手段は、前記第1の不良ネットが通過しない解析領域のうちで一の解析領域を指定し、前記第1の不良ネットを除く前記候補ネットのそれぞれが指定された前記一の解析領域を通過するかどうかを参照して前記第2の不良ネットの選択を行うことを特徴とする請求項1記載の不良解析装置。
- 前記ネット情報解析手段は、前記第1の不良ネットを除く前記候補ネットについて、それぞれの前記候補ネットの前記第1の不良ネットが通過する解析領域の通過回数、及び前記第1の不良ネットが通過しない解析領域の通過回数を参照して前記第2の不良ネットの選択を行うことを特徴とする請求項1または2記載の不良解析装置。
- 前記ネット情報解析手段は、前記第1の不良ネット及び前記第2の不良ネットを含む不良ネットの選択結果が所定の条件を満たさない場合、前記第1の不良ネットまたは前記第2の不良ネットの少なくとも一方を他の候補ネットに変更することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載の不良解析装置。
- 前記領域設定手段は、前記解析領域を前記半導体デバイスのレイアウトに対応するレイアウト座標系で設定することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の不良解析装置。
- 前記領域設定手段及び前記ネット情報解析手段による前記半導体デバイスの不良の解析結果についての情報を表示手段に表示させる情報表示制御手段を備え、
前記情報表示制御手段は、前記解析結果として、前記ネット情報解析手段によって抽出された前記候補ネット、及びそのネットの解析領域の前記通過回数を一覧表示したネットのリストを前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載の不良解析装置。 - 半導体デバイスの不良を解析する半導体不良解析方法であって、
半導体デバイスの観察画像として、不良についての検査を行って得られた、不良に起因する反応情報を含む不良観察画像を取得する検査情報取得ステップと、
前記半導体デバイスのレイアウト情報を取得するレイアウト情報取得ステップと、
前記不良観察画像及び前記レイアウト情報を参照して前記半導体デバイスの不良についての解析を行う不良解析ステップとを備え、
前記不良解析ステップは、前記不良観察画像を参照し、前記反応情報に対応して解析領域を設定するための領域設定ステップと、前記半導体デバイスのレイアウトに含まれる複数のネットについて前記解析領域を参照して不良解析を行うネット情報解析ステップとを含み、
前記ネット情報解析ステップにおいて、前記領域設定ステップで複数の解析領域が設定された場合に、前記複数のネットのうちで前記複数の解析領域の少なくとも1つを通過する候補ネット、及びその候補ネットの解析領域の通過回数を抽出し、抽出された複数の候補ネットについて、前記通過回数が最も多い候補ネットを第1の不良ネットとして選択するとともに、前記第1の不良ネットが通過しない解析領域に着目して第2の不良ネットの選択を行うことを特徴とする半導体不良解析方法。 - 前記ネット情報解析ステップにおいて、前記第1の不良ネットが通過しない解析領域のうちで一の解析領域を指定し、前記第1の不良ネットを除く前記候補ネットのそれぞれが指定された前記一の解析領域を通過するかどうかを参照して前記第2の不良ネットの選択を行うことを特徴とする請求項7記載の不良解析方法。
- 前記ネット情報解析ステップにおいて、前記第1の不良ネットを除く前記候補ネットについて、それぞれの前記候補ネットの前記第1の不良ネットが通過する解析領域の通過回数、及び前記第1の不良ネットが通過しない解析領域の通過回数を参照して前記第2の不良ネットの選択を行うことを特徴とする請求項7または8記載の不良解析方法。
- 前記ネット情報解析ステップにおいて、前記第1の不良ネット及び前記第2の不良ネットを含む不良ネットの選択結果が所定の条件を満たさない場合、前記第1の不良ネットまたは前記第2の不良ネットの少なくとも一方を他の候補ネットに変更することを特徴とする請求項7〜9のいずれか一項記載の不良解析方法。
- 前記領域設定ステップにおいて、前記解析領域を前記半導体デバイスのレイアウトに対応するレイアウト座標系で設定することを特徴とする請求項7〜10のいずれか一項記載の不良解析方法。
- 前記領域設定ステップ及び前記ネット情報解析ステップによる前記半導体デバイスの不良の解析結果についての情報を表示手段に表示させる情報表示制御ステップを備え、
前記情報表示制御ステップにおいて、前記解析結果として、前記ネット情報解析ステップによって抽出された前記候補ネット、及びそのネットの解析領域の前記通過回数を一覧表示したネットのリストを前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項7〜11のいずれか一項記載の不良解析方法。 - 半導体デバイスの不良を解析する半導体不良解析をコンピュータに実行させるためのプログラムであって、
半導体デバイスの観察画像として、不良についての検査を行って得られた、不良に起因する反応情報を含む不良観察画像を取得する検査情報取得処理と、
前記半導体デバイスのレイアウト情報を取得するレイアウト情報取得処理と、
前記不良観察画像及び前記レイアウト情報を参照して前記半導体デバイスの不良についての解析を行う不良解析処理とをコンピュータに実行させ、
前記不良解析処理は、前記不良観察画像を参照し、前記反応情報に対応して解析領域を設定するための領域設定処理と、前記半導体デバイスのレイアウトに含まれる複数のネットについて前記解析領域を参照して不良解析を行うネット情報解析処理とを含み、
前記ネット情報解析処理において、前記領域設定処理で複数の解析領域が設定された場合に、前記複数のネットのうちで前記複数の解析領域の少なくとも1つを通過する候補ネット、及びその候補ネットの解析領域の通過回数を抽出し、抽出された複数の候補ネットについて、前記通過回数が最も多い候補ネットを第1の不良ネットとして選択するとともに、前記第1の不良ネットが通過しない解析領域に着目して第2の不良ネットの選択を行うことを特徴とする半導体不良解析プログラム。 - 前記ネット情報解析処理において、前記第1の不良ネットが通過しない解析領域のうちで一の解析領域を指定し、前記第1の不良ネットを除く前記候補ネットのそれぞれが指定された前記一の解析領域を通過するかどうかを参照して前記第2の不良ネットの選択を行うことを特徴とする請求項13記載の不良解析プログラム。
- 前記ネット情報解析処理において、前記第1の不良ネットを除く前記候補ネットについて、それぞれの前記候補ネットの前記第1の不良ネットが通過する解析領域の通過回数、及び前記第1の不良ネットが通過しない解析領域の通過回数を参照して前記第2の不良ネットの選択を行うことを特徴とする請求項13または14記載の不良解析プログラム。
- 前記ネット情報解析処理において、前記第1の不良ネット及び前記第2の不良ネットを含む不良ネットの選択結果が所定の条件を満たさない場合、前記第1の不良ネットまたは前記第2の不良ネットの少なくとも一方を他の候補ネットに変更することを特徴とする請求項13〜15のいずれか一項記載の不良解析プログラム。
- 前記領域設定処理において、前記解析領域を前記半導体デバイスのレイアウトに対応するレイアウト座標系で設定することを特徴とする請求項13〜16のいずれか一項記載の不良解析プログラム。
- 前記領域設定処理及び前記ネット情報解析処理による前記半導体デバイスの不良の解析結果についての情報を表示手段に表示させる情報表示制御処理をコンピュータにさらに実行させ、
前記情報表示制御処理において、前記解析結果として、前記ネット情報解析処理によって抽出された前記候補ネット、及びそのネットの解析領域の前記通過回数を一覧表示したネットのリストを前記表示手段に表示させることを特徴とする請求項13〜17のいずれか一項記載の不良解析プログラム。
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