JP2007317886A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】剥離シートPSに接着シートLSが仮着された原反Lを繰り出す繰出装置60と、接着シートLSに略閉ループ状の切り込みCを設けて貼付用シートSを形成するカット装置28と、貼付用シートSを半導体ウエハWに貼付する貼付ユニット13とを含む。カット装置28は、閉ループ状の切断刃38を含み、この切断刃は、平面に展開したときのシート繰出方向に沿う直径D1が半導体ウエハWの直径よりも小さくなるように設けられており、貼付用シートSを半導体ウエハWに貼付する際に熱や押圧力、張力といった外力が貼付用シートSに付与されて前記繰出方向に延伸しても、半導体ウエハWの外周からはみ出すことなく略一致した状態で貼付される。
【選択図】図2
Description
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、接着シートを繰り出す途中で貼付用シートを形成する構成とし、貼付時に貼付用シートに延伸力が付与されても部分的なはみ出しを生ずることがないように貼付用シートを貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
前記剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す繰出装置と、前記原反を繰り出す途中で前記接着シートに略閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成するカット装置と、前記貼付用シートを前記剥離シートから剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを含み、
前記カット装置は、前記切り込みを形成する閉ループ状の切断刃を含み、この切断刃の前記閉ループの大きさは、前記貼付用シートに張力を付与して貼付する際のシート延びを見込んで前記板状部材よりも小さく設けられる、という構成を採っている。
前記貼付用シートが前記板状部材の大きさよりも小さくなるように前記切り込みを形成しておき、
前記貼付用シートに張力を加えながら板状部材に貼付するときの貼付用シートの延びを利用することで、当該貼付用シートが板状部材の大きさに略一致して貼付される、という方法を採っている。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
13 貼付ユニット
28 カット装置
37 ローラ軸
38 切断刃
60 繰出装置
L 原反
S 貼付用シート
PS 剥離シート
LS 接着シート
W 半導体ウエハ(板状部材)
Claims (9)
- 剥離シートから貼付用シートを剥離して板状部材に貼付するシート貼付装置において、
前記剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す繰出装置と、前記原反を繰り出す途中で前記接着シートに略閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成するカット装置と、前記貼付用シートを前記剥離シートから剥離して前記板状部材に貼付する貼付ユニットとを含み、
前記カット装置は、前記切り込みを形成する閉ループ状の切断刃を含み、この切断刃の前記閉ループの大きさは、前記貼付用シートに外力を付与して貼付する際のシート延びを見込んで前記板状部材よりも小さく設けられることを特徴とするシート貼付装置。 - 前記板状部材は略円形の半導体ウエハであり、前記切断刃は、前記原反の繰出方向に沿う直径が前記半導体ウエハの前記繰出方向に沿う直径よりも小さく設定されていることを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記カット装置は、ローラ軸及び当該ローラ軸の外周に設けられた切断刃を含むダイカットローラと、これに併設されたプラテンローラとからなり、前記切断刃は、板状部材のサイズに応じて交換可能に設けられていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。
- 前記接着シートは感熱接着性シートであり、前記貼付ユニットは、前記貼付用シートに熱を加えながら押圧力を付与する貼付ローラを含んで構成されていることを特徴とする請求項1,2又は3記載のシート貼付装置。
- 前記繰出装置の原反繰出速度及びダイカットローラの回転速度は、それぞれ独立して制御されることを特徴とする請求項3又は4に記載のシート貼付装置。
- 剥離シートに接着シートが仮着された帯状の原反を繰り出す途中で前記接着シートに略閉ループ状の切り込みを設けて貼付用シートを形成した後、当該貼付用シートを前記剥離シートから剥離して板状部材に貼付するシート貼付方法において、
前記貼付用シートが前記板状部材の大きさよりも小さくなるように前記切り込みを形成しておき、
前記貼付用シートに外力を加えながら板状部材に貼付するときの貼付用シートの延びを利用することで、当該貼付用シートが板状部材の大きさに略一致して貼付されることを特徴とするシート貼付方法。 - 前記板状部材は略円形の半導体ウエハであり、前記切り込みは、前記原反の繰出方向に沿う直径が、前記半導体ウエハの前記繰出方向に沿う直径よりも小さい略楕円形状の軌跡に沿って形成されることを特徴とする請求項6記載のシート貼付方法。
- 前記切り込みによって形成される貼付用シートのサイズは、板状部材の大きさに応じて変更可能に設けられていることを特徴とする請求項6又は7記載のシート貼付方法。
- 前記カット装置はダイカットローラを含み、当該ダイカットローラの回転速度と前記原反の繰出速度とを独立して制御することにより、原反繰出方向における貼付用シートの大きさが調整可能に設けられていることを特徴とする請求項6,7又は8記載のシート貼付方法。
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