JP2007294848A - キャパシタおよび電子回路 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、基板(10)上に設けられた下部電極(12a、12b)と、下部電極(12a、12b)上に設けられた誘電体膜(14a、14b)と、誘電体膜(14a、14b)上に設けられた上部電極(16a、16b)とを有する2つのサブキャパシタ(20a、20b)と、2つのサブキャパシタ(20a、20b)のそれぞれの下部電極(12a、12b)は、それぞれ他方の上部電極(16b、16a)と相互に接続する2つの接続部(L1,L2)と、を具備するキャパシタおよび電子回路である。
【選択図】図2
Description
11 絶縁膜
12、12a、12b 下部電極
14、14a、14b 誘電体膜
16、16a、16b 上部電極
18a、18b 接続配線
20a、20b サブキャパシタ
21、21a、21b キャパシタ
30 裏面金属膜
32 別の誘電体膜
33、35、37 層間絶縁膜
34 配線
36、38,39 配線
40、50 増幅回路
Claims (14)
- 基板上に設けられた下部電極と、該下部電極上に設けられた誘電体膜と、該誘電体膜上に設けられた上部電極とを有する2つのサブキャパシタと、
前記2つのサブキャパシタのそれぞれの下部電極は、それぞれ他方の上部電極と相互に接続する2つの接続部と、を具備することを特徴とするキャパシタ。 - 前記下部電極が設けられている基板表面の反対の面である基板裏面に設けられた金属膜を具備することを特徴とする請求項1記載のキャパシタ。
- 前記2つのサブキャパシタのそれぞれの下部電極の面積は同じであることを特徴とする請求項1記載のキャパシタ。
- 前記2つの接続部のそれぞれは、前記2つのサブキャパシタの隣接する辺に複数設けられてなることを特徴とする請求項1記載のキャパシタ。
- 前記基板と前記下部電極との間に設けられた絶縁膜を具備することを特徴とする請求項1記載のキャパシタ。
- 前記上部電極上に設けられた別の誘電体膜と、該別の誘電体膜上に設けられた配線と、を具備することを特徴とする請求項1記載のキャパシタ。
- 前記配線は、グランド配線であることを特徴とする請求項6記載のキャパシタ。
- 前記配線はグランドプレートであり、前記配線上に1層または複数層の配線層が設けられていることを特徴とする請求項6記載のキャパシタ。
- 前記絶縁膜は、単層または多層の配線を含むことを特徴とする請求項5記載のキャパシタ。
- 2つの対称な回路と、前記2つの対称な回路の間に接続されたキャパシタと、を具備し、
前記キャパシタは、基板上に設けられた下部電極と、該下部電極上に設けられた誘電体膜と、該誘電体膜上に設けられた上部電極とを有する2つのサブキャパシタと、
前記2つのサブキャパシタのそれぞれの下部電極は、それぞれ他方の上部電極と相互に接続する2つの接続部と、を具備することを特徴とする電子回路。 - 前記下部電極が設けられている基板表面の反対の面である基板裏面に設けられた金属膜を具備することを特徴とする請求項10記載の電子回路。
- 前記2つのサブキャパシタのそれぞれの下部電極の面積は同じであることを特徴とする請求項10記載の電子回路。
- 前記2つの接続部のそれぞれは、前記2つのサブキャパシタの隣接する辺に複数設けられてなることを特徴とする請求項10記載の電子回路。
- 前記2つの対称な回路はプッシュプル型増幅回路を構成することを特徴とする請求項10記載の電子回路。
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