JP2007301593A - 加圧装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 加圧機構8から加圧軸A上に点加圧される加圧ヘッド20の加圧対象物である第1のウエハ4との間の加圧対象物に直接接しない位置に接触部10,11を形成した応力分散プレート2を配設する。加圧軸A上に加えられた加圧力は、応力分散プレート2に接触部10,11として形成された凸部によって形成された空間によって分散され、第1のウエハ4が第2のウエハ5に接する加圧面に均一な加圧力として印加される。
【選択図】 図2
Description
1 被加圧部
2 応力分散プレート(応力分散部)
3 部品保持部
4 第1のウエハ(加圧対象物)
5 第2のウエハ(加圧対象物)
6 ステージ
7 ステージ固定台
8 加圧機構(加圧手段)
8a 点接触部
10,11 接触部
12 空間部
13 環状空間部
20 加圧ヘッド
Claims (5)
- 加圧対象物を保持した加圧ヘッドを加圧手段により加圧して加圧対象物を加圧する加圧装置において、
前記加圧ヘッドは、前記加圧手段の加圧軸上に第1空間部を有することを特徴とする加圧装置。 - 加圧手段あるいは加圧ヘッドのいずれか一方に、前記加圧手段と加圧ヘッドとが接触する点接触部を設けた請求項1に記載の加圧装置。
- 加圧ヘッドは、被加圧部と、部品保持部と、被加圧部と部品保持部との間に配置された応力分散部とにより構成され、
前記応力分散部は、第1空間部と、加圧手段の加圧軸を中心とする複数の環状空間部とを有し、
前記環状空間部に囲まれた部分あるいは環状空間部同士に囲まれた部分の加圧軸に垂直な断面積が、加圧手段の加圧軸から遠ざかる位置になるほど大きくなるように構成されてなる請求項1又は2に記載の加圧装置。 - 第1空間部と環状空間部は、加圧軸に対して軸対称形状である請求項3に記載の加圧装置。
- 加圧ヘッドの加圧方向に、第2の加圧対象物を載置する載置部が設けられてなる請求項1〜4いずれか一項に記載の加圧装置。
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