JP2007324327A - ショットキバリアダイオードおよびエピタキシャル基板 - Google Patents
ショットキバリアダイオードおよびエピタキシャル基板 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007324327A JP2007324327A JP2006152038A JP2006152038A JP2007324327A JP 2007324327 A JP2007324327 A JP 2007324327A JP 2006152038 A JP2006152038 A JP 2006152038A JP 2006152038 A JP2006152038 A JP 2006152038A JP 2007324327 A JP2007324327 A JP 2007324327A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gallium nitride
- type gallium
- substrate
- based semiconductor
- barrier diode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
Abstract
【解決手段】導電性III族窒化物基板13は、第1の面13aおよび第2の面13bを有する。また、導電性III族窒化物基板13は、1×106cm−2以下の転位密度D13を有する。n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層15は、基板13の第1の面13a上に設けられており、また1×1017cm−3以下のキャリア濃度N15を有する。第1のn型窒化ガリウム系半導体層17は、n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層15上に設けられており、また0.5×1017cm−3以下のキャリア濃度n17を有する。ショットキ電極19は、第1のn型窒化ガリウム系半導体層17にショットキ接合を成す。オーミック電極21は、基板13の第2の面上に設けられている。
【選択図】図1
Description
APPLIED PHYSICS LETTERS vol.84, No. 24, pp.4884-4886 APPLIED PHYSICS LETTERS vol.78, No. 12, pp.1685-1687
このエピタキシャル基板によれば、第1のn型窒化ガリウム系半導体層の厚さが10ナノメートル以上であるので、第1のn型窒化ガリウム系半導体層にショットキ接合を形成しても低いリーク電流の値が安定して得られる。
このエピタキシャル基板によれば、第1のn型窒化ガリウム系半導体層の厚さがn型窒化ガリウム系半導体ドリフト層の厚さの半分以下であるので、第1のn型窒化ガリウム系半導体層にショットキ接合を形成したとき、ショットキバリアダイオードのオン抵抗の増加が抑制される。
このエピタキシャル基板では、第1のn型窒化ガリウム系半導体層にショットキ接合を形成したとき、n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層により所望の耐圧が得られると共に、第2のn型窒化ガリウム系半導体層によりオン抵抗の上昇が抑えられる。
このエピタキシャル基板によれば、良好なGaN結晶を用いてショットキバリアダイオードを作製することができる。
図1は、本実施の形態に係るショットキバリアダイオードを示す図面である。ショットキバリアダイオード11は、導電性III族窒化物基板13と、n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層15と、第1のn型窒化ガリウム系半導体層17と、ショットキ電極19と、オーミック電極21とを備える。導電性III族窒化物基板13は、第1の面13aおよび第2の面13bを有する。また、導電性III族窒化物基板13は、1×106cm−2以下の転位密度D13を有する。n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層15は、基板13の第1の面13a上に設けられており、また1×1017cm−3以下のキャリア濃度n15を有する。第1のn型窒化ガリウム系半導体層17は、n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層15上に設けられており、また0.5×1017cm−3以下のキャリア濃度n17を有する。n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層15は第1のn型窒化ガリウム系半導体層17とホモ接合16を成す。ショットキ電極19は、第1のn型窒化ガリウム系半導体層17にショットキ接合を成す。オーミック電極21は、基板13の第2の面13b上に設けられている。
図2(A)、図2(B)、図3(A)、図3(B)、図4(A)および図4(B)を参照しながら、実施例を説明する。低転位導電性自立GaN基板31およびサファイアテンプレート41(「Sapテンプレート」と記す)を準備する。このGaN基板31の転位密度は1×106cm−2である。Sapテンプレート41は、サファイア基板41aとその上に形成されたGaN層41bとを含み、GaN層41bの転位密度は5×108cm−2である。これらのGaN基板31およびSapテンプレート41上に有機金属気相成長(OMVPE)炉を用いてエピタキシャル層の成長を行う。
(1)まず、熱的クリーニングを行う。熱処理温度は摂氏990度であり、熱処理ガスとしてアンモニア(NH3)および水素(H2)を用いる。アンモニア流量は16.5slmであり、水素流量は3.5slmである。熱処理の圧力は26664.4パスカル(200torr)である。熱処理時間は600秒である。
(4)図4(A)および図4(B)に示されるように、ドリフト層の厚さよりも薄い厚さのn型GaN層57a、67aをドリフト層35、45上に形成する。具体的には、これらのn型GaN層57a、67aの成長をOMVPE炉を用いて行う。成長温度は摂氏1050度であり、成長圧力は26664.4パスカル(200torr)である。成膜のためのガスとして、トリメチルガリウム(TMG)、アンモニア、水素およびシランを用いる。アンモニアの流量は9slmであり、水素の流量は11slmである。トリメチルガリウムの流量は56sccmであり、また成長速度が2マイクロメートルになるように調整される。10ppmに希釈したシラン(SiH4)の流量は0.1sccmであり、シリコン濃度が3×1016cm−3になるように調整される。180秒の成長時間で約0.1マイクロメートルの窒化ガリウムを成長する。
試料 耐圧(V) リーク電流(A/cm2) オン抵抗(mΩcm2)
A.(GaN基板、3×1016エピタキシャル層)
241 7.9×10−8 0.71
B.(Sapテンプレート、3×1016エピタキシャル層)
146 2.5×10−6 12.3
C.(GaN基板、1×1016エピタキシャル層)
638 6.3×10−10 1.56
D.(Sapテンプレート、1×1016エピタキシャル層)
342 4.0×10−8 28.6
E.(GaN基板、1×1016/3×1016エピタキシャル層)
360 5.9×10−9 0.73
F.(Sapテンプレート、1×1016/3×1016エピタキシャル層)
148 1.6×10−6 12.8
これらの測定結果から以下のことが理解される。
図5(A)および図5(B)は、エピタキシャル基板Gおよびエピタキシャル基板Hを模式的に示す図面である。上記の手順(1)〜(3)に続けて成長シーケンスを行うと共に、手順(4)における成長時間を調整してエピタキシャ基板G、Hを作製する。エピタキシャル基板Gは、GaN基板31上に設けられた約3×1016cm−3のドナー濃度、10μm厚のドリフト層35および約1×1016cm−3のドナー濃度、10nm厚のn型GaN層57bとを有する。エピタキシャル基板Hは、GaN基板31上に設けられた約3×1016cm−3のドナー濃度のドリフト層35と約1×1016cm−3のドナー濃度、5μm厚のn型GaN層57cとを有する。
実施例1と同様に、これらのエピタキシャル基板G、H上にショットキ電極を形成する。エピタキシャル基板G、Hの評価を同様に行う。
試料 耐圧(V) リーク電流(A/cm2) オン抵抗(mΩcm2)
A.(GaN基板、3×1016(10μm)エピタキシャル層)
241 7.9×10−8 0.71
C.(GaN基板、1×1016(10μm)エピタキシャル層)
638 6.3×10−10 1.56
E.(GaN基板、1×1016(100nm)/3×1016(10μm)エピタキシャル層)
360 5.9×10−9 0.73
G.(GaN基板、1×1016(10nm)/3×1016(10μm)エピタキシャル層)
255 6.7×10−8 0.71
H.(GaN基板、1×1016(5μm)/3×1016(10μm)エピタキシャル層)
560 1.5×10−10 1.46
これらの測定結果から以下のことが理解される。
Claims (10)
- 第1および第2の面を有する1×106cm−2以下の転位密度の導電性III族窒化物基板と、
前記第1の面上に設けられており1×1017cm−3以下のキャリア濃度を有するn型窒化ガリウム系半導体ドリフト層と、
前記n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層上に設けられており0.5×1017cm−3以下のキャリア濃度を有する第1のn型窒化ガリウム系半導体層と、
前記第1のn型窒化ガリウム系半導体層にショットキ接合を成すショットキ電極と、
前記第2の面上に設けられたオーミック電極と
を備える、ことを特徴とするショットキバリアダイオード。 - 前記第1のn型窒化ガリウム系半導体層の厚さは10ナノメートル以上である、ことを特徴とする請求項1に記載されたショットキバリアダイオード。
- 前記第1のn型窒化ガリウム系半導体層の厚さは前記n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層の厚さの半分以下である、ことを特徴とする請求項1または請求項2に記載されたショットキバリアダイオード。
- 前記導電性III族窒化物基板と前記n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層との間に設けられており1×1017cm−3を超えるキャリア濃度を有する第2のn型窒化ガリウム系半導体層を更に備える、ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載されたショットキバリアダイオード。
- 前記導電性III族窒化物基板はGaNから成り、
前記第1のn型窒化ガリウム系半導体層はGaNから成る、ことを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれか一項に記載されたショットキバリアダイオード。 - 第1および第2の面を有する1×106cm−2以下の転位密度の導電性III族窒化物基板と、
前記第1の面上に設けられており1×1017cm−3以下のキャリア濃度を有するn型窒化ガリウム系半導体ドリフト層と、
前記n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層上に設けられており0.5×1017cm−3以下のキャリア濃度を有する第1のn型窒化ガリウム系半導体層と
を備える、ことを特徴とするエピタキシャル基板。 - 前記第1のn型窒化ガリウム系半導体層の厚さは10ナノメートル以上である、ことを特徴とする請求項6に記載されたエピタキシャル基板。
- 前記第1のn型窒化ガリウム系半導体層の厚さは前記n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層の厚さの半分以下である、ことを特徴とする請求項6または請求項7に記載されたエピタキシャル基板。
- 前記導電性III族窒化物基板と前記n型窒化ガリウム系半導体ドリフト層との間に設けられており1×1017cm−3を超えるキャリア濃度を有する第2のn型窒化ガリウム系半導体層を更に備える、ことを特徴とする請求項6〜8のいずれか一項に記載されたエピタキシャル基板。
- 前記導電性III族窒化物基板はGaNから成り、
前記第1のn型窒化ガリウム系半導体層はGaNから成る、ことを特徴とする請求項6〜請求項9のいずれか一項に記載されたエピタキシャル基板。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006152038A JP2007324327A (ja) | 2006-05-31 | 2006-05-31 | ショットキバリアダイオードおよびエピタキシャル基板 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006152038A JP2007324327A (ja) | 2006-05-31 | 2006-05-31 | ショットキバリアダイオードおよびエピタキシャル基板 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007324327A true JP2007324327A (ja) | 2007-12-13 |
Family
ID=38856859
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006152038A Pending JP2007324327A (ja) | 2006-05-31 | 2006-05-31 | ショットキバリアダイオードおよびエピタキシャル基板 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007324327A (ja) |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001068689A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-16 | Fuji Electric Co Ltd | ショットキーバリアダイオードの製造方法 |
WO2006019898A2 (en) * | 2004-07-15 | 2006-02-23 | Fairchild Semiconductor Corporation | Schottky diode structure to reduce capacitance and switching losses and method of making same |
JP2006100801A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-04-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | エピタキシャル基板および半導体素子 |
-
2006
- 2006-05-31 JP JP2006152038A patent/JP2007324327A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001068689A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-16 | Fuji Electric Co Ltd | ショットキーバリアダイオードの製造方法 |
WO2006019898A2 (en) * | 2004-07-15 | 2006-02-23 | Fairchild Semiconductor Corporation | Schottky diode structure to reduce capacitance and switching losses and method of making same |
JP2006100801A (ja) * | 2004-09-01 | 2006-04-13 | Sumitomo Electric Ind Ltd | エピタキシャル基板および半導体素子 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4792814B2 (ja) | 高電子移動度トランジスタ、電界効果トランジスタ、エピタキシャル基板、エピタキシャル基板を作製する方法およびiii族窒化物系トランジスタを作製する方法 | |
JP4095066B2 (ja) | 窒化ガリウムベース半導体の半導体構造 | |
JP5099008B2 (ja) | SiC基板を用いた化合物半導体装置とその製造方法 | |
JP5818853B2 (ja) | n型窒化アルミニウム単結晶基板を用いた縦型窒化物半導体デバイス | |
WO2012164750A1 (ja) | 窒化物電子デバイス、窒化物電子デバイスを作製する方法 | |
JP2005236287A (ja) | 窒化物基半導体デバイスのための低ドープ層 | |
JP2007149985A (ja) | 窒化物半導体装置、エピタキシャル基板および窒化ガリウム系エピタキシャル膜を形成する方法 | |
JP2016167517A (ja) | 化合物半導体基板 | |
JP2006295126A (ja) | Iii族窒化物半導体素子およびエピタキシャル基板 | |
JP2004235473A (ja) | 化合物半導体素子及びその製造方法 | |
JP2018117064A (ja) | 窒化物半導体デバイス及び窒化物半導体デバイスの製造方法 | |
JP2016058693A (ja) | 半導体装置、半導体ウェーハ、及び、半導体装置の製造方法 | |
JP4276135B2 (ja) | 窒化物半導体成長用基板 | |
JP4984557B2 (ja) | 縦型窒化ガリウム半導体装置を作製する方法、エピタキシャル基板を作製する方法 | |
US20110049573A1 (en) | Group iii nitride semiconductor wafer and group iii nitride semiconductor device | |
JP6668597B2 (ja) | 高電子移動度トランジスタ及び高電子移動度トランジスタの製造方法 | |
JP4423011B2 (ja) | 高比抵抗GaN層を含む窒化物膜の製造方法 | |
JP4933513B2 (ja) | 窒化物半導体成長用基板 | |
JP5756830B2 (ja) | 半導体基板、半導体装置、及び、半導体装置の製造方法 | |
JP2016092083A (ja) | GaN基板をドリフト層とした縦型ショットキーバリアダイオード | |
JP2009246307A (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
JP2013062442A (ja) | 窒化物半導体電子デバイス、窒化物半導体電子デバイスを作製する方法 | |
KR100814920B1 (ko) | 수직구조 질화물계 반도체 발광소자 및 그 제조방법 | |
CN104937699A (zh) | 外延晶片和使用其的开关元件及发光元件 | |
JP2007324327A (ja) | ショットキバリアダイオードおよびエピタキシャル基板 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080321 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110527 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Effective date: 20110607 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20110808 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A02 | Decision of refusal |
Effective date: 20111004 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 |
|
A521 | Written amendment |
Effective date: 20111227 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20120110 |
|
A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Effective date: 20120309 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A912 |