JP2007025358A - Color filter and manufacturing method therefor - Google Patents

Color filter and manufacturing method therefor Download PDF

Info

Publication number
JP2007025358A
JP2007025358A JP2005208731A JP2005208731A JP2007025358A JP 2007025358 A JP2007025358 A JP 2007025358A JP 2005208731 A JP2005208731 A JP 2005208731A JP 2005208731 A JP2005208731 A JP 2005208731A JP 2007025358 A JP2007025358 A JP 2007025358A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
pigment
colorant
compound
pattern
color filter
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2005208731A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Toru Yamada
徹 山田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Fujifilm Holdings Corp
Original Assignee
Fujifilm Holdings Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Fujifilm Holdings Corp filed Critical Fujifilm Holdings Corp
Priority to JP2005208731A priority Critical patent/JP2007025358A/en
Publication of JP2007025358A publication Critical patent/JP2007025358A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)
  • Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
  • Materials For Photolithography (AREA)
  • Liquid Crystal (AREA)

Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To permit production of a color filter, capable of satisfactorily performing dry etching, having satisfactory spectral characteristics and surface properties, superior rectangular properties of the pattern, and high adhesion with suppressed peeling. <P>SOLUTION: A colored layer is coated using a colorant-containing photocuring composition, containing colorants and photocuring compounds, wherein the density of the colorants in the total solid portion is ≥50 mass% and <100 mass%. The method includes a step for photocuring the applied colored layer due to exposure, before a photosensitive resin layer is formed on the colored layer. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、カラーフィルタ及びその製造方法に関し、詳しくは、液晶表示素子や固体撮像素子等の構成に好適なカラーフィルタ、及びドライエッチング法によってパターン形成を行なうカラーフィルタの製造方法に関する。   The present invention relates to a color filter and a method for manufacturing the color filter, and more particularly to a color filter suitable for the configuration of a liquid crystal display element, a solid-state image sensor, and the like, and a method for manufacturing a color filter that forms a pattern by a dry etching method.

液晶表示素子(LCD)や固体撮像素子(CCD、CMOSなど)に用いられるカラーフィルタを作製する方法としては、染色法、印刷法、電着法及び顔料分散法が知られている。   As a method for producing a color filter used for a liquid crystal display element (LCD) or a solid-state image sensor (CCD, CMOS, etc.), a dyeing method, a printing method, an electrodeposition method, and a pigment dispersion method are known.

このうち、顔料分散法は、顔料を種々の感光性組成物に分散させた着色感放射線性組成物を用いてフォトリソ法によってカラーフィルタを作製する方法であり、顔料を使用しているために光や熱等に安定であるという利点を有している。また、フォトリソ法によってパターニングするため、位置精度が高く、大画面、高精細カラーディスプレイ用カラーフィルタを作製するのに好適な方法として広く利用されてきた。   Among these, the pigment dispersion method is a method for producing a color filter by a photolithography method using a colored radiation-sensitive composition in which a pigment is dispersed in various photosensitive compositions. It has the advantage of being stable to heat and the like. Further, since patterning is performed by a photolithography method, it has been widely used as a suitable method for manufacturing a color filter for a large-screen, high-definition color display with high positional accuracy.

顔料分散法によりカラーフィルタを作製する場合、ガラス基板上に感放射線性組成物をスピンコーターやロールコーター等により塗布、乾燥させて塗膜を形成した後、この塗膜をパターン露光、現像することで着色された画素が形成され、この操作を所望の色相数に合わせて各色ごとに繰り返し行なうことによってカラーフィルタが得られる。このような顔料分散法として、アルカリ可溶性樹脂に光重合性モノマーと光重合開始剤とを併用したネガ型感光性組成物を用いた例が記載されたものがある(例えば、特許文献1〜4参照)。   When producing a color filter by a pigment dispersion method, a radiation sensitive composition is applied on a glass substrate with a spin coater or a roll coater and dried to form a coating film, and then this coating film is subjected to pattern exposure and development. A colored filter is formed, and a color filter is obtained by repeating this operation for each color according to the desired number of hues. As such a pigment dispersion method, there is one in which an example using a negative photosensitive composition in which a photopolymerizable monomer and a photopolymerization initiator are used in combination with an alkali-soluble resin is described (for example, Patent Documents 1 to 4). reference).

一方、近年、固体撮像素子用のカラーフィルタにおいては更なる高精細化が望まれている。しかしながら、従来の顔料分散系では解像度を更に向上させることは困難であり、顔料の粗大粒子により色ムラが発生する等の問題があるため、固体撮像素子のように微細パターンが要求される用途には適さなかった。   On the other hand, in recent years, there has been a demand for higher definition in color filters for solid-state imaging devices. However, it is difficult to further improve the resolution with conventional pigment dispersion systems, and there are problems such as color unevenness caused by coarse particles of the pigment, so that it is used for applications that require fine patterns such as solid-state imaging devices. Was not suitable.

かかる問題に鑑み、従来から顔料に代えて染料を使用する技術が提案されている(例えば、特許文献5参照)。しかしながら、染料を用いた硬化性組成物は、例えば耐光性、耐熱性、溶解性、塗布均一性など様々な性能において、一般に顔料に比べて劣るという問題がある。また、固体撮像素子用カラーフィルタの作製用途の場合には1.5μm以下の膜厚が要求されるため、硬化性組成物中に多量の色素を添加しなければならず、したがって基板との密着や硬化度が不充分となったり、フィルタをなす露光部で染料が抜けてしまうなど、パターン形成性が著しく低下してしまうといった問題もある。   In view of such a problem, a technique for using a dye instead of a pigment has been proposed (for example, see Patent Document 5). However, a curable composition using a dye has a problem that it is generally inferior to a pigment in various performances such as light resistance, heat resistance, solubility and coating uniformity. In addition, since a film thickness of 1.5 μm or less is required for use in the production of a color filter for a solid-state image sensor, a large amount of a dye must be added to the curable composition, and therefore, it is in close contact with the substrate. In addition, there is a problem that the pattern forming property is remarkably deteriorated such that the degree of curing is insufficient or the dye is removed from the exposed portion forming the filter.

また、顔料及び染料に関わらず、フォトリソ法を用いたカラーフィルタは、着色剤以外の成分、すなわちバインダー樹脂、光重合性化合物、開始剤を相当量入れる必要があり、膜厚を薄くできない欠点がある。   Regardless of pigments and dyes, the color filter using the photolithographic method has a disadvantage that the film thickness cannot be reduced because it is necessary to add a considerable amount of components other than the colorant, that is, a binder resin, a photopolymerizable compound, and an initiator. is there.

前記フォトリソ法を利用するカラーフィルタの製造法に対して、より薄膜でかつ微細パターンの形成に有効な方法としてドライエッチング法が古くから知られている。ドライエッチング法は、色素の蒸着薄膜にパターン形成する方法として従来から採用されており(例えば、特許文献6参照)、薄膜形成に関してはフォトリソ系に比べ、分光特性を同じ程度としながら膜厚が1/2以下の薄膜の形成も可能である。   In contrast to the color filter manufacturing method using the photolithography method, a dry etching method has been known for a long time as a method effective for forming a thinner and fine pattern. The dry etching method has been conventionally used as a method for forming a pattern on a dye-deposited thin film (see, for example, Patent Document 6), and the thin film formation has a film thickness of 1 while maintaining the same spectral characteristics as compared to a photolithography system. It is also possible to form a thin film of / 2 or less.

特開平2−181704号公報JP-A-2-181704 特開平2−199403号公報JP-A-2-199403 特開平5−273411号公報Japanese Patent Laid-Open No. 5-273411 特開平7−140654号公報JP-A-7-140654 特開平6−75375号公報JP-A-6-75375 特開昭55−146406号公報JP-A-55-146406

しかしながら、近年のカラーフィルタについては、シェーディング低減による画質向上のため、薄膜化に対する強い要求がある。また、上記した蒸着による薄膜形成では、蒸着装置の汚染が避けられず、カラーフィルタの作製には大きな負荷となると共に、顔料又は染料を主として画素形成されるため、下層をなす平坦化膜や上層との密着性が悪く、歩留まりが上がらない原因の一つにもなっていた。   However, recent color filters have a strong demand for thinning in order to improve image quality by reducing shading. In addition, in the above-described thin film formation by vapor deposition, contamination of the vapor deposition apparatus is unavoidable, and it becomes a heavy load for the production of a color filter, and since a pixel is mainly formed of pigments or dyes, a flattening film or an upper layer as a lower layer is formed. It was also one of the reasons why the yield did not increase.

本発明は、上記に鑑みなされたものであり、分光特性及び表面性状が良好でパターンの矩形性に優れると共に、基体や隣接層との間の密着性の高いカラーフィルタ、及び該カラーフィルタの作製に好適であり、ドライエッチング法を利用したコストパフォーマンスの高いカラーフィルタの製造方法を提供することを目的とし、該目的を達成することを課題とする。   The present invention has been made in view of the above, and has a spectral characteristic and surface property that are excellent in pattern rectangularity, and has high adhesion between a substrate and an adjacent layer, and production of the color filter. It is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a color filter with high cost performance using a dry etching method, and to achieve the object.

前記課題を解決するための具体的手段は以下の通りである。
<1> (1)着色剤と光硬化性化合物とを含むと共に、全固形分中の前記着色剤の濃度が50質量%以上100質量%未満である着色剤含有光硬化性組成物を基板上に設けて着色層を形成する工程と、(2)基体上に形成された着色層を露光して硬化する工程と、(3)硬化された前記着色層上に感光性樹脂層を設けて感光性樹脂層を形成する工程と、(4)少なくとも前記感光性樹脂層を画像様に露光し、現像して前記感光性樹脂層からなるパターンを形成する工程と、(5)前記着色層に前記パターンをマスクとしてドライエッチング処理を施し、着色パターンを形成する工程と、を含むカラーフィルタの製造方法である。
Specific means for solving the above problems are as follows.
<1> (1) A colorant-containing photocurable composition containing a colorant and a photocurable compound and having a concentration of the colorant in the total solid content of 50% by mass or more and less than 100% by mass on the substrate. Forming a colored layer on the substrate, (2) exposing and curing the colored layer formed on the substrate, and (3) providing a photosensitive resin layer on the cured colored layer for photosensitivity. Forming a photosensitive resin layer; (4) exposing at least the photosensitive resin layer imagewise and developing to form a pattern comprising the photosensitive resin layer; and (5) forming the pattern on the colored layer. And a step of performing a dry etching process using the pattern as a mask to form a colored pattern.

<2> 前記濃度が、60質量%以上95質量%以下である前記<1>に記載のカラーフィルタの製造方法である。
<3> 前記濃度が、65質量%以上90質量%以下である前記<1>に記載のカラーフィルタの製造方法である。
<4> 前記光硬化性化合物が、少なくとも一つの付加重合可能なエチレン性二重結合を有すると共に、常圧下での沸点が100℃以上であるラジカル重合性モノマーである前記<1>〜<3>のいずれか一つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
<5> 前記着色剤含有光硬化性組成物が、光重合開始剤を更に含んでネガ型に構成されている前記<1>〜<4>のいずれか一つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
<6> 前記着色剤含有光硬化性組成物が、o−ナフトキノンジアジド化合物を含んでポジ型に構成されている前記<1>〜<4>のいずれか一つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
<7> 前記着色層の厚さが、0.005〜0.9μmである前記<1>〜<6>のいずれか一つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
<8> 前記<1>〜<7>のいずれか一つに記載のカラーフィルタの製造方法により作製されたことを特徴とするカラーフィルタである。
<2> The method for producing a color filter according to <1>, wherein the concentration is 60% by mass or more and 95% by mass or less.
<3> The method for producing a color filter according to <1>, wherein the concentration is 65% by mass or more and 90% by mass or less.
<4> The <1> to <3, wherein the photocurable compound is a radical polymerizable monomer having at least one addition-polymerizable ethylenic double bond and having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure. The method for producing a color filter according to any one of the above.
<5> The method for producing a color filter according to any one of <1> to <4>, wherein the colorant-containing photocurable composition further includes a photopolymerization initiator and is configured in a negative shape. It is.
<6> The method for producing a color filter according to any one of <1> to <4>, wherein the colorant-containing photocurable composition includes an o-naphthoquinonediazide compound and is configured in a positive type. It is.
<7> The method for producing a color filter according to any one of <1> to <6>, wherein the colored layer has a thickness of 0.005 to 0.9 μm.
<8> A color filter produced by the method for producing a color filter according to any one of <1> to <7>.

本発明によれば、分光特性及び表面性状が良好でパターンの矩形性に優れると共に、基体や隣接層との間の密着性の高いカラーフィルタ、及び該カラーフィルタの作製に好適であり、ドライエッチング法を利用したコストパフォーマンスの高いカラーフィルタの製造方法を提供することができる。   According to the present invention, the spectral characteristics and surface properties are good and the pattern rectangularity is excellent, and the color filter having high adhesion between the substrate and the adjacent layer is suitable for the production of the color filter, and dry etching. It is possible to provide a method of manufacturing a color filter with high cost performance using the method.

以下、本発明のカラーフィルタの製造方法について詳細に説明すると共に、該説明を通じて本発明のカラーフィルタについても詳述することとする。   Hereinafter, the manufacturing method of the color filter of the present invention will be described in detail, and the color filter of the present invention will be described in detail through the description.

本発明のカラーフィルタの製造方法は、着色されると共に光で硬化された着色層をドライエッチング法によりパターン形成する、具体的には下記(1)〜(5)に示す工程を設けて構成されたものであり、必要に応じて他の工程を含んでいてもよい。   The method for producing a color filter of the present invention is formed by providing the steps shown in the following (1) to (5), specifically, patterning a colored layer that is colored and cured by light by a dry etching method. And may include other steps as necessary.

(1)着色剤と光硬化性化合物とを含むと共に、全固形分中の前記着色剤の濃度が50質量%以上100質量%未満である着色剤含有光硬化性組成物を基体上に設けて(例えば塗布し、乾燥させて)着色層を形成する工程(以下、「着色層形成工程」ということがある。)
(2)基体上に形成された着色層を露光して硬化する工程(以下、「光硬化工程」ということがある。)
(3)硬化された前記着色層上に感光性樹脂層を設けて(例えば塗布し、乾燥させて)感光性樹脂層を形成する工程(以下、「レジスト形成工程」ということがある。)
(4)少なくとも前記感光性樹脂層を画像様に露光し、現像して前記感光性樹脂層からなるパターンを形成する工程(以下、「マスク形成工程」ということがある。)
(5)前記着色層に前記パターンをマスクとしてドライエッチング処理を施し、着色パターンを形成する工程(以下、「エッチング工程」ということがある。)
(1) A colorant-containing photocurable composition containing a colorant and a photocurable compound and having a concentration of the colorant in the total solid content of 50% by mass or more and less than 100% by mass is provided on a substrate. A step of forming a colored layer (for example, by applying and drying) (hereinafter sometimes referred to as a “colored layer forming step”).
(2) A step of exposing and curing the colored layer formed on the substrate (hereinafter sometimes referred to as “photocuring step”).
(3) A step of providing a photosensitive resin layer on the cured colored layer (for example, applying and drying) to form a photosensitive resin layer (hereinafter, sometimes referred to as “resist formation step”).
(4) A step of exposing at least the photosensitive resin layer imagewise and developing to form a pattern composed of the photosensitive resin layer (hereinafter sometimes referred to as a “mask forming step”).
(5) A process of forming a colored pattern by subjecting the colored layer to a dry etching process using the pattern as a mask (hereinafter sometimes referred to as an “etching process”).

本発明のカラーフィルタの製造方法により作製されるカラーフィルタは、単色よりなるものであってもよいし、2色以上の複数色よりなるものであってもよい。複数色よりなる場合は、上記の着色層形成工程、光硬化工程、レジスト形成工程、マスク形成工程、及びエッチング工程、並びに必要に応じて他の工程を複数回繰り返し行なうことによって、複数色よりなるカラーパターンを作製することができる。このとき、最終に形成する色のパターン形成の際には、ドライエッチング処理用のマスクは不要であるため、光硬化を施した後そのまま前記(3)及び(4)の工程を行なわずに既設のパターン上等に存在する余分な着色剤含有光硬化性組成物を除去すると共に平坦化を行なうことにより、多色のカラーフィルタを形成することができる。以下、各工程について詳細に説明する。   The color filter produced by the method for producing a color filter of the present invention may be composed of a single color or may be composed of two or more colors. When it consists of multiple colors, it consists of multiple colors by repeating the above colored layer forming step, photocuring step, resist forming step, mask forming step, etching step, and other steps as needed. A color pattern can be produced. At this time, since the mask for the dry etching process is unnecessary when forming the pattern of the color to be finally formed, it is not necessary to perform the steps (3) and (4) after photocuring. A multicolored color filter can be formed by removing the excess colorant-containing photocurable composition present on the pattern and performing planarization. Hereinafter, each step will be described in detail.

−着色層形成工程−
着色層形成工程では、着色剤含有光硬化性組成物を基体上に設けて着色層を形成する。着色剤含有光硬化性組成物は、全固形分中の濃度が50質量%以上100質量%未満の範囲である着色剤と光硬化性化合物とを含んでなるものであり、具体的には後述する。
-Colored layer formation process-
In the colored layer forming step, the colored layer-containing photocurable composition is provided on the substrate to form the colored layer. The colorant-containing photocurable composition comprises a colorant having a concentration in the total solid content of 50% by mass or more and less than 100% by mass and a photocurable compound. To do.

着色層の形成は、例えば、塗布、乾燥する方法等により行なえる。塗布による場合、直接あるいは他の層を介して着色剤含有光硬化性組成物を基体上に、回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布し、乾燥させることで形成できる。
着色層の層厚としては、0.005〜0.9μmが好ましく、0.01〜0.65μmがより好ましく、0.02〜0.6μmが特に好ましい。
The colored layer can be formed by, for example, a method of applying and drying. In the case of coating, the colorant-containing photocurable composition is formed on the substrate by a coating method such as spin coating, slit coating, cast coating, roll coating, or the like, directly or through another layer, and then dried. it can.
The thickness of the colored layer is preferably 0.005 to 0.9 μm, more preferably 0.01 to 0.65 μm, and particularly preferably 0.02 to 0.6 μm.

前記基体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、パイレックス(登録商標)ガラス、石英ガラス、及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板(例えばシリコン基板等)、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)などが挙げられる。これらの基体は、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの基体上には必要に応じて、設けられる層(例えば着色層)との密着改良、物質の拡散防止あるいは表面平坦化の目的で下塗り層を設けてもよい。
Examples of the substrate include soda glass, Pyrex (registered trademark) glass, and quartz glass used for liquid crystal display elements and the like, and those obtained by attaching a transparent conductive film to them, and photoelectric conversion element substrates used for imaging elements and the like. (For example, silicon substrate), complementary metal oxide semiconductor (CMOS), and the like. These substrates may have black stripes that separate pixels.
Further, if necessary, an undercoat layer may be provided on these substrates for the purpose of improving adhesion with a provided layer (for example, a colored layer), preventing diffusion of a substance, or flattening the surface.

−光硬化工程−
光硬化工程では、光もしくは放射線を用いた露光により、基体上に形成された着色層を光硬化する。本工程は、前記着色層形成工程での着色層の形成を塗布で行なう場合に塗布後の乾燥と同時に行なうようにしてもよく、塗布乾燥後、光硬化するために別途工程を設けて行なうようにしてもよい。
-Photocuring process-
In the photocuring step, the colored layer formed on the substrate is photocured by exposure using light or radiation. This step may be performed simultaneously with drying after coating when the colored layer is formed in the colored layer forming step by coating, or may be separately provided for photocuring after coating and drying. It may be.

本工程で用いられる光もしくは放射線としては、光源として従来公知のものを選択し、利用することができる。具体的には、超高圧、高圧、中圧、低圧の各水銀灯、ケミカルランプ、カーボンアーク灯、キセノン灯、メタルハライド灯、可視域ないし紫外域の各種レーザーランプ、蛍光灯、タングステン灯、及び太陽光等が使用できる。このうち、好ましくは水銀灯であり、特に好ましくは、g線、h線、i線を含む高圧水銀灯である。   As light or radiation used in this step, a conventionally known light source can be selected and used. Specifically, ultra high pressure, high pressure, medium pressure, and low pressure mercury lamps, chemical lamps, carbon arc lamps, xenon lamps, metal halide lamps, various laser lamps in the visible or ultraviolet range, fluorescent lamps, tungsten lamps, and sunlight Etc. can be used. Among these, a mercury lamp is preferable, and a high-pressure mercury lamp including g-line, h-line, and i-line is particularly preferable.

照射時間、照射量等の露光条件については、着色剤含有光硬化性組成物に対して所望の硬化性が得られるように適宜選択することができ、具体的な硬化に要する光量として、0.001〜2000mJ/cm2の範囲が好ましく、より好ましくは0.5〜850J/cm2の範囲である。 About exposure conditions, such as irradiation time and irradiation amount, it can select suitably so that desired curability may be acquired with respect to a colorant containing photocurable composition, As light quantity required for specific hardening, it is set to 0. A range of 001 to 2000 mJ / cm 2 is preferable, and a range of 0.5 to 850 J / cm 2 is more preferable.

−レジスト形成工程−
レジスト形成工程では、前記光硬化工程で硬化された着色層上にポジ型もしくはネガ型の感光性樹脂組成物を設けて感光性樹脂層を形成する。この感光性樹脂層は、後述のマスク形成工程で形成されるマスクパターンを構成する層である。
-Resist formation process-
In the resist forming step, a positive or negative photosensitive resin composition is provided on the colored layer cured in the photocuring step to form a photosensitive resin layer. This photosensitive resin layer is a layer constituting a mask pattern formed in a mask forming process described later.

感光性樹脂層の形成は、例えば、塗布、乾燥する方法等により行なえる。塗布による場合、着色層上に直接もしくは他の層を介して、回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法を利用して好適に行なうことができる。   Formation of the photosensitive resin layer can be performed by, for example, a method of coating and drying. In the case of coating, it can be suitably carried out using a coating method such as spin coating, slit coating, cast coating, roll coating or the like directly on the colored layer or via another layer.

前記ポジ型の感光性樹脂組成物としては、g線、h線、i線等の紫外線、エキシマー・レーザー等を含む遠紫外線、電子線、イオンビーム、及びX線等の放射線に感応する、ポジ型フォトレジストとして好適なポジ型の感光性樹脂組成物が使用できる。この場合、光もしくは放射線としてg線、i線が好適であり、中でも、i線による露光が好ましい。   The positive photosensitive resin composition is sensitive to radiation such as ultraviolet rays such as g rays, h rays and i rays, far ultraviolet rays including excimer lasers, electron rays, ion beams and X rays. A positive photosensitive resin composition suitable as a mold photoresist can be used. In this case, g-line or i-line is preferable as light or radiation, and exposure with i-line is particularly preferable.

具体的には、前記ポジ型の感光性樹脂組成物として、キノンジアジド化合物及びアルカリ可溶性樹脂を含有する組成物が好ましい。キノンジアジド化合物及びアルカリ可溶性樹脂を含有するポジ型の感光性樹脂組成物は、500nm以下の波長光の照射によりキノンジアジド基が分解してカルボキシル基を生じ、アルカリ不溶な状態からアルカリ可溶な状態への変化を利用したポジ型フォトレジストとして使用できる。なお、このポジ型フォトレジストは、解像力に著しく優れるので、ICやLSI等の集積回路の作製に用いられている。前記キノンジアジド化合物としては、ナフトキノンジアジド化合物が好適に挙げられる。   Specifically, as the positive photosensitive resin composition, a composition containing a quinonediazide compound and an alkali-soluble resin is preferable. The positive type photosensitive resin composition containing a quinonediazide compound and an alkali-soluble resin is decomposed from a quinonediazide group by irradiation with light having a wavelength of 500 nm or less to generate a carboxyl group, and from an alkali-insoluble state to an alkali-soluble state. It can be used as a positive-type photoresist utilizing change. Note that this positive type photoresist is remarkably excellent in resolving power, and is therefore used in the manufacture of integrated circuits such as ICs and LSIs. A preferred example of the quinonediazide compound is a naphthoquinonediazide compound.

近年、集積回路については集積度の向上に伴なって配線の幅が微細化され、このためエッチングも従来のウェットエッチングに代えてドライエッチングが主流になっている。このドライエッチングではレジストの形状がそのまま被エッチング層の形状に反映されるので、レジストの形状が悪いとエッチング不要の部分までエッチングされてしまい、集積回路の不良や歩留り悪化の原因となる。このため、現像残さ(スカム)等の少ないプロファイルの良好なレジストが従来以上に要求されている。また、ドライエッチングでは基板の温度が上昇し、レジストパターンが熱変形を起こして寸法精度が低下することがある。このため、レジストの耐熱性が従来以上に要求されている。このような観点から、ポジ型フォトレジストとしては、プロファイル、スカム、解像度、及び耐熱性等の諸性能について満足するものが数多く市販されており、好適なものとして例えば、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製のFH−6000シリーズ、例えばFH−6400L、FH−6800Lなど、同社製のFHi−3000シリーズ、例えばFHi−3200、FHi−3950等、同社製のFHi−600シリーズ、例えばFHi−644、FHi−645、同社製のFi−SPシリーズ、例えばFi−SP2等が挙げられる。但し、これに限らずパターン形成に好ましいマスク形状のものができるのであれば、市販の有無に関わらずポジ型の感光性樹脂組成物として使用可能である。   In recent years, with respect to integrated circuits, the width of wiring has become finer as the degree of integration increases, and for this reason, dry etching has become the mainstream in place of conventional wet etching. In this dry etching, the shape of the resist is directly reflected in the shape of the layer to be etched. Therefore, if the shape of the resist is poor, etching is performed up to a portion that does not require etching, which may cause defective integrated circuits and poor yield. For this reason, a resist having a good profile with little development residue (scum) or the like is required more than ever. Further, in dry etching, the temperature of the substrate rises, and the resist pattern may be thermally deformed to reduce the dimensional accuracy. For this reason, the heat resistance of a resist is requested | required more than before. From this point of view, many positive photoresists satisfying various performances such as profile, scum, resolution, and heat resistance are commercially available. As a suitable one, for example, FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd. FH-6000 series, such as FH-6400L, FH-6800L, FHi-3000 series, such as FHi-3200, FHi-3950, etc., FHi-600 series, such as FHi-644, FHi, etc. -645, Fi-SP series made by the same company, for example, Fi-SP2 and the like. However, the present invention is not limited to this, and it can be used as a positive-type photosensitive resin composition regardless of whether it is commercially available as long as it has a mask shape preferable for pattern formation.

前記ネガ型の感光性樹脂組成物としては、g線、h線、i線等の紫外線、遠紫外線、X線、電子線、分子線、γ線、シンクロトロン放射線等の輻射線に感応するネガ型フォトレジストが挙げられる。更には、解像力及び感度に優れ、かつ現像残りによる微小欠陥が実質上発生しないネガ型フォトレジストが好ましい。   Examples of the negative photosensitive resin composition include negative sensitive to ultraviolet rays such as g rays, h rays and i rays, far ultraviolet rays, X rays, electron rays, molecular rays, gamma rays, synchrotron radiation and the like. Type photoresist. Furthermore, a negative photoresist which is excellent in resolving power and sensitivity and in which minute defects due to residual development is not substantially generated is preferable.

例えば、ネガ型フォトレジストを着色層上に前記塗布方法にて例えば0.5〜3μmの厚みに塗布した後、加熱、乾燥し、露光マスクを介して所望パターンに紫外線照射などによりパターン状に硬化させ、必要に応じて露光後に更に加熱工程(PEB)を経た後、現像することによって、フォトレジスト(感光性樹脂層)がパターン状に加工されてなるネガ画像が得られ、このネガ画像を次工程で露光する際のマスクとして用いることができる。
代表的な例としてはICなどの半導体製造工程、液晶、サーマルヘッドなどの回路基板の製造、更にその他のフォトアプリケーション工程などである。またこの画像と支持基板とのインクへの親和性の差を利用して平版印刷版に適用することもできる。半導体基板の加工の高集積度化に伴いフォトレジストの高解像力化が求められている。
For example, a negative photoresist is applied on the colored layer to a thickness of, for example, 0.5 to 3 μm by the above-described application method, and then heated and dried, and then cured into a desired pattern by irradiating the desired pattern with ultraviolet rays through an exposure mask. If necessary, after the exposure, a heating step (PEB) is further performed, followed by development to obtain a negative image obtained by processing a photoresist (photosensitive resin layer) into a pattern. It can be used as a mask for exposure in the process.
Typical examples include semiconductor manufacturing processes such as ICs, circuit boards such as liquid crystals and thermal heads, and other photo application processes. Moreover, it can also be applied to a lithographic printing plate by utilizing the difference in affinity between the image and the support substrate for ink. With higher integration of semiconductor substrate processing, higher resolution of the photoresist is required.

ネガ型の感光性樹脂層としては、光重合開始剤とエチレン性不飽和結合を有する重合性化合物とを含む層であるのが好ましい。かかる感光性樹脂層の形成に使用可能なネガ型の感光性樹脂組成物について以下に示す。例えば、特公昭54−23574号公報には、有機ハロゲン化物からなる光酸発生剤と組み合せてノボラック樹脂を光硬化させる技術が、西独公開特許2057473号公報には、ジアゾ化合物からなる光酸発生剤とメチロール化メラミンなどからなる光硬化性組成物との結合剤としてノボラックなどのフェノール樹脂を適用できることが、また、特開昭60−263143号公報には、光酸発生剤とメラミン樹脂などの酸硬化性アミノブラスト樹脂、一般的なノボラック樹脂とからなる組成物が開示されており、水性現像可能で熱安定性の高いネガ画像が得られるとされている。また、特開昭62−164045号公報には、光酸発生剤として遠紫外域に光吸収を有する有機ハロゲン化物が有利に使えることが記載されており、同様に特開平2−52348号公報には、類似の系の光酸発生剤として、特定領域のpKa値を持つ有機ハロゲン化物が有利であることが記載されている。更に、特開平2−154266号公報には、光硬化性組成物の光酸発生剤として、オキスムスルフォン酸エステル類が有効であることが記載されている。また別の例として、特開平2−146044号公報において、特定のトリクロロトリアジン基を有する光酸発生剤とアルコキシ化メラミンにm−クレゾールを30%以上含有するノボラック樹脂とを組み合わせた組成物が、高エネルギー線露光用に有用であることが記載されている。更に、欧州特許397460A号公報にも同様の組成物において、分岐度の高いノボラック樹脂を用いることが記載されている。   The negative photosensitive resin layer is preferably a layer containing a photopolymerization initiator and a polymerizable compound having an ethylenically unsaturated bond. A negative photosensitive resin composition that can be used to form such a photosensitive resin layer is shown below. For example, Japanese Patent Publication No. 54-23574 discloses a technique for photocuring a novolak resin in combination with a photoacid generator composed of an organic halide, and West German Published Patent No. 2057473 discloses a photoacid generator composed of a diazo compound. A phenolic resin such as novolak can be applied as a binder between the photocurable composition comprising methylolated melamine and the like, and JP-A-60-263143 discloses a photoacid generator and an acid such as melamine resin. A composition comprising a curable aminoblast resin and a general novolak resin is disclosed, and it is said that a negative image capable of aqueous development and having high thermal stability can be obtained. JP-A-62-164045 describes that an organic halide having light absorption in the far ultraviolet region can be advantageously used as a photoacid generator, and similarly, JP-A-2-52348 discloses. Describes that an organic halide having a pKa value in a specific region is advantageous as a similar photoacid generator. Furthermore, JP-A-2-154266 describes that oxime sulfonic acid esters are effective as a photoacid generator for a photocurable composition. As another example, in JP-A-2-146444, a composition comprising a photoacid generator having a specific trichlorotriazine group and a novolak resin containing 30% or more of m-cresol in alkoxylated melamine, It is described that it is useful for high energy beam exposure. Further, European Patent No. 396460A also describes the use of a novolak resin having a high degree of branching in a similar composition.

上記のようなネガ型の感光性樹脂組成物は、市販されたものがあり、例えば、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製のSCシリーズ(例えば、SC−60、SC−450等)、同社製のHRシリーズ(例えば、HR−100、HR−200等)、同社製のHNRシリーズ(例えば、HNR−80、HNR−120等)などが挙げられる。但し、これらに限らず、パターン形成に好ましいマスク形状のものができるのであれば、市販の有無に関わらず使用可能である。   There are commercially available negative photosensitive resin compositions such as those described above, such as the SC series (for example, SC-60, SC-450, etc.) manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd. HR series (for example, HR-100, HR-200, etc.) made by the company, HNR series (for example, HNR-80, HNR-120, etc.) made by the same company, etc. are mentioned. However, the present invention is not limited thereto, and any mask having a shape preferable for pattern formation can be used regardless of whether it is commercially available.

前記感光性樹脂層の層厚としては、0.01〜3μmが好ましく、0.1〜2.5μmがより好ましく、0.15〜2μmが更に好ましい。   The layer thickness of the photosensitive resin layer is preferably 0.01 to 3 μm, more preferably 0.1 to 2.5 μm, and still more preferably 0.15 to 2 μm.

−マスク形成工程−
マスク形成工程では、少なくとも前記レジスト形成工程で設けられた感光性樹脂層を画像様に露光、現像し、フォトリソ法により、着色層上に感光性樹脂層からなるパターン(エッチング用マスク)を形成する。
-Mask formation process-
In the mask forming step, at least the photosensitive resin layer provided in the resist forming step is exposed and developed imagewise, and a pattern (etching mask) made of the photosensitive resin layer is formed on the colored layer by photolithography. .

露光は、少なくとも感光性樹脂層の感光波長に対応する波長光を発する光源を選択して好適に行なうことができ、g線、h線、i線等、特に好ましくはi線を所定のマスクパターンを介して照射する等によりパターン状に行なえる。   The exposure can be suitably performed by selecting a light source that emits light having a wavelength corresponding to at least the photosensitive wavelength of the photosensitive resin layer. The g-line, h-line, i-line, etc., particularly preferably the i-line is preferably a predetermined mask pattern. It can be performed in a pattern by irradiating via, for example.

現像は、前記露光がなされた後の感光性樹脂層を現像液でアルカリ現像する。本工程でのアルカリ現像により、前記露光で感光性樹脂層に形成された潜像にしたがってポジ型もしくはネガ型の感光性樹脂組成物の非硬化部が現像除去され、硬化されたフォトレジストからなるパターンが形成される。このパターンは、後述のエッチング工程で着色層にパターン形成する際のマスクとして機能するものである。   In the development, the photosensitive resin layer after the exposure is alkali-developed with a developer. By the alkali development in this step, the non-cured portion of the positive or negative photosensitive resin composition is developed and removed in accordance with the latent image formed on the photosensitive resin layer by the exposure, and is made of a cured photoresist. A pattern is formed. This pattern functions as a mask when forming a pattern on the colored layer in an etching process described later.

現像は、現像液を用いて行なえ、該現像液としては、着色層に悪影響を与えず、ポジ型フォトレジストの露光部あるいはネガ型フォトレジストの非露光部を溶解し得るものであればいかなるものも用いることができる。具体的には、種々の有機溶剤の組合わせやアルカリ性の水溶液を用いることができる。   Development can be performed using a developer, and any developer can be used as long as it can dissolve the exposed portion of the positive photoresist or the unexposed portion of the negative photoresist without adversely affecting the colored layer. Can also be used. Specifically, a combination of various organic solvents or an alkaline aqueous solution can be used.

前記アルカリ性の水溶液としては、例えば、水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム,硅酸ナトリウム、メタ硅酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、コリン、ピロール、ピペリジン、1,8−ジアザビシクロ−〔5.4.0〕−7−ウンデセン等のアルカリ性化合物を、濃度が0.001〜10質量%、好ましくは0.01〜1質量%となるように溶解してなるアルカリ性水溶液が好適である。なお、このようなアルカリ性水溶液からなる現像液を使用した場合は、一般に、現像後水で洗浄する。   Examples of the alkaline aqueous solution include sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium oxalate, sodium metasuccinate, aqueous ammonia, ethylamine, diethylamine, dimethylethanolamine, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide. , Choline, pyrrole, piperidine, alkaline compounds such as 1,8-diazabicyclo- [5.4.0] -7-undecene, the concentration is 0.001 to 10% by mass, preferably 0.01 to 1% by mass. An alkaline aqueous solution obtained by dissolution is preferable. When a developer composed of such an alkaline aqueous solution is used, it is generally washed with water after development.

前記アルカリ性の水溶液は、アルカリ現像液でもよく、一般に市販されているものは性能が安定しており再現性のよい結果が得られる。市販されているものとしては、例えば、富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ製のFHD−5、CD−2000等が好適であるが、これに制限されるものではない。   The alkaline aqueous solution may be an alkaline developer, and those generally marketed have stable performance and good reproducible results. As commercially available products, for example, FHD-5 and CD-2000 manufactured by FUJIFILM Electronics Materials are suitable, but are not limited thereto.

現像時の現像温度、現像時間等の処理条件については、画像記録材料の構成や用いる現像液の種類等により適宜選択することができる。   Processing conditions such as development temperature and development time during development can be appropriately selected depending on the configuration of the image recording material, the type of developer used, and the like.

−エッチング工程−
エッチング工程では、前記マスク形成工程でアルカリ現像されて露出した着色層をドライエッチング処理し、着色層をパターン状に加工する。本工程で形成されたパターンは、カラーフィルタもしくはカラーフィルタの着色画素を構成するものである。
-Etching process-
In the etching step, the colored layer exposed by alkali development in the mask forming step is subjected to a dry etching process, and the colored layer is processed into a pattern. The pattern formed in this step constitutes a color filter or a colored pixel of the color filter.

ドライエッチング法の代表的な例としては、特開昭59−126506号、特開昭59−46628号、同58−9108号、同58−2809号、同57−148706号、同61−41102号などの公報に記載のように、着色剤を蒸着した上にマスク用のレジストを塗布しパターニングを行なった状態でエッチングする方法等が挙げられる。   Representative examples of the dry etching method include JP-A-59-126506, JP-A-59-46628, JP-A-58-9108, JP-A-58-2809, JP-A-57-148706, JP-A-61-41102. As described in the above publications, there is a method in which a coloring agent is vapor-deposited, a mask resist is applied, and etching is performed after patterning.

本工程のドライエッチングでは、酸素やCF4などのCF系ガス、CO、CO2ガスなどを用い、異方性エッチングすることが可能であり、パターンマスクのパターンにしたがって着色層がエッチングされ、矩形性に優れた色パターン(カラーフィルタ)を形成することができる。 In the dry etching of this step, it is possible to perform anisotropic etching using CF-based gas such as oxygen and CF 4 , CO, CO 2 gas, etc., and the colored layer is etched according to the pattern of the pattern mask, and rectangular A color pattern (color filter) having excellent properties can be formed.

前記エッチング工程後には、パターンマスク、すなわちパターン状に着色層上に設けられている感光性樹脂層(フォトレジスト)を専用の剥離液や溶剤を用いて除去することができる。かかる除去は、上記した5つの工程の全てが終了した後に行なってもよく、除去後、引き続いて二色目以降の色パターンを同様の工程を繰り返して作製することができる。なお、最後の色パターンを形成する場合には、光硬化を行なった後、既設の色パターン上に残存する余分な光硬化性組成物を除去、平坦化を行なって全色のパターン作製を行なうようにしてもよい。   After the etching step, the pattern mask, that is, the photosensitive resin layer (photoresist) provided on the colored layer in a pattern shape can be removed using a dedicated stripping solution or solvent. Such removal may be performed after all of the above five steps are completed, and after the removal, the second and subsequent color patterns can be produced by repeating the same steps. When forming the last color pattern, after photocuring, the excess photocurable composition remaining on the existing color pattern is removed and flattened to produce a pattern of all colors. You may do it.

本発明のカラーフィルタの製造方法においては、カラーフィルタ又はその着色画素を構成する着色層を光硬化すればよく、アルカリ現像で現像する必要が全くなく、フォトリソ法で作製するカラーフィルタに対して同等程度の分光特性を有しながら、アルカリ可溶性バインダーを極力減らせる分、薄膜化を実現させることができる。通常、薄膜化実現のためには、フォトリソ法で作製した塗布膜に対して固形分濃度を上げる必要がある。これに対し、所望とする分光特性を得るためには着色剤の濃度を向上させる必要がある。このため、フォトリソ法で所望の分光特性を保持したまま薄膜化を行なおうとすると、着色剤以外の固形分を下げることとなり、結果的に硬化不良やこれに伴なうアルカリ現像によるパターンの消失(現像、リンス工程での流れ)を招来する。このため、フォトリソ法による薄膜化するにあたっては着色剤濃度に限界があり、特に着色剤濃度が65質量%以上になると、ほとんどパターン形成が不可能となるのが実情である。   In the method for producing a color filter of the present invention, the color filter or the colored layer constituting the colored pixel may be photocured, and it is not necessary to develop by alkali development at all, and is equivalent to a color filter produced by a photolithography method. Thin film can be realized as much as the alkali-soluble binder can be reduced as much as possible while having the spectral characteristics of the degree. Usually, in order to realize a thin film, it is necessary to increase the solid content concentration with respect to a coating film produced by a photolithography method. On the other hand, in order to obtain desired spectral characteristics, it is necessary to improve the concentration of the colorant. For this reason, if a thin film is formed while maintaining the desired spectral characteristics by the photolithography method, the solid content other than the colorant will be lowered, resulting in poor curing and loss of the pattern due to alkali development. (Flow in development and rinsing process). For this reason, there is a limit to the colorant concentration in thinning the film by the photolithographic method. In particular, when the colorant concentration is 65% by mass or more, pattern formation is almost impossible.

これに対して、本発明のカラーフィルタは、光で着色剤を含む着色層を硬化させるようにし、ドライエッチングを利用して着色パターンの形成を行なうため、フォトリソ法に必須成分であるアルカリ可溶性バインダーは、塗布面状保証のために添加剤的に加える以外は着色層に含ませる必要がない。このため、着色剤及び光硬化性化合物と必要に応じて光重合開始剤とで構成し得、着色剤の濃度を50質量%以上、特に65質量%以上の高濃度にすることができる。   In contrast, the color filter of the present invention cures a colored layer containing a colorant with light and forms a colored pattern using dry etching. Therefore, an alkali-soluble binder that is an essential component for the photolithography method. Need not be included in the colored layer other than as an additive for ensuring the coating surface condition. For this reason, it can be comprised with a coloring agent and a photocurable compound, and a photoinitiator as needed, and the density | concentration of a coloring agent can be made into the high density | concentration of 50 mass% or more, especially 65 mass% or more.

また、本発明においては、着色剤濃度が50%質量以上であれば、着色層、すなわちカラーフィルタの厚みを既述した範囲に薄くすることが可能であるが、熱硬化を併用する場合には例えば更に着色剤濃度を70質量%以上とすることが可能である。すなわち、分光特性をほとんど変えずにフォトリソ法での限界以下の膜厚よりも薄い膜の形成が可能である。加えて、着色剤以外の成分に密着性を持たせることで、蒸着法では得られなかった密着性能が高着色剤濃度の系でも実現できる。   In the present invention, if the colorant concentration is 50% by mass or more, the thickness of the colored layer, that is, the color filter can be reduced to the above-described range. For example, the colorant concentration can be further set to 70% by mass or more. That is, it is possible to form a film that is thinner than the limit of the photolithographic method with almost no change in spectral characteristics. In addition, by providing adhesion to components other than the colorant, adhesion performance that could not be obtained by the vapor deposition method can be realized even in a system with a high colorant concentration.

なお、着色剤濃度については、蒸着法によるような100質量%であるのが望ましく、膜厚についても蒸着法によるのが最も薄くなるが、蒸着法では、(1)装置汚染の問題があること、(2)基体及び隣接層との間の密着性が不充分な場合がある。   The concentration of the colorant is preferably 100% by mass as in the vapor deposition method, and the film thickness is also the thinnest in the vapor deposition method. However, in the vapor deposition method, there is a problem of (1) equipment contamination. (2) Adhesion between the substrate and the adjacent layer may be insufficient.

次に、本発明のカラーフィルタの製造方法に用いられる着色剤含有光硬化性組成物について説明する。
本発明に係る着色剤含有光硬化性組成物は、着色剤と光硬化性化合物とを少なくとも含んでなり、前記着色剤の全固形分中における濃度を50質量%以上100質量%未満となるように構成したものである。また、好ましくは、光重合開始剤を含んでなり、更に必要に応じてその他添加物が含有されていてもよい。
Next, the coloring agent containing photocurable composition used for the manufacturing method of the color filter of this invention is demonstrated.
The colorant-containing photocurable composition according to the present invention comprises at least a colorant and a photocurable compound so that the concentration of the colorant in the total solid content is 50% by mass or more and less than 100% by mass. It is configured. Moreover, Preferably, it contains a photoinitiator and may contain the other additive as needed.

−着色剤−
本発明に係る着色剤含有光硬化性組成物は、着色剤の少なくとも1種を含有する。この着色剤には、公知の顔料、染料が含まれ、目的や場合に応じて適宜選択することができる。
-Colorant-
The colorant-containing photocurable composition according to the present invention contains at least one colorant. This colorant includes known pigments and dyes, and can be appropriately selected according to the purpose and the case.

〈顔料〉
顔料としては、従来公知の種々の無機顔料又は有機顔料を用いることができる。また顔料は、無機であれ有機であれ、なるべく細かいものを用いることが好ましく、ハンドリング適性を考慮すると、顔料粒子の粒子径としては、平均粒子径で0.001〜0.1μmが好ましく、0.005〜0.05μmがさらに好ましい。
さらに、前記顔料は、粒子径分布が0.01±0.005μmの範囲内にある顔料粒子を、顔料の総質量に対して75質量%以上含むことが特に好ましい。かかる粒子径分布は、後述する分散方法により顔料を分散することで特に好適に得られる。
<Pigment>
As the pigment, conventionally known various inorganic pigments or organic pigments can be used. In addition, it is preferable to use pigments that are as fine as possible, whether inorganic or organic. In consideration of handling suitability, the average particle diameter of the pigment particles is preferably 0.001 to 0.1 μm, 005 to 0.05 μm is more preferable.
Further, the pigment particularly preferably contains 75% by mass or more of pigment particles having a particle size distribution within a range of 0.01 ± 0.005 μm with respect to the total mass of the pigment. Such a particle size distribution is particularly preferably obtained by dispersing the pigment by a dispersion method described later.

前記無機顔料としては、金属酸化物や金属錯塩などで示される金属化合物が挙げられ、具体的には、アルミニウム、鉄、コバルト、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモンなどの金属酸化物及び前記金属の複合酸化物を挙げることができる。   Examples of the inorganic pigment include metal compounds represented by metal oxides and metal complex salts, and specifically, aluminum, iron, cobalt, cadmium, lead, copper, titanium, magnesium, chromium, zinc, antimony, and the like. Mention may be made of metal oxides and complex oxides of the above metals.

前記有機顔料としては、
C.I.Pigment Yellow 11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199;
C.I.Pigment Orange 36,38,43,71;
C.I.Pigment Red 81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C.I.Pigment Violet 19,23,32,39;
C.I.Pigment Blue 1,2,15,15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C.I.Pigment Green 7,36,37;
C.I.Pigment Brown 25,28;
等を挙げることができる。
As the organic pigment,
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 31, 53, 83, 93, 99, 108, 109, 110, 138, 139, 147, 150, 151, 154, 155, 167, 180, 185, 199;
C. I. Pigment Orange 36, 38, 43, 71;
C. I. Pigment Red 81, 105, 122, 149, 150, 155, 171, 175, 176, 177, 209, 220, 224, 242, 254, 255, 264, 270;
C. I. Pigment Violet 19, 23, 32, 39;
C. I. Pigment Blue 1, 2, 15, 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;
C. I. Pigment Green 7, 36, 37;
C. I. Pigment Brown 25, 28;
Etc.

上記のうち、好ましい有機顔料を以下に挙げる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。
C.I.Pigment Yellow 11,24,108,109,110,138,139,150,151,154,167,180,185;
C.I.Pigment Orange 36,71;
C.I.Pigment Red 122,150,171,175,177,209,224,242,254,255,264;
C.I.Pigment Violet 19,23,32;
C.I.Pigment Blue 15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
Among the above, preferable organic pigments are listed below. However, the present invention is not limited to these.
C. I. Pigment Yellow 11, 24, 108, 109, 110, 138, 139, 150, 151, 154, 167, 180, 185;
C. I. Pigment Orange 36, 71;
C. I. Pigment Red 122, 150, 171, 175, 177, 209, 224, 242, 254, 255, 264;
C. I. Pigment Violet 19, 23, 32;
C. I. Pigment Blue 15: 1, 15: 3, 15: 6, 16, 22, 60, 66;

前記有機顔料は、単独で用いてもよいし、色純度を上げるために複数種を組合せて用いることもできる。具体的な例としては、赤の顔料として、アントラキノン系顔料、ペリレン系顔料、ジケトピロロピロール系顔料の単独、或いは、それらの少なくとも一種と、ジスアゾ系黄色顔料、イソインドリン系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料又はペリレン系赤色顔料との組み合わせなどを用いることができる。例えば、アントラキノン系顔料としてはC.I.ピグメントレッド177、ペリレン系顔料としてはC.I.ピグメントレッド155、C.I.ピグメントレッド224、ジケトピロロピロール系顔料としてはC.I.ピグメントレッド254が挙げられ、色再現性の点で、C.I.ピグメントイエロー83又はC.I.ピグメントイエロー139との組み合わせが好ましい。赤色顔料(R)と黄色顔料(Y)との質量比(R:Y)は、100:5〜100:50が好ましく、100:10〜100:30がさらに好ましい。この質量比が前記範囲内にあると、光透過率を抑えて色純度を向上させることができ、さらに主波長が短波長よりになってNTSC目標色相からずれるのを防止することができる。赤色顔料同士の組み合わせの場合は、色度に併せて調整することができる。   The organic pigments may be used alone or in combination of a plurality of types in order to increase color purity. Specific examples include red pigments such as anthraquinone pigments, perylene pigments, diketopyrrolopyrrole pigments alone or at least one of them, disazo yellow pigments, isoindoline yellow pigments, and quinophthalone pigments. A combination with a yellow pigment or a perylene red pigment can be used. For example, as an anthraquinone pigment, C.I. I. Pigment Red 177 and perylene pigments include C.I. I. Pigment red 155, C.I. I. Pigment Red 224 and diketopyrrolopyrrole pigments include C.I. I. Pigment Red 254, and C.I. I. Pigment yellow 83 or C.I. I. A combination with Pigment Yellow 139 is preferred. The mass ratio (R: Y) between the red pigment (R) and the yellow pigment (Y) is preferably 100: 5 to 100: 50, more preferably 100: 10 to 100: 30. When the mass ratio is within the above range, the light transmittance can be suppressed to improve the color purity, and further, the main wavelength can be prevented from being shifted from the NTSC target hue due to the short wavelength. In the case of a combination of red pigments, it can be adjusted in accordance with the chromaticity.

緑の顔料としては、ハロゲン化フタロシアニン系顔料単独、或いは、これとジスアゾ系黄色顔料、キノフタロン系黄色顔料、アゾメチン系黄色顔料又はイソインドリン系黄色顔料との組み合わせを用いることができる。例えば、C.I.ピグメントグリーン7,36,37とC.I.ピグメントイエロー83,C.I.ピグメントイエロー138,C.I.ピグメントイエロー139,C.I.ピグメントイエロー150,C.I.ピグメントイエロー180又はC.I.ピグメントイエロー185との混合が好ましい。緑色顔料(G)と黄色顔料(Y)との質量比(G:Y)は、100:5〜100:150が好ましく、100:30〜100:120がさらに好ましい。この質量比が前記範囲内にあると、400〜450nmの光透過率が抑えられ、色純度を向上させることができると共に、更に主波長が長波長よりになってNTSC目標色相からずれるのを防止することができる。   As the green pigment, a halogenated phthalocyanine pigment alone or a combination thereof with a disazo yellow pigment, a quinophthalone yellow pigment, an azomethine yellow pigment or an isoindoline yellow pigment can be used. For example, C.I. I. Pigment Green 7, 36, 37 and C.I. I. Pigment yellow 83, C.I. I. Pigment yellow 138, C.I. I. Pigment yellow 139, C.I. I. Pigment yellow 150, C.I. I. Pigment yellow 180 or C.I. I. Mixing with Pigment Yellow 185 is preferred. The mass ratio (G: Y) between the green pigment (G) and the yellow pigment (Y) is preferably 100: 5 to 100: 150, more preferably 100: 30 to 100: 120. When this mass ratio is within the above range, the light transmittance of 400 to 450 nm can be suppressed, the color purity can be improved, and further, the main wavelength becomes longer than that of the NTSC target hue. can do.

青の顔料としては、フタロシアニン系顔料単独、或いは、これとジオキサジン系紫色顔料との組み合わせを用いることができる。該組み合わせとしては、例えば、C.I.ピグメントブルー15:6とC.I.ピグメントバイオレット23との混合が好ましい。青色顔料(B)と紫色顔料(V)との質量比(B:V)は、100:0〜100:30が好ましく、より好ましくは100:0〜100:10である。   As the blue pigment, a phthalocyanine pigment alone or a combination of this with a dioxazine purple pigment can be used. Examples of the combination include C.I. I. Pigment blue 15: 6 and C.I. I. Mixing with pigment violet 23 is preferred. The mass ratio (B: V) between the blue pigment (B) and the purple pigment (V) is preferably 100: 0 to 100: 30, and more preferably 100: 0 to 100: 10.

更に前記顔料が、アクリル系樹脂、マレイン酸系樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニルコポリマー、エチルセルロース樹脂等に微分散された粉末状加工顔料を用いることによって、分散性及び分散安定性の良好な組成物を調製することができる。   Furthermore, by using a powdery processed pigment in which the pigment is finely dispersed in an acrylic resin, a maleic acid resin, a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, an ethyl cellulose resin, etc., a composition having good dispersibility and dispersion stability can be obtained. Can be prepared.

本発明の着色剤含有光硬化性組成物は、顔料粒子を微粒子化し、且つその粒子サイズ分布をシャープにした顔料を用いるのが好適である。具体的には、平均粒子径が0.01μm程度であり、且つ75質量%以上の粒子径が0.01±0.005μmの範囲にある顔料粒子から構成される顔料を用いるのが好ましい。顔料の粒子サイズ分布を上述の範囲に調整するためには、顔料の分散方法が特に重要であり、顔料の分散方法については後述する。   In the colorant-containing photocurable composition of the present invention, it is preferable to use a pigment having finely divided pigment particles and a sharp particle size distribution. Specifically, it is preferable to use a pigment composed of pigment particles having an average particle size of about 0.01 μm and a particle size of 75% by mass or more in the range of 0.01 ± 0.005 μm. In order to adjust the particle size distribution of the pigment to the above range, the pigment dispersion method is particularly important, and the pigment dispersion method will be described later.

また、本発明においては、あらかじめアクリル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル樹脂、マレイン酸樹脂、エチルセルロース樹脂、ニトロセルロース樹脂等で処理した加工顔料も好適に用いることができる。本発明において、前記の種々の樹脂で処理された加工顔料の形態としては、樹脂と顔料が均一に分散している粉末、ペースト状、ペレット状、ペースト状が好ましい。   In the present invention, processed pigments previously treated with an acrylic resin, vinyl chloride-vinyl acetate resin, maleic acid resin, ethyl cellulose resin, nitrocellulose resin or the like can also be suitably used. In the present invention, the processed pigment treated with the various resins is preferably a powder, paste, pellet, or paste in which the resin and the pigment are uniformly dispersed.

〈染料〉
染料としては、特に制限なく使用することができ、従来カラーフィルタ用として公知の染料などが挙げられる。例えば、特開昭64−90403号公報、特開昭64−91102号公報、特開平1−94301号公報、特開平6−11614号公報、特登2592207号、米国特許第4,808,501号明細書、米国特許第5,667,920号明細書、米国特許第5,059,500号明細書、特開平5−333207号公報、特開平6−35183号公報、特開平6−51115号公報、特開平6−194828号公報等に記載の色素が挙げられる。
<dye>
The dye can be used without any particular limitation, and conventionally known dyes for color filters can be used. For example, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-90403, Japanese Patent Application Laid-Open No. 64-91102, Japanese Patent Application Laid-Open No. 1-94301, Japanese Patent Application Laid-Open No. 6-11614, No. 2592207, US Pat. No. 4,808,501. Specification, US Pat. No. 5,667,920, US Pat. No. 5,059,500, JP-A-5-333207, JP-A-6-35183, JP-A-6-51115 And dyes described in JP-A-6-194828.

化学構造の観点からは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系等のアゾ系、トリフェニルメタン系、アントラキノン系、ベンジリデン系、オキソノール系、シアニン系、フェノチアジン系、ピロロピラゾールアゾメチン系、キサンテン系、フタロシアニン系、ベンゾピラン系、インジゴ系、アンスラピリドン系等の染料が使用でき、好ましくは、ピラゾールアゾ系、アニリノアゾ系、ピラゾロトリアゾールアゾ系、ピリドンアゾ系、アントラキノン系、アンスラピリドン系の染料である。   From the viewpoint of chemical structure, azo compounds such as pyrazole azo, anilino azo, pyrazolo triazole azo, pyridone azo, triphenylmethane, anthraquinone, benzylidene, oxonol, cyanine, phenothiazine, pyrrolopyrazole azomethine , Xanthene, phthalocyanine, benzopyran, indigo, anthrapyridone and the like can be used, preferably pyrazole azo, anilinoazo, pyrazolotriazole azo, pyridone azo, anthraquinone, anthrapyridone It is a dye.

また、水又はアルカリ現像を行なうレジスト系に構成される場合には、現像により後述するバインダー及び/又は染料を完全に除去する観点から、酸性染料及び/又はその誘導体を好適に使用できることがある。そのほか、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、及び/又はこれらの誘導体等も有用に使用することができる。
以下、酸性染料及びその誘導体について詳述する。
In the case of a resist system that performs water or alkali development, an acid dye and / or a derivative thereof may be preferably used from the viewpoint of completely removing a binder and / or dye described later by development. In addition, direct dyes, basic dyes, mordant dyes, acid mordant dyes, azoic dyes, disperse dyes, oil-soluble dyes, food dyes, and / or derivatives thereof can also be used effectively.
Hereinafter, the acid dye and its derivative will be described in detail.

−酸性染料及びその誘導体−
酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸やフェノール性水酸基等の酸性基を有する色素であれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩基性化合物との塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを考慮して選択される。
-Acid dyes and their derivatives-
The acidic dye is not particularly limited as long as it is a dye having an acidic group such as sulfonic acid, carboxylic acid, phenolic hydroxyl group, etc., but is soluble in an organic solvent or a developer, salt-forming with a basic compound, absorbance, curability. It is selected in consideration of all required performance such as interaction with other components in the composition, light resistance, heat resistance and the like.

以下、前記酸性染料の具体例を挙げる。但し、本発明においてはこれらに限定されるものではない。例えば、
Acid alizarin violet N;
Acid black 1,2,24,48;
Acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103,112,113,120,129,138,147,150,158,171,182,192,210,242,243,256,259,267,278,280,285,290,296,315,324:1,335,340;
Acid chrome violet K;
Acid Fuchsin;
Acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
Acid orange 6,7,8,10,12,26,50,51,52,56,62,63,64,74,75,94,95,107,108,169,173;
Hereinafter, specific examples of the acid dye will be given. However, the present invention is not limited to these. For example,
Acid alizarin violet N;
Acid black 1, 2, 24, 48;
Acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,42,45,51,62,70,74,80,83,86,87,90,92,96,103, 112, 113, 120, 129, 138, 147, 150, 158, 171, 182, 192, 210, 242, 243, 256, 259, 267, 278, 280, 285, 290, 296, 315, 324: 1, 335, 340;
Acid chroma violet K;
Acid Fuchsin;
Acid green 1,3,5,9,16,25,27,50,58,63,65,80,104,105,106,109;
Acid orange 6, 7, 8, 10, 12, 26, 50, 51, 52, 56, 62, 63, 64, 74, 75, 94, 95, 107, 108, 169, 173;

Acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,182,183,198,206,211,215,216,217,227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349,382,383,394,401,412,417,418,422,426;
Acid violet 6B,7,9,17,19;
Acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112,113,114,116,119,123,128,134,135,138,139,140,144,150,155,157,160,161,163,168,169,172,177,178,179,184,190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;
Acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88, 91, 92, 94, 97, 103, 111, 114, 129, 133, 134, 138, 143, 145, 150, 151, 158, 176, 182, 183, 198, 206, 211, 215, 216, 217, 227,228,249,252,257,258,260,261,266,268,270,274,277,280,281,195,308,312,315,316,339,341,345,346,349, 382, 383, 394, 401, 412, 417, 418, 422, 426;
Acid violet 6B, 7, 9, 17, 19;
Acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,38,40,42,54,65,72,73,76,79,98,99,111,112, 113, 114, 116, 119, 123, 128, 134, 135, 138, 139, 140, 144, 150, 155, 157, 160, 161, 163, 168, 169, 172, 177, 178, 179, 184 190,193,196,197,199,202,203,204,205,207,212,214,220,221,228,230,232,235,238,240,242,243,251;

Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129,136,138,141;
Direct Orange 34,39,41,46,50,52,56,57,61,64,65,68,70,96,97,106,107;
Direct Red 79,82,83,84,91,92,96,97,98,99,105,106,107,172,173,176,177,179,181,182,184,204,207,211,213,218,220,221,222,232,233,234,241,243,246,250;
Direct Violet 47,52,54,59,60,65,66,79,80,81,82,84,89,90,93,95,96,103,104;
Direct Yellow 2,33,34,35,38,39,43,47,50,54,58,68,69,70,71,86,93,94,95,98,102,108,109,129, 136, 138, 141;
Direct Orange 34, 39, 41, 46, 50, 52, 56, 57, 61, 64, 65, 68, 70, 96, 97, 106, 107;
Direct Red 79, 82, 83, 84, 91, 92, 96, 97, 98, 99, 105, 106, 107, 172, 173, 176, 177, 179, 181, 182, 184, 204, 207, 211, 213, 218, 220, 221, 222, 232, 233, 234, 241, 243, 246, 250;
Direct Violet 47, 52, 54, 59, 60, 65, 66, 79, 80, 81, 82, 84, 89, 90, 93, 95, 96, 103, 104;

Direct Blue 57,77,80,81,84,85,86,90,93,94,95,97,98,99,100,101,106,107,108,109,113,114,115,117,119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,163,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193,194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252,256,257,259,260,268,274,275,293;
Direct Green 25,27,31,32,34,37,63,65,66,67,68,69,72,77,79,82;
Direct Blue 57, 77, 80, 81, 84, 85, 86, 90, 93, 94, 95, 97, 98, 99, 100, 101, 106, 107, 108, 109, 113, 114, 115, 117, 119,137,149,150,153,155,156,158,159,160,161,162,164,166,167,170,171,172,173,188,189,190,192,193 194,196,198,199,200,207,209,210,212,213,214,222,228,229,237,238,242,243,244,245,247,248,250,251,252, 256, 257, 259, 260, 268, 274, 275, 293;
Direct Green 25, 27, 31, 32, 34, 37, 63, 65, 66, 67, 68, 69, 72, 77, 79, 82;

Mordant Yellow 5,8,10,16,20,26,30,31,33,42,43,45,56,50,61,62,65;
Mordant Orange 3,4,5,8,12,13,14,20,21,23,24,28,29,32,34,35,36,37,42,43,47,48;
Mordant Red 1,2,3,4,9,11,12,14,17,18,19,22,23,24,25,26,30,32,33,36,37,38,39,41,43,45,46,48,53,56,63,71,74,85,86,88,90,94,95;
Mordant Violet 2,4,5,7,14,22,24,30,31,32,37,40,41,44,45,47,48,53,58;
Mordant Blue 2,3,7,8,9,12,13,15,16,19,20,21,22,23,24,26,30,31,32,39,40,41,43,44,48,49,53,61,74,77,83,84;
Mordant Green 1,3,4,5,10,15,19,26,29,33,34,35,41,43,53;
Food Yellow 3;
、及びこれらの染料の誘導体が挙げられる。
Modern Yellow 5, 8, 10, 16, 20, 26, 30, 31, 33, 42, 43, 45, 56, 50, 61, 62, 65;
Modern Orange 3, 4, 5, 8, 12, 13, 14, 20, 21, 23, 24, 28, 29, 32, 34, 35, 36, 37, 42, 43, 47, 48;
Modern Red 1, 2, 3, 4, 9, 11, 12, 14, 17, 18, 19, 22, 23, 24, 25, 26, 30, 32, 33, 36, 37, 38, 39, 41, 43, 45, 46, 48, 53, 56, 63, 71, 74, 85, 86, 88, 90, 94, 95;
Modern Violet 2, 4, 5, 7, 14, 22, 24, 30, 31, 32, 37, 40, 41, 44, 45, 47, 48, 53, 58;
Modern Blue 2, 3, 7, 8, 9, 12, 13, 15, 16, 19, 20, 21, 22, 23, 24, 26, 30, 31, 32, 39, 40, 41, 43, 44, 48, 49, 53, 61, 74, 77, 83, 84;
Modern Green 1, 3, 4, 5, 10, 15, 19, 26, 29, 33, 34, 35, 41, 43, 53;
Food Yellow 3;
And derivatives of these dyes.

前記酸性染料の中でも、Acid black 24;
Acid blue 23,25,29,62,80,86,87,92,138,158,182,243,324:1;
Acid orange 8,51,56,74,63;
Acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
Acid violet 7;
Acid yellow 17,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,134,155,169,172,184,220,228,230,232,243;
Acid green 25;
などの染料及びこれらの染料の誘導体が好ましい。
Among the acid dyes, Acid black 24;
Acid blue 23, 25, 29, 62, 80, 86, 87, 92, 138, 158, 182, 243, 324: 1;
Acid orange 8, 51, 56, 74, 63;
Acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217,249;
Acid violet 7;
Acid yellow 17, 25, 29, 34, 42, 72, 76, 99, 111, 112, 114, 116, 134, 155, 169, 172, 184, 220, 228, 230, 232, 243;
Acid green 25;
Dyes such as these and derivatives of these dyes are preferred.

また、前記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44,38;C.I.Solvent Orange45;Rhodamine B,Rhodamine 110、3−[(5−chloro−2−phenoxyphenyl)hydrazono]−3,4−dihydro−4−oxo−5−[(phenylsulfonyl)amino]−2,7−Naphthalenedisulfonic acid等の酸性染料及びこれらの染料の誘導体も好適に使用することができる。   Other than the above, azo, xanthene and phthalocyanine acid dyes are also preferred. I. Solvent Blue 44, 38; I. Solvent Orange 45; Rhodamine B, Rhodamine 110, 3-[(5-chloro-2-phenoxyphenyl) hydrazono] -3,4-dihydro-4-oxo-5-[(phenylsulfonyl) amino] -2,7-naphthyl, etc. These acid dyes and derivatives of these dyes can also be suitably used.

酸性染料の誘導体としては、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有する酸性染料の無機塩、酸性染料と含窒素化合物との塩、酸性染料のスルホンアミド体等が使用でき、硬化性組成物溶液として溶解させることができるものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とする性能の全てを考慮して選択される。   As the derivative of the acid dye, an inorganic salt of an acid dye having an acid group such as sulfonic acid or carboxylic acid, a salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound, a sulfonamide of an acid dye, etc. can be used, and a curable composition solution Is not particularly limited as long as it can be dissolved, but it requires solubility in organic solvents and developer, absorbance, interaction with other components in the curable composition, light resistance, heat resistance, etc. It is selected considering all of the performance.

前記「酸性染料と含窒素化合物との塩」を形成する方法は、酸性染料の溶解性改良(有機溶剤への溶解性付与)や、耐熱性及び耐光性改良に効果的な場合がある。
次に、酸性染料と塩を形成する含窒素化合物、及び酸性染料とアミド結合を形成する含窒素化合物について説明する。
The method for forming the “salt of an acid dye and a nitrogen-containing compound” may be effective for improving the solubility of the acid dye (providing solubility in an organic solvent), and improving heat resistance and light resistance.
Next, a nitrogen-containing compound that forms a salt with an acidic dye and a nitrogen-containing compound that forms an amide bond with an acidic dye will be described.

前記含窒素化合物は、塩又はアミド化合物の有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度・色価、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、着色剤としての耐熱性及び耐光性等の全てを勘案して選択される。吸光度・色価の観点のみで選択する場合には、前記含窒素化合物としてはできるだけ分子量の低いものが好ましく、中でも、分子量300以下のものが好ましく、分子量280以下のものがより好ましく、分子量250以下のものが特に好ましい。   The nitrogen-containing compound is a salt or amide compound in an organic solvent or developer, salt-forming property, dye absorbance / color value, interaction with other components in the curable composition, heat resistance as a colorant. Selected in consideration of all of light and light resistance. When selecting only from the viewpoint of absorbance and color value, the nitrogen-containing compound preferably has a molecular weight as low as possible. Among them, a molecular weight of 300 or less is preferable, a molecular weight of 280 or less is more preferable, and a molecular weight of 250 or less. Are particularly preferred.

前記「酸性染料と含窒素化合物との塩」における含窒素化合物/酸性染料のモル比(以下、nとする。)は、酸性染料分子と対イオンであるアミン化合物とのモル比率を決定する値であり、酸性染料−アミン化合物の塩形成条件によって自由に選択することができる。
具体的には、酸性染料中の酸の官能基数の0<n≦5の間の数値が実用上多く用いられ、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の全てを考慮して選択される。吸光度のみの観点で選択する場合には、nは0<n≦4.5の間の数値をとることが好ましく、0<n≦4の間の数値をとることがより好ましく、0<n≦3.5の間の数値をとることが特に好ましい。
The molar ratio (hereinafter referred to as n) of the nitrogen-containing compound / acid dye in the “salt of acid dye and nitrogen-containing compound” is a value that determines the molar ratio of the acid dye molecule and the amine compound that is a counter ion. And can be freely selected according to the salt forming conditions of the acid dye-amine compound.
Specifically, a number between 0 <n ≦ 5 of the number of functional groups of the acid in the acid dye is practically used, and the solubility in organic solvents and developers, salt formation, absorbance, and curable composition It is selected in consideration of all necessary performance such as interaction with other components, light resistance, heat resistance and the like. When selecting only from the viewpoint of absorbance, n preferably takes a numerical value between 0 <n ≦ 4.5, more preferably a numerical value between 0 <n ≦ 4, and 0 <n ≦ It is particularly preferred to take a numerical value between 3.5.

前記酸性染料は、構造上酸性基を導入したことによって酸性染料となっていることから、その置換基を変更することで非酸性染料とすることもできる。また、酸性染料は、アルカリ現像の際に好適に作用する場合もあるが、一方で過現像となることもあり、非酸性染料を好適に使用する場合もある。   Since the acidic dye is an acidic dye by introducing an acidic group in structure, it can be made a non-acidic dye by changing the substituent. In addition, the acid dye may suitably act during alkali development, but on the other hand, it may be over-developed, and a non-acid dye may be preferably used.

着色剤の着色層中における濃度としては、全固形分に対して50質量%以上100質量%未満が好ましく、60質量%以上95質量%以下がより好ましく、65質量%以上90質量%以下が特に好ましい。着色剤の濃度が前記範囲内であると、所望の分光特性が得られると共に、グレーバランスの良好な画像(カラーフィルタを含む。)の形成に有効であると共に、硬化性の点でも好ましい。   The concentration of the colorant in the colored layer is preferably 50% by mass or more and less than 100% by mass, more preferably 60% by mass or more and 95% by mass or less, and particularly preferably 65% by mass or more and 90% by mass or less with respect to the total solid content. preferable. When the concentration of the colorant is within the above range, desired spectral characteristics can be obtained, and it is effective for forming an image with good gray balance (including a color filter), and it is also preferable from the viewpoint of curability.

−光硬化性化合物−
着色層(又は着色剤含有光硬化性組成物)は、光硬化性化合物の少なくとも1種を含有する。光硬化性化合物の例としては、ラジカル重合性モノマーである単管能や多官能アクリレートなど、ラジカル重合オリゴマーとしてポリエステルアクリレートやウレタンアクリレート、エポキシアクリレートなど、ラジカル重合ポリマーの他、カチオン重合化合物としてのエポキシ、オキセタン等が一般に挙げられる。
-Photocurable compound-
The colored layer (or the colorant-containing photocurable composition) contains at least one photocurable compound. Examples of photocurable compounds include radically polymerizable monomers such as single-capacity and polyfunctional acrylates, radically polymerized oligomers such as polyester acrylates, urethane acrylates, and epoxy acrylates, as well as radically polymerized polymers and epoxy as cationically polymerized compounds. In general, oxetane and the like are mentioned.

前記ラジカル重合性モノマーとしては、少なくとも一つの付加重合可能なエチレン性二重結合を有すると共に、常圧下での沸点が100℃以上である化合物が好ましい。このラジカル重合性モノマーは、後述する光重合開始剤等と共に含有することにより、着色剤含有光硬化性組成物をネガ型の光硬化性に構成することができる。   The radical polymerizable monomer is preferably a compound having at least one addition-polymerizable ethylenic double bond and having a boiling point of 100 ° C. or higher under normal pressure. By containing this radical polymerizable monomer together with a photopolymerization initiator, which will be described later, the colorant-containing photocurable composition can be configured to have a negative photocurability.

ラジカル重合性モノマーの例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、   Examples of radically polymerizable monomers include monofunctional acrylates and methacrylates such as polyethylene glycol mono (meth) acrylate, polypropylene glycol mono (meth) acrylate, phenoxyethyl (meth) acrylate; polyethylene glycol di (meth) acrylate, Methylolethane tri (meth) acrylate, neopentyl glycol di (meth) acrylate, pentaerythritol tri (meth) acrylate, pentaerythritol tetra (meth) acrylate, dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate Hexanediol (meth) acrylate,

トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号の各公報に記載のウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号の各公報に記載のポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレート及びこれらの混合物を挙げることができる。
更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマー及びオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
Trimethylolpropane tri (acryloyloxypropyl) ether, tri (acryloyloxyethyl) isocyanurate, polymethic alcohol such as glycerin and trimethylolethane, and (meth) acrylate after addition of ethylene oxide or propylene oxide, Urethane acrylates described in JP-B-48-41708, JP-B-50-6034, JP-A-51-37193, JP-A-48-64183, JP-B-49-43191, JP-B-52- Examples include polyester acrylates described in each publication of No. 30490, polyfunctional acrylates and methacrylates such as epoxy acrylates which are reaction products of epoxy resin and (meth) acrylic acid, and mixtures thereof.
Furthermore, the Japan Adhesion Association Vol. 20, No. 7, pages 300 to 308, which are introduced as photocurable monomers and oligomers.

ラジカル重合性モノマーを用いる場合の着色剤含有光硬化性組成物中における含有量としては、該組成物の全固形分(質量)に対して、0.1〜70質量が好ましく、1.0〜60質量%が更に好ましく、2.0〜50質量%が特に好ましい。   As content in the coloring agent containing photocurable composition in the case of using a radically polymerizable monomer, 0.1-70 mass is preferable with respect to the total solid (mass) of this composition, and 1.0- 60 mass% is still more preferable, and 2.0-50 mass% is especially preferable.

また、光硬化性化合物の着色剤含有光硬化性組成物中における総含有量としては、素材でも異なるが、該組成物の全固形分(質量)に対して、0.1〜90質量%が好ましく、0.2〜80質量%がより好ましく、1〜70質量%が特に好ましい。   Moreover, as total content in the coloring agent containing photocurable composition of a photocurable compound, although it changes also with a raw material, 0.1-90 mass% is with respect to the total solid (mass) of this composition. Preferably, 0.2-80 mass% is more preferable, and 1-70 mass% is especially preferable.

−光重合開始剤−
本発明に係る着色剤含有光硬化性組成物には、上記以外に、前記光硬化性化合物(特にラジカル重合性モノマー)と共に、光重合開始剤の少なくとも一種を含有することが好ましい。この光重合開始剤を既述の光硬化性化合物(特にラジカル重合性モノマー)と共に含有することで、光着色剤含有硬化性組成物をネガ型に好適に構成することができる。
-Photopolymerization initiator-
In addition to the above, the colorant-containing photocurable composition according to the present invention preferably contains at least one photopolymerization initiator together with the photocurable compound (particularly a radical polymerizable monomer). By containing this photopolymerization initiator together with the above-described photocurable compound (particularly, radically polymerizable monomer), the photocolorant-containing curable composition can be suitably configured as a negative type.

光重合開始剤としては、光硬化性化合物(特にラジカル重合性モノマー)を重合させ得るものであれば、特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれるのが好ましい。   The photopolymerization initiator is not particularly limited as long as it can polymerize a photocurable compound (particularly a radical polymerizable monomer), but is selected from the viewpoints of characteristics, initiation efficiency, absorption wavelength, availability, cost, and the like. Is preferred.

前記光重合開始剤としては、例えば、ハロメチルオキサジアゾール系化合物及びハロメチル−s−トリアジン系化合物から選択される少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物及びその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体及びその塩、オキシム系化合物等が挙げられる。   Examples of the photopolymerization initiator include at least one active halogen compound selected from a halomethyloxadiazole-based compound and a halomethyl-s-triazine-based compound, a 3-aryl-substituted coumarin compound, a lophine dimer, and a benzophenone compound. Acetophenone compounds and derivatives thereof, cyclopentadiene-benzene-iron complexes and salts thereof, and oxime compounds.

前記ハロメチルオキサジアゾール系化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭57−6096号公報に記載の2−ハロメチル−5−ビニル−1,3,4−オキサジアゾール化合物等や、2−トリクロロメチル−5−スチリル−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−シアノスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、2−トリクロロメチル−5−(p−メトキシスチリル)−1,3,4−オキサジアゾール、等が挙げられる。   Examples of the active halogen compound which is the halomethyloxadiazole compound include 2-halomethyl-5-vinyl-1,3,4-oxadiazole compounds described in JP-B-57-6096, 2-trichloro Methyl-5-styryl-1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p-cyanostyryl) -1,3,4-oxadiazole, 2-trichloromethyl-5- (p- Methoxystyryl) -1,3,4-oxadiazole, and the like.

前記ハロメチル−s−トリアジン系化合物である活性ハロゲン化合物としては、特公昭59−1281号公報に記載のビニル−ハロメチル−s−トリアジン化合物、特開昭53−133428号公報に記載の2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−ハロメチル−s−トリアジン化合物及び4−(p−アミノフェニル)−2,6−ジ−ハロメチル−s−トリアジン化合物、等が挙げられる。   Examples of the active halogen compound that is the halomethyl-s-triazine compound include vinyl-halomethyl-s-triazine compounds described in Japanese Patent Publication No. 59-1281 and 2- (naphtho) described in JP-A-53-133428. -1-yl) -4,6-bis-halomethyl-s-triazine compound and 4- (p-aminophenyl) -2,6-di-halomethyl-s-triazine compound.

具体的には、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(3,4−メチレンジオキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,6−ビス(トリクロロメチル)−4−(4−メトキシフェニル)−1,3,5−トリアジン、2,4−ビス(トリクロロメチル)−6−(1−p−ジメチルアミノフェニル−1,3−ブタジエニル)−s−トリアジン、2−トリクロロメチル−4−アミノ−6−p−メトキシスチリル−s−トリアジン、2−(ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−エトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4−ブトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−メトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、   Specifically, 2,4-bis (trichloromethyl) -6-p-methoxystyryl-s-triazine, 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (3,4-methylenedioxyphenyl) -1 , 3,5-triazine, 2,6-bis (trichloromethyl) -4- (4-methoxyphenyl) -1,3,5-triazine, 2,4-bis (trichloromethyl) -6- (1-p -Dimethylaminophenyl-1,3-butadienyl) -s-triazine, 2-trichloromethyl-4-amino-6-p-methoxystyryl-s-triazine, 2- (naphth-1-yl) -4,6- Bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-ethoxy-naphth-1-yl)- , 6-Bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4-butoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-methoxyethyl) -Naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine,

2−〔4−(2−エトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−〔4−(2−ブトキシエチル)−ナフト−1−イル〕−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(2−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−5−メチル−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−メトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(5−メトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,7−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(6−エトキシ−ナフト−2−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、2−(4,5−ジメトキシ−ナフト−1−イル)−4,6−ビス−トリクロロメチル−s−トリアジン、 2- [4- (2-Ethoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- [4- (2-butoxyethyl) -naphth-1-yl] -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (2-methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-5- Methyl-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (6-methoxy-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2 -(5-Methoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,7-dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl -S-triazine, 2- 6-Ethoxy-naphth-2-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s-triazine, 2- (4,5-dimethoxy-naphth-1-yl) -4,6-bis-trichloromethyl-s -Triazine,

4−〔p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−メチル−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔p−N,N−ジ(フェニル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(p−N−クロロエチルカルボニルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-methyl-pN, N-di (ethoxycarbonyl) Methyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine 4- [o-methyl-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-chloroethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (p-N-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [p-N, -Di (phenyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (pN-chloroethylcarbonylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine ,

4−〔p−N−(p−メトキシフェニル)カルボニルアミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [pN- (p-methoxyphenyl) carbonylaminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [mN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s- Triazine, 4- [m-chloro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) Minophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl)- s-triazine,

4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(エトキシカルボニルメチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔o−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−ブロモ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−〔m−クロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [o-fluoro-pN, N-di (ethoxycarbonylmethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-bromo-pN, N- Di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [o-chloro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloro Methyl) -s-triazine, 4- [o-fluoro-p-N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-bromo-p -N, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- [m-chloro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2, 6-di (trick Romechiru) -s- triazine,

4−〔m−フロロ−p−N,N−ジ(クロロエチル)アミノフェニル〕−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、 4- [m-Fluoro-pN, N-di (chloroethyl) aminophenyl] -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylamino) Phenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4 -(M-Fluoro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-chloro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloro) Methyl) -s-triazine,

4−(o−フロロ−p−N−エトキシカルボニルメチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(m−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−ブロモ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−クロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、4−(o−フロロ−p−N−クロロエチルアミノフェニル)−2,6−ジ(トリクロロメチル)−s−トリアジン、等が挙げられる。 4- (o-Fluoro-pN-ethoxycarbonylmethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-bromo-pN-chloroethylaminophenyl) -2 , 6-Di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (m-fluoro -PN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-bromo-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) ) -S-triazine, 4- (o-chloro-pN-chloroethylaminophenyl) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, 4- (o-fluoro-pN-chloro) Ethylamino) -2,6-di (trichloromethyl) -s-triazine, and the like.

その他、みどり化学社製のTAZシリーズ(例えば、TAZ−107、TAZ−110、TAZ−104、TAZ−109、TAZ−140、TAZ−204、TAZ−113、TAZ−123)、PANCHIM社製のTシリーズ(例えば、T−OMS、T−BMP、T−R、T−B)、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製のイルガキュアシリーズ(例えば、イルガキュア651、イルガキュア184、イルガキュア500、イルガキュア1000、イルガキュア149、イルガキュア819、イルガキュア261)、ダロキュアシリーズ(例えばダロキュア1173)、4,4′−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、   In addition, TAZ series (for example, TAZ-107, TAZ-110, TAZ-104, TAZ-109, TAZ-140, TAZ-204, TAZ-113, TAZ-123) manufactured by Midori Chemical, T manufactured by PANCHIM Series (for example, T-OMS, T-BMP, TR, TB), Irgacure series (for example, Irgacure 651, Irgacure 184, Irgacure 500, Irgacure 1000, Irgacure 149, Ciba Specialty Chemicals) Irgacure 819, Irgacure 261), Darocur series (eg Darocur 1173), 4,4'-bis (diethylamino) -benzophenone, 2- (O-benzoyloxime) -1- [4- (phenylthio) phenyl] -1, 2-octanedione, 2 Benzyl-2-dimethylamino-4-morpholinobutyrophenone Ciro acetophenone, 2,2-dimethoxy-2-phenylacetophenone,

2−(o−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル、等も有用である。 2- (o-chlorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-fluorophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (o-methoxyphenyl) -4,5 -Diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (2, Also useful are 4-dimethoxyphenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, 2- (p-methylmercaptophenyl) -4,5-diphenylimidazolyl dimer, benzoin isopropyl ether, and the like.

これら光重合開始剤には、増感剤や光安定剤を併用することができる。具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−エトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンジルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(又はミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。   A sensitizer and a light stabilizer can be used in combination with these photopolymerization initiators. Specific examples include benzoin, benzoin methyl ether, 9-fluorenone, 2-chloro-9-fluorenone, 2-methyl-9-fluorenone, 9-anthrone, 2-bromo-9-anthrone, 2-ethyl-9-anthrone, 9,10-anthraquinone, 2-ethyl-9,10-anthraquinone, 2-t-butyl-9,10-anthraquinone, 2,6-dichloro-9,10-anthraquinone, xanthone, 2-methylxanthone, 2-methoxy Xanthone, 2-ethoxyxanthone, thioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, acridone, 10-butyl-2-chloroacridone, benzyl, dibenzylacetone, p- (dimethylamino) phenylstyryl ketone, p- (dimethylamino) Phenyl-p-methylstyryl ketone, Examples include zophenone, p- (dimethylamino) benzophenone (or Michler's ketone), p- (diethylamino) benzophenone, benzoanthrone, benzothiazole compounds described in Japanese Patent Publication No. 51-48516, and tinuvin 1130, 400. It is done.

また、前記光重合開始剤以外に他の公知の開始剤を使用することもできる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に記載のビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号及び第2,367,670号明細書に記載のα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に記載のアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に記載のα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号及び第2,951,758号明細書に記載の多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に記載のトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に記載のベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物、等を挙げることができる。
In addition to the photopolymerization initiator, other known initiators can also be used.
Specifically, the vicinal polykettle aldonyl compound described in US Pat. No. 2,367,660, the α described in US Pat. Nos. 2,367,661 and 2,367,670 Carbonyl compounds, acyloin ethers described in US Pat. No. 2,448,828, aromatic acyloin compounds substituted with α-hydrocarbons described in US Pat. No. 2,722,512, US Polynuclear quinone compounds described in Patent Nos. 3,046,127 and 2,951,758, and triallylimidazole dimer / p-aminophenyl ketone described in US Pat. No. 3,549,367. Combinations, benzothiazole compounds / trihalomethyl-s-triazine compounds described in JP-B 51-48516, and the like can be mentioned.

光重合開始剤(及び公知の開始剤)の総使用量としては、前記光硬化性化合物(特にラジカル重合性モノマー)の固形分(質量)に対して、0.01〜50質量%が好ましく、1〜30質量%がより好ましく、1〜20質量%が特に好ましい。該総使用量が前記範囲内であると、良好な重合反応性、膜強度を確保することができる。   The total amount of the photopolymerization initiator (and the known initiator) is preferably 0.01 to 50% by mass with respect to the solid content (mass) of the photocurable compound (particularly the radical polymerizable monomer), 1-30 mass% is more preferable, and 1-20 mass% is especially preferable. When the total amount used is within the above range, good polymerization reactivity and film strength can be ensured.

−その他各種添加物−
着色層及び、これを構成する着色剤含有光硬化性組成物には、上記した成分以外に、本発明の効果を損なわない範囲で、必要に応じてその他の各種添加物、例えば、バインダー、架橋剤、硬化剤、硬化触媒、溶剤、充填剤、高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、分散剤等の各種添加物を添加することができる。
-Other various additives-
The colored layer and the colorant-containing photocurable composition that constitutes the colored layer, in addition to the above-described components, other various additives as necessary, for example, a binder, a cross-linkage, as long as the effects of the present invention are not impaired. Various additives such as an agent, a curing agent, a curing catalyst, a solvent, a filler, a polymer compound, a surfactant, an adhesion promoter, an antioxidant, an ultraviolet absorber, an aggregation inhibitor, and a dispersant can be added. .

〈バインダー〉
着色層(又は着色剤含有光硬化性組成物)は、バインダーの少なくとも1種を用いて好適に構成することができる。本発明においては、塗布時に光硬化性化合物が膜形成可能であれば特に含有する必要はなく、塗布膜面状改良の目的で補助的に用いることができる。また、本発明のカラーフィルタの製造方法ではフォトリソ工程を必要としないため、バインダーとしては、特に制限はなく、水可溶性又はアルカリ可溶性のいずれに関わらず、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。また、顔料分散液の調製の際にバインダーを添加する場合には、アルカリ可溶性は要しないが有機溶剤可溶性を有することが好ましい。
<binder>
The colored layer (or the colorant-containing photocurable composition) can be suitably configured using at least one binder. In the present invention, if the photocurable compound can form a film at the time of coating, it is not necessary to contain it, and it can be used supplementarily for the purpose of improving the coating film surface condition. In addition, since the photolithography process is not required in the method for producing a color filter of the present invention, the binder is not particularly limited, and the viewpoints of heat resistance, developability, availability, etc. regardless of whether it is water-soluble or alkali-soluble. Is preferably selected from. Moreover, when adding a binder at the time of preparation of a pigment dispersion, it is preferable to have organic solvent solubility, although alkali solubility is not required.

バインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶であるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば、特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号の各公報に記載されているような、メタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等が挙げられ、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。   The binder is preferably a linear organic polymer that is soluble in an organic solvent. Examples of such linear organic high molecular polymers include polymers having a carboxylic acid in the side chain, such as JP-A-59-44615, JP-B-54-34327, JP-B-58-12577, and JP-B-54-. No. 25957, JP-A-59-53836, JP-A-59-71048, methacrylic acid copolymer, acrylic acid copolymer, itaconic acid copolymer, crotonic acid copolymer, etc. Examples thereof include polymers, maleic acid copolymers, partially esterified maleic acid copolymers, and acidic cellulose derivatives having a carboxylic acid in the side chain are also useful.

前記以外に、水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等や、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニルピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。   In addition to the above, polymers obtained by adding an acid anhydride to a polymer having a hydroxyl group, polyhydroxystyrene resins, polysiloxane resins, poly (2-hydroxyethyl (meth) acrylate), polyvinylpyrrolidone, polyethylene oxide, polyvinyl Alcohol and the like are also useful.

また、親水性を有するモノマーを共重合してもよく、この例としては、アルコキシアルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級又は3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐又は直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐又は直鎖のブチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、等が挙げられる。   Moreover, you may copolymerize the monomer which has hydrophilic property, As an example, alkoxyalkyl (meth) acrylate, hydroxyalkyl (meth) acrylate, glycerol (meth) acrylate, (meth) acrylamide, N-methylol acrylamide, Secondary or tertiary alkylacrylamide, dialkylaminoalkyl (meth) acrylate, morpholine (meth) acrylate, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcaprolactam, vinylimidazole, vinyltriazole, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate Branched or linear propyl (meth) acrylate, branched or linear butyl (meth) acrylate, phenoxyhydroxypropyl (meth) acrylate, and the like.

上記以外に、親水性を有するモノマーとして、テトラヒドロフルフリル基、燐酸部位、燐酸エステル部位、4級アンモニウム塩の部位、エチレンオキシ鎖部位、プロピレンオキシ鎖部位、スルホン酸及びその塩の部位、モルホリノエチル基等を含んでなるモノマー等も有用である。   In addition to the above, the hydrophilic monomers include tetrahydrofurfuryl group, phosphoric acid site, phosphate ester site, quaternary ammonium salt site, ethyleneoxy chain site, propyleneoxy chain site, sulfonic acid and its salt site, morpholinoethyl. A monomer containing a group or the like is also useful.

また、架橋効率を向上させるために、重合性基を側鎖に有してもよく、アリル基、(メタ)アクリル基、アリルオキシアルキル基等の重合性基を側鎖に含有するポリマー等も有用である。前記「重合性基を側鎖に含有するポリマー」の例としては、KSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)等が挙げられる。また、硬化皮膜の強度を高める観点から、アルコール可溶性ナイロンや2,2−ビス−(4−ヒドロキシフェニル)−プロパンとエピクロルヒドリンのポリエーテル等も有用である。   In order to improve the crosslinking efficiency, the polymer may have a polymerizable group in the side chain, and a polymer containing a polymerizable group such as an allyl group, a (meth) acryl group, or an allyloxyalkyl group in the side chain. Useful. Examples of the “polymer containing a polymerizable group in the side chain” include KS resist-106 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), cyclomer P series (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.), and the like. . From the viewpoint of increasing the strength of the cured film, alcohol-soluble nylon, polyether of 2,2-bis- (4-hydroxyphenyl) propane and epichlorohydrin, and the like are also useful.

これら各種バインダーの中でも、耐熱性の観点からは、ポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましく、現像性制御の観点からは、アクリル系樹脂、アクリルアミド系樹脂、アクリル/アクリルアミド共重合体樹脂が好ましい。   Among these various binders, from the viewpoint of heat resistance, polyhydroxystyrene resins, polysiloxane resins, acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferable. Acrylic resins, acrylamide resins, and acrylic / acrylamide copolymer resins are preferred.

前記アクリル系樹脂としては、ベンジル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリル酸、ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド等から選ばれるモノマーからなる共重合体、例えばベンジルメタアクリレート/メタアクリル酸、ベンジルメタアクリレート/ベンジルメタアクリルアミドのような各共重合体、KSレジスト−106(大阪有機化学工業(株)製)、サイクロマーPシリーズ(ダイセル化学工業(株)製)等が好ましい。   As the acrylic resin, a copolymer comprising monomers selected from benzyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid, hydroxyethyl (meth) acrylate, (meth) acrylamide, and the like, for example, benzyl methacrylate / methacrylic acid, Each copolymer such as benzyl methacrylate / benzylmethacrylamide, KS resist-106 (manufactured by Osaka Organic Chemical Industry Co., Ltd.), cyclomer P series (manufactured by Daicel Chemical Industries, Ltd.) and the like are preferable.

これらのバインダー中に前記着色剤を高濃度に分散させることで、下層等との密着性を付与でき、これらはスピンコート、スリットコート時の塗布面状にも寄与している。   By dispersing the colorant in these binders at a high concentration, it is possible to impart adhesion to the lower layer and the like, which also contributes to the coated surface shape during spin coating and slit coating.

前記バインダーとしては、重量平均分子量(GPC法で測定されたポリスチレン換算値)が1000〜2×105の重合体が好ましく、2000〜1×105の重合体がより好ましく、5000〜5×104の重合体が特に好ましい。 As the binder, a polymer having a weight average molecular weight (polystyrene conversion value measured by GPC method) of 1000 to 2 × 10 5 is preferable, a polymer of 2000 to 1 × 10 5 is more preferable, and 5000 to 5 × 10. The polymer of 4 is particularly preferred.

バインダーの着色層又は着色剤含有光硬化性組成物中における含有量は、全固形分(質量)に対して、0.1〜50質量%が好適であり、着色層の薄膜化の観点からは極力少量であるのが好ましいことから、0.2〜40質量%がより好ましく、1〜35質量%が特に好ましい。   The content of the binder in the colored layer or the colorant-containing photocurable composition is preferably 0.1 to 50% by mass with respect to the total solid content (mass), and from the viewpoint of thinning the colored layer. Since it is preferable that the amount is as small as possible, 0.2 to 40% by mass is more preferable, and 1 to 35% by mass is particularly preferable.

〈架橋剤〉
本発明においては、補足的に架橋剤を用いることにより更に高度に硬化させた膜を得るようにすることも可能である。
架橋剤としては、架橋反応により膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、メラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物又はウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの置換基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物、が挙げられる。中でも特に、多官能エポキシ樹脂が好ましい。
<Crosslinking agent>
In the present invention, it is also possible to obtain a more highly cured film by additionally using a crosslinking agent.
The crosslinking agent is not particularly limited as long as the film can be cured by a crosslinking reaction. For example, at least one substitution selected from (a) an epoxy resin, (b) a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group. A phenol compound substituted with at least one substituent selected from a melamine compound, a guanamine compound, a glycoluril compound or a urea compound, (c) a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group, substituted with a group, naphthol A compound or a hydroxyanthracene compound. Of these, polyfunctional epoxy resins are particularly preferred.

前記(a)エポキシ樹脂としては、エポキシ基を有し、かつ架橋性を有するものであればいずれであってもよく、例えば、ビスフェノールAジグリシジルエーテル、エチレングリコールジグリシジルエーテル、ブタンジオールジグリシジルエーテル、へキサンジオールジグリシジルエーテル、ジヒドロキシビフェニルジグリシジルエーテル、フタル酸ジグリシジルエステル、N,N−ジグリシジルアニリン等の2価のグリシジル基含有低分子化合物;同様に、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、トリメチロールフェノールトリグリシジルエーテル、TrisP−PAトリグリシジルエーテル等に代表される3価のグリシジル基含有低分子化合物;同様に、ペンタエリスリトールテトラグリシジルエーテル、テトラメチロールビスフェノールAテトラグリシジルエーテル等に代表される4価のグリシジル基含有低分子化合物;同様に、ジペンタエリスリトールペンタグリシジルエーテル、ジペンタエリスリトールヘキサグリシジルエーテル等の多価グリシジル基含有低分子化合物;ポリグリシジル(メタ)アクリレート、2,2−ビス(ヒドロキシメチル)−1−ブタノールの1,2−エポキシ−4−(2−オキシラニル)シクロヘキサン付加物等に代表されるグリシジル基含有高分子化合物、等が挙げられる。   The epoxy resin (a) may be any epoxy resin as long as it has an epoxy group and has crosslinkability, for example, bisphenol A diglycidyl ether, ethylene glycol diglycidyl ether, butanediol diglycidyl ether. Divalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds such as hexanediol diglycidyl ether, dihydroxybiphenyl diglycidyl ether, diglycidyl phthalate, N, N-diglycidyl aniline, and the like; Trivalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds typified by methylolphenol triglycidyl ether, TrisP-PA triglycidyl ether, etc .; similarly, pentaerythritol tetraglycidyl ether, tetramethylol vinyl Tetravalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds typified by phenol A tetraglycidyl ether and the like; similarly, polyvalent glycidyl group-containing low molecular weight compounds such as dipentaerythritol pentaglycidyl ether and dipentaerythritol hexaglycidyl ether; And glycidyl group-containing polymer compounds represented by 1,2-epoxy-4- (2-oxiranyl) cyclohexane adduct of 2,2-bis (hydroxymethyl) -1-butanol and the like. .

前記(b)に含まれるメチロール基、アルコキシメチル基、アシロキシメチル基が置換している数としては、メラミン化合物の場合は2〜6、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、及びウレア化合物の場合は2〜4であるが、好ましくはメラミン化合物の場合は5〜6、グリコールウリル化合物、グアナミン化合物、及びウレア化合物の場合は3〜4である。
以下、前記(b)のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物及びウレア化合物を総じて、(b)に係る(メチロール基、アルコキシメチル基又はアシロキシメチル基含有)化合物という。
The number of methylol groups, alkoxymethyl groups, and acyloxymethyl groups substituted in (b) is 2 to 6 for melamine compounds, 2 for glycoluril compounds, guanamine compounds, and urea compounds. Although it is -4, Preferably it is 5-6 in the case of a melamine compound, and is 3-4 in the case of a glycoluril compound, a guanamine compound, and a urea compound.
Hereinafter, the melamine compound, guanamine compound, glycoluril compound and urea compound of (b) are collectively referred to as (b) -containing (methylol group, alkoxymethyl group or acyloxymethyl group-containing) compound.

前記(b)におけるメチロール基含有化合物は、(b)におけるアルコキシメチル基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒存在下、加熱することにより得られる。前記(b)におけるアシロキシメチル基含有化合物は、(b)におけるメチロール基含有化合物を塩基性触媒存在下、アシルクロリドと混合攪拌することにより得られる。   The methylol group-containing compound in (b) can be obtained by heating the alkoxymethyl group-containing compound in (b) in an alcohol in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, methanesulfonic acid or the like. The acyloxymethyl group-containing compound in (b) can be obtained by mixing and stirring the methylol group-containing compound in (b) with acyl chloride in the presence of a basic catalyst.

以下、前記置換基を有する(b)における化合物の具体例を挙げる。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物又はその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。
Hereinafter, specific examples of the compound in (b) having the substituent will be given.
Examples of the melamine compound include hexamethylol melamine, hexamethoxymethyl melamine, a compound in which 1 to 5 methylol groups of hexamethylol melamine are methoxymethylated, or a mixture thereof, hexamethoxyethyl melamine, hexaacyloxymethyl melamine, hexamethylol. Examples thereof include compounds in which 1 to 5 methylol groups of melamine are acyloxymethylated, or mixtures thereof.

前記グアナミン化合物として、例えば、テトラメチロールグアナミン、テトラメトキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシエチルグアナミン、テトラアシロキシメチルグアナミン、テトラメチロールグアナミンの1〜3個のメチロール基をアシロキシメチル化した化合物又はその混合物などが挙げられる。   Examples of the guanamine compound include tetramethylol guanamine, tetramethoxymethyl guanamine, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol guanamine, or a mixture thereof, tetramethoxyethyl guanamine, tetraacyloxymethyl guanamine, tetramethylol. Examples thereof include compounds obtained by acyloxymethylating 1 to 3 methylol groups of guanamine or a mixture thereof.

前記グリコールウリル化合物としては、例えば、テトラメチロールグリコールウリル、テトラメトキシメチルグリコールウリル、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメチロールグリコールウリルのメチロール基の1〜3個をアシロキシメチル化した化合物又はその混合物、などが挙げられる。   Examples of the glycoluril compound include tetramethylol glycoluril, tetramethoxymethylglycoluril, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylolglycoluril, or a mixture thereof, or a methylol group of tetramethylolglycoluril. Examples thereof include compounds in which 1 to 3 are acyloxymethylated or a mixture thereof.

前記ウレア化合物として、例えば、テトラメチロールウレア、テトラメトキシメチルウレア、テトラメチロールウレアの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物又はその混合物、テトラメトキシエチルウレア、などが挙げられる。
これら(b)における化合物は、単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
Examples of the urea compound include tetramethylol urea, tetramethoxymethyl urea, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol urea, a mixture thereof, and tetramethoxyethyl urea.
These compounds in (b) may be used alone or in combination.

前記(c)における化合物、即ち、メチロール基、アルコキシメチル基、及びアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも一つの基で置換された、フェノール化合物、ナフトール化合物又はヒドロキシアントラセン化合物は、前記(b)における化合物の場合と同様、上塗りフォトレジストとのインターミキシングを抑制すると共に、膜強度を更に高めるものである。以下、これら化合物を総じて、(c)における(メチロール基、アルコキシメチル基又はアシロキシメチル基含有)化合物ということがある。   The compound in the above (c), that is, a phenol compound, a naphthol compound or a hydroxyanthracene compound substituted with at least one group selected from a methylol group, an alkoxymethyl group, and an acyloxymethyl group is a compound in the above (b). As in the case of, the intermixing with the overcoated photoresist is suppressed and the film strength is further increased. Hereinafter, these compounds may be collectively referred to as a compound (containing a methylol group, an alkoxymethyl group or an acyloxymethyl group) in (c).

前記(c)における化合物に含まれるメチロール基、アシロキシメチル基又はアルコキシメチル基の数としては、一分子当り最低2個必要であり、硬化及び保存安定性の観点から、骨格となるフェノール化合物の2位,4位が全て置換されている化合物が好ましい。また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、OH基のオルト位及びパラ位が全て置換されている化合物が好ましい。前記フェノール化合物の3位又は5位は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記ナフトール化合物においても、OH基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
The number of methylol groups, acyloxymethyl groups or alkoxymethyl groups contained in the compound in (c) is at least 2 per molecule, and from the viewpoint of curing and storage stability, A compound in which all of the 2- and 4-positions are substituted is preferred. In addition, the naphthol compound and hydroxyanthracene compound serving as the skeleton are also preferably compounds in which all of the ortho-position and para-position of the OH group are substituted. The 3-position or 5-position of the phenol compound may be unsubstituted or may have a substituent.
The naphthol compound may be unsubstituted or substituted except for the ortho position of the OH group.

前記(c)におけるメチロール基含有化合物は、フェノール性OH基の2位又は4位が水素原子である化合物を原料に用い、これを水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、アンモニア、テトラアルキルアンモニウムヒドロキシド等の、塩基性触媒の存在下でホルマリンと反応させることにより得られる。
前記(c)におけるアルコキシメチル基含有化合物は、前記(c)におけるメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記(c)におけるアシロキシメチル基含有化合物は、前記(c)におけるメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
The methylol group-containing compound in (c) is a compound in which the phenolic OH group has a hydrogen atom at the 2nd or 4th position, and this is used as sodium hydroxide, potassium hydroxide, ammonia, tetraalkylammonium hydroxide, etc. Obtained by reacting with formalin in the presence of a basic catalyst.
The alkoxymethyl group-containing compound in (c) can be obtained by heating the methylol group-containing compound in (c) in the presence of an acid catalyst such as hydrochloric acid, sulfuric acid, nitric acid, methanesulfonic acid or the like in alcohol.
The acyloxymethyl group-containing compound in the above (c) can be obtained by reacting the methylol group-containing compound in the above (c) with an acyl chloride in the presence of a basic catalyst.

前記(c)における骨格化合物としては、フェノール性OH基のオルト位又はパラ位が未置換の、フェノール化合物、ナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物等が挙げられ、例えば、フェノール、クレゾールの各異性体、2,3−キシレノ−ル、2,5−キシレノ−ル、3,4−キシレノール、3,5−キシレノール、ビスフェノールAなどのビスフェノール類;4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)、ナフトール、ジヒドロキシナフタレン、2,7−ジヒドロキシアントラセン、等が使用される。   Examples of the skeletal compound in (c) include phenol compounds, naphthol compounds, hydroxyanthracene compounds, etc., in which the ortho-position or para-position of the phenolic OH group is unsubstituted. For example, phenol, cresol isomers, 2 , 3-xylenol, 2,5-xylenol, 3,4-xylenol, 3,5-xylenol, bisphenol A and other bisphenols; 4,4'-bishydroxybiphenyl, TrisP-PA (Honshu Chemical Industry) Naphthol, dihydroxynaphthalene, 2,7-dihydroxyanthracene, etc. are used.

前記(c)の具体例としては、フェノール化合物又はナフトール化合物として、例えば、トリメチロールフェノール、トリ(メトキシメチル)フェノール、トリメチロールフェノールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、トリメチロール−3−クレゾール、トリ(メトキシメチル)−3−クレゾール、トリメチロール−3−クレゾールの1〜2個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、2,6−ジメチロール−4−クレゾール等のジメチロールクレゾール、テトラメチロールビスフェノールA、テトラメトキシメチルビスフェノールA、テトラメチロールビスフェノールAの1〜3個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、テトラメチロール−4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、テトラメトキシメチル−4,4'−ビスヒドロキシビフェニル、TrisP−PAのヘキサメチロール体、TrisP−PAのヘキサメトキシメチル体、TrisP−PAのヘキサメチロール体の1〜5個のメチロール基をメトキシメチル化した化合物、ビスヒドロキシメチルナフタレンジオール、等が挙げられる。   Specific examples of the above (c) include, as a phenol compound or a naphthol compound, for example, a compound obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of trimethylolphenol, tri (methoxymethyl) phenol, trimethylolphenol, or trimethylol. Compounds obtained by methoxymethylating one or two methylol groups of -3-cresol, tri (methoxymethyl) -3-cresol, trimethylol-3-cresol, dimethylol cresol such as 2,6-dimethylol-4-cresol , Tetramethylol bisphenol A, tetramethoxymethyl bisphenol A, compounds obtained by methoxymethylating 1 to 3 methylol groups of tetramethylol bisphenol A, tetramethylol-4,4'-bishydroxybiphenyl, tetramethoxymethyl -4,4'-bishydroxybiphenyl, hexamethylol body of TrisP-PA, hexamethoxymethyl body of TrisP-PA, a compound obtained by methoxymethylating 1 to 5 methylol groups of the hexamethylol body of TrisP-PA, Bishydroxymethyl naphthalene diol, etc. are mentioned.

また、ヒドロキシアントラセン化合物として、例えば、1,6−ジヒドロキシメチル−2,7−ジヒドロキシアントラセン等が挙げられ、アシロキシメチル基含有化合物として、例えば、前記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部又は全部アシロキシメチル化した化合物等が挙げられる。   In addition, examples of the hydroxyanthracene compound include 1,6-dihydroxymethyl-2,7-dihydroxyanthracene, and examples of the acyloxymethyl group-containing compound include a part of the methylol group of the methylol group-containing compound, or Examples include compounds that are all acyloxymethylated.

これらの化合物の中で好ましいものとしては、トリメチロールフェノール、ビスヒドロキシメチル−p−クレゾール、テトラメチロールビスフェノールA、TrisP−PA(本州化学工業(株)製)のヘキサメチロール体又はそれらのメチロール基がアルコキシメチル基及びメチロール基とアルコキシメチル基の両方で置換されたフェノール化合物が挙げられる。
これら(c)における化合物は、1種単独で使用してもよく、2種以上を組合わせて使用してもよい。
Among these compounds, trimethylolphenol, bishydroxymethyl-p-cresol, tetramethylolbisphenol A, trisP-PA (manufactured by Honshu Chemical Industry Co., Ltd.) or a methylol group thereof is preferable. Examples thereof include an alkoxymethyl group and a phenol compound substituted with both a methylol group and an alkoxymethyl group.
These compounds in (c) may be used singly or in combination of two or more.

前記架橋剤の着色層又は着色剤含有光硬化性組成物中における総含有量としては、素材により異なるが、層又は組成物の全固形分(質量)に対して、1〜70質量%が好ましく、5〜50質量%がより好ましく、7〜30質量%が特に好ましい。   The total content of the crosslinking agent in the colored layer or the colorant-containing photocurable composition varies depending on the material, but is preferably 1 to 70% by mass with respect to the total solid content (mass) of the layer or composition. 5 to 50 mass% is more preferable, and 7 to 30 mass% is particularly preferable.

〈熱重合防止剤〉
本発明に係る着色剤含有光硬化性組成物には、熱重合防止剤を更に加えることもできる。例えば、ハイドロキノン、p−メトキシフェノール、ジ−t−ブチル−p−クレゾール、ピロガロール、t−ブチルカテコール、ベンゾキノン、4,4'−チオビス(3−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,2'−メチレンビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2−メルカプトベンゾイミダゾール等が有用である。
<Thermal polymerization inhibitor>
A thermal polymerization inhibitor may be further added to the colorant-containing photocurable composition according to the present invention. For example, hydroquinone, p-methoxyphenol, di-t-butyl-p-cresol, pyrogallol, t-butylcatechol, benzoquinone, 4,4'-thiobis (3-methyl-6-t-butylphenol), 2,2 ' -Methylenebis (4-methyl-6-tert-butylphenol), 2-mercaptobenzimidazole, etc. are useful.

〈硬化剤〉
着色層(又は着色剤含有光硬化性組成物)は、少なくとも1種の硬化剤を用いて好適に構成することができる。前記光硬化性化合物としてエポキシ樹脂を用いる場合には、硬化剤を添加することが好ましい。この場合、エポキシ基と反応して重合反応し、架橋密度が向上することで硬化する。
<Curing agent>
The colored layer (or the colorant-containing photocurable composition) can be suitably configured using at least one curing agent. When using an epoxy resin as the photocurable compound, it is preferable to add a curing agent. In this case, it reacts with an epoxy group, undergoes a polymerization reaction, and is cured by improving the crosslinking density.

エポキシ樹脂の硬化剤は、種類が非常に多く、性質、樹脂と硬化剤の混合物との可使時間、粘度、硬化温度、硬化時間、発熱などが使用する硬化剤の種類によって非常に異なるため、硬化剤の使用目的、使用条件、作業条件などによって適当な硬化剤を選ばねばならない。硬化剤に関しては、垣内弘編「エポキシ樹脂(昇晃堂)」第5章に詳しく解説されている。以下、硬化剤の例を挙げる。   There are many types of curing agents for epoxy resins, and the properties, pot life of the resin and curing agent mixture, viscosity, curing temperature, curing time, heat generation, etc. vary greatly depending on the type of curing agent used, An appropriate curing agent must be selected according to the purpose of use, usage conditions, working conditions, and the like of the curing agent. The curing agent is explained in detail in Chapter 5 of Hiroshi Kakiuchi “Epoxy resin (Shojodo)”. Examples of curing agents are given below.

触媒的に作用するものとして、第3アミン類、三フッ化ホウ素−アミンコンプレックスが、エポキシ樹脂の官能基と化学量論的に反応するものとして、ポリアミン、酸無水物等が、また、常温硬化のものとしては、ジエチレントリアミン、ポリアミド樹脂が、中温硬化のものとしては、ジエチルアミノプロピルアミン、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノールが、高温硬化のものとしては、無水フタル酸、メタフェニレンジアミン等が挙げられる。また、化学構造の観点からは、アミン類では、脂肪族ポリアミンとしてジエチレントリアミンが、芳香族ポリアミンとしてメタフェニレンジアミンが、第二及び第三アミンとしてトリス(ジメチルアミノメチル)フェノールが、酸無水物として無水フタル酸、ポリアミド樹脂、ポリスルフィド樹脂、三フッ化ホウ素−モノエチルアミンコンプレックスが、合成樹脂初期縮合物としてフェノール樹脂、その他ジシアンジアミド、等が挙げられる。   As those that act catalytically, tertiary amines, boron trifluoride-amine complexes react stoichiometrically with functional groups of epoxy resins, polyamines, acid anhydrides, etc., and room temperature curing Examples thereof include diethylenetriamine and polyamide resin, examples of medium-temperature curing include diethylaminopropylamine and tris (dimethylaminomethyl) phenol, and examples of high-temperature curing include phthalic anhydride and metaphenylenediamine. From the viewpoint of chemical structure, in the case of amines, diethylenetriamine is used as an aliphatic polyamine, metaphenylenediamine is used as an aromatic polyamine, tris (dimethylaminomethyl) phenol is used as an acid anhydride, and anhydride is used as an acid anhydride. Phthalic acid, polyamide resin, polysulfide resin, boron trifluoride-monoethylamine complex, and synthetic resin initial condensate include phenol resin, other dicyandiamide, and the like.

硬化剤を添加する場合、着色層の薄膜化の観点からは極力少量の方が好ましく、具体的には着色層の固形分(質量)に対して、35質量%以下が好ましく、より好ましくは30質量%以下であり、更に好ましくは25質量%以下である。   In the case of adding a curing agent, the amount is preferably as small as possible from the viewpoint of reducing the thickness of the colored layer. Specifically, it is preferably 35% by mass or less, more preferably 30%, based on the solid content (mass) of the colored layer. It is at most mass%, more preferably at most 25 mass%.

〈硬化触媒〉
着色層(又は着色剤含有光硬化性組成物)は、少なくとも1種の硬化触媒を用いて好適に構成することができる。
高い着色剤濃度を実現するためには、前記硬化剤との反応による硬化以外に、主としてエポキシ基同士の反応による硬化が有効である。この場合には、硬化剤を用いずに硬化触媒を用いて構成することが好ましい。
<Curing catalyst>
The colored layer (or the colorant-containing photocurable composition) can be suitably configured using at least one kind of curing catalyst.
In order to achieve a high colorant concentration, curing by reaction between epoxy groups is effective in addition to curing by reaction with the curing agent. In this case, it is preferable to use a curing catalyst without using a curing agent.

前記硬化触媒の具体例としては、市販されているものもあり、例えば、ジャパンエナジー(株)製のイミダゾールシランシリーズIS−1000、同IS−1000D、同IM−1000、同SP−1000、同IA−1000A、同IA−100P、同IA−100F、同IA−100AD、同IA−100FD、同IM−100F、同IS−3000、同IS−4000などのほか、四国化成(株)製の1B2PZ、SFZ等が有用である。但し、これらに制限されるものではない。   Specific examples of the curing catalyst include those that are commercially available. For example, imidazole silane series IS-1000, IS-1000D, IM-1000, SP-1000, and IA manufactured by Japan Energy Co., Ltd. -1000A, the same IA-100P, the same IA-100F, the same IA-100AD, the same IA-100FD, the same IM-100F, the same IS-3000, the same IS-4000, etc. 1B2PZ made by Shikoku Kasei Co., Ltd., SFZ or the like is useful. However, it is not limited to these.

硬化触媒を用いる場合の、該硬化触媒の着色層中における添加量としては、エポキシ当量が150〜200程度のエポキシ樹脂に対して、質量基準で1/10〜1/1000程度が好ましく、より好ましくは1/20〜1/500程度、更に好ましくは1/30〜1/250程度であり、前記範囲のわずかな量で硬化させることが可能である。   When the curing catalyst is used, the addition amount of the curing catalyst in the colored layer is preferably about 1/10 to 1/1000 on a mass basis, more preferably about 150 to 200 epoxy equivalent epoxy resin. Is about 1/20 to 1/500, more preferably about 1/30 to 1/250, and it can be cured in a slight amount within the above range.

〈溶剤〉
着色層の形成は、上記したように、既述の着色剤及び光硬化性化合物、並びに必要に応じてバインダー、硬化剤、硬化触媒等を含んで調製された着色剤含有光硬化性組成物を用いて行なえるが、着色剤含有光硬化性組成物の調製には一般に、溶剤を用いることができる。すなわち、着色剤含有光硬化性組成物は、各種成分が溶剤に溶解された溶液(例えば塗布液)として用いることができる。
<solvent>
As described above, the colored layer is formed by using a colorant-containing photocurable composition prepared by including the above-described colorant and photocurable compound, and, if necessary, a binder, a curing agent, a curing catalyst, and the like. In general, a solvent can be used for the preparation of the colorant-containing photocurable composition. That is, the colorant-containing photocurable composition can be used as a solution (for example, a coating solution) in which various components are dissolved in a solvent.

前記溶剤としては、各成分の溶解性や着色剤含有光硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定はなく、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。   The solvent is basically not particularly limited as long as the solubility of each component and the coating property of the colorant-containing photocurable composition are satisfied, especially considering the solubility, coating property, and safety of the dye and binder. Are preferably selected.

具体的には、エステル類、例えば、酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、等;   Specifically, esters such as ethyl acetate, n-butyl acetate, isobutyl acetate, amyl formate, isoamyl acetate, isobutyl acetate, butyl propionate, isopropyl butyrate, ethyl butyrate, butyl butyrate, alkyl esters, methyl lactate , Ethyl lactate, methyl oxyacetate, ethyl oxyacetate, butyl oxyacetate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, etc .;

3−オキシプロピオン酸メチル、3−オキシプロピオン酸エチル等の3−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、等;2−オキシプロピオン酸メチル、2−オキシプロピオン酸エチル、2−オキシプロピオン酸プロピル等の2−オキシプロピオン酸アルキルエステル類、例えば、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキシプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシプロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−オキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−メトキシ−2−メチルプロピオン酸メチル、2−エトキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、等;ピルビン酸メチル、ピルビン酸エチル、ピルビン酸プロピル、アセト酢酸メチル、アセト酢酸エチル、2−オキソブタン酸メチル、2−オキソブタン酸エチル、等; 3-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 3-oxypropionate and ethyl 3-oxypropionate, such as methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxy Ethyl propionate, etc .; 2-oxypropionic acid alkyl esters such as methyl 2-oxypropionate, ethyl 2-oxypropionate, propyl 2-oxypropionate, such as methyl 2-methoxypropionate, 2-methoxypropion Acid ethyl, propyl 2-methoxypropionate, methyl 2-ethoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-oxy-2-methylpropionate, ethyl 2-oxy-2-methylpropionate, 2-methoxy- 2-methylpropio Methyl acid, 2-ethoxy-2-methylpropionic acid ethyl, etc; methyl pyruvate, ethyl pyruvate, propyl pyruvate, methyl acetoacetate, ethyl acetoacetate, methyl 2-oxobutanoate, ethyl 2-oxobutanoate, etc .;

エーテル類、例えば、ジエチレングリコールジメチルエーテル、テトラヒドロフラン、エチレングリコールモノメチルエーテル、エチレングリコールモノエチルエーテル、メチルセロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノプロピルエーテルアセテート、等; Ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, tetrahydrofuran, ethylene glycol monomethyl ether, ethylene glycol monoethyl ether, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monobutyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monomethyl Ether acetate, propylene glycol monoethyl ether acetate, propylene glycol monopropyl ether acetate, etc .;

ケトン類、例えば、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、等;
芳香族炭化水素類、例えば、トルエン、キシレン、等が好適に挙げられる。
Ketones such as methyl ethyl ketone, cyclohexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, etc .;
Aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene are preferred.

〈分散剤〉
分散剤は、前記顔料の分散性を向上させるために添加することができる。
分散剤としては、公知のものを適宜選定して用いることができ、例えば、カチオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、高分子分散剤等が挙げられる。
<Dispersant>
A dispersant can be added to improve the dispersibility of the pigment.
As the dispersant, known ones can be appropriately selected and used, and examples thereof include a cationic surfactant, a fluorosurfactant, and a polymer dispersant.

さらに、特開平10−254133号公報に記載の、主鎖部に特定の酸アミド基含有モノマー及び四級アンモニウム塩モノマー残基を有するグラフト共重合体もまた、顔料を微分散する優れた作用を有することから分散剤として用いることができる。前記グラフト共重合体を用いることで、エネルギーや時間の消費を低減しながら顔料を微細に分散させることができると共に、分散した顔料が時間経過に伴なって凝集したり沈降することがなく、長期間にわたる分散安定性を維持することができる。   Furthermore, the graft copolymer described in JP-A-10-254133, which has a specific acid amide group-containing monomer and a quaternary ammonium salt monomer residue in the main chain, also has an excellent effect of finely dispersing the pigment. Since it has, it can be used as a dispersing agent. By using the graft copolymer, it is possible to finely disperse the pigment while reducing energy and time consumption, and the dispersed pigment does not agglomerate or settle with time. Dispersion stability over time can be maintained.

分散剤は、1種単独で用いる以外に2種以上組み合わせて用いてもよい。
分散剤の着色層(又は着色剤含有光硬化性組成物)中における添加量としては、通常顔料100質量部に対して、0.1〜50質量部程度が好ましい。
You may use a dispersing agent in combination of 2 or more types besides using individually by 1 type.
The addition amount of the dispersant in the colored layer (or the colorant-containing photocurable composition) is usually preferably about 0.1 to 50 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the pigment.

上記以外の各種添加物の具体例として、ガラス、アルミナ等の充填剤;ポリビニルアルコール、ポリアクリル酸、ポリエチレングリコールモノアルキルエーテル、ポリフロロアルキルアクリレート等の結着樹脂以外の高分子化合物;ノニオン系、カチオン系、アニオン系等の界面活性剤;ビニルトリメトキシシラン、ビニルトリエトキシシラン、ビニルトリス(2−メトキシエトキシ)シラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルメチルジメトキシシラン、N−(2−アミノエチル)−3−アミノプロピルトリメトキシシラン、3−アミノプロピルトリエトキシシラン、3−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、3−グリシドキシプロピルメチルジメトキシシラン、2−(3,4−エポキシシクロヘキシル)エチルトリメトキシシラン、3−クロロプロピルメチルジメトキシシラン、3−クロロプロピルトリメトキシシラン、3−メタクリロキシプロピルトリメトキシシラン、3−メルカプトプロピルトリメトキシシラン等の密着促進剤;2,2−チオビス(4−メチル−6−t−ブチルフェノール)、2,6−ジ−t−ブチルフェノール等の酸化防止剤;2−(3−t−ブチル−5−メチル−2−ヒドロキシフェニル)−5−クロロベンゾトリアゾール、アルコキシベンゾフェノン等の紫外線吸収剤;及びポリアクリル酸ナトリウム等の凝集防止剤を挙げることができる。   Specific examples of various additives other than the above include fillers such as glass and alumina; polymer compounds other than binder resins such as polyvinyl alcohol, polyacrylic acid, polyethylene glycol monoalkyl ether, and polyfluoroalkyl acrylate; Cationic and anionic surfactants; vinyltrimethoxysilane, vinyltriethoxysilane, vinyltris (2-methoxyethoxy) silane, N- (2-aminoethyl) -3-aminopropylmethyldimethoxysilane, N- ( 2-aminoethyl) -3-aminopropyltrimethoxysilane, 3-aminopropyltriethoxysilane, 3-glycidoxypropyltrimethoxysilane, 3-glycidoxypropylmethyldimethoxysilane, 2- (3,4-epoxy (Cyclohexyl) ethyltrime Adhesion promoters such as xysilane, 3-chloropropylmethyldimethoxysilane, 3-chloropropyltrimethoxysilane, 3-methacryloxypropyltrimethoxysilane, 3-mercaptopropyltrimethoxysilane; 2,2-thiobis (4-methyl- 6-t-butylphenol), 2,6-di-t-butylphenol and other antioxidants; 2- (3-t-butyl-5-methyl-2-hydroxyphenyl) -5-chlorobenzotriazole, alkoxybenzophenone, etc. And an anti-aggregation agent such as sodium polyacrylate.

〜着色剤含有光硬化性組成物の調製〜
以下、本発明に係る画像記録材料の着色層の形成に用いる着色剤含有光硬化性組成物の調製方法について説明する。但し、本発明はこれに限定されるものではない。
-Preparation of a colorant-containing photocurable composition-
Hereinafter, the preparation method of the colorant containing photocurable composition used for formation of the colored layer of the image recording material which concerns on this invention is demonstrated. However, the present invention is not limited to this.

前記着色剤として顔料を用いる場合、顔料はその粒子サイズ分布が既述の範囲、具体的には平均粒子径が0.001〜0.1μmの範囲にあり、かつ粒子径分布が0.01±0.005μmの範囲にシャープとなるように分散させて用いるのが好ましいが、その調整には分散方法が重要であり、好適な分散方法として、例えば、ニーダーや二本ロールなどのロールミルを用いて高粘度状態で分散する乾式分散(混練分散処理)と、三本ロールやビーズミル等を用いて比較的低粘度状態で分散する湿式分散(微分散処理)とを組み合わせた分散方法が挙げられる。また、前記分散方法においては、2種以上の顔料を共分散したり、混練分散処理時には溶剤を使用しないか若しくは使用量をできるだけ少なくしたり、各種分散剤を用いる方法も好適である。更に、ソルベントショックを和らげるために樹脂成分を前記混練分散処理時と微分散処理時とに分けて添加(2分割使用)したりすることが好ましく、また、混練分散処理から微分散処理に移行する際に顔料粒子が再凝集するのを防止するために溶解性に優れた樹脂成分を用いるのが好ましい。更に、微分散処理時に使用するビーズミルのビーズに高硬度のセラミックスを使用したり、粒径の小さいビーズを使用したりする手段も有効である。尚、前記樹脂成分としては、例えば、上述のアルカリ可溶性樹脂を用いることができる。   When a pigment is used as the colorant, the pigment has a particle size distribution in the range described above, specifically, an average particle size in the range of 0.001 to 0.1 μm and a particle size distribution of 0.01 ±. It is preferable to use a dispersion in a sharp range of 0.005 μm, but the dispersion method is important for the adjustment. For example, a suitable dispersion method may be a roll mill such as a kneader or a two-roll. Examples of the dispersion method include a combination of dry dispersion (kneading dispersion treatment) for dispersion in a high viscosity state and wet dispersion (fine dispersion treatment) for dispersion in a relatively low viscosity state using a three-roll or bead mill. As the dispersion method, a method of co-dispersing two or more kinds of pigments, or not using a solvent or reducing the amount used in the kneading dispersion treatment, or using various dispersants is also suitable. Further, in order to relieve the solvent shock, it is preferable to add the resin component separately at the time of the kneading dispersion treatment and at the time of the fine dispersion treatment (use in two divisions), and shift from the kneading dispersion treatment to the fine dispersion treatment. In order to prevent reaggregation of the pigment particles, it is preferable to use a resin component having excellent solubility. Furthermore, it is also effective to use high hardness ceramics or beads with a small particle diameter for the beads of the bead mill used during the fine dispersion treatment. In addition, as said resin component, the above-mentioned alkali-soluble resin can be used, for example.

本発明においては、特に、2種以上の顔料を用い、更に2種以上の顔料を50,000mPa・s以上の高粘度状態で分散した後に、更に1,000mPa・s以下の低粘度状態で分散して得られた着色剤を用いるのが好ましい。
なお、一般に顔料は合成後、種々の方法で乾燥を経て供給される。通常は水媒体から乾燥させて粉末体として供給されるが、水が乾燥するには大きな蒸発潜熱を必要とし、乾燥して粉末とさせるには大きな熱エネルギーを与えるため、顔料は一次粒子が集合した凝集体(二次粒子)を形成しているのが普通である。
In the present invention, in particular, two or more kinds of pigments are used, and further, two or more kinds of pigments are dispersed in a high viscosity state of 50,000 mPa · s or more, and further dispersed in a low viscosity state of 1,000 mPa · s or less. It is preferable to use a colorant obtained in this manner.
In general, the pigment is supplied after drying by various methods after synthesis. Usually, it is dried from an aqueous medium and supplied as a powder. However, since water requires a large latent heat of vaporization to dry, and a large amount of heat energy is given to dry it into a powder, the primary particles gather in the pigment. It is common to form aggregates (secondary particles).

着色剤として顔料を用いる場合、まず顔料にバインダーを、混練分散処理後の粘度が50,000mPa・s以上(好ましくは50,000〜100,000mPa・s)の比較的高粘度になるように加えて混練分散処理を施すのが好ましい。ここで、混練分散処理は、高粘度分散であってもよいし、乾式分散であってもよい。次いで、必要に応じて混練分散処理後の分散物にバインダーを追加添加し、微分散処理後の粘度が1000mPa・s以下(好ましくは100mPa・s以下)の比較的低粘度になるように微分散処理を施すことが好ましい。なお、微分散処理は、低粘度分散であってもよいし湿式分散であってもよい。   When a pigment is used as a colorant, first, a binder is added to the pigment so that the viscosity after the kneading and dispersing treatment is 50,000 mPa · s or more (preferably 50,000 to 100,000 mPa · s). The kneading and dispersing treatment is preferably performed. Here, the kneading dispersion treatment may be high viscosity dispersion or dry dispersion. Then, if necessary, a binder is additionally added to the dispersion after the kneading dispersion treatment, and the dispersion after the fine dispersion treatment is finely dispersed so that the viscosity becomes 1000 mPa · s or less (preferably 100 mPa · s or less). It is preferable to perform the treatment. The fine dispersion treatment may be low-viscosity dispersion or wet dispersion.

混練分散処理においては、溶剤の比率が被分散物に対して0〜20質量%であることが好ましい。溶剤を多く使用せずに分散を行なうと、顔料粒子の表面をビヒクルの樹脂成分を主体とした構成成分との濡れを促進させることができ、顔料粒子表面が形成する界面を、顔料粒子と空気との固体/気体界面から、顔料粒子とビヒクル溶液との固体/溶液界面に変換することができる。顔料粒子の表面が形成する界面を空気から溶液に変換し混合攪拌すると、顔料を一次粒子に近い微小な状態にまで分散することができる。   In the kneading and dispersing treatment, the solvent ratio is preferably 0 to 20% by mass with respect to the dispersion. Dispersion without using a large amount of solvent can promote the wetting of the surface of the pigment particle with the constituent component mainly composed of the resin component of the vehicle, and the interface formed by the pigment particle surface is formed between the pigment particle and the air. From the solid / gas interface to the solid / solution interface between the pigment particles and the vehicle solution. When the interface formed by the surfaces of the pigment particles is converted from air to a solution and mixed and stirred, the pigment can be dispersed to a fine state close to the primary particles.

このように、顔料を高度に分散させるためには、顔料粒子表面が形成する界面を空気から溶液に変換することが有効である。かかる変換には強い剪断力や圧縮力が必要である。このため、前記混練分散処理においては、強い剪断力や圧縮力を発揮できる混練機を用い、被混練物として高粘度のものを用いるのが好ましい。   Thus, in order to highly disperse the pigment, it is effective to convert the interface formed by the pigment particle surface from air to a solution. Such conversion requires a strong shearing force or compressive force. For this reason, in the said kneading | mixing dispersion | distribution process, it is preferable to use the thing of high viscosity as a to-be-kneaded material using the kneader which can exhibit strong shearing force and compressive force.

また、前記微分散処理時においては、ガラスやセラミックの微粒状の分散用メディアと共に混合攪拌することが好ましい。さらに、微分散処理時における溶剤の比率は、被分散物の20〜90質量%であることが好ましい。前記微分散処理時においては、顔料粒子を微小な状態にまで均一に安定させて分布させることが必要であることから、凝集している顔料粒子に衝撃力と剪断力とを付与できる分散機とを用い、被分散物として低粘度のものを用いるのが好ましい。   In the fine dispersion treatment, it is preferable to mix and stir together with fine dispersion media such as glass or ceramic. Furthermore, it is preferable that the ratio of the solvent at the time of a fine dispersion process is 20-90 mass% of to-be-dispersed material. At the time of the fine dispersion treatment, since it is necessary to distribute the pigment particles uniformly and stably to a fine state, a disperser capable of imparting impact force and shear force to the agglomerated pigment particles; It is preferable to use a low-viscosity material.

着色剤として染料を用いる場合には、上記のような分散を必要とせず、溶剤にバインダーと共に溶解させて用いることができる。   When a dye is used as the colorant, it is not necessary to disperse as described above, and it can be used after being dissolved in a solvent together with a binder.

上記のようにして得られた顔料の分散物又は染料溶解液に、光硬化性化合物及び必要に応じて光重合開始剤を添加し、あるいは既にバインダー自体が光硬化性化合物である場合には、これに必要に応じて光重合開始剤を添加して光硬化機能を付与し、必要に応じて溶剤を添加することによって、着色剤含有光硬化性組成物を調製することができる。   To the pigment dispersion or dye solution obtained as described above, a photocurable compound and, if necessary, a photopolymerization initiator are added, or when the binder itself is already a photocurable compound, A colorant-containing photocurable composition can be prepared by adding a photopolymerization initiator as necessary to impart a photocuring function and adding a solvent as necessary.

本発明のカラーフィルタは、既述の本発明のカラーフィルタの製造方法により作製されたものである。
本発明のカラーフィルタは、液晶表示素子やCCD等の固体撮像素子に用いることができ、特に100万画素を超えるような高解像度のCCD素子やCMOS等に好適である。本発明のカラーフィルタは、例えば、CCDを構成する各画素の受光部と集光するためのマイクロレンズとの間に配置されるカラーフィルタとして用いることができる。
The color filter of the present invention is produced by the above-described method for producing a color filter of the present invention.
The color filter of the present invention can be used for a solid-state imaging device such as a liquid crystal display device or a CCD, and is particularly suitable for a high-resolution CCD device or a CMOS that exceeds 1 million pixels. The color filter of the present invention can be used as, for example, a color filter disposed between a light receiving portion of each pixel constituting a CCD and a microlens for condensing light.

本発明においては、これまで以上に高い着色剤濃度(具体的には、着色層又は着色剤含有光硬化性組成物中の全固形分に対して50質量%以上の濃度)に調整しスピンコーターやスリットコートにより均一な塗布を行なうこと、フォトリソ法によるのではなく光硬化法の利用によることで着色剤以外の固形分を極力低減され薄膜化を実現したこと、ドライエッチング法によりパターンの異方性を維持したまま矩形パターンを形成したこと、並びにこれらの組み合わせによって、従来成し得なかった蒸着に近い薄膜が得られると共に、矩形性及び密着性をともに実現することができる。   In the present invention, the spin coater is adjusted to a higher colorant concentration (specifically, a concentration of 50% by mass or more based on the total solid content in the color layer or the colorant-containing photocurable composition). Applying uniform coating by slit coating, using photo-curing method instead of photolithography method, reducing solid content other than colorant as much as possible and realizing thin film, anisotropic pattern by dry etching method By forming a rectangular pattern while maintaining the properties, and a combination thereof, it is possible to obtain a thin film close to vapor deposition that could not be achieved conventionally, and to realize both rectangularity and adhesion.

以下、本発明を実施例により更に具体的に説明するが、本発明はその主旨を越えない限り、以下の実施例に限定されるものではない。なお、特に断りのない限り、「部」は質量基準である。   EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples. However, the present invention is not limited to the following examples unless it exceeds the gist thereof. Unless otherwise specified, “part” is based on mass.

(実施例1)
<着色剤含有光硬化性組成物の調製>
−顔料分散液の調製−
緑色(G)、青色(B)、赤色(R)の各色についてそれぞれ下記表1に示す各素材をそれぞれニーダーで均一に混練した後に、混練物を二本ロールで乾式分散処理(混練分散処理)した。
次いで、乾式分散処理が施された分散物に、溶剤成分としてプロピレングリコールモノメチルエチルアセテートを785質量部加えた。その後、ホモジナイザーにて2000rpmで30分間攪拌処理し、顔料が均一に分散した、緑色(G)、青色(B)、赤色(R)の各色の分散組成物を調製した。得られた分散組成物を、0.3mmジルコニアビーズを用いたビーズ分散機(商品名:ディスパーマット、GETZMANN社製)にて微分散処理を施した。
Example 1
<Preparation of a colorant-containing photocurable composition>
-Preparation of pigment dispersion-
For each color of green (G), blue (B), and red (R), each material shown in Table 1 below is uniformly kneaded with a kneader, and the kneaded product is then subjected to dry dispersion treatment (kneading dispersion treatment) with two rolls. did.
Next, 785 parts by mass of propylene glycol monomethyl ethyl acetate as a solvent component was added to the dispersion subjected to the dry dispersion treatment. Thereafter, the mixture was stirred with a homogenizer at 2000 rpm for 30 minutes to prepare a dispersion composition of each color of green (G), blue (B), and red (R) in which the pigment was uniformly dispersed. The obtained dispersion composition was finely dispersed with a bead disperser (trade name: Dispermat, manufactured by GETZMANN) using 0.3 mm zirconia beads.

その後、2.5μmフィルターにて濾過を行ない、顔料が均一に分散された各色の顔料分散液(1)〜(3)を得た。尚、各顔料分散液について混練分散処理時及び微分散処理時における混練物(分散物)の粘度、並びに、各顔料分散液における顔料の平均粒子径及び粒子径0.01±0.005μmの範囲にある顔料粒子の占める割合を表1に示す。なお、顔料の粒子径の測定は、日機装(株)製のMICROTRAC UPA 150を用い、各着色樹脂組成物をプロピレングリコールモノメチルエチルアセテートで希釈したものをサンプルとして測定した。   Then, it filtered with a 2.5 micrometer filter, and obtained the pigment dispersion liquid (1)-(3) of each color in which the pigment was disperse | distributed uniformly. For each pigment dispersion, the viscosity of the kneaded product (dispersion) at the time of the kneading dispersion treatment and the fine dispersion treatment, and the average particle diameter and the particle diameter of 0.01 ± 0.005 μm in each pigment dispersion liquid Table 1 shows the ratio of the pigment particles. In addition, the particle diameter of the pigment was measured by using MICROTRAC UPA 150 manufactured by Nikkiso Co., Ltd. and using each of the colored resin compositions diluted with propylene glycol monomethyl ethyl acetate as a sample.

Figure 2007025358
Figure 2007025358

−着色剤含有光硬化性組成物の調製−
前記表1中の各色の顔料分散液について、顔料分散液(1)については79.5質量%、顔料分散液(2)については73.2質量%、顔料分散液(3)については80.0質量%の高い顔料濃度となるように下記の光硬化性化合物及び光重合開始剤をそれぞれ加えて、着色剤含有光硬化性組成物(青色の着色剤含有光硬化性組成物B、緑色の着色剤含有光硬化性組成物G、及び赤色の着色剤含有光硬化性組成物R)を調製した。
-Preparation of a colorant-containing photocurable composition-
Regarding the pigment dispersion liquid of each color in Table 1, 79.5 mass% for the pigment dispersion liquid (1), 73.2 mass% for the pigment dispersion liquid (2), and 80. Each of the following photocurable compounds and photopolymerization initiators was added so as to obtain a high pigment concentration of 0% by mass, and a colorant-containing photocurable composition (blue colorant-containing photocurable composition B, green A colorant-containing photocurable composition G and a red colorant-containing photocurable composition R) were prepared.

*緑色の着色剤含有光硬化性組成物G
顔料分散液(1)に下記組成を添加した。
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・15部
・光重合開始剤・・・3部
(CGI−242、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
*青色の着色剤含有光硬化性組成物B
顔料分散液(2)に下記組成を添加した。
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・10部
・光重合開始剤・・・3部
(CGI−242、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
*赤色の着色剤含有光硬化性組成物R
顔料分散液(3)に下記組成を添加した。
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・7部
・光重合開始剤・・・3部
(CGI−242、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
* Green colorant-containing photocurable composition G
The following composition was added to the pigment dispersion (1).
・ Dipentaerythritol hexaacrylate: 15 parts ・ Photopolymerization initiator: 3 parts (CGI-242, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
* Blue colorant-containing photocurable composition B
The following composition was added to the pigment dispersion (2).
Dipentaerythritol hexaacrylate: 10 parts Photopolymerization initiator: 3 parts (CGI-242, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)
* Red colorant-containing photocurable composition R
The following composition was added to the pigment dispersion (3).
・ Dipentaerythritol hexaacrylate: 7 parts ・ Photopolymerization initiator: 3 parts (CGI-242, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)

<カラーフィルタの作製>
富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製の「CT−2010L」を用いて形成された下塗り層を有するシリコンウェハー基板を3枚用意し、上記より得た着色剤含有光硬化性組成物の各々を、別個のシリコンウェハー基板の各下塗り層上にスピンコータにより膜厚が0.5μmの塗布膜となるようにそれぞれ塗布した後、ホットプレートにより100℃で2分間加熱処理を行ない、塗布膜を乾燥させて、青色、緑色、又は赤色の着色層を形成した(着色層形成工程)。
<Production of color filter>
Three silicon wafer substrates having an undercoat layer formed using “CT-2010L” manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd. are prepared, and each of the colorant-containing photocurable compositions obtained from the above is prepared. After coating each undercoating layer of a separate silicon wafer substrate so as to form a coating film having a thickness of 0.5 μm by a spin coater, heat treatment was performed at 100 ° C. for 2 minutes using a hot plate, and the coating film was dried. A blue, green, or red colored layer was formed (colored layer forming step).

次いで、i線ステッパー(キャノン(株)製)を用いて、500mJ/cm2の露光量で各色の着色層を全面露光し、着色層の光硬化を行なった(光硬化工程)。 Next, using an i-line stepper (manufactured by Canon Inc.), the colored layer of each color was exposed on the entire surface with an exposure amount of 500 mJ / cm 2 , and the colored layer was photocured (photocuring step).

次いで、光硬化された各色の着色層上に、上層としてフォトレジストFHi−3950(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製;ポジ型フォトレジスト)を膜厚が1.5μmになるようにスピンコータで塗布した。その後、100℃で2分間加熱処理を行ない、乾燥させてレジスト層を形成した(レジスト形成工程)。   Next, a photoresist FHi-3950 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials; positive photoresist) was applied as an upper layer on the photocured colored layer of each color with a spin coater so as to have a film thickness of 1.5 μm. Thereafter, a heat treatment was performed at 100 ° C. for 2 minutes, followed by drying to form a resist layer (resist formation step).

次いで、形成されたレジスト層を、該層の上方からi線ステッパー(キャノン(株)製)を用いて、200mJ/cm2の露光量で1.5μm×1.5μmサイズの格子状にマスクを通してパターン露光を行なった。そして、各色について、露光後のレジスト層を現像液FHD−5(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製)を用いて1分間現像処理を行ない、1.5μm×1.5μmサイズのエッチング用マスクを形成した(マスク形成工程)。 Next, the formed resist layer is passed through a mask in a grid pattern of 1.5 μm × 1.5 μm size with an exposure amount of 200 mJ / cm 2 using an i-line stepper (manufactured by Canon Inc.) from above the layer. Pattern exposure was performed. Then, for each color, the exposed resist layer was developed for 1 minute using a developer FHD-5 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials) to form an etching mask having a size of 1.5 μm × 1.5 μm. (Mask formation process).

エッチング用マスクが形成された各色の着色層について、CF4/O2/Ar=2/2/1の比率の混合ガスにて非マスク部の露出した着色層のドライエッチングを行ない、色パターンを形成した。その後、剥離液MS−230(富士フイルムエレクトロマテリアルズ社製)を用いて、エッチング用マスクをなすレジスト層の剥離を行ない、矩形性の高い1.5μm四方の色パターン(ブルーパターン、グリーンパターン、又はレッドパターン)で構成された単色のカラーフィルタを作製した。 For the colored layer of each color on which the etching mask is formed, dry etching of the colored layer with the non-mask portion exposed is performed with a mixed gas of a ratio of CF 4 / O 2 / Ar = 2/2/1 to form a color pattern. Formed. Thereafter, the resist layer that forms the etching mask is peeled off using a stripping solution MS-230 (manufactured by Fujifilm Electromaterials), and a 1.5 μm square color pattern having a high rectangularity (blue pattern, green pattern, Or a monochromatic color filter composed of a red pattern) was produced.

(実施例2)
−Blueパターンの形成−
実施例1と同様にして、ブルー(Blue)パターンを形成した。
(Example 2)
-Formation of Blue pattern-
In the same manner as in Example 1, a blue pattern was formed.

−Greenパターンの形成−
Blueパターンが形成されたシリコンウェハー基板を用い、既述のようにして調製した緑色の着色剤含有光硬化性組成物Gを、シリコンウェハー基板のBlueパターンが形成されている側にスピンコータで塗布し、塗布膜を乾燥させて、層厚0.5μmの緑色パターン形成用の着色層(G層)を形成した。続いて、i線ステッパー(キャノン(株)製)を用いて、G層を800mJ/cm2の露光量で全面露光し、更に650mJ/cm2の露光量で全面露光して、G層を光硬化させた。
-Formation of Green pattern-
Using a silicon wafer substrate on which a blue pattern is formed, the green colorant-containing photocurable composition G prepared as described above is applied to the side of the silicon wafer substrate on which the blue pattern is formed with a spin coater. The coating film was dried to form a colored layer (G layer) for forming a green pattern having a layer thickness of 0.5 μm. Subsequently, using an i-line stepper (Canon Co., Ltd.), and the entire surface exposure of the G layer by the exposure amount of 800 mJ / cm 2, and overall exposure further an exposure amount of 650 mJ / cm 2, light of G layer Cured.

続いて、光硬化したG層(着色層)上に、フォトレジストFHi−3950(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製;ポジ型フォトレジスト)を膜厚が1.5μmとなるようにスピンコータで塗布し、実施例1と同様にしてレジスト層を形成した。   Subsequently, on the photocured G layer (colored layer), a photoresist FHi-3950 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials; positive photoresist) was applied with a spin coater so as to have a film thickness of 1.5 μm. A resist layer was formed in the same manner as in Example 1.

形成されたレジスト層に対し、該層の上方からi線ステッパー(キャノン(株)製)を用いて、200mJ/cm2の露光量で1.5μm×1.5μmサイズの格子状にマスクを通してパターン露光を行ない、実施例1と同様にして、露光後のレジスト層を現像処理して1.5μm×1.5μmサイズのエッチング用マスクを形成すると共に、非マスク部の露出した着色層のドライエッチングを行なって、シリコンウェハー基板上に2色目のグリーン(green)パターンを形成した。その後、G層上に残存するエッチングマスクをなすレジスト層を剥離液MS−230(富士フイルムエレクトロマテリアルズ社製)を用いて剥離し、除去した。 Using the i-line stepper (manufactured by Canon Inc.) from above the formed resist layer, the pattern is passed through a mask in a grid shape of 1.5 μm × 1.5 μm size with an exposure amount of 200 mJ / cm 2. Exposure is performed, and the exposed resist layer is developed to form an etching mask having a size of 1.5 μm × 1.5 μm, and dry etching of the exposed colored layer in the non-mask portion is performed in the same manner as in Example 1. The second green pattern was formed on the silicon wafer substrate. Thereafter, the resist layer that forms an etching mask remaining on the G layer was peeled off using a peeling solution MS-230 (manufactured by Fuji Film Electromaterials) and removed.

−Redパターンの形成−
上記より、Blueパターン及びGreenパターンが形成されたシリコンウェハー基板を用い、既述のようにして調製した赤色の着色剤含有光硬化性組成物Rを、シリコンウェハー基板のBlueパターン及びGreenパターンが形成されている側に更に塗布した後、ホットプレートを使用して100℃で2分間加熱処理し、塗布膜を乾燥させた後(乾燥層厚0.5μm)、i線ステッパー(キャノン(株)製)を用いて800mJ/cm2の露光量で全面露光し、R層(着色層)を光硬化させた。
続いて、光硬化したR層をO2ガスにてドライエッチングを行ない、Blueパターン及びGreenパターン上に存在するR層を除去し、更にCMP(Chemical Mechanical Polishing)技術を利用して平坦化すると共に、3色目のレッド(Red)パターンを形成した。
以上のようにして、RGB3色の本発明のカラーフィルタを作製した。また、カラーフィルタは、3色目が形成されるまでの工程で剥がれの発生はなく、密着性に優れていた。
-Formation of Red pattern-
From the above, using a silicon wafer substrate on which a blue pattern and a green pattern are formed, the red colorant-containing photocurable composition R prepared as described above is formed into the blue pattern and the green pattern on the silicon wafer substrate. After further coating on the coated side, heat treatment was performed at 100 ° C. for 2 minutes using a hot plate to dry the coating film (dry layer thickness 0.5 μm), and then an i-line stepper (manufactured by Canon Inc.) ) Was used to expose the entire surface with an exposure amount of 800 mJ / cm 2 , and the R layer (colored layer) was photocured.
Subsequently, the photocured R layer is dry-etched with O 2 gas to remove the R layer existing on the Blue pattern and the Green pattern, and further planarized by using a CMP (Chemical Mechanical Polishing) technique. A third red pattern was formed.
As described above, the color filter of the present invention for three colors of RGB was produced. In addition, the color filter was excellent in adhesion without causing peeling in the process until the third color was formed.

(実施例3)
実施例2において、緑色の着色剤含有光硬化性組成物Gの調製に用いた顔料分散液(1)中のPY−139(着色剤)をPY−150に代え、シリコンウェハー基板のCT−2010Lを用いてなる下塗り層をSiN膜で構成すると共に、G層のドライエッチング処理を、エッチングガスをCO2/O2=1/1の混合ガスに代えて行なったこと以外、実施例2と同様にして、RGB3色のカラーフィルタを作製した。
(Example 3)
In Example 2, the PY-139 (colorant) in the pigment dispersion (1) used for the preparation of the green colorant-containing photocurable composition G was replaced with PY-150, and CT-2010L of a silicon wafer substrate. In the same manner as in Example 2 except that the undercoat layer made of Si is composed of a SiN film, and the dry etching treatment of the G layer is performed by changing the etching gas to a mixed gas of CO 2 / O 2 = 1/1. Thus, RGB color filters were produced.

(実施例4)
実施例2において、青色の着色剤含有光硬化性組成物B、緑色の着色剤含有光硬化性組成物G、及び赤色の着色剤含有光硬化性組成物Rを、それぞれ下記青色の染料含有光硬化性組成物B2、緑色の染料含有光硬化性組成物G2、及び赤色の染料含有光硬化性組成物R2に代えたこと以外、実施例2と同様にして、RGB3色のカラーフィルタを作製した。
Example 4
In Example 2, the blue colorant-containing photocurable composition B, the green colorant-containing photocurable composition G, and the red colorant-containing photocurable composition R were respectively converted into the following blue dye-containing light. A RGB color filter was produced in the same manner as in Example 2 except that the curable composition B2, the green dye-containing photocurable composition G2, and the red dye-containing photocurable composition R2 were used. .

*緑色(G)の染料含有光硬化性組成物G2の組成
・Acid Green 25・・・115部
・Acid Yellow 17・・・40部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・25部
・光重合開始剤・・・20部
(CGI−124、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
* Composition of green (G) dye-containing photocurable composition G2 · Acid Green 25 · · 115 parts · Acid Yellow 17 · · 40 parts · Dipentaerythritol hexaacrylate · · 25 parts · Photopolymerization initiator ... 20 parts (CGI-124, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)

*青色(B)の染料含有光硬化性組成物の組成
・Acid Blue 23・・・125部
・Acid violet 7・・・25部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・20部
・光重合開始剤・・・20部
(CGI−124、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
* Composition of blue (B) dye-containing photocurable composition-Acid Blue 23 ... 125 parts-Acid violet 7 ... 25 parts-Dipentaerythritol hexaacrylate-20 parts-Photopolymerization initiator- ..20 parts (CGI-124, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)

*赤色(R)の染料含有光硬化性組成物の組成
・Acid Red 8・・・80部
・Acid Yellow 34・・・20部
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート・・・15部
・光重合開始剤・・・10部
(CGI−242、チバ・スペシャルティ・ケミカルズ社製)
* Composition of red (R) dye-containing photocurable composition-Acid Red 8 ... 80 parts-Acid Yellow 34 ... 20 parts-Dipentaerythritol hexaacrylate-15 parts-Photopolymerization initiator- ..10 parts (CGI-242, manufactured by Ciba Specialty Chemicals)

(比較例1)
<着色剤含有光硬化性組成物の調製>
−顔料分散液の調製−
実施例1における「−顔料分散液の調製−」と同様にして、下記表2に示す組成よりなる顔料分散液を調製した。
(Comparative Example 1)
<Preparation of a colorant-containing photocurable composition>
-Preparation of pigment dispersion-
In the same manner as in “—Preparation of pigment dispersion liquid” in Example 1, a pigment dispersion liquid having the composition shown in Table 2 below was prepared.

Figure 2007025358
Figure 2007025358

−着色剤含有光硬化性組成物の調製−
前記表2中の各色の顔料分散液について、下記組成を加えて各々攪拌機にて均一に混合し、実施例1と同一の顔料濃度となるように、フォトリソ機能を付与した高い顔料濃度の着色剤含有光硬化性組成物(青色の着色剤含有光硬化性組成物B3、緑色の着色剤含有光硬化性組成物G3、及び赤色の着色剤含有光硬化性組成物R3)を調製した。
-Preparation of a colorant-containing photocurable composition-
About the pigment dispersion of each color in Table 2 above, the following composition was added and mixed uniformly with a stirrer to give a high pigment concentration colorant with a photolithographic function so that the same pigment concentration as in Example 1 was obtained. Containing photocurable compositions (blue colorant-containing photocurable composition B3, green colorant-containing photocurable composition G3, and red colorant-containing photocurable composition R3) were prepared.

*緑色の着色剤含有光硬化性組成物G3
緑色の顔料分散液(4)に下記組成を添加した。
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート(モノマー)・・・10部
・プロピレングリコールモノメチルエチルアセテート(溶剤)・・・120部
・エチル−3−エトキシプロピオネート(溶剤)・・・50部
・ハロメチルトリアジン系開始剤・・・2部
* Green colorant-containing photocurable composition G3
The following composition was added to the green pigment dispersion (4).
・ Dipentaerythritol pentaacrylate (monomer): 10 parts ・ Propylene glycol monomethyl ethyl acetate (solvent): 120 parts ・ Ethyl-3-ethoxypropionate (solvent): 50 parts ・ Halomethyltriazine series Initiator ... 2 parts

*青色の着色剤含有光硬化性組成物B3
青色の顔料分散液(5)に下記組成を添加した。
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート(モノマー)・・・7部
・プロピレングリコールモノメチルエチルアセテート(溶剤)・・・100部
・エチル−3−エトキシプロピオネート(溶剤)・・・40部
・ハロメチルトリアジン系開始剤・・・2部
* Blue colorant-containing photocurable composition B3
The following composition was added to the blue pigment dispersion (5).
・ Dipentaerythritol pentaacrylate (monomer) 7 parts ・ Propylene glycol monomethyl ethyl acetate (solvent) 100 parts ・ Ethyl-3-ethoxypropionate (solvent) 40 parts ・ Halomethyltriazine series Initiator ... 2 parts

*赤色の着色剤含有光硬化性組成物R3
赤色の顔料分散液(6)に下記組成を添加した。
・ジペンタエリスリトールペンタアクリレート(モノマー)・・・5部
・プロピレングリコールモノメチルエチルアセテート(溶剤)・・・70部
・エチル−3−エトキシプロピオネート(溶剤)・・・30部
・ハロメチルトリアジン系開始剤・・・1部
* Red colorant-containing photocurable composition R3
The following composition was added to the red pigment dispersion (6).
・ Dipentaerythritol pentaacrylate (monomer): 5 parts ・ Propylene glycol monomethyl ethyl acetate (solvent): 70 parts ・ Ethyl-3-ethoxypropionate (solvent): 30 parts ・ Halomethyltriazine series 1 part of initiator

富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)製の「CT−2000L」を塗布し硬化させた下塗り層を有するシリコンウェハー基板を3枚用意し、上記より得た着色剤含有光硬化性組成物の各々を、別個のシリコンウェハー基板の各下塗り層上にスピンコータにより膜厚0.5μmの塗布膜が形成されるように塗布した後、ホットプレートにて100℃で2分間の加熱処理を行ない、塗布膜を乾燥させた。   Three silicon wafer substrates having an undercoat layer coated and cured with “CT-2000L” manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd. were prepared, and each of the colorant-containing photocurable compositions obtained above was After coating so that a 0.5 μm-thick coating film is formed on each undercoat layer of a separate silicon wafer substrate by a spin coater, heat treatment is performed at 100 ° C. for 2 minutes on a hot plate to dry the coating film I let you.

次いで、i線ステッパー(キャノン(株)製)を用いて、200mJ/cm2の露光量で1.5μm×1.5μmサイズの格子状にマスクを通してパターン露光を行なった後、アルカリ現像液CD−2000(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ(株)社製)にて現像処理を行なった。
このとき、全色とも溶解してしまい、パターン形成ができなかった。すなわち、高顔料濃度の領域では、光硬化系に構成されドライエッチングによるパターン形成が最適であることが明らかであり、薄膜化に好適であった。
Next, using an i-line stepper (Canon Co., Ltd.), pattern exposure was performed through a mask in a grid shape of 1.5 μm × 1.5 μm size with an exposure amount of 200 mJ / cm 2 , and then an alkaline developer CD- Development processing was performed with 2000 (manufactured by FUJIFILM Electronics Materials Co., Ltd.).
At this time, all colors were dissolved and pattern formation could not be performed. That is, in the high pigment concentration region, it is clear that the photo-curing system is optimal for pattern formation by dry etching, which is suitable for thinning.

(評価)
各実施例及び比較例について、下記評価を行なった。評価結果は下記表3に示す。なお、比較例については、評価可能であった項目について結果を示した。
−1.矩形性−
得られたカラーフィルタの断面形状を走査型電子顕微鏡(SEM)で撮影した写真を観察し、下記の評価基準にしたがって評価した。
〔評価基準〕
○:断面が良好な矩形形状であった。
×:断面がテーパ−状等を有し、良好な矩形形状が得られなかった。
(Evaluation)
The following evaluation was performed about each Example and the comparative example. The evaluation results are shown in Table 3 below. In addition, about the comparative example, the result was shown about the item which could be evaluated.
-1. Rectangularity
The photograph which image | photographed the cross-sectional shape of the obtained color filter with the scanning electron microscope (SEM) was observed, and it evaluated according to the following evaluation criteria.
〔Evaluation criteria〕
A: The cross section was a rectangular shape with a good cross section.
X: The cross section had a taper shape etc., and a favorable rectangular shape was not obtained.

−2.現像性−
エッチング用マスクの剥離除去時における着色層の溶解の有無及び画像欠陥の発生の有無を目視により下記の評価基準により評価した。
〔評価基準〕
○:着色層の溶解及び画像欠陥は認められなかった。
×:着色層の溶解及び画像欠陥が認められた。
-2. Developability
The presence or absence of dissolution of the colored layer and the presence or absence of image defects during peeling and removal of the etching mask were visually evaluated according to the following evaluation criteria.
〔Evaluation criteria〕
○: Dissolution of the colored layer and image defects were not observed.
X: Dissolution of the colored layer and image defects were observed.

−3.表面性(表面状態)−
エッチング用マスクの剥離除去後のカラーフィルタの表面状態を走査型電子顕微鏡(SEM)で撮影した写真にて観察し、下記の評価基準にしたがって評価した。
〔評価基準〕
○:カラーフィルタの表面、側面に凹凸はほとんど認められなかった。
△:カラーフィルタの表面、側面に明らかな凹凸が認められた。
×:カラーフィルタの表面、側面には、凹凸のみならず穴や欠損部も認められた。
-3. Surface properties (surface condition)
The surface state of the color filter after removal of the etching mask was observed with a photograph taken with a scanning electron microscope (SEM) and evaluated according to the following evaluation criteria.
〔Evaluation criteria〕
A: Almost no irregularities were observed on the surface and side surfaces of the color filter.
Δ: Clear irregularities were observed on the surface and side surfaces of the color filter.
X: On the surface and side surfaces of the color filter, not only irregularities but also holes and defects were observed.

−4.密着性−
得られたカラーフィルタについて、各色の色パターンのシリコンウェハー基板(具体的には下塗り層)との密着性について、CMP(Chemical Mechanical Polishing)技術による研磨耐性を下記の評価基準にしたがって評価した。
〔評価基準〕
○:剥れは認められなかった。
△:20%未満の範囲で剥れがみられた。
×:20%以上の範囲で剥れがみられた。
-4. Adhesion
About the obtained color filter, the abrasion resistance by CMP (Chemical Mechanical Polishing) technique was evaluated according to the following evaluation criteria about the adhesiveness with the silicon wafer substrate (specifically undercoat layer) of the color pattern of each color.
〔Evaluation criteria〕
○: No peeling was observed.
Δ: Peeling was observed in the range of less than 20%.
X: Peeling was observed in the range of 20% or more.

Figure 2007025358
Figure 2007025358

前記表3に示すように、実施例では、分光特性に優れると共に、表面性状が良好でパターンの矩形性に優れており、各色の色パターンの基板への密着性の高いカラーフィルタを作製することができた。また、実施例3に示すように、着色剤として顔料を用いる場合に限らず、染料を用いた場合もエッチングが可能であり、RGB三色のカラーフィルタを作製できた。
なお、上記の比較例では、全色とも着色層が溶解してパターン形成ができず、着色剤が高濃度の領域では、実施例のように光硬化系に構成してドライエッチングによるパターン形成を行なうのが最適であり、薄膜化にも有効であった。
As shown in Table 3, in the examples, a color filter having excellent spectral characteristics, excellent surface properties, excellent pattern rectangularity, and high adhesion to each color pattern substrate is prepared. I was able to. Further, as shown in Example 3, not only when a pigment is used as a colorant, but also when a dye is used, etching is possible, and an RGB three-color filter can be manufactured.
In the above comparative example, the colored layer is not dissolved and pattern formation is possible for all colors, and in areas where the colorant is highly concentrated, the pattern is formed by dry etching with a photo-curing system as in the example. It was optimal to carry out and was effective for thinning.

Claims (2)

(1)着色剤と光硬化性化合物とを含むと共に、全固形分中の前記着色剤の濃度が50質量%以上100質量%未満である着色剤含有光硬化性組成物を基体上に設けて着色層を形成する工程と、
(2)基体上に形成された着色層を露光して硬化する工程と、
(3)硬化された前記着色層上に感光性樹脂組成物を設けて感光性樹脂層を形成する工程と、
(4)少なくとも前記感光性樹脂層を画像様に露光し、現像して前記感光性樹脂層からなるパターンを形成する工程と、
(5)前記着色層に前記パターンをマスクとしてドライエッチング処理を施し、着色パターンを形成する工程と、
を含むカラーフィルタの製造方法。
(1) A colorant-containing photocurable composition containing a colorant and a photocurable compound and having a concentration of the colorant in the total solid content of 50% by mass or more and less than 100% by mass is provided on a substrate. Forming a colored layer;
(2) a step of exposing and curing the colored layer formed on the substrate;
(3) providing a photosensitive resin composition on the cured colored layer to form a photosensitive resin layer;
(4) exposing at least the photosensitive resin layer imagewise and developing to form a pattern comprising the photosensitive resin layer;
(5) subjecting the colored layer to a dry etching process using the pattern as a mask to form a colored pattern;
A method for producing a color filter comprising:
請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法により作製されたことを特徴とするカラーフィルタ。   A color filter produced by the method for producing a color filter according to claim 1.
JP2005208731A 2005-07-19 2005-07-19 Color filter and manufacturing method therefor Pending JP2007025358A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005208731A JP2007025358A (en) 2005-07-19 2005-07-19 Color filter and manufacturing method therefor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2005208731A JP2007025358A (en) 2005-07-19 2005-07-19 Color filter and manufacturing method therefor

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JP2007025358A true JP2007025358A (en) 2007-02-01

Family

ID=37786203

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2005208731A Pending JP2007025358A (en) 2005-07-19 2005-07-19 Color filter and manufacturing method therefor

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2007025358A (en)

Cited By (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008281653A (en) * 2007-05-08 2008-11-20 Taiyo Ink Mfg Ltd Photocurable resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board
JP2009031723A (en) * 2007-02-14 2009-02-12 Fujifilm Corp Color filter and method of manufacturing the same, and solid-state imaging apparatus
US8158307B2 (en) 2007-02-14 2012-04-17 Fujifilm Corporation Color filter and method of manufacturing the same, and solid-state image pickup element
JP2012212005A (en) * 2011-03-31 2012-11-01 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd Blue colored composition for color filter, and color filter
TWI401531B (en) * 2007-05-08 2013-07-11 Taiyo Holdings Co Ltd A photohardenable resin composition and a hardened product thereof
JP2013254610A (en) * 2012-06-06 2013-12-19 Rohm Co Ltd Organic el light emitting device and method for manufacturing the same
CN107870514A (en) * 2016-09-23 2018-04-03 株式会社田村制作所 Photosensitive polymer combination
JPWO2021166856A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-26
JPWO2021166855A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-26
JPWO2021166858A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-26

Cited By (19)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009031723A (en) * 2007-02-14 2009-02-12 Fujifilm Corp Color filter and method of manufacturing the same, and solid-state imaging apparatus
US8158307B2 (en) 2007-02-14 2012-04-17 Fujifilm Corporation Color filter and method of manufacturing the same, and solid-state image pickup element
JP2008281653A (en) * 2007-05-08 2008-11-20 Taiyo Ink Mfg Ltd Photocurable resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board
JP4663679B2 (en) * 2007-05-08 2011-04-06 太陽ホールディングス株式会社 Photocurable resin composition, dry film, cured product, and printed wiring board
TWI400565B (en) * 2007-05-08 2013-07-01 Taiyo Holdings Co Ltd A photohardenable resin composition, a dry film, a hardened product, and a printed wiring board
TWI401531B (en) * 2007-05-08 2013-07-11 Taiyo Holdings Co Ltd A photohardenable resin composition and a hardened product thereof
JP2012212005A (en) * 2011-03-31 2012-11-01 Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd Blue colored composition for color filter, and color filter
JP2013254610A (en) * 2012-06-06 2013-12-19 Rohm Co Ltd Organic el light emitting device and method for manufacturing the same
CN107870514A (en) * 2016-09-23 2018-04-03 株式会社田村制作所 Photosensitive polymer combination
CN107870514B (en) * 2016-09-23 2022-09-16 株式会社田村制作所 Photosensitive resin composition
JPWO2021166856A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-26
JPWO2021166855A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-26
JPWO2021166858A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-26
WO2021166858A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-26 富士フイルム株式会社 Colored composition, film, red pixel, color filter, solid-state imaging element, image display device, and kit
WO2021166855A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-26 富士フイルム株式会社 Coloring composition, film, red pixel, color filter, solid-state image sensing device, image display apparatus, and kit
WO2021166856A1 (en) * 2020-02-20 2021-08-26 富士フイルム株式会社 Coloring composition, film, red pixel, color filter, solid-state image sensing device, image display apparatus, and kit
CN115298268A (en) * 2020-02-20 2022-11-04 富士胶片株式会社 Coloring composition, film, red pixel, color filter, solid-state imaging element, image display device, and kit
JP7414948B2 (en) 2020-02-20 2024-01-16 富士フイルム株式会社 Colored compositions, films, red pixels, color filters, solid-state imaging devices, image display devices and kits
JP7428783B2 (en) 2020-02-20 2024-02-06 富士フイルム株式会社 Colored compositions, films, red pixels, color filters, solid-state imaging devices, image display devices and kits

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5046639B2 (en) Manufacturing method of color filter
US8343365B2 (en) Method for producing color filter
JP2007025358A (en) Color filter and manufacturing method therefor
JP2010085553A (en) Negative-type dye-containing curable composition, color filter and method for production thereof both utilizing the composition, and solid imaging element
US8618193B2 (en) Pigment-containing heat-curable composition, color filter, image-recording material, and method of producing color filter
JP4041750B2 (en) Dye-containing curable composition, color filter and method for producing the same
JP4969063B2 (en) Manufacturing method of color filter
JP4837603B2 (en) Negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP5127598B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter using the same, method for producing the same, and solid-state imaging device
JP5068640B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter, method for producing the same, and solid-state imaging device
JP5073557B2 (en) PHOTOCURABLE COMPOSITION, COLOR FILTER, ITS MANUFACTURING METHOD, AND SOLID-STATE IMAGING DEVICE
JP2008122890A (en) Method of manufacturing color filter
JP4902271B2 (en) Color filter manufacturing method, color filter and image recording material
JP2004246106A (en) Dye-containing hardening composition, color filter and its manufacturing method
JP2007023262A (en) Pigment-containing thermosetting composition, and color filter, image recording material, and method for producing the color filter
JP2009198868A (en) Dye-containing negative type curable composition, color filter and method for manufacturing therefor, and solid imaging element
JP2005266149A (en) Dye-containing curable composition, color filter and method for manufacturing the same
JP4832953B2 (en) Pigment-containing curable composition, color filter, image recording material, and method for producing color filter
JP4667989B2 (en) Photocurable composition, color filter and method for producing the same
JP2005265994A (en) Dye-containing curable composition, color filter and method for manufacturing the same
JP2008292548A (en) Manufacturing method for color filter
JP5214001B2 (en) Negative curable composition
JP5052360B2 (en) Dye-containing negative curable composition, color filter and method for producing the same
JP2004325660A (en) Dye-containing curable composition, color filter and method for manufacturing the same
JP2004246105A (en) Dye-containing hardening composition, color filter and its manufacturing method

Legal Events

Date Code Title Description
A711 Notification of change in applicant

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A712

Effective date: 20070203