JP2007243170A - 遮熱機構を有する相変化メモリセル - Google Patents
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Abstract
【解決手段】相変化メモリセルアレイ600は、基板302、トランジスタ108、素子分離用ゲート406、接地用金属板602、キャップ層410、スペーサ408、相変化素子106、電極をそれぞれ備えた相変化素子コンタクト304、ビット線コンタクト306、電極416、ビット線112、誘電体材料412ならびに414を有しており、電極416は、相変化素子106を接地用金属板602へ電気的に結合する。スペーサ408は、相変化素子106を遮熱する。ビット線112は、相変化素子106からスペーサ408を介して通る熱を放出するための放熱手段を形成している。
【選択図】図14A
Description
本出願は、2006年2月7日に出願された米国特許出願番号第11/348,640号、出願名「遮熱機構を有する相変化メモリセル」の一部継続出願である。同出願は、本明細書に参照として援用される。本出願は、2005年10月27日に出願された米国特許出願番号11/260,346号、出願名「相変化メモリセル」に関連する。同出願は、本明細書に参照として援用される。
不揮発性メモリの1つのタイプとして、抵抗メモリがある。抵抗メモリは、メモリ素子の抵抗値を用いて、1ビットまたはそれ以上のデータを記憶する。例えば、抵抗値が高くなるようにプログラムされたメモリ素子は論理値「1」データビット値を示し、抵抗値が低くなるようにプログラムされたメモリ素子は論理値「0」データビット値を示す。メモリ素子の抵抗値は、メモリ素子に電圧パルスまたは電流パルスを印加することによって、電気的に切り替えられる。抵抗メモリの1つのタイプとして、磁気ランダムアクセスメモリ(magnetic random access memory; MRAM)がある。抵抗メモリの別のタイプとして、相変化メモリがある。本発明は、相変化メモリに関連して説明していくが、本発明は任意の適切な抵抗メモリに応用可能である。
本発明の一形態は、メモリを提供する。このメモリは、抵抗メモリセルアレイと、メモリセルの行と行との間に配置された、メモリセルへアクセスするためのビット線と、各メモリセルに結合された伝導板とを備えている。
本発明をさらに理解するために、図面が添付されている。これらの添付図面は本明細書に組み込まれ、本明細書の一部を構成する。これらの図面は、本発明の実施形態を例証し、また本明細書における記載と共に本発明の原理を説明するためのものである。本発明の別の実施形態、および本発明の意図する多くの利点については、以下の詳細な説明を参照することによって容易に理解できるであろう。これら図面中の各素子は、必ずしも互いに相対的な縮小とはなっていない。同様の符号は、対応する同様の箇所を示している。
以下の詳細な説明では添付図面を参照する。これらの添付図面は、本明細書の一部を構成するものであり、また本発明を実施し得る具体的な実施形態を例証するために示されている。これに関し、説明する(これら)図面の方向を参照して、「上」「下」「前」「後」「先端」「後端」等の方向を示す用語が使用されている。本発明の実施形態の構成要素は、多くの様々な方向に配置することができる。従って方向を表す上記用語は、例証するために用いられているものであって、限定するものではない。なお、本発明の範囲を逸脱することなく、別の実施形態を用いること、および構造的または論理的な変化を加えることができることについて理解されたい。従って以下の詳細な説明は、限定的な意味として捉えられるものではなく、本発明の範囲は特許請求の範囲によって規定される。
Claims (27)
- 複数の抵抗メモリセルからなる抵抗メモリセルアレイと、
複数の抵抗メモリセルから構成される列と列との間に設けられた、該抵抗メモリセルにアクセスするための複数のビット線と、
各抵抗メモリセルに連結する伝導板とを備えていることを特徴とするメモリ。 - 上記伝導板は、接地用金属板を有していることを特徴とする請求項1に記載のメモリ。
- 上記抵抗メモリセルは、相変化メモリセルを有していることを特徴とする請求項1に記載のメモリ。
- 上記伝導板は、ビット線の上に形成されていることを特徴とする請求項1に記載のメモリ。
- さらに、1つのビット線と1つのメモリ素子との間を結ぶソース−ドレイン経路を有したトランジスタを制御するためのワード線を複数備えており、
上記ワード線は、上記ビット線に交差するように設けられていることを特徴とする請求項1に記載のメモリ。 - 上記ビット線は、上記抵抗メモリセル同士を遮熱していることを特徴とする請求項1に記載のメモリ。
- 複数の抵抗メモリセルからなる抵抗メモリセルアレイと、
各抵抗メモリセルと導通している複数のビット線と、
上記抵抗メモリセルの周りに設けられており、該抵抗メモリセルにアクセスするための導電性の多孔板とを備えていることを特徴とするメモリ。 - 上記導電性の多孔板は、接地用金属板を有していることを特徴とする請求項7に記載のメモリ。
- 上記抵抗メモリセルは、相変化メモリセルを有していることを特徴とする請求項7に記載のメモリ。
- 上記導電性の多孔板は、ビット線の下に形成されていることを特徴とする請求項7に記載のメモリ。
- さらに、上記導電性の多孔板と1つのメモリ素子との間を結ぶソース−ドレイン経路を有したトランジスタを制御するためのワード線を複数備えており、
上記ワード線は、上記ビット線に交差するように設けられていることを特徴とする請求項7に記載のメモリ。 - 上記導電性の多孔板は、上記抵抗メモリセル同士を遮熱していることを特徴とする請求項7に記載のメモリ。
- 1つのトランジスタと1つのメモリ素子が設けられており、かつ各トランジスタのソース−ドレイン経路の一方の側は1つのメモリ素子と連結した構成となっている相変化メモリセルを、複数構成してなる相変化メモリセルアレイと、
上記相変化メモリセルの各々と連結している複数のビット線と、
各トランジスタにおける上記ソース−ドレイン経路の他方の側と連結している接地用金属板とを備えていることを特徴とする半導体メモリ装置。 - 上記接地用金属板は、ビット線の上に形成されており、
上記接地用金属板は、多孔質であることを特徴とする請求項13に記載の半導体メモリ装置。 - 上記ビット線は、上記接地用金属板の下に形成されていることを特徴とする請求項13に記載の半導体メモリ装置。
- 上記相変化メモリセルアレイは、シングルゲートメモリセルを有していることを特徴とする請求項13に記載の半導体メモリ装置。
- 上記相変化メモリセルアレイは、デュアルゲートメモリセルを有していることを特徴とする請求項13に記載の半導体メモリ装置。
- 上記ビット線は、上記抵抗メモリセル同士を遮熱していることを特徴とする請求項13に記載の半導体メモリ装置。
- 上記接地用金属板は、上記抵抗メモリセル同士を遮熱していることを特徴とする請求項13に記載の半導体メモリ装置。
- メモリの製造方法であって、
複数の抵抗メモリセルからなる抵抗メモリセルアレイを準備するアレイ準備工程と、
複数の抵抗メモリセルから構成される列と列との間に、該抵抗メモリセルにアクセスするための複数のビット線を形成するビット線形成工程と、
各抵抗メモリセルに連結する伝導板を形成する伝導板形成工程とを含むことを特徴とするメモリの製造方法。 - 上記アレイ準備工程は、相変化メモリセルを準備することを特徴とする請求項20に記載のメモリの製造方法。
- 1つのビット線と1つのメモリ素子との間を結ぶソース−ドレイン経路を有したトランジスタを制御するためのワード線を、複数、かつ上記ビット線と交差するように形成するワード線形成工程をさらに含むことを特徴とする請求項20に記載のメモリの製造方法。
- 上記ビット線形成工程は、上記抵抗メモリセル同士を遮熱するためのビット線を形成することを特徴とする請求項20に記載のメモリの製造方法。
- メモリの製造方法であって、
抵抗メモリセルのアレイを準備するアレイ準備工程と、
各抵抗メモリセルと連結するビット線を形成するビット線形成工程と、
抵抗メモリセルにアクセスするための多孔性導電板を準備する多孔性導電板準備工程とを含むことを特徴とするメモリの製造方法。 - 上記アレイ準備工程は、相変化メモリセルを準備することを特徴とする請求項24に記載のメモリの製造方法。
- 1つのメモリ素子と1つの上記多孔性導電板との間を結ぶソース−ドレイン経路を有したトランジスタを制御するためのワード線を、複数、かつ上記ビット線と交差するように形成するワード線形成工程をさらに含むことを特徴とする請求項24に記載のメモリの製造方法。
- 上記多孔性導電板準備工程は、上記抵抗メモリセル同士を遮熱するための多孔性導電板を形成することを特徴とする請求項24に記載のメモリの製造方法。
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