JP2007053183A - 固体撮像素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 フォトダイオード(PD)11の受光面を除く領域を遮光する遮光層27は、各PD11に対して凹部が形成されるとともに該凹部の底面に受光窓28が形成されている。この遮光層27の凹部の表面には、光拡散層29が設けられている。光拡散層29は、光軸Lに対してほぼ平行な入射光の光路外に設けられており、マイクロレンズ33の光軸Lに対して斜めに入射された光を拡散させる。なお、光拡散層29に代えて、遮光層27の凹部の表面に光吸収層を設けても良い。この光吸収層は、光軸Lに対して斜めに入射された光を吸収する。
【選択図】 図2
Description
11 フォトダイオード
12 読み出し転送ゲート
13 垂直CCD
14 水平CCD
25 絶縁層
26 転送電極
27 遮光層
28 受光窓
29 光拡散層
30 保護層
31 平坦化層
32 カラーフィルタ
33 マイクロレンズ
Claims (9)
- 光電変換を行う複数のフォトダイオードと、前記各フォトダイオードに対して凹部が形成されるとともに該凹部の底面に受光窓が形成された遮光層と、を備えた固体撮像素子において、
前記凹部の表面に光拡散層が設けられていることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記各フォトダイオードに対して光学レンズが設けられており、前記光拡散層は、前記光学レンズの光軸に対してほぼ平行な入射光の光路外に設けられていることを特徴とする請求項1記載の固体撮像素子。
- 前記光拡散層は、前記遮光層上の構成物質に、無機物微粒子または有機物微粒子を混在させたものであることを特徴とする請求項2記載の固体撮像素子。
- 前記遮光層上の構成物質は、BPSGであることを特徴とする請求項3記載の固体撮像素子。
- 光電変換を行う複数のフォトダイオードと、前記各フォトダイオードに対して凹部が形成されるとともに該凹部の底面に受光窓が形成された遮光層と、を備えた固体撮像素子において、
前記凹部の表面に光吸収層が設けられていることを特徴とする固体撮像素子。 - 前記各フォトダイオードに対して光学レンズが設けられており、前記光吸収層は、前記光学レンズの光軸に対してほぼ平行な入射光の光路外に設けられていることを特徴とする請求項5記載の固体撮像素子。
- 前記光吸収層は、前記遮光層上の構成物質に、無機物微粒子または有機物微粒子を混在させたものであることを特徴とする請求項6記載の固体撮像素子。
- 前記遮光層上の構成物質は、BPSGであることを特徴とする請求項7記載の固体撮像素子。
- 前記遮光層の下には、前記フォトダイオードに蓄積された信号電荷を垂直CCDに読み出して垂直転送させる転送電極が設けられていることを特徴とする請求項1ないし8いずれか記載の固体撮像素子。
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