JP2007078456A - IC socket and IC tester using the same - Google Patents
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Abstract
【課題】 精度よく試験が行えるICソケット及びこれを用いたICテスタを実現することを目的にする。
【解決手段】 本発明は、複数の球状または面状リードを有するICパッケージが取り付けられるICソケットに改良を加えたものである。本装置は、弾性をもつコンタクトピンを実装するソケット本体と、このソケット本体の上面に取り付けられ、球状または面状リードに電気的に接続すると共にコンタクトピンに電気的に接続する導体を有し、少なくとも2つの導体同士が電気的に接続されるシートとを備えたことを特徴とする装置である。
【選択図】 図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To realize an IC socket capable of testing accurately and an IC tester using the same.
The present invention is an improvement in an IC socket to which an IC package having a plurality of spherical or planar leads is attached. This device has a socket body on which an elastic contact pin is mounted, a conductor attached to the upper surface of the socket body, and electrically connected to the spherical or planar lead and electrically connected to the contact pin. An apparatus comprising: a sheet in which at least two conductors are electrically connected to each other.
[Selection] Figure 1
Description
本発明は、球状または面状リードを有するICパッケージが取り付けられるICソケット及びこれを用いたICテスタに関し、精度よく試験が行えるICソケット及びこれを用いたICテスタに関するものである。 The present invention relates to an IC socket to which an IC package having a spherical or planar lead is attached and an IC tester using the same, and more particularly to an IC socket capable of performing a test with accuracy and an IC tester using the same.
ICチップを内蔵したICパッケージは、リードピンを備えていたが、高集積化に伴い、半田からなる球状リードに代えたICパッケージ(BGA(Ball Grid Array)パッケージ)が用いられるようになった。このBGAパッケージをICテスタにより試験する場合、BGAパッケージをICソケットに取り付けて、試験を行っている。このようなICソケットは例えば特許文献1,2等に記載されている。
An IC package incorporating an IC chip was provided with lead pins. However, with the high integration, an IC package (BGA (Ball Grid Array) package) instead of a spherical lead made of solder has come to be used. When testing this BGA package with an IC tester, the test is performed with the BGA package attached to an IC socket. Such an IC socket is described in
特許文献1は、弾性を有するコンタクトピンで、球状リードに電気的接触を行なっている。そして、特許文献2は、ICパッケージの球状リードをスルーホール導体の穴に挿入し、球状リード、スルーホール導体、弾性を有するコンタクトピンで電気的接続を行い、球状リードの先端部付近の傷を抑制している。
Patent Document 1 is an elastic contact pin that makes electrical contact with a spherical lead. In
このような特許文献1,2では、コンタクトピンに弾性を設けるため、湾曲形状やスプリング形状をしている。このため、ICソケットは、プリント基板とICパッケージを電気的に接続する場合に、コンタクトピンが有する抵抗を犠牲にしている。
In
この結果、ICソケットに所望の電圧を与えたとしても、コンタクトピンを介しているので、ICパッケージに与えられる電圧は、期待される電圧になっていない。また、近年、ICパッケージは信号数と同等以上の電源やグランドの球状リードがあり、同一の電源電圧を与えたつもりでも、コンタクトピンの抵抗により、同一の電源電圧にならないという問題点があった。 As a result, even if a desired voltage is applied to the IC socket, the voltage applied to the IC package is not an expected voltage because the contact pin is interposed. In recent years, IC packages have spherical power leads or grounds that are equal to or more than the number of signals, and even if the same power supply voltage is intended, there is a problem that the same power supply voltage cannot be obtained due to the contact pin resistance. .
そこで、本発明の目的は、精度よく試験が行えるICソケット及びこれを用いたICテスタを実現することにある。 Accordingly, an object of the present invention is to realize an IC socket capable of performing a test with high accuracy and an IC tester using the same.
このような課題を達成するために、本発明のうち請求項1記載の発明は、
複数の球状または面状リードを有するICパッケージが取り付けられるICソケットにおいて、
弾性をもつコンタクトピンを実装するソケット本体と、
このソケット本体の上面に取り付けられ、前記球状または面状リードに電気的に接続すると共に前記コンタクトピンに電気的に接続する導体を有し、少なくとも2つの導体同士が電気的に接続されるシートと
を備えたことを特徴とするICソケット。
請求項2記載の発明は、
複数の球状または面状リードを有するICパッケージが取り付けられるICソケットにおいて、
弾性をもつコンタクトピンを実装するソケット本体と、
このソケット本体の上面に取り付けられ、前記球状または面状リードに電気的に接続すると共に前記コンタクトピンに電気的に接続する導体を有するシートと、
このシートに設けられ、前記導体の信号を電気的に取り出す配線パターンと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項3記載の発明は、
複数の球状または面状リードを有するICパッケージが取り付けられるICソケットにおいて、
貫通穴に弾性をもつコンタクトピンを実装するソケット本体と、
このソケット本体の上面に取り付けられ、前記球状または面状リードに電気的に接続すると共に前記コンタクトピンに電気的に接続する導体を有するシートと、
このシートの周囲に取り付けられ、ソケット本体が取り付けられるプリント基板に電気的に接続する柔軟性配線シートと
を備えたことを特徴とするものである。
請求項4記載の発明は、請求項1〜3のいずれかに記載の発明であって、
シートはフレキシブルプリント基板であることを特徴とするものである。
請求項5記載の発明は、ICテスタにおいて、
請求項1〜4のいずれかに記載のICソケットを用いたことを特徴とするものである。
請求項6記載の発明は、
請求項2記載のICソケットを用いたICテスタであって、
シートの導体にソース線を電気的に接続し、シートの導体の信号を取り出す配線パターンに、センス線を電気的に接続し、電流または電圧を、ソース線を介して出力し、センス線により測定を行う電流電圧出力部を設けたことを特徴とするものである。
In order to achieve such a problem, the invention according to claim 1 of the present invention is:
In an IC socket to which an IC package having a plurality of spherical or planar leads is attached,
A socket body for mounting elastic contact pins;
A sheet attached to the upper surface of the socket main body, having a conductor electrically connected to the spherical or planar lead and electrically connected to the contact pin, and at least two conductors electrically connected; An IC socket characterized by comprising:
The invention according to
In an IC socket to which an IC package having a plurality of spherical or planar leads is attached,
A socket body for mounting elastic contact pins;
A sheet attached to the upper surface of the socket body, having a conductor electrically connected to the spherical or planar lead and electrically connected to the contact pin;
And a wiring pattern provided on the sheet for electrically extracting a signal of the conductor.
The invention described in
In an IC socket to which an IC package having a plurality of spherical or planar leads is attached,
A socket body for mounting elastic contact pins in the through holes;
A sheet attached to the upper surface of the socket body, having a conductor electrically connected to the spherical or planar lead and electrically connected to the contact pin;
A flexible wiring sheet that is attached around the sheet and electrically connected to a printed circuit board to which the socket body is attached is provided.
Invention of Claim 4 is invention in any one of Claims 1-3, Comprising:
The sheet is a flexible printed circuit board.
The invention according to claim 5 is an IC tester,
The IC socket according to any one of claims 1 to 4 is used.
The invention described in
An IC tester using the IC socket according to
The source line is electrically connected to the sheet conductor, the sense line is electrically connected to the wiring pattern for taking out the sheet conductor signal, and the current or voltage is output via the source line and measured by the sense line. It is a feature that a current voltage output unit for performing the above is provided.
本発明によれば、以下のような効果がある。
(1)シートで導体同士を電気的に接続したので、コンタクトピンの抵抗の影響を受けずにICピン間の抵抗を小さくして、ICの動作精度が高い試験を行うことができる。
(2)導体にソース線を電気的に接続し、センス線を配線パターンに電気的に接続するので、センス線からの導体の信号をモニタしながら、ソース線の信号を制御することで、IC動作の精度が高い試験を行うことができる。
(3)柔軟性配線シートにより、コンタクトピンを介さずに、ICパッケージと接続できるので、コンタクトピンの抵抗による影響を受けずに、負荷等の接続ができ、精度が高い試験を行うことができる。
(4)電流電圧出力部が、コンタクトピンを介して、導体にソース線を電気的に接続し、センス線を配線パターンに電気的に接続するので、精度が高い試験を行うことができる。
The present invention has the following effects.
(1) Since the conductors are electrically connected by the sheet, the resistance between the IC pins can be reduced without being influenced by the resistance of the contact pins, and a test with high IC operation accuracy can be performed.
(2) Since the source line is electrically connected to the conductor and the sense line is electrically connected to the wiring pattern, the signal of the source line is controlled while monitoring the signal of the conductor from the sense line, so that the IC Tests with high accuracy of operation can be performed.
(3) Since the flexible wiring sheet can be connected to the IC package without using a contact pin, a load or the like can be connected without being affected by the resistance of the contact pin, and a highly accurate test can be performed. .
(4) Since the current / voltage output unit electrically connects the source line to the conductor and the sense line to the wiring pattern via the contact pin, a highly accurate test can be performed.
以下本発明を、図面を用いて詳細に説明する。図1は本発明の一実施例を示した構成図である。 Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
図1において、BGAパッケージ1は球状リード11が複数設けられている。ソケット本体2は、所定のピッチで上下に設けられた貫通穴21,22に、弾性をもつコンタクトピン23を実装する。コンタクトピン23は、コンタクト部231、湾曲部232、端子部233からなる。コンタクト部231は貫通穴21に挿入される。湾曲部232は、コンタクト部231と一端を接続し、略C字状に湾曲され、弾性力が与えられている。端子部233は、一端が湾曲部232の他端に接続し、他端が貫通穴22に挿入される。プリント基板3は、図示しないICテスタのテストヘッドに電気的に接続し、ソケット本体2をネジ止めにより取り付け、コンタクトピン23の端子部233と電気的に接続される。
In FIG. 1, the BGA package 1 is provided with a plurality of spherical leads 11. The
フレキシブルプリント基板4はシートで、ソケット本体2の上面に取り付けられ、球状リード11に電気的に接続すると共にコンタクトピン23に電気的に接続するスルーホール導体41を複数有する。また、フレキシブルプリント基板4は図2に示される上面図のように、複数の孔42が設けられている。スルーホール導体41は、フレキシブルプリント基板4の上下にランドが形成され、ランド同士を電気的に接続するように、例えば、銅に金メッキが施され、球状リード11の直径の8割ぐらいの大きさの直径に設定される。また、スルーホール導体41a,41b同士が、銅パターン43により電気的に接続され、スルーホール導体41aは、BGAパッケージ1の球状リード11に電気的に接続しているが、スルーホール導体41bは、球状リード11に電気的に接続していない。
The flexible printed circuit board 4 is a sheet, is attached to the upper surface of the
電流電圧出力部5は、図示しないICテスタに設けられ、プリント基板3、コンタクトピン23aを介して、スルーホール導体41aにソース線51を電気的に接続し、プリント基板3、コンタクトピン23bを介して、スルーホール導体41bにセンス線52を電気的に接続し、電流または電圧を、ソース線を介して出力し、センス線により測定を行う。
The current / voltage output unit 5 is provided in an IC tester (not shown), electrically connects the
このような装置の動作を説明する。BGAパッケージ1が上部から押し付けられ、球状リード11がスルーホール導体41の穴に導く。さらに、BGAパッケージ1が押されると、球状リード11を介して、フレキシルブルプリント基板4が押され、フレキシブルプリント基板4のスルーホール導体41がコンタクトピン23のコンタクト部231に接触する。さらに押され、コンタクトピン23の湾曲部232が変形し、球状リード11とコンタクトピン23の電気的接続がスルーホール導体41を介して実現される。この結果、球状リード11、スルーホール導体41、コンタクトピン23と電気的接続ができ、BGAパッケージ1とプリント基板3との電気接続が行なわれる。
The operation of such an apparatus will be described. The BGA package 1 is pressed from above, and the spherical lead 11 is guided to the hole of the through-
そして、ICテスタが、BGAパッケージ1に対して試験を行う。ここで、ICテスタの電流電圧出力部5による試験について説明する。電流電圧出力部5がソース線51、プリント基板3、コンタクトピン23a、スルーホール導体41aを介して、BGAパッケージ1の球状リード11に対して、電流または電圧を供給する。このとき、電流電圧出力部5は、球状リード41aにおける電流または電圧を、スルーホール導体41a、銅パターン43、スルーホール導体41b、コンタクトピン23b、プリント基板3を介して、センス線52から測定する。
Then, the IC tester performs a test on the BGA package 1. Here, the test by the current voltage output unit 5 of the IC tester will be described. The current / voltage output unit 5 supplies current or voltage to the spherical lead 11 of the BGA package 1 through the
このように、スルーホール導体41aの信号をスルーホール導体41bから高精度に取り出せるように接続したので、コンタクトピン23a,23bの抵抗による影響を考慮に入れずに、精度のよい電流・電圧出力または測定を行うことができ、精度が高い試験を行うことができる。
In this way, since the signal of the through-
次に第2の実施例を、図3を用いて説明する。
図3において、フレキシブルプリント基板6は、フレキシブルプリント基板4の代わりに設けられ、ソケット本体2の上面に取り付けられ、球状リード11に電気的に接続すると共にコンタクトピン23に電気的に接続するスルーホール導体61を有する。スルーホール導体61は、スルーホール導体41と同様に、フレキシブルプリント基板6の上下にランドが形成され、ランド同士を電気的に接続するように、球状リード11の直径の8割ぐらいの大きさの直径に設定される。また、図4に示されるように、スルーホール導体61a〜61c同士が、フレキシブルプリント基板6の内部の銅パターン層62により電気的に接続される。
Next, a second embodiment will be described with reference to FIG.
In FIG. 3, a flexible printed
このような装置のBGAパッケージ1のソケット本体2への接続は、図1,2に示す装置と同様なので説明を省略する。フレキシブルプリント基板6上で、BGAパッケージ1の球状リード11同士を、スルーホール導体61a〜61c、銅パターン層62を介して、電気的に接続しているので、図示しないICテスタから、プリント基板3、コンタクトピン23、スルーホール導体61aにグランド電圧を与えると、銅パターン層62を介して、スルーホール導体61b,62cに同一のグランド電圧が与えられる。
The connection of such a device to the
これにより、スルーホール導体61a〜61cと電気的に接続する球状リード11に同一のグランド電圧を与えることができる。つまり、コンタクトピン23による抵抗の影響を受けずに、実際に、BGAパッケージ1がプリント基板に搭載されるときと同じような状態で、BGAパッケージ1の試験を行うことができる。
Thereby, the same ground voltage can be given to the spherical lead 11 electrically connected to the through-
次に第3の実施例を、図5を用いて説明する。図5において、フレキシブルプリント基板7は、フレキシブルプリント基板6の代わりに設けられ、上述と同様なスルーホール導体を有し、フレキシブルプリント基板7の周囲に、プリント基板3と電気的に接続する柔軟性配線シート71が設けられる。
Next, a third embodiment will be described with reference to FIG. In FIG. 5, a flexible printed
このような装置のBGAパッケージ1のソケット本体2への接続は、図1,2に示す装置と同様なので説明を省略する。柔軟性配線シート71により、プリント基板3とフレキシブルプリント基板7が、ソケット本体2のコンタクトピンを介さずに電気的に接続させることができる。これにより、プリント基板3に、BGAパッケージに対する負荷等を設け、抵抗値が高くなってしまうコンタクトピンを介さずに、BGAパッケージに対する負荷等を実現することができ、精度がよい試験を行うことができる。
The connection of such a device to the
なお、本発明はこれに限定されるものではなく、ソケット本体2に、コンタクトピン23の端子部233との隙間を有する貫通穴22を設けた構成を示したが、隙間がない構成でもよい。
The present invention is not limited to this, and the configuration in which the through hole 22 having a gap with the terminal portion 233 of the
また、コンタクトピン23が湾曲部232により弾性を設ける構成を示したが、コイルスプリングにしてもよい。また、コンタクトピン23を、スプリングを内部に備えるスプリングピンにしてもよい。
Moreover, although the
また、ICパッケージとして、BGAを示したが、LGA(Land Grid Array)、WLCSP(Wafer Level Chip Scale Package)等でもよい。また、球状リードでなく、面状リードでもよい。 Moreover, although BGA was shown as IC package, LGA (Land Grid Array), WLCSP (Wafer Level Chip Scale Package), etc. may be sufficient. Further, not a spherical lead but a planar lead may be used.
また、フレキシブルプリント基板4の例を示したが、通常のプリント基板でもよい。 Moreover, although the example of the flexible printed circuit board 4 was shown, a normal printed circuit board may be used.
また、特許文献2に示されるように、例えば、シリコンゴム等のシート状の弾性ゴムを設ける構成でもよい。弾性ゴムは、ソケット本体2の上面とフレキシブルプリント基板4の間に設けられ、コンタクトピン23が挿入される貫通穴が設けられる。
Moreover, as shown in
また、銅パターン43、銅パターン層62は銅で形成した例を示したが、アルミニウム、金等でもよい。要するに、電気が通電する配線パターンであればよい。
Moreover, although the
そして、図1,2に示されるように、スルーホール導体41a,41b同士を接続し、電流電圧出力部5のソース線51、センス線52をスルーホール導体41a,41bに電気的に接続する構成を示したが、これに限定されるものではなく、次のようなものでもよい。ソース線51は、コンタクトピン23a、スルーホール導体41aを介して、BGAパッケージ1に電気的に接続し、センス線52は、コンタクトピン23b、フレキシブルプリント基板41b(銅パターン43)に電気的に接続し、銅パターン43を介して、スルーホール導体41aに電気的に接続する。つまり、スルーホール導体41aを設けない構成でもよい。また、コンタクトピン23bを介して接続しない構成でもよく、センス線とスルーホール導体41aと電気的に接続できる構成であればよい。
1 and 2, the through-
また、スルーホール導体41,61を示したが、穴がない導体でもよい。
Moreover, although the through-
1 BGAパッケージ
11 球状リード
2 ソケット本体
23 コンタクトピン
3 プリント基板
4,6,7 フレキシブルプリント基板
41,61 スルーホール導体
43 銅パターン
5 電流電圧出力部
62 銅パターン層
71 柔軟性配線シート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 BGA package 11
Claims (6)
弾性をもつコンタクトピンを実装するソケット本体と、
このソケット本体の上面に取り付けられ、前記球状または面状リードに電気的に接続すると共に前記コンタクトピンに電気的に接続する導体を有し、少なくとも2つの導体同士が電気的に接続されるシートと
を備えたことを特徴とするICソケット。 In an IC socket to which an IC package having a plurality of spherical or planar leads is attached,
A socket body for mounting elastic contact pins;
A sheet attached to the upper surface of the socket main body, having a conductor electrically connected to the spherical or planar lead and electrically connected to the contact pin, and at least two conductors electrically connected; An IC socket characterized by comprising:
弾性をもつコンタクトピンを実装するソケット本体と、
このソケット本体の上面に取り付けられ、前記球状または面状リードに電気的に接続すると共に前記コンタクトピンに電気的に接続する導体を有するシートと、
このシートに設けられ、前記導体の信号を電気的に取り出す配線パターンと
を備えたことを特徴とするICソケット。 In an IC socket to which an IC package having a plurality of spherical or planar leads is attached,
A socket body for mounting elastic contact pins;
A sheet attached to the upper surface of the socket body, having a conductor electrically connected to the spherical or planar lead and electrically connected to the contact pin;
An IC socket, comprising: a wiring pattern provided on the sheet for electrically extracting a signal of the conductor.
貫通穴に弾性をもつコンタクトピンを実装するソケット本体と、
このソケット本体の上面に取り付けられ、前記球状または面状リードに電気的に接続すると共に前記コンタクトピンに電気的に接続する導体を有するシートと、
このシートの周囲に取り付けられ、ソケット本体が取り付けられるプリント基板に電気的に接続する柔軟性配線シートと
を備えたことを特徴とするICソケット。 In an IC socket to which an IC package having a plurality of spherical or planar leads is attached,
A socket body for mounting elastic contact pins in the through holes;
A sheet attached to the upper surface of the socket body, having a conductor electrically connected to the spherical or planar lead and electrically connected to the contact pin;
An IC socket comprising: a flexible wiring sheet attached to a periphery of the sheet and electrically connected to a printed circuit board to which the socket body is attached.
シートの導体にソース線を電気的に接続し、シートの導体の信号を取り出す配線パターンに、センス線を電気的に接続し、電流または電圧を、ソース線を介して出力し、センス線により測定を行う電流電圧出力部を設けたことを特徴とするICテスタ。
An IC tester using the IC socket according to claim 2,
The source line is electrically connected to the sheet conductor, the sense line is electrically connected to the wiring pattern for taking out the sheet conductor signal, and the current or voltage is output via the source line and measured by the sense line. An IC tester provided with a current-voltage output unit for performing the above.
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009158329A (en) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | IC socket |
| JP2017067662A (en) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社ヨコオ | Contactor |
| KR101801524B1 (en) | 2016-01-12 | 2017-11-28 | 주식회사 이노글로벌 | By-directional electrically conductive pattern module and semiconductor test socket using the same |
| CN116111389A (en) * | 2021-11-11 | 2023-05-12 | 欧姆龙株式会社 | Sheet and check socket |
-
2005
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Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009158329A (en) * | 2007-12-27 | 2009-07-16 | Japan Aviation Electronics Industry Ltd | IC socket |
| JP2017067662A (en) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社ヨコオ | Contactor |
| WO2017056879A1 (en) * | 2015-09-30 | 2017-04-06 | 株式会社ヨコオ | Contactor |
| US10317430B2 (en) | 2015-09-30 | 2019-06-11 | Yokowo Co., Ltd. | Contactor with a plurality of springs and contact point portions urged by the springs |
| KR101801524B1 (en) | 2016-01-12 | 2017-11-28 | 주식회사 이노글로벌 | By-directional electrically conductive pattern module and semiconductor test socket using the same |
| CN116111389A (en) * | 2021-11-11 | 2023-05-12 | 欧姆龙株式会社 | Sheet and check socket |
| JP2023071393A (en) * | 2021-11-11 | 2023-05-23 | オムロン株式会社 | seat and inspection socket |
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