JP2007096000A - 半導体ウェーハの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体ウェーハの製造方法であって、少なくとも、原料ウェーハを研削する研削工程を有し、該研削工程により研削されたウェーハ面のナノトポグラフィを測定し、このウェーハ面の複数の直径または半径上のナノトポグラフィ測定値を平均して平均値成分を求め、前記平均する前のナノトポグラフィ測定値から前記平均値成分を差し引いて残差成分を求め、前記平均値成分および残差成分に基づいて前記研削工程の研削条件を調整することを特徴とする半導体ウェーハの製造方法。
【選択図】図1
Description
ナノトポグラフィは一般に「光学干渉式」の測定機(商標名 ; Nanomapper(ADE Corp.)やDynasearch((株)レイテックス))によって測定されており、図10に測定例を示す。図10(a) はナノトポグラフィ・マップであり、その濃淡でナノトポグラフィの強度を定性的に表している。一方, 図10(b) は45°おきに測定した4断面(直径)上のナノトポグラフィの形状と定量的な強度を表しており、グラフの山谷はナノトポグラフィ・マップの濃淡に対応している。なお、図11はナノトポグラフィ・マップとナノトポグラフィ断面形状の対応を模式的に説明したものである。
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意検討を行った結果、加工されたウェーハのナノトポグラフィ測定値を平均値成分と残差成分に分離し、これをウェーハの加工条件にフィードバックすれば、ナノトポグラフィの改善を容易に行うことができることに想到し、本発明を完成させた。
ここで、平均値成分はウェーハ面にリング状に形成される表面うねり成分に対応し、すなわちリング状成分あるいは点対称成分と言うことができ、残差成分はナノトポグラフィ測定値からリング状成分を除いたウェーハ面内のばらつき成分と言うことができる。
「垂直チルト調整量ΔX」と「中央部の凹凸量C0」の比例係数 : −0.0200
「垂直チルト調整量ΔX」と「最外周リング部の凹凸量E0」の比例係数 : −0.0161
「シフト調整量ΔY」と「中央部の凹凸量C0」の比例係数 : −0.0190
「シフト調整量ΔY」と「最外周リング部の凹凸量E0」の比例係数 : −0.0087
ΔC0 = −0.0200 ΔX −0.0190 ΔY 式(1a)
ΔE0 = −0.0161 ΔX −0.0087 ΔY 式(1b)
ΔX = (0.0087 ΔC0 − 0.0190 ΔE0 ) / 1.319×10−4 式(2a)
ΔY = ( −0.0161 ΔC0 + 0.0200 ΔE0 ) / 1.319×10−4 式(2b)
ΔX = (−0.0087 C0 + 0.0190 E0 ) / 1.319×10−4 式(3a)
ΔY = (0.0161 C0 − 0.0200 E0 ) / 1.319×10−4 式(3b)
(実施例)
試料ウェーハとしてCZ法で製造された直径300mmの単結晶シリコンウェーハを用いた。両頭研削工程後のウェーハについて光学式の測定装置Nanomapperでナノトポグラフィの測定を行い、図8(a)に示すように、ウェーハ面の4本の直径上のナノトポグラフィ測定値を平均値成分と残差成分に分離した。このようにして得られたデータを基に、両頭研削装置の左右の砥石を交換し、さらに砥石を図9に示すようにシフト調整およびチルト調整した。調整後の両頭研削装置を用いて両頭研削したウェーハについて、調整前と同様にNanomapperでナノトポグラフィの測定を行い、図8(b)に示すように、ウェーハ面の4本の直径上のナノトポグラフィ測定値を平均値成分と残差成分に分離した。図から明らかなように、調整後ではナノトポグラフィマップに濃淡がなくなり、平均値成分、残差成分ともに改善されているのがわかる。
たとえばナノトポグラフィの測定は、光学干渉式の測定機以外に、静電容量式測定機やレーザ式センサで行ってもよい。また、本発明により製造されるウェーハは半導体シリコンウェーハに限られず、化合物半導体ウェーハであってもよい。
13…ランド、 14…ポケット、 h…静圧パッドとウェーハの間隙、
W…ウェーハ、 C0…ウェーハ面の中央部の凹凸量、
E0…ウェーハ面の最外周リング部の凹凸量。
Claims (4)
- 半導体ウェーハの製造方法であって、少なくとも、原料ウェーハを研削する研削工程を有し、該研削工程により研削されたウェーハ面のナノトポグラフィを測定し、このウェーハ面の複数の直径または半径上のナノトポグラフィ測定値を平均して平均値成分を求め、前記平均する前のナノトポグラフィ測定値から前記平均値成分を差し引いて残差成分を求め、前記平均値成分および残差成分に基づいて前記研削工程の研削条件を調整することを特徴とする半導体ウェーハの製造方法。
- 前記研削工程を両頭研削工程とすることを特徴とする請求項1に記載の半導体ウェーハの製造方法。
- 前記ウェーハ面の複数の直径または半径上のナノトポグラフィ測定値が、前記ウェーハ面の4本の直径または半径上あるいは8本の直径または半径上のナノトポグラフィ測定値であることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体ウェーハの製造方法。
- 前記研削工程の研削条件の調整を、ウェーハ面に対して垂直方向に砥石を平行移動させるシフト調整および/またはウェーハ面と砥石の相対角度を変化させるチルト調整により行うことを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載の半導体ウェーハの製造方法。
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