JP2007246392A - セラミックシート - Google Patents
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Abstract
【解決手段】厚さが10から300μm、かつ、レーザー光学式三次元形状測定装置を使用し、シート面にレーザー光を照射してその反射光を三次元形状解析することにより求められるシート周縁部のバリ高さが±100μm以下である、積層加重と熱ストレスに対する耐クラック性と耐割れ性に優れたセラミックシートを開示する。
【選択図】なし
Description
市販の8モル%イットリア安定化ジルコニア粉末(第一稀元素社製商品名「HSY-8.0」)100重量部に対し、メタクリレート系共重合体からなるバインダー(分子量:30,000、ガラス転移温度:−8℃、固形分濃度:50重量%)30重量部、可塑剤としてジブチルフタレート2重量部、分散媒としてトルエン/イソプロピルアルコール(重量比=3/2)の混合溶媒50重量部を、直径10mmのジルコニアボールが装入されたナイロンポットに入れ、約60rpmで40時間混練してスラリーを調製した。
上記実施例1で得たグリーンシートを、刃先角度θが43°、θ1が21.5°、θ2が21.5°で両刃(中山紙器材社製のPET用打抜き刃)からなる刃形を用いた以外は実施例1と同様にして、135mm角に切断した。
市販の3モル%イットリア安定化ジルコニア粉末(第一稀元素社製商品名「HSY-3.0」)を用いた以外は、前記実施例1と同様にしてグリーンシートを得た。このグリーンシートを、刃先角度θが30°、θ1が15°、θ2が15°で鏡面研磨した両刃からなる刃形を用いた以外は実施例と同様にして、外径約160mm、内径26mmのドーナツ型に切断した。
酸化ニッケル粉末(キシダ化学社製)60重量%と、8モル%イットリア安定化ジルコニア粉末(第一稀元素社製商品名「HSY-8.0」)40重量%との混合粉末を用い、バインダーを13部とした以外は前記実施例1と同様にして、ニッケル/ジルコニアグリーンシートを得た。
アルミナ粉末(昭和電工社製商品名「AL-160SG」)に酸化マグネシウム0.5重量%を添加した粉体を用いて、実施例1と同様にしてアルミナグリーンシートを得た。
実施例1で得たグリーンシートを135mm角の金型で切断し、実施例1と同様にして焼成することにより、約100mm角、厚さ300μmのシートを得た。
実施例1で得たグリーンシートを、ハネ出し用のゴムを付けない他は実施例1と同じ刃型で切断し、実施例1と同様にして焼成して約100mm角、厚さ300μmのシートを得た。
実施例1で得たグリーンシートを、刃先角度θが66.5°、θ1が35.5°、θ2が31°の刃型を用いた以外は実施例1と同様にして切断し、更に実施例2と同様にして焼成することにより、約100mm角、厚さ300μmのシートを得た。
実施例3と同様にして得たグリーンシートを、刃先角度θが23°、θ1が11.5°、θ2が11.5°の刃型を用いた以外は実施例3と同様にして切断し、更に実施例3と同様にして焼成することにより、外径約120mm、内径約20mm、厚さ100μmのドーナツ状シートを得た。但し、この刃型を用いて500ショット切断をした後は、刃先が摩耗して切断し難くなった。該500ショット使用後の刃型を用いて切断し、同様に焼成を行なった。
実施例4と同様にして得たグリーンシートを、刃先角度θが71°、θ1が35.5°、θ2が35.5°の刃型を用いた以外は実施例4と同様にして切断し、更に実施例4と同様にして焼成することにより、約150mm角、厚さ400μmのニッケル/ジルコニアシートを得た。
実施例5と同様にして得たグリーンシートを、刃の厚さが1.4mmの刃型を使用した以外は実施例5と同様にして切断し、更に実施例5と同様にして焼成を行なって、約100mm角、厚さ630μmのアルミナシートを得た。
前記実施例1〜5および比較例1〜6で得た各シートの外周縁端部とその内側3mm、および実施例3〜4、比較例4〜5で得たシートの内周縁端部とその内側3mmの表面形状を、レーザー光学式被接触3次元形状測定装置(UBM社製商品名「UBC-14型」マイクロフォーカス エキスパート)を用いて測定した。主な仕様は、光源は半導体レーザー(780nm)、スポット系1μm、垂直分離能0.01μmであり、0.1mmのピッチでバリ高さを測定した。
アルミナ敷板の上に表面が平滑で平行度を保った2枚のアルミナ板(ニッカート社製商品名「SSA-S」)に各シートを挟んだ状態で載置し、その上にシートを面積当たりの荷重が0.1kgf/cm2と0.5kgf/cm2になる様に棚板状のアルミナを重しとして置いた。
2 硬質部材
3 刃
3T 刃先
4 ハネ出し板
5 硬質板
6 弾性板
A 打抜き部材
B シート支持部材
G グリーンシート
L 刃の厚さ
X 刃先を通る中心線
Claims (2)
- 厚さが10〜300μm、かつ、レーザー光学式三次元形状測定装置を使用し、シート面にレーザー光を照射してその反射光を三次元解析することにより求められるシート周縁部のバリ高さが±100μm以下であることを特徴とするセラミックシート。
- 平板状固体電解質型燃料電池に使用されるものである請求項1に記載のセラミックシート。
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