JP2007261116A - Cutting blade for green sheet laminate, cutting apparatus for green sheet laminate, and method for manufacturing electronic component - Google Patents

Cutting blade for green sheet laminate, cutting apparatus for green sheet laminate, and method for manufacturing electronic component Download PDF

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Taisuke Abiko
泰介 安彦
Takeshi Takashima
剛 鷹島
Hiroshi Yagi
弘 八木
Tomohiko Komuro
智彦 小室
Sumiyuki Tatsumi
純幸 巽
Hiroshi Shindo
宏史 進藤
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Tdk Corp
Tdk株式会社
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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a cutting blade for a green sheet laminate, a cutting apparatus for the green sheet laminate, and a method for manufacturing an electric component, which assure a strength of the cutting blade, avoid catching by a base material of the green sheet laminate and curling up of the green sheet laminate, and prevent cut pieces from re-adhesion. <P>SOLUTION: The cutting blade cutting the green sheet laminate by pressing in the thickness direction of the green sheet laminate obtained by laminating a green sheet on the base material has a roughened region and a smooth region on a blade surface of the cutting blade, the smooth region being adjacent to a ridge of a blade edge. <P>COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT

Description

本発明は、未焼成のグリーンシート積層体を切断してグリーンシートチップを製造するためのグリーンシート積層体の切断刃、グリーンシート積層体の切断装置及び電子部品の製造方法に関する。   The present invention relates to a cutting blade for a green sheet laminate, a cutting device for the green sheet laminate, and a method for producing an electronic component for producing a green sheet chip by cutting an unfired green sheet laminate.
セラミック等からなるグリーンシート積層体の切断装置として、セラミックグリーンシート積層体115の厚さ方向の押圧力を板状の切断刃に作用させて切断する装置が知られている。図5は、従来の切断刃を示す斜視図である。切断進行方向Pに延在する研削溝113を刃面107に形成した切断刃103を開示する。これは、刃面の損耗を少なくしたり、被切断部材である板状のグリーンシート積層体115に対する抵抗力を少なくすることや、また、被切断部材の切断面の荒れを抑えることを目的としている(特許文献1参照。)。   As a cutting device for a green sheet laminate made of ceramic or the like, there is known a device for cutting by applying a pressing force in the thickness direction of the ceramic green sheet laminate 115 to a plate-shaped cutting blade. FIG. 5 is a perspective view showing a conventional cutting blade. A cutting blade 103 in which a grinding groove 113 extending in the cutting progress direction P is formed on the blade surface 107 is disclosed. This is for the purpose of reducing wear on the blade surface, reducing the resistance to the plate-like green sheet laminate 115 that is a member to be cut, and suppressing the roughness of the cut surface of the member to be cut. (See Patent Document 1).
特開2004−17444号公報(図1等)JP 2004-17444 A (FIG. 1 etc.)
しかし、特許文献1の従来の切断装置では、切断刃103の刃面107に設けられている溝113が、グリーンシート積層体115の基材117に引っ掛かり、切断刃103を被切断部材115から引き抜く際に、基材117やグリーンシート積層体115が捲り上がったり、切断された切断片が切断刃付近に散乱する場合があり、安定した切断動作を連続的に行うことが困難であった。また、切断片が散乱した場合には、切断片を後工程に移送する前に、散乱した切断片を配列する必要が生じ切断工程の作業効率を高めることが困難であった。   However, in the conventional cutting apparatus disclosed in Patent Document 1, the groove 113 provided on the blade surface 107 of the cutting blade 103 is caught by the base material 117 of the green sheet laminate 115 and the cutting blade 103 is pulled out from the member 115 to be cut. At this time, the base material 117 and the green sheet laminate 115 may be rolled up, or the cut pieces may be scattered around the cutting blade, making it difficult to continuously perform a stable cutting operation. Further, when the cut pieces are scattered, it is necessary to arrange the scattered cut pieces before the cut pieces are transferred to the subsequent process, and it is difficult to improve the working efficiency of the cutting process.
また、刃面107を粗面化するため溝113を刻設しているため、刃先の強度が十分に得られず、刃こぼれが発生する恐れがあり、切断刃に十分な耐久性が得られない。他方、切断刃の耐久性を高めるために、粗面化されていない平坦な刃面を有する切断刃を用い、切断刃を被切断部材に進入させると、切断片には切断進行方向に垂直な方向(切断片が並んでいる方向)の力が加わり、荒れを抑えた平坦な切断面を有し、隣接する切断片同士が再付着する恐れがある。   In addition, since the groove 113 is engraved to roughen the blade surface 107, the strength of the blade edge cannot be obtained sufficiently, and there is a risk of blade spilling, resulting in sufficient durability of the cutting blade. Absent. On the other hand, in order to improve the durability of the cutting blade, when a cutting blade having a flat blade surface that is not roughened is used and the cutting blade is inserted into the member to be cut, the cutting piece is perpendicular to the cutting progress direction. A force in the direction (the direction in which the cut pieces are arranged) is applied, and there is a possibility that the adjacent cut pieces are reattached with a flat cut surface that suppresses roughening.
そこで、本発明は、上記状況を鑑み、切断刃の強度を確保しつつ、グリーンシート積層体の基材に引っ掛かり、グリーンシート積層体をめくり上げることがなく、かつ切断片同士の再付着を防止できるグリーンシート積層体の切断刃、切断装置及び電子部品の製造方法を提供することを目的とする。   Therefore, in view of the above situation, the present invention prevents the reattachment of the cut pieces without being caught on the base material of the green sheet laminate and turning up the green sheet laminate while securing the strength of the cutting blade. An object of the present invention is to provide a cutting blade, a cutting device, and an electronic component manufacturing method for a green sheet laminate.
上記課題を解決するための本発明の切断刃の第1の態様は、基材にグリーンシートを積層したグリーンシート積層体の厚さ方向に押圧されることによってグリーンシート積層体を切断する切断刃であって、切断刃の刃面には、粗面化した粗面化領域と平坦領域とが設けられ、平坦領域は、刃先稜線部に隣接している。   A first aspect of the cutting blade of the present invention for solving the above-described problem is a cutting blade for cutting a green sheet laminate by being pressed in the thickness direction of the green sheet laminate in which the green sheets are laminated on the base material. And the roughened area | region and flat area | region which roughened were provided in the blade surface of the cutting blade, and the flat area | region is adjacent to the blade edge ridgeline part.
本発明の切断刃の第2の態様は、粗面化領域は、刃先稜線部に対し垂直な方向に延在する溝により構成される。   In the second aspect of the cutting blade of the present invention, the roughened region is constituted by a groove extending in a direction perpendicular to the cutting edge ridge line portion.
本発明の切断刃の第3の態様は、粗面化領域は、刃先稜線部に対し平行な方向に延在する溝により構成される。   In the third aspect of the cutting blade of the present invention, the roughened region is constituted by a groove extending in a direction parallel to the blade edge portion.
本発明の切断刃の第4の態様は、粗面化領域は、刃先稜線部に対し傾斜する方向に延在する溝により構成される。   In the fourth aspect of the cutting blade of the present invention, the roughened region is constituted by a groove extending in a direction inclined with respect to the edge of the cutting edge.
本発明の切断刃の第5の態様は、前記平坦領域の切断進行方向長さが、前記基材の厚さとほぼ同じである。   In the fifth aspect of the cutting blade of the present invention, the length of the flat region in the cutting progress direction is substantially the same as the thickness of the substrate.
さらに、上記課題を解決するための本発明のグリーンシート積層体の切断装置の態様は、基材にグリーンシートを積層したグリーンシート積層体を切断するグリーンシート積層体の切断装置であって、グリーンシートが載置される載置面を有するステージと、グリーンシート積層体の厚さ方向に移動可能であって、厚さ方向に移動することによってステージ上に載置されたグリーンシート積層体を切断する切断刃と、を備え、切断刃の刃面には、粗面化した粗面化領域と平坦領域とが設けられ、平坦領域は、刃先稜線部に隣接している。   Furthermore, an embodiment of a cutting device for a green sheet laminate of the present invention for solving the above-mentioned problem is a cutting device for a green sheet laminate that cuts a green sheet laminate in which a green sheet is laminated on a base material. A stage having a mounting surface on which a sheet is placed and a green sheet laminate that can be moved in the thickness direction of the green sheet laminate and moved on the stage by moving in the thickness direction And a roughened region and a flat region which are roughened are provided on the blade surface of the cutting blade, and the flat region is adjacent to the edge portion of the blade edge.
また、上記課題を解決するための本発明の電子部品の製造方法の態様は、ステージ上に載置されたグリーンシート積層体を、上述の第1〜第5の切断刃を用いて切断する切断工程を備える。   Moreover, the aspect of the manufacturing method of the electronic component of this invention for solving the said subject is the cutting | disconnection which cut | disconnects the green sheet laminated body mounted on the stage using the above-mentioned 1st-5th cutting blade. A process is provided.
なお、本明細書におけるグリーンシート積層体とは、各種積層型の電子部品の製造過程においてその中間体として形成されたものを意味する。より具体的には、フェライト、ガラス系セラミック等の粉末、バインダ、可塑剤、溶剤等から構成され、電子部品における絶縁領域を形成するグリーンシートと、電子部品における導電性領域を有するグリーンシート等とを積層し、且つ積層方向にこれらのグリーンシートを加圧して圧着させる事で得られたシート状の部材、或いは単一のシートからなる部材を言う。また、シート状部材或いはシートは、これらを支持するシート状の支持体(基材)を有するものであっても良い。   In addition, the green sheet laminated body in this specification means what was formed as the intermediate body in the manufacture process of various laminated type electronic components. More specifically, it is composed of powders such as ferrite and glass-based ceramics, a binder, a plasticizer, a solvent, etc., and forms a green sheet that forms an insulating region in an electronic component, a green sheet that has a conductive region in an electronic component, and the like And a sheet-like member obtained by pressurizing and pressing these green sheets in the laminating direction, or a member composed of a single sheet. Further, the sheet-like member or sheet may have a sheet-like support (base material) that supports them.
主面とは、切断刃の刃付けがされていない部分であり、刃面とは、切断刃の刃付けがなされている部分を意味する。   The main surface is a portion where the cutting blade is not attached, and the blade surface means a portion where the cutting blade is attached.
本発明によれば、グリーンシート積層体を切断する際に、グリーンシート積層体の基材に切り込む部分に平坦領域を設けることにより、切断刃を取り除くときに、切断刃が基材に引っ掛かることを防止できる。従って、切断刃により基材がめくり上がり切断面を変形させることがないので、グリーンシート積層体の切断を確実に行うことができる。   According to the present invention, when the green sheet laminate is cut, by providing a flat region in the portion of the green sheet laminate cut into the base material, the cutting blade is caught by the base material when the cutting blade is removed. Can be prevented. Therefore, since the base material is not turned up by the cutting blade and the cut surface is not deformed, the green sheet laminate can be reliably cut.
また、切断刃の刃先部には、粗面化を施していないため刃先及びその近傍の強度を確保でき、切断工程において刃こぼれが生じることを防止できる。   Further, since the cutting edge portion of the cutting blade is not roughened, the strength of the cutting edge and the vicinity thereof can be secured, and the occurrence of blade spilling can be prevented in the cutting process.
また、グリーンシート層には、粗面化領域が接触することにより、切断面を粗面化することができる。よって、切断片が再付着ことを防止することができる。   Moreover, a cut surface can be roughened when a roughening area | region contacts a green sheet layer. Therefore, it can prevent that a cut piece adheres again.
以下、本発明におけるグリーンシート積層体の切断刃の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の実施形態を通じて同一の構成要素には同一の参照符号を付する。   Hereinafter, an embodiment of a cutting blade of a green sheet laminate in the present invention will be described with reference to the drawings. Note that the same reference numerals are given to the same components throughout the following embodiments.
まず、実施形態に係る切断刃を用いて積層電子部品である積層チップインダクタを製造する方法について簡単に説明する。シート成形工程(ステップ1)において、数μm〜数10μmの厚さにシート成形(キャスティング)されたグリーンシートすなわち、磁性体シート又は低誘電率誘電体シートを得る。次のスルーホール形成工程(ステップ2)において、YAGレーザ等で内部接続用のスルーホールを磁性体シート又は低誘電率誘電体シートに加工する。さらに、内部導体印刷乾燥工程(ステップ3)において、スクリーン印刷法でスルーホール埋め込み、内部導体(Ag系、Ag−Pd系)を形成する。その後、シート積層プレス工程(ステップ4)でスルーホール埋め込み及び内部導体がパターニングされたグリーンシートの多層を基材上に重ねてグリーンシート積層体のブロックを作製し、グリーンシート積層体の切断工程(ステップ5)で個片(チップ)に切断する。このグリーンシート積層体の切断工程は、後述するグリーンシート積層体の切断刃及びその装置を用いて行われる。   First, a method for manufacturing a multilayer chip inductor, which is a multilayer electronic component, using the cutting blade according to the embodiment will be briefly described. In the sheet forming step (step 1), a green sheet that is formed (cast) to a thickness of several μm to several tens of μm, that is, a magnetic sheet or a low dielectric constant dielectric sheet is obtained. In the next through hole forming step (step 2), the through hole for internal connection is processed into a magnetic sheet or a low dielectric constant dielectric sheet with a YAG laser or the like. Further, in the internal conductor printing drying step (step 3), through-holes are embedded by screen printing to form internal conductors (Ag-based, Ag-Pd-based). Then, a green sheet laminate block is produced by stacking green sheet multilayers in which through-holes are embedded and internal conductors are patterned in a sheet lamination press process (step 4) on a substrate, and the green sheet laminate cut process ( In step 5), cut into individual pieces (chips). The cutting process of the green sheet laminate is performed using a cutting blade and a device for the green sheet laminate described later.
切断された個片の端面に所望の丸み(アール)を付与するため、水バレル研磨工程(ステップ6)でメディアボールと一緒にバレル研磨を行い、分離、洗浄、乾燥後に焼成工程(ステップ7)で磁性体層又は低誘電率誘電体層と内部導体とを同時焼成する。焼成縮率の大きい内部導体は焼成後、磁性体層又は低誘電率誘電体層より内部に入り込むため、端子電極とのコンタクトが十分に取れない可能性が出てきてしまう。そこで焼成後の個片を、引出バレル研磨工程(ステップ8)において、また研磨剤と一緒にバレル研磨を行う。分離、洗浄、乾燥後、端子電極塗布工程(ステップ9)にて端子電極を付与する治具(パレット)にセットしてAg−Pd系の電極を塗布、乾燥後、焼成工程(ステップ10)で焼き付けを行う。さらに、実装時の電気的接合を確実に取るために、メッキ工程(ステップ11)でNi、Sn等のメッキを施した後、最後に特性検査工程(ステップ12)で特性検査し、製品として出荷している。以上のような工程で積層電子部品が製造される。   In order to give a desired roundness (R) to the end face of the cut piece, barrel polishing is performed together with the media ball in the water barrel polishing process (Step 6), and the baking process is performed after separation, washing and drying (Step 7). The magnetic layer or the low dielectric constant dielectric layer and the inner conductor are fired simultaneously. Since the internal conductor having a high firing shrinkage ratio enters the inside of the magnetic layer or the low dielectric constant dielectric layer after firing, there is a possibility that contact with the terminal electrode cannot be sufficiently obtained. Therefore, the individual pieces after firing are subjected to barrel polishing in the extraction barrel polishing step (step 8) and together with the abrasive. After separation, washing, and drying, set on a jig (pallet) to which a terminal electrode is applied in the terminal electrode application step (step 9), apply and dry the Ag-Pd-based electrode, and then in the firing step (step 10). Bake. Furthermore, in order to ensure electrical connection at the time of mounting, Ni, Sn, etc. are plated in the plating process (step 11), and finally the characteristics are inspected in the characteristic inspection process (step 12) and shipped as a product. is doing. A laminated electronic component is manufactured by the process as described above.
(第1実施形態)
図1は、本発明の第1実施形態に係る切断刃を示し、(a)は正面図であり、(b)は側面図である。平板状の切断刃3は、被切断物を切断する刃先部7と、刃先部7に連続する切断刃本体5と、を備える。切断刃本体5は、ほぼ平行な(すなわち、厚さ(図1(b)の左右方向長さ)が均一の)対向する主面5aを有する。刃先部7は、鉛直方向に対して傾斜する刃面7b、7cと、両刃面7b、7cが交わる端縁、すなわち刃先の刃先稜線部7aと、を有する。
(First embodiment)
FIG. 1 shows a cutting blade according to a first embodiment of the present invention, in which (a) is a front view and (b) is a side view. The flat cutting blade 3 includes a cutting edge portion 7 that cuts an object to be cut, and a cutting blade body 5 that is continuous with the cutting edge portion 7. The cutting blade body 5 has opposing main surfaces 5a that are substantially parallel (that is, the thickness (the length in the left-right direction in FIG. 1B) is uniform). The blade edge portion 7 includes blade surfaces 7b and 7c that are inclined with respect to the vertical direction, and an edge where both the blade surfaces 7b and 7c intersect, that is, a blade edge ridge line portion 7a of the blade edge.
刃面7b、7cは、粗面化領域9と、平坦領域11と、を備える。粗面化領域9は主面5aに隣接して設けられ、切断する際に切断刃3が押される方向(切断進行方向P)に延在する所定深さの溝が所定間隔で刻設された凹凸面である。なお、隣接する溝の間隔は、グリーンシート積層体に形成されている隣接するチップのピッチに対応させて設けることが望ましい。このような構成とすることにより、グリーンシート積層体から切り出された個片(チップ)同士の接触面積を確実に少なくでき、切断され隣接するチップ同士が再付着することを防止できる。また、フェムト秒レーザを用いることで、ピッチを1μm以下、深さを1μm以下の微細な溝を形成することができる。よって、チップの微細化による配列の高密度化に対応して溝を加工することができる。さらに、エッチングによっても溝を形成することが可能である。   The blade surfaces 7 b and 7 c include a roughened region 9 and a flat region 11. The roughened region 9 is provided adjacent to the main surface 5a, and grooves having a predetermined depth extending in a direction in which the cutting blade 3 is pushed (cutting progress direction P) when cutting are formed at predetermined intervals. It is an uneven surface. Note that the interval between adjacent grooves is preferably provided in correspondence with the pitch of adjacent chips formed in the green sheet laminate. By setting it as such a structure, the contact area of the piece (chip | chip) cut out from the green sheet laminated body can be reduced reliably, and it can prevent that the chip | tip which is cut | disconnected and adjoins again. Further, by using a femtosecond laser, a fine groove having a pitch of 1 μm or less and a depth of 1 μm or less can be formed. Therefore, the grooves can be processed corresponding to the increase in the density of the array due to the miniaturization of the chip. Further, the groove can be formed by etching.
平坦領域11は、刃面7b、7cの刃先稜線部7a側に設けられ、溝が刻設されていない領域である。すなわち、平坦領域11の表面と、粗面化領域9の隣り合う溝により画成される凸部の外面とは、面一となっている。もちろん、面一とする構成は必須ではなく、平坦領域11の表面と粗面化領域9の凸部の外面が異なる高さであってもよい。   The flat region 11 is a region that is provided on the blade edge ridge line portion 7a side of the blade surfaces 7b and 7c and is not engraved with a groove. That is, the surface of the flat region 11 and the outer surface of the convex portion defined by the adjacent grooves of the roughened region 9 are flush with each other. Of course, the structure which is flush is not essential, and the surface of the flat region 11 and the outer surface of the convex portion of the roughened region 9 may have different heights.
さらに、平坦領域11の切断進行方向長さ(図1の上下方向長さ)は、被切断部材であるグリーンシート積層体の基材の厚さとほぼ同じであるか、それより大きいことが望ましい。すなわち、切断刃が被切断部材の内部を進行し刃先稜線部7aが基材の下面(若しくは図4Bの載置面23a)に到達した際に、平坦領域11と粗面化領域9の境界線が基材の上面より僅かに上方に位置するように平坦領域11の切断進行長さを寸法付けることが好ましい。平坦領域11と基材との寸法関係をこのように規定することにより、切断刃3をグリーンシート積層体に押圧し切断した後、切断刃3をグリーンシート積層体から引き抜くときに、刃先部が基材に引っ掛かり基材がめくり上がることを防止することができる。   Further, it is desirable that the length of the flat region 11 in the cutting progress direction (the length in the vertical direction in FIG. 1) is substantially the same as or larger than the thickness of the base material of the green sheet laminate that is the member to be cut. That is, the boundary line between the flat region 11 and the roughened region 9 when the cutting blade advances inside the member to be cut and the blade edge portion 7a reaches the lower surface of the base material (or the placement surface 23a in FIG. 4B). It is preferable to dimension the cutting progress length of the flat region 11 so that is located slightly above the upper surface of the substrate. By defining the dimensional relationship between the flat region 11 and the base material in this manner, the cutting edge 3 is pressed when the cutting blade 3 is pressed against the green sheet laminate and then cut, and then the cutting edge portion is pulled out from the green sheet laminate. It is possible to prevent the substrate from being caught by the substrate and turning up.
なお、刃面7b、7cの両方に粗面化領域9を設ける構成としたが、一方の刃面にのみ粗面化領域を設ける構成としてもよい。粗面化領域は、刃面7の凹凸を被切断物の切断面に転写することにより、隣接するチップ間の対向する面同士の接触面積を小さくし、再付着を防止することを目的とするものである。よって、片面のみに粗面化領域を設ける構成であっても再付着を防止するという効果を得られる。   In addition, although it was set as the structure which provides the roughening area | region 9 in both the blade surfaces 7b and 7c, it is good also as a structure which provides a roughening area | region only in one blade surface. The roughened region is intended to reduce the contact area between adjacent surfaces between adjacent chips and prevent reattachment by transferring the irregularities of the blade surface 7 to the cut surface of the workpiece. Is. Therefore, even if it is the structure which provides a roughening area | region only on one side, the effect of preventing reattachment can be acquired.
さらに、平坦領域を設けることにより、刃先部の強度を維持することができる。
(第2実施形態)
図2は、本発明の第2実施形態に係る切断刃を示し、(a)は正面図であり、(b)は側面図である。第2実施形態に係る切断刃103の構成は、第1実施形態に係る切断刃3とほぼ同じ構成であり、また溝の形成方法も同じであるので異なる部分について説明する。
Furthermore, the intensity | strength of a blade edge | tip part can be maintained by providing a flat area | region.
(Second Embodiment)
FIG. 2 shows a cutting blade according to a second embodiment of the present invention, in which (a) is a front view and (b) is a side view. The configuration of the cutting blade 103 according to the second embodiment is substantially the same as that of the cutting blade 3 according to the first embodiment, and the groove forming method is also the same.
刃面107には、粗面化領域109と、平坦領域111とを備えている。本実施形態の粗面化領域109は、互いに交差する方向(格子状)に延在する溝が複数刻設された凹凸面である。   The blade surface 107 includes a roughened region 109 and a flat region 111. The roughened region 109 of the present embodiment is an uneven surface in which a plurality of grooves extending in a direction intersecting each other (lattice shape) is formed.
また、平坦領域111は、刃面107b、107cの刃先稜線部107a側に設けられている。平坦領域111の鉛直方向長さ(図2の上下方向長さ)は、被切断部材であるグリーンシート積層体の基材の厚さとほぼ同じであるか、それより大きいことが望ましい。   Moreover, the flat area | region 111 is provided in the blade edge ridgeline part 107a side of the blade surfaces 107b and 107c. The vertical length (the vertical length in FIG. 2) of the flat region 111 is preferably substantially the same as or larger than the thickness of the base material of the green sheet laminate that is the member to be cut.
上記構成により、第1実施形態同様の作用効果を奏する。なお、本実施形態の溝は、切断進行方向に対して傾斜する方向に延在する構成としたが、これに限定されることはなく、水平方向と切断方向に延在するような溝を組み合わせる構成としてもよい。   With the above configuration, the same operational effects as in the first embodiment can be obtained. In addition, although the groove | channel of this embodiment was set as the structure extended in the direction inclined with respect to the cutting progress direction, it is not limited to this, The groove | channel which extends in a horizontal direction and a cutting direction is combined. It is good also as a structure.
(第3実施形態)
図3は、本発明の第3実施形態に係る切断刃を示し、(a)は正面図であり、(b)は側面図である。第3実施形態に係る切断刃203の構成は、第1実施形態に係る切断刃3とほぼ同じであり、また溝の形成方法も同じであるので異なる部分について説明する。
(Third embodiment)
FIG. 3 shows a cutting blade according to a third embodiment of the present invention, in which (a) is a front view and (b) is a side view. Since the configuration of the cutting blade 203 according to the third embodiment is substantially the same as that of the cutting blade 3 according to the first embodiment, and the groove forming method is also the same, different portions will be described.
刃面207には、粗面化領域209と、平坦領域211とを備えている。本実施形態の粗面化領域209は、切断進行方向に垂直な方向(刃先稜線部207aに平行な方向)に延在する溝が複数刻設された凹凸面である。粗面化領域209は、切断刃本体205側に設けられている。   The blade surface 207 includes a roughened region 209 and a flat region 211. The roughened region 209 of this embodiment is an uneven surface in which a plurality of grooves extending in a direction perpendicular to the cutting progress direction (a direction parallel to the cutting edge ridge part 207a) is formed. The roughened region 209 is provided on the cutting blade body 205 side.
また、刃先稜線部207aに隣接して、平坦領域211が設けられている。平坦領域211の鉛直方向長さ(図2の上下方向長さ)は、被切断部材であるグリーンシート積層体の基材の厚さとほぼ同じであるか、それより大きいことが望ましい。   Further, a flat region 211 is provided adjacent to the cutting edge ridge line portion 207a. The vertical length (vertical length in FIG. 2) of the flat region 211 is preferably substantially the same as or larger than the thickness of the base material of the green sheet laminate that is the member to be cut.
上記構成の切断刃を用いることにより、切断刃203に形成されている粗面化領域211の溝と、切断されたチップの切断面に転写された溝と、が同じ方向に延在するので、切断刃を被切断物から水平方向に容易に引き抜くことができる。その他の作用効果は、第1実施形態と同様である。   By using the cutting blade of the above configuration, the groove of the roughened region 211 formed on the cutting blade 203 and the groove transferred to the cutting surface of the cut chip extend in the same direction. The cutting blade can be easily pulled out from the workpiece in the horizontal direction. Other functions and effects are the same as those of the first embodiment.
次に、本発明の第1実施形態に係る切断刃を適用したグリーンシート積層体切断装置の実施例について、図面を参照して説明する。図4Aは切断装置の正面断面図であり、図4Bは図4Aの線IVB−IVBに沿った断面図である。   Next, examples of the green sheet laminate cutting apparatus to which the cutting blade according to the first embodiment of the present invention is applied will be described with reference to the drawings. 4A is a front sectional view of the cutting device, and FIG. 4B is a sectional view taken along line IVB-IVB in FIG. 4A.
本実施例のグリーンシート積層体切断装置1(以下、切断装置1と称す。)は、メインフレーム部材17、アクチュエータ25、サブフレーム部材19、切断刃保持部材27、切断刃3を備える。さらに、切断装置1は、後述するように冷却ユニットを備える構成であるが、本発明のグリーンシート積層体切断装置の必須の構成ではないことは言うまでもない。   The green sheet laminate cutting apparatus 1 (hereinafter referred to as a cutting apparatus 1) of this embodiment includes a main frame member 17, an actuator 25, a subframe member 19, a cutting blade holding member 27, and a cutting blade 3. Furthermore, although the cutting device 1 is a structure provided with a cooling unit so that it may mention later, it cannot be overemphasized that it is not an essential structure of the green sheet laminated body cutting device of this invention.
切断装置1の基体であるメインフレーム部材17は、正面から見て略逆U字形状を有しており、鉛直方向において逆U字の両直線部が並立するように配置されている。メインフレーム部材17におけるU字水平部の上部略中央には、アクチュエータ25が装着されている。アクチュエータ25は、メインフレーム部材17を貫通し下方に伸びるアクチュエータロッド25aを有しており、ロッド25aはアクチュエータ25によって延在方向に伸縮する。また、メインフレーム部材17は下方において、後述する冷却部材の一部を収容する孔部17aを有しており、冷却部材の上下方向の移動量を規制するストッパ17bを孔部17aの内部底面に有している。また、メインフレーム部材17は、略逆U字の両直線部に配置されたガイドレール17cを有している。   The main frame member 17 which is a base body of the cutting device 1 has a substantially inverted U shape when viewed from the front, and is arranged such that both linear portions of the inverted U shape are juxtaposed in the vertical direction. An actuator 25 is mounted on the upper center of the U-shaped horizontal portion of the main frame member 17. The actuator 25 has an actuator rod 25 a that penetrates the main frame member 17 and extends downward. The rod 25 a is expanded and contracted in the extending direction by the actuator 25. In addition, the main frame member 17 has a hole 17a that accommodates a part of a cooling member to be described later, and a stopper 17b that regulates the amount of movement of the cooling member in the vertical direction is provided on the inner bottom surface of the hole 17a. Have. Further, the main frame member 17 has guide rails 17c arranged on both linear portions of a substantially inverted U shape.
サブフレーム部材19はメインフレーム部材17と同様に略逆U字形状を呈ししており、メインフレーム部材17の略逆U字の内側において同一向きとなるように配置される。サブフレーム部材19の水平方向に延在するU字水平部は、アクチュエータロッド25aの端部と結合する。サブフレーム部材19の鉛直方向に伸びる両直線部における、メインフレーム部材17の両直線部と向かい合う部分には、スライダ19aが固定されている。スライダ19aは、メインフレーム部材17のガイドレール17cと摺動可能に係合している。従って、アクチュエータ25が作動することによって、サブフレーム部材19は、メインフレーム部材17に対して鉛直方向に移動することが可能となる。   The sub-frame member 19 has a substantially inverted U shape similar to the main frame member 17, and is arranged in the same direction inside the substantially inverted U shape of the main frame member 17. The U-shaped horizontal portion extending in the horizontal direction of the subframe member 19 is coupled to the end portion of the actuator rod 25a. A slider 19 a is fixed to a portion of the both straight portions extending in the vertical direction of the subframe member 19 that faces both straight portions of the main frame member 17. The slider 19a is slidably engaged with the guide rail 17c of the main frame member 17. Therefore, when the actuator 25 operates, the sub-frame member 19 can move in the vertical direction with respect to the main frame member 17.
図4Bから容易に理解されるように、切断刃3を保持する切断刃保持部材27は、サブフレーム部材19における逆U字形状の水平部分と略平行に配置される棒状の部材である。切断刃保持部材27は、略逆U字形状のサブフレーム部材19の下端開放部分を閉鎖するように、サブフレーム部材19の下端部に連結されている。また、切断刃保持部材27には、サブフレーム部材19の移動方向において、サブフレーム部材19との結合位置とは鉛直方向に対対向する位置に、切断刃ホルダ27aを介して切断刃3が装着されている。切断刃ホルダ27aは、切断刃3が載置台23の載置面23aと平行に延在するように、メインフレーム部材17の下方(略逆U字形状における開放部方向)に配置されるステージ23と向かい合うように配置されている。   As can be easily understood from FIG. 4B, the cutting blade holding member 27 that holds the cutting blade 3 is a rod-shaped member that is disposed substantially parallel to the inverted U-shaped horizontal portion of the subframe member 19. The cutting blade holding member 27 is connected to the lower end portion of the subframe member 19 so as to close the lower end opening portion of the substantially inverted U-shaped subframe member 19. Further, the cutting blade 3 is mounted on the cutting blade holding member 27 via a cutting blade holder 27a at a position facing the connecting position with the subframe member 19 in the vertical direction in the moving direction of the subframe member 19. Has been. The cutting blade holder 27 a is a stage 23 that is disposed below the main frame member 17 (in the direction of the open portion in the substantially inverted U shape) so that the cutting blade 3 extends in parallel with the mounting surface 23 a of the mounting table 23. It is arranged to face each other.
また、切断刃保持部材27は、サブフレーム部材19の逆U字両直線部と同方向に延在する冷却部材ガイドレール27bを有している。さらに、切断刃保持部材27は、後述する冷却ユニット35に埋設された冷却部材ストッパピン35cと協働して冷却ユニット35の移動を規制するための冷却部材ストッパ27cを備えている。なお、本実施例においては、サブフレーム部材19と切断刃保持部材27とを異なる部材から構成したが、これらを一体の部材としても良い。   Further, the cutting blade holding member 27 has a cooling member guide rail 27 b extending in the same direction as the reverse U-shaped both linear portions of the subframe member 19. Further, the cutting blade holding member 27 includes a cooling member stopper 27c for restricting the movement of the cooling unit 35 in cooperation with a cooling member stopper pin 35c embedded in the cooling unit 35 described later. In the present embodiment, the sub-frame member 19 and the cutting blade holding member 27 are composed of different members, but these may be integrated members.
図4Bに示されるように、冷却ユニット35は、下部直線部と、直立直線部とを備える。下部直線部がステージ23の載置面23aと平行に延在し且つ直立直線部が上述したサブフレーム19と平行に延在する略L字形状を有している。また、直立直線部の一端部に連続する下部直線部を構成する平板部材は切断刃保持部材27が配置される側に突出している。冷却ユニット35は更に、切断刃保持部材27における冷却部材ガイドレール27bと摺動可能に係合する冷却部材スライダ35bを有している。   As shown in FIG. 4B, the cooling unit 35 includes a lower straight portion and an upright straight portion. The lower straight portion extends in parallel with the mounting surface 23a of the stage 23, and the upright straight portion has a substantially L shape extending in parallel with the subframe 19 described above. Further, the flat plate member constituting the lower straight line portion continuous with the one end portion of the upright straight line portion protrudes to the side where the cutting blade holding member 27 is disposed. The cooling unit 35 further includes a cooling member slider 35 b slidably engaged with the cooling member guide rail 27 b in the cutting blade holding member 27.
冷却ユニット35は、その初期状態では、バネ等の付勢手段(不図示)の作用により、冷却ユニット35に設けられた冷却部材ストッパピン35cと冷却部材ストッパ27cとが所定の付勢力下において当接する。   In the initial state of the cooling unit 35, the cooling member stopper pin 35c provided on the cooling unit 35 and the cooling member stopper 27c are pressed against each other under a predetermined biasing force by the action of a biasing means (not shown) such as a spring. Touch.
冷却ユニット35は更に、図4Aの左右方向に突出する突出部35dを有している。突出部35dは、前述したメインフレーム部材17に設けられた孔部17a内部に収容されている。孔部17a下面に埋設されたストッパ17bの上端部と突出部35dとが当接することで冷却ユニット35の降下量が規定される。   The cooling unit 35 further has a protruding portion 35d protruding in the left-right direction in FIG. 4A. The protrusion 35d is accommodated in the hole 17a provided in the main frame member 17 described above. The lowering amount of the cooling unit 35 is defined by the contact between the upper end portion of the stopper 17b embedded in the lower surface of the hole portion 17a and the protruding portion 35d.
ステージ23は、前述したようにグリーンシート積層体15を載置できる水平な載置面23aを有する。載置面23aを含むステージ23は不図示の制動装置によって駆動され、水平方向(図3Aにおける紙面に垂直な方向)に間歇的に移動可能である。さらに、ステージ23は、載置面23aに垂直な軸を中心に回転も可能となっている。   The stage 23 has a horizontal placement surface 23a on which the green sheet laminate 15 can be placed as described above. The stage 23 including the placement surface 23a is driven by a braking device (not shown) and can move intermittently in the horizontal direction (direction perpendicular to the paper surface in FIG. 3A). Furthermore, the stage 23 can also rotate around an axis perpendicular to the placement surface 23a.
次に、本実施例に係るグリーンシート積層体切断装置1を用いて、実際にグリーンシート積層体15を切断する工程の動作について説明する。切断動作において、まずアクチュエータ25を作動させて、切断刃3を上昇させ、ステージ23の載置面23aからグリーンシート積層体15の厚さよりも大きな間隔を隔てる位置まで移動させる。この状態からステージ23は移動し、グリーンシート積層体15の切断予定部位と切断刃3の降下位置とを一致させる。   Next, operation | movement of the process of actually cut | disconnecting the green sheet laminated body 15 using the green sheet laminated body cutting device 1 which concerns on a present Example is demonstrated. In the cutting operation, first, the actuator 25 is actuated to raise the cutting blade 3 and move it from the mounting surface 23 a of the stage 23 to a position that is spaced apart from the thickness of the green sheet laminate 15. From this state, the stage 23 moves to match the planned cutting site of the green sheet laminate 15 with the lowered position of the cutting blade 3.
次に、アクチュエータ25を作動して、サブフレーム部材19を降下させる。これに伴って切断刃支持部材27も降下する。その際、冷却ユニット35に設けられた冷却部材ストッパピン35cと冷却部材ストッパ27cとは係合しており、冷却部材ユニット35は切断刃支持部材27と一体として降下する。冷却ユニット35は、その突出部35dがストッパ17bと当接することによって、降下が停止される。この停止状態において、所定の当接圧をもって冷却部材33がグリーンシート積層体15の表面と当接するように、ストッパ17bの高さ(突出部35dとストッパ17bとの当接位置)が設定されている。冷却部材33は、切断刃3の刃先稜線部7aがグリーンシート積層体15の内部に進入する前に、シート表面と当接するように切断刃との位置関係が設定されている。   Next, the actuator 25 is operated to lower the subframe member 19. Along with this, the cutting blade support member 27 also descends. At this time, the cooling member stopper pin 35 c provided in the cooling unit 35 and the cooling member stopper 27 c are engaged, and the cooling member unit 35 is lowered integrally with the cutting blade support member 27. The cooling unit 35 stops descending when the projecting portion 35d abuts against the stopper 17b. In this stopped state, the height of the stopper 17b (the contact position between the protruding portion 35d and the stopper 17b) is set so that the cooling member 33 contacts the surface of the green sheet laminate 15 with a predetermined contact pressure. Yes. The cooling member 33 has a positional relationship with the cutting blade so that the cutting edge 3a of the cutting blade 3 contacts the sheet surface before entering the inside of the green sheet laminate 15.
この状態から、サブフレーム部材19を更に降下させると、切断刃保持部材27は更に降下を続ける。しかし、冷却ユニット35は、冷却手段用ガイドレール27cと冷却手段スライダ35bとの作用により、切断刃保持部材27の動作に影響されず、グリーンシート積層体15との当接状態を一定に保持する。これにより、冷却部材33の当接領域においてグリーンシート積層体15は所定の温度まで冷却され、水平面内に作用する応力を受けた場合であっても、当該領域内での積層体15が大きく変形することを防止できる。   If the sub-frame member 19 is further lowered from this state, the cutting blade holding member 27 continues to descend further. However, the cooling unit 35 keeps the contact state with the green sheet laminate 15 constant without being affected by the operation of the cutting blade holding member 27 due to the action of the cooling means guide rail 27c and the cooling means slider 35b. . As a result, the green sheet laminate 15 is cooled to a predetermined temperature in the contact region of the cooling member 33, and the laminate 15 in the region is greatly deformed even when subjected to stress acting in the horizontal plane. Can be prevented.
切断刃保持部材27が更に降下を続けることによって、切断刃3がグリーンシート積層体15内部に進入する。アクチュエータ25の動作は、切断刃3の刃先稜線部7a(図1参照。)が、グリーンシート積層体15の最下層である支持体を切断するまで続けられる。以上の動作により、グリーンシート積層体15における切断予定部位の切断工程が終了する。切断終了後、アクチュエータ25によりサブフレーム部材19が上昇する。これにより、切断時とは逆の順序で各部材が動作し、切断前の状態に各構成が配置される。   As the cutting blade holding member 27 continues to descend, the cutting blade 3 enters the green sheet laminate 15. The operation of the actuator 25 is continued until the cutting edge ridge part 7a (see FIG. 1) of the cutting blade 3 cuts the support that is the lowermost layer of the green sheet laminate 15. With the above operation, the cutting process of the planned cutting site in the green sheet laminate 15 is completed. After the end of cutting, the subframe member 19 is raised by the actuator 25. Thereby, each member operate | moves in the reverse order at the time of a cutting | disconnection, and each structure is arrange | positioned in the state before a cutting | disconnection.
以上の動作を順次繰り返し、グリーンシート積層体15の全面に対して切断面を形成した後、ステージ23は載置面23aに垂直な軸を中心に90°回転する。回転後、グリーンシート積層体15の回転後の方向における切断予定部位を切断刃3の直下に位置させ、再度上述した切断動作を繰り返して行う。これにより、略直方形状のチップ形状とされた部材が複数個同時に得られる。   The above operation is sequentially repeated to form a cut surface with respect to the entire surface of the green sheet laminate 15, and then the stage 23 rotates 90 ° about an axis perpendicular to the placement surface 23a. After the rotation, the planned cutting site in the rotated direction of the green sheet laminate 15 is positioned directly below the cutting blade 3, and the above-described cutting operation is repeated again. Thereby, a plurality of members having a substantially rectangular chip shape can be obtained simultaneously.
本実施例によれば、グリーンシート積層体における切断後の領域に冷却手段を当接させることによって、当該領域周辺の変形能を低下させることが可能となる。従って、次の切断予定部位に切断刃が進入してシートの延在面方向に作用する応力が発生した場合であっても、切断済み領域の変形量を抑制し、切断面同士の再付着を防止することが可能となる。その結果、グリーンシート積層体の切断効率を向上させることが可能となる。   According to the present embodiment, it is possible to reduce the deformability around the region by bringing the cooling means into contact with the region after cutting in the green sheet laminate. Therefore, even when the cutting blade enters the next scheduled cutting site and a stress acting in the direction of the extending surface of the sheet is generated, the deformation amount of the cut region is suppressed, and the reattachment of the cut surfaces is achieved. It becomes possible to prevent. As a result, it becomes possible to improve the cutting efficiency of the green sheet laminate.
本発明の実施例では、第1実施形態の切断刃を適用した例を説明したが、第2〜3実施形態の切断刃を適用できることは言うまでもない。   Although the example of applying the cutting blade of the first embodiment has been described in the examples of the present invention, it goes without saying that the cutting blades of the second to third embodiments can be applied.
さらに、本発明は上述した実施形態或いは実施例の具体的構成に限定されない。例えば、各々の構成の配置及び駆動方向は、グリーンシート積層体が水平に支持されることを前提として、全て規定されているが、これらを異なる方向において規定することとしても良い。   Furthermore, the present invention is not limited to the specific configuration of the above-described embodiment or example. For example, the arrangement and driving direction of each component are all defined on the assumption that the green sheet laminate is supported horizontally, but these may be defined in different directions.
この発明は、その本質的特性から逸脱することなく数多くの形式のものとして具体化することができる。よって、上述した実施形態は専ら説明上のものであり、本発明を制限するものではないことは言うまでもない。   The present invention can be embodied in many forms without departing from its essential characteristics. Therefore, it is needless to say that the above-described embodiment is exclusively for description and does not limit the present invention.
本発明の第1実施形態に係る切断刃を示し、(a)は正面図であり、(b)は側面図である。The cutting blade which concerns on 1st Embodiment of this invention is shown, (a) is a front view, (b) is a side view. 本発明の第2実施形態に係る切断刃を示し、(a)は正面図であり、(b)は側面図である。The cutting blade which concerns on 2nd Embodiment of this invention is shown, (a) is a front view, (b) is a side view. 本発明の第3実施形態に係る切断刃を示し、(a)は正面図であり、(b)は側面図である。The cutting blade which concerns on 3rd Embodiment of this invention is shown, (a) is a front view, (b) is a side view. 本発明の実施例に係るグリーンシート積層体切断装置の概略構成を示す装置正面図である。It is an apparatus front view which shows schematic structure of the green sheet laminated body cutting apparatus which concerns on the Example of this invention. 本発明の実施例に係るグリーンシート積層体切断装置の概略構成を示す装置側面図である。It is an apparatus side view which shows schematic structure of the green sheet laminated body cutting device which concerns on the Example of this invention. 従来の切断刃を示す斜視図である。It is a perspective view which shows the conventional cutting blade.
符号の説明Explanation of symbols
1:グリーンシート積層体切断装置、 3:切断刃、 5:主面部、 7:刃先部、 9:粗面化領域、 11:平坦領域、 15:グリーンシート積層体、 17:メインフレーム部材、 19:サブフレーム部材、 23:ステージ、 25:アクチュエータ、 27:切断刃保持部材、 33:当接部材、 35:冷却ユニット
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1: Green sheet laminated body cutting apparatus, 3: Cutting blade, 5: Main surface part, 7: Blade edge part, 9: Roughening area | region, 11: Flat area | region, 15: Green sheet laminated body, 17: Main frame member, 19 : Subframe member, 23: Stage, 25: Actuator, 27: Cutting blade holding member, 33: Contact member, 35: Cooling unit

Claims (7)

  1. 基材にグリーンシートを積層したグリーンシート積層体の厚さ方向に押圧されることによって前記グリーンシート積層体を切断する切断刃であって、
    前記切断刃の刃面には、粗面化した粗面化領域と平坦領域とが設けられ、前記平坦領域は、刃先稜線部に隣接している切断刃。
    A cutting blade for cutting the green sheet laminate by being pressed in the thickness direction of the green sheet laminate in which the green sheets are laminated on the base material,
    The cutting surface of the cutting blade is provided with a roughened roughened region and a flat region, and the flat region is adjacent to the edge of the blade edge.
  2. 前記粗面化領域は、前記刃先稜線部に対し垂直な方向に延在する溝により構成される請求項1に記載の切断刃。   The cutting blade according to claim 1, wherein the roughened region is configured by a groove extending in a direction perpendicular to the cutting edge ridge line portion.
  3. 前記粗面化領域は、前記刃先稜線部に対し平行な方向に延在する溝により構成される請求項1に記載の切断刃。   The cutting blade according to claim 1, wherein the roughened region is constituted by a groove extending in a direction parallel to the cutting edge ridge line portion.
  4. 前記粗面化領域は、前記刃先稜線部に対し傾斜する方向に延在する溝により構成される請求項1に記載の切断刃。   The cutting blade according to claim 1, wherein the roughened region is constituted by a groove extending in a direction inclined with respect to the cutting edge ridge line portion.
  5. 前記平坦領域の切断進行方向長さが、前記基材の厚さとほぼ同じである請求項1〜4のいずれか一項に記載の切断刃。   The cutting blade according to any one of claims 1 to 4, wherein a length of the flat region in a cutting progress direction is substantially the same as a thickness of the base material.
  6. 基材にグリーンシートを積層したグリーンシート積層体を切断するグリーンシート積層体の切断装置であって、
    前記グリーンシートが載置される載置面を有するステージと、
    前記グリーンシート積層体の厚さ方向に移動可能であって、前記厚さ方向に移動することによって前記ステージ上に載置された前記グリーンシート積層体を切断する切断刃と、を備え、
    前記切断刃の刃面には、粗面化した粗面化領域と平坦領域とが設けられ、前記平坦領域は、刃先稜線部に隣接しているグリーンシート積層体の切断装置。
    A cutting device for a green sheet laminate that cuts a green sheet laminate in which a green sheet is laminated on a substrate,
    A stage having a placement surface on which the green sheet is placed;
    A cutting blade capable of moving in the thickness direction of the green sheet laminate, and cutting the green sheet laminate placed on the stage by moving in the thickness direction,
    The cutting surface of the cutting blade is provided with a roughened roughened region and a flat region, and the flat region is a cutting device for a green sheet laminate adjacent to the edge of the blade edge.
  7. 前記ステージ上に載置された前記グリーンシート積層体を、請求項1〜5のいずれか一項に記載の切断刃を用いて切断する切断工程を備える電子部品の製造方法。
    The manufacturing method of an electronic component provided with the cutting process which cut | disconnects the said green sheet laminated body mounted on the said stage using the cutting blade as described in any one of Claims 1-5.
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