JP2007075739A - Filter unit and method for use of filter medium - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a filter unit with control of lowering of the capturing efficiency, especially lowering of the efficiency during pleating, controlled and a using method of filter media enabling control of the lowering of the efficiency. <P>SOLUTION: The filter unit 11 has a filter medium 1 capturing particles contained in a to-be-filtrated gas and a supporting frame 12 supporting the filter medium 1. The filter medium 1 has a porous membrane 2 of polytetrafluoroethylene (PTFE), a fibrous filter medium 3 arranged so as to hold the PTFE membrane 2 between the filter medium 3 and a gas permeable supporting material 4. The fiber constituting the fibrous filter medium 3 has an average fiber diameter of 0.02-15 μm, and the gas permeable supporting material 4 is composed of a fiber of an average fiber diameter of larger than 15 μm. The filter medium 1 is supported with the supporting frame 12 so that the fibrous filter medium 3 lies in the downstream of the flow of the to-be-filtrated gas with respect to the PTFE membrane 2. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、フィルターユニットおよびフィルター濾材の使用方法に関する。   The present invention relates to a filter unit and a method for using a filter medium.

半導体産業、製薬産業、バイオ産業などにおいて、ＨＥＰＡまたはＵＬＰＡなどの高い捕集性能を有する高性能フィルターユニットの需要が、年々拡大している。このような高性能フィルターユニットに用いるフィルター濾材としては、従来、ガラスの微細繊維（マイクロファイバー）を用いた濾材（ガラス繊維系濾材）や、微細化ポリマー繊維の不織布などの繊維質濾材が一般的であるが、近年、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）多孔質膜を備えるフィルター濾材（ＰＴＦＥ系濾材：例えば、特許文献１に記載）が注目されている。ＰＴＦＥ系濾材は、同等の捕集効率を有する繊維質濾材に比べて、薄くすることが可能で、かつ、圧力損失が小さいという特長を有する。
特開２０００−６１２８０号公報 In the semiconductor industry, the pharmaceutical industry, the bio industry, etc., the demand for high performance filter units having high collection performance such as HEPA or ULPA is increasing year by year. As filter media used in such high performance filter units, conventionally, filter media using glass fine fibers (microfibers) and fiber filter media such as non-woven fabrics of fine polymer fibers are generally used. However, in recent years, a filter medium (PTFE filter medium: described in, for example, Patent Document 1) provided with a polytetrafluoroethylene (PTFE) porous membrane has attracted attention. The PTFE filter medium has the features that it can be made thinner and has a smaller pressure loss than a fibrous filter medium having an equivalent collection efficiency.
JP 2000-61280 A

これらフィルター濾材は、フィルターユニットに組み込まれる際に、濾材としての表面積を増大させ、フィルターユニットとしての通気抵抗を低減させるために、通常、プリーツ加工される。ところが、ＰＴＦＥ系濾材は、繊維質濾材に比べて、プリーツ加工による捕集効率の低下が発生しやすい。これは、繊維質濾材の厚さが通常１００μｍ以上であるのに対し、ＰＴＦＥ多孔質膜の厚さが通常１０μｍ程度以下と極めて薄く、プリーツ加工時に加わるストレスにより、微細な孔やクラックなどの欠陥がＰＴＦＥ多孔質膜に生じやすいことが原因であると考えられる。特に、プリーツ加工によって形成される折り目部分において、このような欠陥が生じやすい傾向にある。また、濾材がプリーツ加工されない場合やフィルターユニットとしての使用時においても、静電気による放電などにより、ＰＴＦＥ多孔質膜に欠陥が生じることがある。   When these filter media are incorporated in a filter unit, they are usually pleated to increase the surface area of the filter media and reduce the ventilation resistance of the filter unit. However, PTFE-based filter media are more likely to have a lower collection efficiency due to pleating as compared to fibrous filter media. This is because the thickness of the fibrous filter medium is usually 100 μm or more, whereas the thickness of the PTFE porous membrane is usually as thin as about 10 μm or less, and defects such as fine holes and cracks due to stress applied during pleating. This is considered to be caused by the tendency to occur in the PTFE porous membrane. In particular, such a defect tends to occur in a fold portion formed by pleating. Further, even when the filter medium is not pleated or used as a filter unit, defects may occur in the PTFE porous membrane due to discharge due to static electricity or the like.

そこで、本発明は、ＰＴＦＥ系濾材を備えながら、製造時および／または使用時における捕集効率の低下、特に、プリーツ加工による補修効率の低下が抑制されたフィルターユニットを提供することを目的とする。本発明はまた、このような補修効率の低下を抑制できる、フィルター濾材の使用方法を提供することを目的とする。   Then, this invention aims at providing the filter unit with which the fall of the collection efficiency at the time of manufacture and / or use, especially the fall of the repair efficiency by a pleating process was suppressed, provided with a PTFE-type filter medium. . Another object of the present invention is to provide a method for using a filter medium that can suppress such a decrease in repair efficiency.

本発明のフィルターユニットは、被濾過気体に含まれる粒子を捕集するフィルター濾材と、前記フィルター濾材を支持する支持枠とを備えるフィルターユニットであって、前記フィルター濾材は、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）多孔質膜と、前記多孔質膜を狭持するように配置された繊維質濾材および通気性支持材とを備え、前記繊維質濾材を構成する繊維の平均繊維径が、０．０２μｍ以上１５μｍ以下であり、前記通気性支持材は、平均繊維径が１５μｍを超える繊維により構成され、前記フィルター濾材は、前記繊維質濾材が前記多孔質膜よりも、前記被濾過気体の気流の下流側となるように、前記支持枠に支持されていることを特徴としている。   The filter unit of the present invention is a filter unit including a filter medium that collects particles contained in a gas to be filtered and a support frame that supports the filter medium, and the filter medium includes polytetrafluoroethylene (PTFE). ) A porous membrane, and a fibrous filter medium and a breathable support material arranged so as to sandwich the porous membrane, and an average fiber diameter of fibers constituting the fibrous filter medium is 0.02 μm or more and 15 μm The air-permeable support material is composed of fibers having an average fiber diameter of more than 15 μm, and the filter medium is more downstream of the air flow of the filtered gas than the porous membrane. As such, it is supported by the support frame.

本発明のフィルター濾材の使用方法は、被濾過気体に含まれる粒子を捕集し、ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と、前記多孔質膜を狭持するように配置された繊維質濾材および通気性支持材とを備え、前記繊維質濾材を構成する繊維の平均繊維径が、０．０２μｍ以上１５μｍ以下であり、前記通気性支持材が、平均繊維径が１５μｍを超える繊維により構成されるフィルター濾材の使用方法であって、前記繊維質濾材を、前記多孔質膜よりも、前記被濾過気体の気流の下流側に配置することを特徴としている。   The method for using the filter medium of the present invention is to collect particles contained in a gas to be filtered, and to provide a polytetrafluoroethylene porous membrane, a fibrous filter medium arranged so as to sandwich the porous membrane, and air permeability A filter medium comprising a support material, wherein an average fiber diameter of fibers constituting the fibrous filter medium is 0.02 μm or more and 15 μm or less, and the breathable support material is composed of fibers having an average fiber diameter of more than 15 μm. In which the fibrous filter medium is arranged on the downstream side of the air flow of the gas to be filtered with respect to the porous membrane.

本発明によれば、平均繊維径が０．０２μｍ以上１５μｍ以下の繊維により構成される繊維質濾材と、平均繊維径が１５μｍを超える繊維により構成される通気性支持材とによりＰＴＦＥ多孔質膜を狭持し、かつ、上記繊維質濾材を、ＰＴＦＥ多孔質膜よりも被濾過気体の気流の下流側に配置したフィルターユニットとすることにより、製造時および／または使用時における補修効率の低下、特に、プリーツ加工による補修効率の低下を抑制できる。   According to the present invention, a PTFE porous membrane is formed by a fibrous filter medium composed of fibers having an average fiber diameter of 0.02 μm or more and 15 μm or less and a breathable support material composed of fibers having an average fiber diameter of more than 15 μm. By holding the fibrous filter medium in a filter unit disposed downstream of the PTFE porous membrane with respect to the air flow of the gas to be filtered, a reduction in repair efficiency during manufacturing and / or use, in particular, Moreover, the fall of the repair efficiency by pleating can be suppressed.

以下、本発明の実施の形態について、図面を参照しながら説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

図１に示すフィルターユニット１１は、被濾過気体に含まれる粒子を捕集する、プリーツ加工されたフィルター濾材１と、フィルター濾材１を支持する支持枠１２とを備えている。フィルター濾材１は、図２に示すように、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）多孔質膜２と、ＰＴＦＥ多孔質膜２を狭持するように配置された繊維質濾材３および通気性支持材４とを備えている。またフィルター濾材１は、繊維質濾材３が、被濾過気体の気流１３についてＰＴＦＥ多孔質膜２よりも下流側となるように、支持枠１２に支持されている。   A filter unit 11 shown in FIG. 1 includes a pleated filter medium 1 that collects particles contained in a gas to be filtered, and a support frame 12 that supports the filter medium 1. As shown in FIG. 2, the filter medium 1 includes a polytetrafluoroethylene (PTFE) porous membrane 2, a fibrous filter medium 3 disposed so as to sandwich the PTFE porous membrane 2, and a breathable support material 4. It has. Further, the filter medium 1 is supported by the support frame 12 so that the fibrous filter medium 3 is on the downstream side of the PTFE porous membrane 2 with respect to the air flow 13 of the gas to be filtered.

ＰＴＦＥ多孔質膜２よりも気流１３の下流側に配置される繊維質濾材３は、平均繊維径が０．０２μｍ以上１５μｍ以下の繊維により構成され、メイン濾材であるＰＴＦＥ多孔質膜２に、製造時のプリーツ加工などにより微細な孔やクラックなどの欠陥が生じた場合にも、当該欠陥を通過した粒子を捕集できる。また、繊維質濾材３は、ＰＴＦＥ多孔質膜２に比べて、プリーツ加工時などに上記欠陥が生じにくい。即ち、繊維質濾材３は、被濾過気体に含まれる粒子を主に捕集するメイン濾材であるＰＴＦＥ多孔質膜２のバックアップ濾材であるともいえる。   The fibrous filter medium 3 disposed on the downstream side of the air flow 13 with respect to the PTFE porous membrane 2 is composed of fibers having an average fiber diameter of 0.02 μm or more and 15 μm or less, and is manufactured in the PTFE porous membrane 2 as the main filter medium. Even when a defect such as a fine hole or a crack occurs due to pleating at the time, particles that have passed through the defect can be collected. In addition, the fibrous filter medium 3 is less likely to cause the above-described defects during pleating as compared with the PTFE porous membrane 2. That is, it can be said that the fibrous filter medium 3 is a backup filter medium for the PTFE porous membrane 2 which is a main filter medium that mainly collects particles contained in the gas to be filtered.

通気性支持材４は、平均繊維径が１５μｍを超える繊維により構成され、通気性支持材４の配置により、プリーツ加工時を含め、フィルター濾材１としての強度、剛性などを向上できる。このように、繊維質濾材３および通気性支持材４を、ＰＴＦＥ多孔質膜２および気流１３に対して所定の位置関係を満たすように配置したフィルターユニット１１とすることにより、製造時および使用時における捕集効率の低下、特に、プリーツ加工時における捕集効率の低下を抑制できる。   The breathable support material 4 is composed of fibers having an average fiber diameter exceeding 15 μm, and the arrangement of the breathable support material 4 can improve the strength, rigidity, etc., of the filter medium 1 including during pleating. In this way, the fibrous filter medium 3 and the air-permeable support material 4 are made into the filter unit 11 arranged so as to satisfy the predetermined positional relationship with respect to the PTFE porous membrane 2 and the air flow 13, so that it can be manufactured and used. It is possible to suppress a decrease in the collection efficiency in the process, particularly a decrease in the collection efficiency during pleating.

繊維質濾材３がＰＴＦＥ多孔質膜２よりも気流１３の下流側に配置されているかどうかは、フィルターユニット１１が被濾過気体の流路に配置されている状態では、実際に当該流路を流れる気体の方向に基づいて判別すればよい。フィルターユニット１１が被濾過気体の流路に配置されていない状態では、例えば、支持枠１２の形状（具体的な例としては、支持枠１２の形状が繊維質濾材３側の面とＰＴＦＥ多孔質膜２側の面とで異なっているなど）、支持枠１２が備える部材、機構（例えば、誤装着防止部材、機構など）、フィルターユニット１１の配置方向を指定する表示（例えば、気流１３の下流側に配置する面を表示する刻印、ステッカーなど）などに基づいて判別すればよい。   Whether or not the fibrous filter medium 3 is disposed downstream of the PTFE porous membrane 2 with respect to the airflow 13 actually flows through the flow path when the filter unit 11 is disposed in the flow path of the gas to be filtered. What is necessary is just to discriminate | determine based on the direction of gas. In a state in which the filter unit 11 is not disposed in the flow path of the gas to be filtered, for example, the shape of the support frame 12 (specifically, the shape of the support frame 12 is the surface on the fibrous filter medium 3 side and the PTFE porous material). Display on which the arrangement direction of the filter unit 11 is specified (for example, downstream of the airflow 13). It may be determined on the basis of a stamp, a sticker, or the like that displays a surface to be arranged on the side.

図１に示す例では、フィルター濾材１がプリーツ加工されているが、プリーツ加工されていないフィルター濾材１であってもよい。   In the example shown in FIG. 1, the filter medium 1 is pleated, but may be a filter medium 1 that is not pleated.

繊維質濾材３の材質、構成などは、濾材３を構成する繊維の平均繊維径が上述の範囲である限り、特に限定されないが、ＰＴＦＥ多孔質膜２を通過した粒子をより確実に捕集できることから、ガラス繊維質濾材、または、ポリマー繊維質濾材であることが好ましい。   The material, configuration, and the like of the fibrous filter medium 3 are not particularly limited as long as the average fiber diameter of the fibers constituting the filter medium 3 is in the above range, but particles that have passed through the PTFE porous membrane 2 can be collected more reliably. Therefore, a glass fiber filter medium or a polymer fiber filter medium is preferable.

ガラス繊維質濾材としては、フィルター濾材として一般的に使用される濾材を用いればよく、ガラス繊維にバインダーを加えて抄紙した濾材が代表的である。このような濾材は、一般に、バインダーを介してガラス繊維が互いに結着した構造を有している。   As the glass fiber filter medium, a filter medium generally used as a filter medium may be used, and a filter medium obtained by adding a binder to glass fiber and making paper is representative. Such a filter medium generally has a structure in which glass fibers are bound to each other via a binder.

ポリマー繊維質濾材としては、フィルター濾材として一般的に使用される濾材を用いればよいが、メルトブローン法またはエレクトロスピニング法（電荷誘導紡糸法、あるいは、静電紡糸法とも呼ばれる）により形成された、ポリマー繊維の不織布（メルトブローン不織布またはエレクトロスピニング不織布）を用いることが好ましい。メルトブローン法およびエレクトロスピニング法によれば、微細な繊維径を有するポリマー繊維からなる不織布を形成できるため、圧力損失が低く、上記通過した粒子をより確実に捕集できる繊維質濾材３とすることができる。   As the polymer fibrous filter medium, a filter medium generally used as a filter medium may be used, but a polymer formed by a melt blown method or an electrospinning method (also called a charge-induced spinning method or an electrostatic spinning method). It is preferable to use a nonwoven fabric of fibers (melt blown nonwoven fabric or electrospun nonwoven fabric). According to the melt blown method and the electrospinning method, a nonwoven fabric made of polymer fibers having a fine fiber diameter can be formed, so that the fibrous filter medium 3 has a low pressure loss and can more reliably collect the passed particles. it can.

繊維質濾材３がポリマー繊維質濾材である場合、濾材を構成するポリマー繊維の材質は特に限定されないが、製造が容易であり、低コストであることから、ポリエチレンおよびポリプロピレンから選ばれる少なくとも１種であることが好ましい。また、ポリエチレンおよびポリプロピレンは、メルトブローン法およびエレクトロスピニング法の各方法により、不織布とすることができる。   In the case where the fibrous filter medium 3 is a polymer fibrous filter medium, the material of the polymer fiber constituting the filter medium is not particularly limited, but since it is easy to manufacture and low in cost, it is at least one selected from polyethylene and polypropylene. Preferably there is. Polyethylene and polypropylene can be made into a nonwoven fabric by the melt blown method and the electrospinning method.

ＰＴＦＥ多孔質膜２を通過した粒子をより確実に捕集するためには、繊維質濾材３を構成する繊維の平均繊維径が５μｍ以下であることが好ましい。ガラス繊維質濾材におけるガラス繊維の平均繊維径は、通常、５μｍ以下であり、その最小繊維径は１μｍ程度である。メルトブローン法により形成されたポリマー繊維の平均繊維径は、通常、１μｍ〜３μｍ程度の範囲である。エレクトロスピニング法により形成されたポリマー繊維の平均繊維径は、通常、０．０２μｍ〜１μｍ程度の範囲である。   In order to collect particles that have passed through the PTFE porous membrane 2 more reliably, the average fiber diameter of the fibers constituting the fibrous filter medium 3 is preferably 5 μm or less. The average fiber diameter of the glass fibers in the glass fiber filter medium is usually 5 μm or less, and the minimum fiber diameter is about 1 μm. The average fiber diameter of the polymer fibers formed by the melt blown method is usually in the range of about 1 μm to 3 μm. The average fiber diameter of polymer fibers formed by electrospinning is usually in the range of about 0.02 μm to 1 μm.

繊維質濾材３の厚さは、バックアップ濾材としてある程度の捕集効率を確保し、プリーツ加工時に生じる欠陥を抑制するために、１００μｍ以上であることが好ましく、２００μｍ以上であることがより好ましい。   The thickness of the fibrous filter medium 3 is preferably 100 μm or more, and more preferably 200 μm or more in order to secure a certain collection efficiency as a backup filter medium and to suppress defects that occur during pleating.

繊維質濾材３の捕集効率は、ＰＴＦＥ多孔質膜２の捕集効率よりも小さいことが好ましい。具体的には、被濾過気体の流速を５．３ｃｍ／ｓｅｃとし、捕集対象粒子の粒径を０．３μｍ〜０．５μｍの範囲としたときに、繊維質濾材３の捕集効率が、ＰＴＦＥ多孔質膜２の捕集効率よりも小さいことが好ましい。この場合、繊維質濾材３が配置されることによる、フィルター濾材１としての圧力損失の上昇を抑制でき、従来の繊維質濾材からなるフィルター濾材に比べて、同程度の捕集効率であれば圧力損失が小さい、というＰＴＦＥ系濾材の特長を維持できる。また、繊維質濾材３は、バックアップ濾材としてＰＴＦＥ多孔質膜２を通過した後に拡散した粒子を捕集できればよいため、ＰＴＦＥ多孔質膜２と同程度以上の捕集効率は必ずしも必要とされない。   The collection efficiency of the fibrous filter medium 3 is preferably smaller than the collection efficiency of the PTFE porous membrane 2. Specifically, when the flow rate of the gas to be filtered is 5.3 cm / sec and the particle size of the particles to be collected is in the range of 0.3 μm to 0.5 μm, the collection efficiency of the fibrous filter medium 3 is It is preferably smaller than the collection efficiency of the PTFE porous membrane 2. In this case, an increase in pressure loss as the filter medium 1 due to the arrangement of the fiber filter medium 3 can be suppressed, and the pressure can be increased if the collection efficiency is comparable to that of a filter medium made of a conventional fiber filter medium. The feature of the PTFE filter medium that the loss is small can be maintained. In addition, the fibrous filter medium 3 is not necessarily required to have a collection efficiency equal to or higher than that of the PTFE porous film 2 because it is only necessary to collect particles diffused after passing through the PTFE porous film 2 as a backup filter medium.

繊維質濾材３の捕集効率は、被濾過気体の流速を５．３ｃｍ／ｓｅｃとし、捕集対象粒子の粒径を０．３μｍ〜０．５μｍの範囲としたときに、２５％以上であればよく、７０％以上であることが好ましい。   The collection efficiency of the fibrous filter medium 3 should be 25% or more when the flow rate of the gas to be filtered is 5.3 cm / sec and the particle size of the particles to be collected is in the range of 0.3 μm to 0.5 μm. 70% or more is preferable.

ＰＴＦＥ多孔質膜２は、濾材として適切な性能を有する限り、その構造などは特に限定されない。ＰＴＦＥ多孔質膜２の平均孔径は、例えば、０．０１μｍ〜１μｍの範囲であり、その空孔率は、例えば、９５％程度以上であり、その厚さは、例えば、２μｍ〜１０μｍの範囲である。   The structure of PTFE porous membrane 2 is not particularly limited as long as it has an appropriate performance as a filter medium. The average pore diameter of the PTFE porous membrane 2 is, for example, in the range of 0.01 μm to 1 μm, the porosity is, for example, about 95% or more, and the thickness thereof is, for example, in the range of 2 μm to 10 μm. is there.

ＰＴＦＥ多孔質膜２の圧力損失は、５．３ｃｍ／ｓｅｃの流速で気体を透過させたときの圧力損失にして、１００Ｐａ〜３００Ｐａ程度の範囲が好ましい。ＰＴＦＥ多孔質膜２の捕集効率は、被濾過気体の流速を５．３ｃｍ／ｓｅｃとし、捕集対象粒子の粒径を０．３μｍ〜０．５μｍの範囲としたときに、９９．９７％以上であることが好ましく、９９．９９％以上、あるいは、９９．９９９％以上であることがより好ましい。   The pressure loss of the PTFE porous membrane 2 is preferably about 100 Pa to 300 Pa in terms of pressure loss when gas is permeated at a flow rate of 5.3 cm / sec. The collection efficiency of the PTFE porous membrane 2 is 99.97% when the flow rate of the gas to be filtered is 5.3 cm / sec and the particle size of the particles to be collected is in the range of 0.3 μm to 0.5 μm. Preferably, it is 99.99% or more, or more preferably 99.999% or more.

通気性支持材４の材質、構造は、平均繊維径が１５μｍを超える繊維により構成され、ＰＴＦＥ多孔質膜２および繊維質濾材３よりも通気性に優れる限り、特に限定されない。通気性支持材４の構造としては、例えば、フェルト、不織布、織布、メッシュ（網目状シート）であればよい。強度、柔軟性、および、製造工程における作業性に優れることから、不織布からなる通気性支持材４が好ましく、この場合、不織布を構成する少なくとも一部の繊維が、いわゆる芯鞘構造を有する複合繊維であってもよい。芯成分の融点が鞘成分の融点よりも高い場合、フィルター濾材１を製造する際における、通気性支持材４と他の部材との加熱圧着がより容易となる。   The material and structure of the breathable support material 4 are not particularly limited as long as they are composed of fibers having an average fiber diameter of more than 15 μm and are more breathable than the PTFE porous membrane 2 and the fibrous filter material 3. The structure of the breathable support material 4 may be, for example, felt, non-woven fabric, woven fabric, or mesh (mesh-like sheet). The breathable support material 4 made of a nonwoven fabric is preferable because of its strength, flexibility, and workability in the manufacturing process. In this case, at least a part of the fibers constituting the nonwoven fabric has a so-called core-sheath structure. It may be. When the melting point of the core component is higher than the melting point of the sheath component, the thermocompression bonding between the breathable support material 4 and another member when the filter medium 1 is manufactured becomes easier.

通気性支持材４の材料としては、ポリオレフィン（ポリエチレン、ポリプロピレンなど）、ポリエステル、ポリアミド、芳香族ポリアミド、および、これらの複合材を用いればよい。   As a material for the breathable support material 4, polyolefin (polyethylene, polypropylene, etc.), polyester, polyamide, aromatic polyamide, and a composite material thereof may be used.

より強度および通気性に優れる通気性支持材４とするためには、通気性支持材４を構成する繊維の繊維径が２０μｍ以上であることがより好ましい。このような不織布は、例えば、スパンボンド法により形成できる（スパンボンド不織布）。   In order to obtain a breathable support material 4 that is more excellent in strength and breathability, the fiber diameter of the fibers constituting the breathable support material 4 is more preferably 20 μm or more. Such a nonwoven fabric can be formed, for example, by a spunbond method (spunbond nonwoven fabric).

本発明のフィルター濾材１は、通気性支持材４を２以上備えていてもよく、図３に示すように、図２に示すフィルター濾材１におけるＰＴＦＥ多孔質膜２と繊維質濾材３との間に、通気性支持材４がさらに配置されていてもよい。特に、繊維質濾材３がガラス繊維質濾材である場合に、繊維質濾材３から剥離した微細なガラス繊維によるＰＴＦＥ多孔質膜２の損傷を抑制できる。   The filter medium 1 of the present invention may be provided with two or more breathable supports 4, and as shown in FIG. 3, between the PTFE porous membrane 2 and the fibrous filter medium 3 in the filter medium 1 shown in FIG. 2. Further, a breathable support material 4 may be further arranged. In particular, when the fiber filter medium 3 is a glass fiber filter medium, damage to the PTFE porous membrane 2 due to fine glass fibers peeled off from the fiber filter medium 3 can be suppressed.

フィルター濾材１の捕集効率は、被濾過気体の流速を５．３ｃｍ／ｓｅｃとし、捕集対象粒子の粒径を０．３μｍ〜０．５μｍの範囲としたときに、通常、９９．９７％以上であり、ＰＴＦＥ多孔質膜２および繊維質濾材３の材質や構造を選択することにより、９９．９９％以上、あるいは、９９．９９９％以上とすることができる。   The collection efficiency of the filter medium 1 is normally 99.97% when the flow rate of the gas to be filtered is 5.3 cm / sec and the particle size of the particles to be collected is in the range of 0.3 μm to 0.5 μm. Thus, by selecting the material and structure of the PTFE porous membrane 2 and the fibrous filter medium 3, it can be 99.99% or more, or 99.999% or more.

本発明のフィルター濾材１では、フィルター濾材１を構成する各部材は、単に重ね合わされているだけでもよいし、例えば、接着ラミネート、あるいは、熱ラミネートなどの手法により、一体化されていてもよい。   In the filter medium 1 of the present invention, each member constituting the filter medium 1 may be simply overlapped, or may be integrated by a technique such as adhesive lamination or heat lamination.

本発明のフィルター濾材１を構成する各部材の層数は特に限定されず、フィルター濾材１として必要な特性に応じて、任意に設定すればよい。例えば、２層以上のＰＴＦＥ多孔質膜２および／または繊維質濾材３を備えるフィルター濾材１であってもよい。   The number of layers of each member constituting the filter medium 1 of the present invention is not particularly limited, and may be arbitrarily set according to characteristics required for the filter medium 1. For example, the filter medium 1 including two or more layers of the PTFE porous membrane 2 and / or the fibrous filter medium 3 may be used.

本発明のフィルター濾材１を構成する各部材は、各部材として一般的な製造方法により形成できる。フィルター濾材１をプリーツ加工する方法についても、ロータリー方式、レシプロ方式など、フィルター濾材に対するプリーツ加工として一般的な方法を用いればよい。フィルター濾材１のプリーツ形状についても、特に限定されない。   Each member constituting the filter medium 1 of the present invention can be formed by a general manufacturing method as each member. As a method of pleating the filter medium 1, a general method may be used for pleating the filter medium, such as a rotary method or a reciprocating method. The pleat shape of the filter medium 1 is not particularly limited.

支持枠１２には、フィルターユニットとして一般的な材料を用いればよく、支持枠１２の形状も任意に設定できる。支持枠１２におけるフィルター濾材１の支持方法は、一般的なフィルターユニットと同様であればよい。   A general material for the filter unit may be used for the support frame 12, and the shape of the support frame 12 can be arbitrarily set. The support method of the filter medium 1 in the support frame 12 may be the same as that of a general filter unit.

以下、実施例により本発明をより具体的に説明する。本発明は、以下に示す実施例に限定されない。   Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. The present invention is not limited to the examples shown below.

本実施例では、図１に示すようなフィルターユニット１１を作製し、その特性（圧力損失および捕集効率）を評価した。ただし、フィルター濾材１として、図３に示すようなフィルター濾材１を用いた。   In this example, a filter unit 11 as shown in FIG. 1 was produced and its characteristics (pressure loss and collection efficiency) were evaluated. However, the filter medium 1 as shown in FIG. 3 was used as the filter medium 1.

最初に、以下に示す方法により、ＰＴＦＥ多孔質膜２を作製した。   First, the PTFE porous membrane 2 was produced by the method shown below.

ＰＴＦＥファインパウダー（旭・ＩＣＩフロロポリマーズ社製、フルオンＣＤ−１２３）１００重量部と、液状潤滑剤としてナフサ１７重量部とを均一に混合し、ＰＴＦＥペーストを形成した。次に、形成したＰＴＦＥペーストを、２ＭＰａ（２０ｋｇ／ｃｍ2）の圧力で予備成形した後に丸棒状に押出成形し、さらに、１対の金属ロールにより圧延して、厚さ２５０μｍのＰＴＦＥシートを形成した。次に、形成したＰＴＦＥシートを、２９０℃において縦（長さ）方向に１０倍、および、８０℃において横（幅）方向に３０倍延伸し、未焼成のＰＴＦＥ多孔質膜を形成した。次に、形成した未焼成多孔質膜を４００℃で３秒間焼成し、ＰＴＦＥ多孔質膜２（厚さ１０μｍ）を得た。 100 parts by weight of PTFE fine powder (Asahi ICI Fluoropolymers, Fullon CD-123) and 17 parts by weight of naphtha as a liquid lubricant were uniformly mixed to form a PTFE paste. Next, the formed PTFE paste was preformed at a pressure of 2 MPa (20 kg / cm 2 ), extruded into a round bar shape, and then rolled with a pair of metal rolls to form a 250 μm thick PTFE sheet. did. Next, the formed PTFE sheet was stretched 10 times in the longitudinal (length) direction at 290 ° C. and 30 times in the lateral (width) direction at 80 ° C. to form an unfired PTFE porous membrane. Next, the formed non-fired porous film was fired at 400 ° C. for 3 seconds to obtain a PTFE porous film 2 (thickness 10 μm).

得られたＰＴＦＥ多孔質膜２の空孔率および平均孔径をポロシティメーターにより測定したところ、空孔率は９９％以上、平均孔径は１μｍであった。   When the porosity and average pore diameter of the obtained PTFE porous membrane 2 were measured with a porosity meter, the porosity was 99% or more and the average pore diameter was 1 μm.

次に、得られたＰＴＦＥ多孔質膜２を、有効通気面積が１００ｃｍ2である円形状のホルダーにセットし、セットした多孔質膜の両面に圧力差を発生させて気体（空気）を透過させ、透過する気体の流速を５．３ｃｍ／ｓｅｃとしたときの圧力損失を圧力計により測定した。測定の結果、ＰＴＦＥ多孔質膜２の圧力損失は１５０Ｐａであった。 Next, the obtained PTFE porous membrane 2 is set in a circular holder having an effective ventilation area of 100 cm 2 , and a pressure difference is generated on both sides of the set porous membrane to allow gas (air) to permeate. The pressure loss was measured with a pressure gauge when the flow velocity of the permeating gas was 5.3 cm / sec. As a result of the measurement, the pressure loss of the PTFE porous membrane 2 was 150 Pa.

次に、得られたＰＴＦＥ多孔質膜２を狭持するように、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）およびポリエチレン（ＰＥ）の芯鞘構造を有する一対の不織布（ユニチカ社製、エルベスＴＯ３０３ＷＤＯ、厚さ１５０μｍ、目付量３０ｇ／ｍ2、平均繊維径２５μｍ、鞘部であるＰＥの融点１２９℃）を積層し、全体を、１３５℃に加熱した一対の熱ロールで熱ラミネートして、一対の通気性支持材４によりＰＴＦＥ多孔質膜２が狭持されたＰＴＦＥ系濾材（厚さ１３０μｍ、ＰＴＦＥ多孔質膜の厚さ１０μｍ）を得た。なお、上記不織布における平均繊維径は、不織布の表面を走査型電子顕微鏡（ＳＥＭ）により撮影し、得られた写真から１０ヶ所以上の繊維径を測定して、その測定値の平均を算出することにより求めた。以降に示す各部材における平均繊維径の測定についても、同様に行った。 Next, a pair of nonwoven fabrics having a core-sheath structure of polyethylene terephthalate (PET) and polyethylene (PE) so as to sandwich the obtained porous PTFE membrane 2 (manufactured by Unitika, Elves TO303WDO, thickness 150 μm, basis weight) 30 g / m 2 , an average fiber diameter of 25 μm, and a PE melting point of 129 ° C.) are laminated, and the whole is thermally laminated with a pair of hot rolls heated to 135 ° C. to form a pair of breathable support materials 4 Thus, a PTFE filter medium (thickness 130 μm, PTFE porous film thickness 10 μm) in which the PTFE porous membrane 2 was held was obtained. In addition, the average fiber diameter in the said nonwoven fabric takes the surface of a nonwoven fabric with a scanning electron microscope (SEM), measures 10 or more fiber diameters from the acquired photograph, and calculates the average of the measured value. Determined by The measurement of the average fiber diameter in each member shown below was similarly performed.

次に、得られたＰＴＦＥ系濾材を、有効通気面積が１００ｃｍ2である円形状のホルダーにセットし、セットしたＰＴＦＥ系濾材の両面に圧力差を発生させて気体を透過させ（透過量：３１．８Ｌ／ｍｉｎ）、透過する気体の流速を５．３ｃｍ／ｓｅｃとしたときの圧力損失を圧力計により測定した。測定の結果、ＰＴＦＥ系濾材の圧力損失は１７０Ｐａであった。 Next, the obtained PTFE filter medium is set in a circular holder having an effective ventilation area of 100 cm 2 , and a pressure difference is generated on both sides of the set PTFE filter medium to allow gas to permeate (permeation amount: 31). 0.8 L / min), the pressure loss was measured with a pressure gauge when the flow velocity of the permeating gas was 5.3 cm / sec. As a result of the measurement, the pressure loss of the PTFE filter medium was 170 Pa.

続いて、圧力損失の測定と同様の装置を用い、上記ＰＴＦＥ系濾材に、多分散ジオクチルフタレート（ＤＯＰ）粒子を含む気体を透過させ、濾材の下流側における上記ＤＯＰ粒子の濃度をパーティクルカウンター（リオン社製、ＫＣ−１８）により測定して、ＰＴＦＥ系濾材の捕集効率を測定した。ただし、濾材を透過させた気体には、粒子径０．１μｍ〜０．２μｍの範囲の粒子が４×１０8個／Ｌ、粒子径０．２μｍ〜０．３μｍの範囲の粒子が６×１０7個／ＬとなるようにＤＯＰ粒子を含ませ、パーティクルカウンターによる測定対象粒子の粒径を０．３μｍ〜０．５μｍの範囲とし、捕集効率は、捕集効率＝（１−（下流側ＤＯＰ粒子濃度／上流側ＤＯＰ粒子濃度））×１００（％）の式より算出した。測定の結果、ＰＴＦＥ系濾材の捕集効率は９９．９９５％であった。 Subsequently, using a device similar to the measurement of the pressure loss, the PTFE filter medium is allowed to pass a gas containing polydispersed dioctyl phthalate (DOP) particles, and the concentration of the DOP particles on the downstream side of the filter medium is measured with a particle counter (Lion). The collection efficiency of the PTFE-based filter medium was measured by KC-18) manufactured by the company. However, the gas permeated through the filter medium has 4 × 10 8 particles / L in the particle diameter range of 0.1 μm to 0.2 μm, and 6 × 10 particles in the particle diameter range of 0.2 μm to 0.3 μm. DOP particles are included so as to be 7 particles / L, the particle size of the particles to be measured by the particle counter is in the range of 0.3 μm to 0.5 μm, and the collection efficiency is the collection efficiency = (1− (downstream side) DOP particle concentration / upstream DOP particle concentration)) × 100 (%). As a result of the measurement, the collection efficiency of the PTFE filter medium was 99.995%.

次に、上記のようにして得たＰＴＦＥ系濾材を用い、フィルター濾材サンプルを作製した。以下に、各フィルター濾材サンプルの作製方法を示す。   Next, a filter medium sample was prepared using the PTFE filter medium obtained as described above. The method for producing each filter medium sample is shown below.

−サンプル１−
ＰＴＦＥ系濾材の一方の面に、ポリプロピレン（ＰＰ）からなるメルトブローン不織布（タピルス社製、Ｐ０２０ＳＷ、厚さ２３０μｍ、目付量２０ｇ／ｍ2、平均繊維径３．５μｍ）を積層し、全体を、１３５℃に加熱した一対の熱ロールで熱ラミネートして、図３に示すフィルター濾材１を作製した。熱ラミネート後におけるＰＴＦＥ多孔質膜の厚さは１０μｍ、メルトブローン不織布の厚さは２００μｍであった。 -Sample 1-
A melt blown non-woven fabric (manufactured by Tapirs, P020SW, thickness 230 μm, basis weight 20 g / m 2 , average fiber diameter 3.5 μm) made of polypropylene (PP) is laminated on one surface of the PTFE filter medium. The filter media 1 shown in FIG. 3 was produced by heat lamination with a pair of hot rolls heated to ° C. The thickness of the PTFE porous membrane after heat lamination was 10 μm, and the thickness of the melt blown nonwoven fabric was 200 μm.

−サンプル２−
ＰＴＦＥ系濾材の一方の面に、ガラス繊維質濾材（北越製紙社製、Ｈ７６０、厚さ４００μｍ、目付量６２ｇ／ｍ2、平均繊維径１μｍ）を積層し、全体を、１３５℃に加熱した一対の熱ロールで熱ラミネートして、図３に示すフィルター濾材１を作製した。熱ラミネート後におけるＰＴＦＥ多孔質膜の厚さは１０μｍ、ガラス繊維質濾材の厚さは３６０μｍであった。 -Sample 2-
A pair of glass fiber filter media (H760, H760, thickness 400 μm, basis weight 62 g / m 2 , average fiber diameter 1 μm) laminated on one surface of the PTFE filter media and heated to 135 ° C. as a whole. The filter medium 1 shown in FIG. The thickness of the PTFE porous membrane after the thermal lamination was 10 μm, and the thickness of the glass fiber filter medium was 360 μm.

−サンプルＡ（比較例）−
上記のようにして得たＰＴＦＥ系濾材を、そのままサンプルＡとした。 -Sample A (comparative example)-
The PTFE filter medium obtained as described above was used as sample A as it was.

このように作製した各サンプルについて、ＰＴＦＥ系濾材に対して行った方法と同様にして、各サンプルの圧力損失および捕集効率を測定した。サンプル１および２の測定に際しては、ＰＴＦＥ多孔質膜２が、繊維質濾材３であるメルトブローン不織布またはガラス繊維質濾材よりも気流の上流側になるように、フィルター濾材をホルダーにセットした。   About each sample produced in this way, the pressure loss and collection efficiency of each sample were measured in the same manner as the method performed on the PTFE filter medium. In the measurement of Samples 1 and 2, the filter medium was set in the holder so that the PTFE porous membrane 2 was on the upstream side of the air flow from the melt-blown nonwoven fabric or the glass fiber filter medium as the fiber filter medium 3.

また、さらなる比較例であるサンプルＢおよびＣとして、それぞれ、サンプル１または２を、そのＰＴＦＥ多孔質膜２が繊維質濾材３であるメルトブローン不織布またはガラス繊維質濾材よりも気流の下流側になるようにホルダーにセットし、上記方法と同様にして、その圧力損失および捕集効率を測定した。   Further, as samples B and C, which are further comparative examples, each of the samples 1 and 2 is arranged on the downstream side of the airflow with respect to the melt blown nonwoven fabric or the glass fiber filter medium whose PTFE porous membrane 2 is the fiber filter medium 3. The pressure loss and the collection efficiency were measured in the same manner as described above.

測定結果を以下の表１に示す。   The measurement results are shown in Table 1 below.

Figure 2007075739
Figure 2007075739

次に、各フィルター濾材に対してプリーツ加工を行い、図１に示すようなフィルターユニット１１（１００ｍｍ角：各フィルターユニットサンプルは、作製に用いたフィルター濾材サンプルの呼称に対応して、サンプル１、２、Ａ、ＢおよびＣとする）を作製した。プリーツ加工には、レシプロプリーツマシン（東洋工機社製、Ｍｏｄｅｌ ＴＫ−１１）を用い、折り高さを１５ｍｍ、プリーツ数を２８山／ユニット、加工速度を１２０山／分とした。フィルターユニット１１の支持枠１２はポリプロピレン（ＰＰ）製とし、支持枠１２内に各フィルター濾材サンプルを配置した後、支持枠１２とフィルター濾材１とを、ＰＰホットメルト接着剤により接着し、シールした。   Next, pleat processing is performed on each filter medium, and a filter unit 11 (100 mm square: each filter unit sample as shown in FIG. 1 corresponds to the name of the filter medium sample used for the production. 2, A, B, and C). For the pleating, a reciprocating pleating machine (Model TK-11, manufactured by Toyo Koki Co., Ltd.) was used, the folding height was 15 mm, the number of pleats was 28 mountains / unit, and the processing speed was 120 mountains / minute. The support frame 12 of the filter unit 11 is made of polypropylene (PP), and after each filter medium sample is disposed in the support frame 12, the support frame 12 and the filter medium 1 are bonded and sealed with a PP hot melt adhesive. .

このようにして作製した各フィルターユニットサンプルについて、ＰＴＦＥ系濾材に対して行った方法と同様に、各サンプルの圧力損失および捕集効率を測定した。ただし、各フィルターユニットを透過させる気体の透過量は、２６７Ｌ／ｍｉｎとした。サンプル１および２の測定に際しては、ＰＴＦＥ多孔質膜２が、繊維質濾材３であるメルトブローン不織布またはガラス繊維質濾材よりも気流の上流側になるように、フィルターユニットをセットし、サンプルＢおよびＣの測定に際しては、ＰＴＦＥ多孔質膜２が、繊維質濾材３よりも気流の下流側になるように、フィルターユニットをセットした。   About each filter unit sample produced in this way, the pressure loss and collection efficiency of each sample were measured in the same manner as the method performed on the PTFE-based filter medium. However, the amount of gas permeated through each filter unit was 267 L / min. In the measurement of samples 1 and 2, the filter unit was set so that the PTFE porous membrane 2 was on the upstream side of the air flow with respect to the melt-blown nonwoven fabric or the glass fiber filter medium as the fiber filter medium 3, and samples B and C At the time of measurement, the filter unit was set so that the PTFE porous membrane 2 was on the downstream side of the airflow with respect to the fibrous filter medium 3.

測定結果を以下の表２に示す。   The measurement results are shown in Table 2 below.

Figure 2007075739
Figure 2007075739

表１および２に示すように、比較例であるサンプルＡでは、プリーツ加工により、その捕集効率が低下したのに対して、サンプル１および２では、プリーツ加工により、その捕集効率は低下せず、９９．９９９％以上を保持できた。サンプルＡでは、プリーツ加工によりＰＴＦＥ多孔質膜に微小な欠陥が生じ、その補修効率が低下したと考えられる。サンプル１、２とサンプルＢ、Ｃとを比較すると、ＰＴＦＥ多孔質膜２よりも繊維質濾材３が気流の上流側に配置されたサンプルＢ、Ｃにおいて、サンプルＡほどではないものの、その捕集効率が低下した。   As shown in Tables 1 and 2, in Sample A, which is a comparative example, the collection efficiency was lowered by pleating, whereas in Samples 1 and 2, the collection efficiency was lowered by pleating. It was possible to maintain 99.999% or more. In sample A, it is considered that minute defects were generated in the PTFE porous membrane due to the pleating process, and the repair efficiency was lowered. Comparing Samples 1 and 2 with Samples B and C, Samples B and C in which the fibrous filter medium 3 is arranged on the upstream side of the airflow with respect to the PTFE porous membrane 2 are collected as much as the sample A. Efficiency decreased.

本発明によれば、ＰＴＦＥ系濾材を備えながら、製造時および／または使用時における捕集効率の低下、特に、プリーツ加工による補修効率の低下が抑制されたフィルターユニットを提供できる。   ADVANTAGE OF THE INVENTION According to this invention, the filter unit by which the fall of the collection efficiency at the time of manufacture and / or use, especially the fall of the repair efficiency by pleat processing was suppressed can be provided, providing a PTFE type filter medium.

本発明のフィルターユニットの一例を模式的に示す斜視図である。It is a perspective view which shows typically an example of the filter unit of this invention. 図１に示すフィルターユニットにおける断面II−IIと、当該断面におけるフィルタ濾材部分を拡大した断面とを示す模式図である。It is the schematic diagram which shows the cross section II-II in the filter unit shown in FIG. 1, and the cross section which expanded the filter material part in the said cross section. 本発明のフィルターユニットに用いるフィルター濾材の一例を模式的に示す断面図である。It is sectional drawing which shows typically an example of the filter material used for the filter unit of this invention.

符号の説明Explanation of symbols

１ フィルター濾材
２ ＰＴＦＥ多孔質膜
３ 繊維質濾材
４ 通気性支持材
１１ フィルターユニット
１２ 支持枠
１３ 気流 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Filter medium 2 PTFE porous membrane 3 Fibrous filter medium 4 Breathable support material 11 Filter unit 12 Support frame 13 Airflow

Claims (11)

被濾過気体に含まれる粒子を捕集するフィルター濾材と、前記フィルター濾材を支持する支持枠とを備えるフィルターユニットであって、
前記フィルター濾材は、ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と、前記多孔質膜を狭持するように配置された繊維質濾材および通気性支持材とを備え、
前記繊維質濾材を構成する繊維の平均繊維径が、０．０２μｍ以上１５μｍ以下であり、
前記通気性支持材は、平均繊維径が１５μｍを超える繊維により構成され、
前記フィルター濾材は、前記繊維質濾材が前記多孔質膜よりも、前記被濾過気体の気流の下流側となるように、前記支持枠に支持されていることを特徴とするフィルターユニット。 A filter unit comprising a filter medium that collects particles contained in the gas to be filtered, and a support frame that supports the filter medium,
The filter medium comprises a polytetrafluoroethylene porous membrane, and a fibrous filter medium and an air-permeable support material arranged so as to sandwich the porous membrane,
The average fiber diameter of the fibers constituting the fibrous filter medium is 0.02 μm or more and 15 μm or less,
The breathable support material is composed of fibers having an average fiber diameter of more than 15 μm,
The filter unit, wherein the filter medium is supported by the support frame so that the fibrous filter medium is located downstream of the air flow of the filtered gas from the porous membrane. 前記繊維質濾材が、ガラス繊維質濾材またはポリマー繊維質濾材である請求項１に記載のフィルターユニット。   The filter unit according to claim 1, wherein the fibrous filter medium is a glass fibrous filter medium or a polymer fibrous filter medium. 前記繊維質濾材が、メルトブローン法またはエレクトロスピニング法により形成された、ポリマー繊維の不織布である請求項１に記載のフィルターユニット。   The filter unit according to claim 1, wherein the fibrous filter medium is a non-woven fabric of polymer fibers formed by a melt blown method or an electrospinning method. 前記繊維質濾材が、ポリエチレンおよびポリプロピレンから選ばれる少なくとも１種からなる請求項１に記載のフィルターユニット。   The filter unit according to claim 1, wherein the fibrous filter medium is made of at least one selected from polyethylene and polypropylene. 前記繊維質濾材を構成する繊維の平均繊維径が、５μｍ以下である請求項１に記載のフィルターユニット。   The filter unit according to claim 1, wherein an average fiber diameter of fibers constituting the fibrous filter medium is 5 μm or less. 前記繊維質濾材の厚さが、１００μｍ以上である請求項１に記載のフィルターユニット。   The filter unit according to claim 1, wherein the fibrous filter medium has a thickness of 100 μm or more. 被濾過気体の流速を５．３ｃｍ／ｓｅｃとし、捕集対象粒子の粒径を０．３μｍ〜０．５μｍの範囲としたときに、
前記繊維質濾材の捕集効率が、前記多孔質膜の捕集効率よりも小さい請求項１に記載のフィルターユニット。 When the flow rate of the gas to be filtered is 5.3 cm / sec and the particle size of the particles to be collected is in the range of 0.3 μm to 0.5 μm,
The filter unit according to claim 1, wherein the collection efficiency of the fibrous filter medium is smaller than the collection efficiency of the porous membrane. 被濾過気体の流速を５．３ｃｍ／ｓｅｃとし、捕集対象粒子の粒径を０．３μｍ〜０．５μｍの範囲としたときに、
前記フィルター濾材の捕集効率が、９９．９７％以上である請求項１に記載のフィルターユニット。 When the flow rate of the gas to be filtered is 5.3 cm / sec and the particle size of the particles to be collected is in the range of 0.3 μm to 0.5 μm,
The filter unit according to claim 1, wherein the collection efficiency of the filter medium is 99.97% or more. 前記フィルター濾材が、プリーツ加工されている請求項１に記載のフィルターユニット。   The filter unit according to claim 1, wherein the filter medium is pleated. 被濾過気体に含まれる粒子を捕集し、
ポリテトラフルオロエチレン多孔質膜と、前記多孔質膜を狭持するように配置された繊維質濾材および通気性支持材とを備え、
前記繊維質濾材を構成する繊維の平均繊維径が、０．０２μｍ以上１５μｍ以下であり、
前記通気性支持材が、平均繊維径が１５μｍを超える繊維により構成されるフィルター濾材の使用方法であって、
前記繊維質濾材を、前記多孔質膜よりも、前記被濾過気体の気流の下流側に配置することを特徴とするフィルター濾材の使用方法。 Collect particles contained in the gas to be filtered,
A polytetrafluoroethylene porous membrane, and a fibrous filter medium and an air-permeable support material arranged so as to sandwich the porous membrane,
The average fiber diameter of the fibers constituting the fibrous filter medium is 0.02 μm or more and 15 μm or less,
The air-permeable support material is a method of using a filter medium composed of fibers having an average fiber diameter of more than 15 μm,
A method of using a filter medium, wherein the fibrous filter medium is arranged on the downstream side of the air flow of the gas to be filtered with respect to the porous membrane. 前記フィルター濾材が、プリーツ加工されている請求項１０に記載のフィルター濾材の使用方法。   The method for using a filter medium according to claim 10, wherein the filter medium is pleated.
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