JP2007018689A - Page buffer and nonvolatile memory device including the same - Google Patents

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Abstract

<P>PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a page buffer and a nonvolatile memory device including the same. <P>SOLUTION: The nonvolatile memory device includes a memory cell array and the page buffer. The page buffer includes a sense node selectively connected to the bit line of the memory cell array, a first main latch selectively connected to the sense node, a main latch circuit including a second main latch, and a latch input node selectively connected to the first and second main latches. The page buffer circuit includes a cache latch circuit including first and second cache latch nodes, a switch circuit for selectively connecting the second cache latch node to the latch input node, and a shared sense circuit connected between the latch input node and a reference potential. In this case, the shared sense circuit selectively connects the latch input node to the reference potential in response to the voltage of the sense node and the voltage of the first cache latch node. <P>COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は半導体メモリ装置に係り、さらに具体的には不揮発性メモリ装置及び不揮発性メモリ装置の動作方法に関する。   The present invention relates to a semiconductor memory device, and more particularly to a nonvolatile memory device and a method for operating the nonvolatile memory device.

最近電気的にプログラム及び消去が可能な不揮発性メモリ装置に対する需要が増加している。このような装置は電源の無い状態でさえデータを貯蔵することができるということを少なくとも部分的に特徴としている。いわゆるフラッシュメモリは、デジタルカメラや、携帯電話、PDA及びラップトップコンピュータなどの携帯用電子装置に特に広く使われている。ナンドフラッシュメモリのようなフラッシュメモリは相対的に少ない領域に多い量のデータを貯蔵することができる。   Recently, there is an increasing demand for non-volatile memory devices that can be electrically programmed and erased. Such devices are at least partially characterized by the ability to store data even without a power source. So-called flash memories are particularly widely used in portable electronic devices such as digital cameras, mobile phones, PDAs, and laptop computers. A flash memory such as a NAND flash memory can store a large amount of data in a relatively small area.

従来技術として、フラッシュメモリセルとフラッシュメモリ装置に対する基本的な動作原理が以下で紹介される。しかし、以下の説明は単に例示に過ぎなく、本発明の範囲を規定する、または制限することと理解されない。   As a prior art, basic operating principles for flash memory cells and flash memory devices are introduced below. However, the following description is merely illustrative and is not to be understood as defining or limiting the scope of the invention.

フラッシュメモリセルの動作原理は図1A乃至図1Cを参照して説明する。図1Aはワードラインとビットラインとの間に連結されたフラッシュメモリセルトランジスタを示す図面である。図1Bはフラッシュメモリセルトランジスタの回路記号を示す図面であり、図1Cはフラッシュメモリセルトランジスタの閾値電圧特性を示す図面である。   The operation principle of the flash memory cell will be described with reference to FIGS. 1A to 1C. FIG. 1A illustrates a flash memory cell transistor connected between a word line and a bit line. FIG. 1B shows a circuit symbol of the flash memory cell transistor, and FIG. 1C shows a threshold voltage characteristic of the flash memory cell transistor.

図1A乃至1Cを参照すると、フラッシュメモリセルトランジスタは基板3の表面に形成されたソース領域4とドレイン領域5を含む。この場合に、基板はPタイプであり、ソース及びドレイン領域4、5はN+タイプである。ゲートの構造はソースとドレイン領域4、5の間に限定されたチャンネル領域の上部に整列される。ゲート構造はフローティングゲート1と制御ゲート2を含む。図示しないが、トンネリング絶縁膜がフローティングゲート1及び基板P‐subの表面との間に挿入される。また、他の薄い酸化膜(図は制御絶縁物質)がフローティングゲート1及び制御ゲート2との間に挿入される。図面に図示したように、ドレイン電圧VdはビットラインBLから供給され、制御ゲート電圧VcgはワードラインWLから供給され、ソース電圧Vsは接地電圧のようなリファレンス電位に連結される。   1A to 1C, the flash memory cell transistor includes a source region 4 and a drain region 5 formed on the surface of the substrate 3. In this case, the substrate is P type, and the source and drain regions 4 and 5 are N + type. The gate structure is aligned on top of the channel region defined between the source and drain regions 4,5. The gate structure includes a floating gate 1 and a control gate 2. Although not shown, a tunneling insulating film is inserted between the floating gate 1 and the surface of the substrate P-sub. Further, another thin oxide film (control insulating material in the figure) is inserted between the floating gate 1 and the control gate 2. As shown in the drawing, the drain voltage Vd is supplied from the bit line BL, the control gate voltage Vcg is supplied from the word line WL, and the source voltage Vs is connected to a reference potential such as a ground voltage.

フラッシュメモリセルトランジスタの閾値電圧(または電圧)はロジック値を決める。すなわち、単一レベルセル(Single‐level cell:SLC)トランジスタの実施形態で、フラッシュメモリセルトランジスタが初期状態(いわゆる、“消去”状態)にある時、閾値電圧Vthは図1Cに図示されたように相対的に低い。この状態で、セルトランジスタはロジック値“1”を有し、これは一般的なトランジスタ装置でオン状態に該当する。他の一方、セルトランジスタが“プログラム”状態PGMにあれば、閾値電圧Vthは相対的に高い。このような高い閾値電圧の状態はロジック値“0”を有し、一般的なトランジスタのオフ状態に対応する。   The threshold voltage (or voltage) of the flash memory cell transistor determines the logic value. That is, in an embodiment of a single-level cell (SLC) transistor, when the flash memory cell transistor is in an initial state (so-called “erased” state), the threshold voltage Vth is as shown in FIG. 1C. Relatively low. In this state, the cell transistor has a logic value “1”, which corresponds to an ON state in a general transistor device. On the other hand, if the cell transistor is in the “program” state PGM, the threshold voltage Vth is relatively high. Such a high threshold voltage state has a logic value “0”, and corresponds to a general transistor OFF state.

セルトランジスタが初期状態からプログラム状態に変化(プログラム)されるためには、よく知られたF−N(Fowler−nordheim)トンネリング過程が使われる。簡単に説明すれば、制御ゲート2と基板P‐subとの間に相対的に大きい正の電位差が発生し、基板の表面に位置したチャンネル内部の励起電子に力を加えてフローティングゲート1内部に捕獲されるようにする。これらの負に荷電された電子は基板上の制御ゲート2とチャンネルとの間の障壁として作用し、従って図1Cに図示されたようにセルトランジスタの閾値電圧が増加するようになる。セルトランジスタは制御ゲート2と基板P‐subの間に大きい陰の電位差が形成され、F‐Nトンネリングが起き、捕獲された電子がまたフローティングゲート1と基板との間の薄い酸化膜を通過したら、電子障壁が除去され、閾値電圧Vthが減少する。従って、セルトランジスタはまた初めの状態に帰ることができる。   In order to change (program) the cell transistor from the initial state to the programmed state, a well-known FN (Fowler-nordheim) tunneling process is used. Briefly, a relatively large positive potential difference is generated between the control gate 2 and the substrate P-sub, and a force is applied to the excited electrons inside the channel located on the surface of the substrate so as to enter the floating gate 1. To be captured. These negatively charged electrons act as a barrier between the control gate 2 and the channel on the substrate, thus increasing the cell transistor threshold voltage as illustrated in FIG. 1C. In the cell transistor, when a large negative potential difference is formed between the control gate 2 and the substrate P-sub, FN tunneling occurs, and the trapped electrons pass through the thin oxide film between the floating gate 1 and the substrate. The electron barrier is removed, and the threshold voltage Vth decreases. Thus, the cell transistor can also be returned to its initial state.

マルチ-レベルセルMLC不揮発性メモリは2ビット以上のデータを同時に貯蔵するようそれぞれのセルトランジスタを用いることを特徴とする。図2は2-ビットの不揮発性セルメモリの動作を説明するための図面である。多い数のフラッシュセルトランジスタの閾値電圧Vthは一般的に鐘模様の曲線分布を示す。図2に図示された例で、セルトランジスタは第1乃至第4状態の四つの互いに異なる閾値電圧分布の中でいずれか一つの分布を示すことができる。四つの状態の中で一つの分布を示す閾値電圧を有するセルトランジスタは対応する2-ビットロジック値に割り当てられる。例えば、2-ビットロジック値は図2に図示されたように“11”、“10”、“00”、“01”である。図2に図示された特定ビット割り当て(assignments)は一般的に“グレイーコーディング”と知られている。   The multi-level cell MLC non-volatile memory is characterized in that each cell transistor is used to simultaneously store two or more bits of data. FIG. 2 is a diagram for explaining the operation of the 2-bit nonvolatile cell memory. The threshold voltage Vth of a large number of flash cell transistors generally exhibits a bell-shaped curve distribution. In the example illustrated in FIG. 2, the cell transistor may exhibit any one of four different threshold voltage distributions in the first to fourth states. A cell transistor having a threshold voltage showing one distribution among the four states is assigned to a corresponding 2-bit logic value. For example, the 2-bit logic values are “11”, “10”, “00”, “01” as shown in FIG. The specific bit assignments illustrated in FIG. 2 are commonly known as “gray coding”.

上述したように、セルトランジスタの閾値電圧が普通のオン状態(すなわち、消去状態)でもっと高い状態の閾値電圧に増加した時、セルトランジスタが“プログラム”されたという。図2で、図表の最も左側に位置した閾値電圧分布(“11”)は消去状態である。セルトランジスタの2-ビットプログラム動作では、二つの連続的なプログラム動作が進行される。すなわち、最下位ビットLSBプログラムモードと最上位ビットMSBプログラムモードである。   As described above, a cell transistor is said to be “programmed” when the threshold voltage of the cell transistor increases to a higher threshold voltage in the normal on state (ie, erased state). In FIG. 2, the threshold voltage distribution ("11") located on the leftmost side of the chart is in the erased state. In the 2-bit program operation of the cell transistor, two successive program operations are performed. That is, the least significant bit LSB program mode and the most significant bit MSB program mode.

このようなLSB及びMSBプログラムモードは以下図3-5を参照して説明する。   Such LSB and MSB program modes will be described below with reference to FIGS. 3-5.

まず、セルトランジスタが初期に消去状態にある時を見れば、初期ロジック値は“11”である(図2参照)。この実施例で、貯蔵されるデータの最下位ビットが“0”であれば、プログラム動作はセルトランジスタの閾値電圧を第1状態から第2状態に増加させるように進行される(図3参照)。一方に、貯蔵されるデータの最下位ビットが“1”であれば、LSBプログラムモードである間にはどんなプログラムド進行されない。LSBプログラムモード以後に、セルトランジスタは第1状態または第2状態にある。   First, when the cell transistor is initially in the erased state, the initial logic value is “11” (see FIG. 2). In this embodiment, if the least significant bit of the stored data is “0”, the program operation proceeds to increase the threshold voltage of the cell transistor from the first state to the second state (see FIG. 3). . On the other hand, if the least significant bit of the stored data is “1”, no programmed progress is made while in the LSB program mode. After the LSB program mode, the cell transistor is in the first state or the second state.

次に、MSBプログラムモードでは貯蔵されるデータの最上位ビットが動作を指示する。図4はグレイ‐コーディングが適用される場合を示す。セルトランジスタが第1状態または第2状態にあるのか否かに関係なく、貯蔵されるデータの最上位ビットが“1”である場合にはMSBプログラムモードでプログラム動作が行われない。一方に、貯蔵されるデータの最上位ビットが“0”の場合には、LSBプログラムモード以後にセルトランジスタが第1状態または第2状態にあるのか否かによってプログラム動作が行われる。これは図4の点線で表示されている。もし、貯蔵されるデータの最上位ビットが“0”である場合に、LSBプログラムモード以後にセルトランジスタが第1状態にあったら、セルトランジスタの閾値電圧を第1状態から第4状態に移すためのプログラム動作が実行される。一方に、貯蔵データの最上位ビットが“0”である場合に、セルトランジスタがLSBプログラムモード以後に第2状態に存在したら、セルトランジスタの閾値電圧を第2状態から第3状態に移すためのプログラム動作が実行される。   Next, in the MSB program mode, the most significant bit of the stored data instructs the operation. FIG. 4 shows the case where Gray-coding is applied. Regardless of whether the cell transistor is in the first state or the second state, if the most significant bit of the stored data is “1”, the program operation is not performed in the MSB program mode. On the other hand, when the most significant bit of the stored data is “0”, the program operation is performed depending on whether the cell transistor is in the first state or the second state after the LSB program mode. This is indicated by the dotted line in FIG. If the most significant bit of stored data is “0” and the cell transistor is in the first state after the LSB program mode, the threshold voltage of the cell transistor is shifted from the first state to the fourth state. The program operation is executed. On the other hand, if the most significant bit of the stored data is “0” and the cell transistor exists in the second state after the LSB program mode, the threshold voltage of the cell transistor is shifted from the second state to the third state. Program operation is executed.

図5は2進コーディングが適用された点を除外しては4と類似である。この場合に、第 1乃至第4閾値電圧状態はこのビット値である“11”、“10”、“01”そして“00”を示す。即ち、セルトランジスタがLSBプログラムモード以後に第1状態または第2状態であるのか否かに関係なく、貯蔵されるデータの最上位ビットが“1”であれば、どんなプログラム動作も実行されない。一方に、貯蔵されるデータの最上位ビットが“0”であれば、LSBプログラムモード以後にセルトランジスタが第1状態または第2状態であるのか否かによってプログラム動作が行われる。これは図5に点線に表示されている。貯蔵されるデータの最上位ビットが“0”である場合に、セルトランジスタがLSBプログラムモード以後に第1状態に存在したら、セルトランジスタの閾値電圧を第1状態から第3状態に移すためのプログラム動作が実行される。一方に、貯蔵されるデータの最上位ビットが“0”である場合に、セルトランジスタがLSBプログラムモード以後に第2 状態に存在したら、セルトランジスタの閾値電圧を第2状態から第4状態に移すためのプログラムが進行される。   FIG. 5 is similar to 4 except that binary coding is applied. In this case, the first to fourth threshold voltage states indicate the bit values “11”, “10”, “01”, and “00”. That is, no program operation is performed if the most significant bit of stored data is “1” regardless of whether the cell transistor is in the first state or the second state after the LSB program mode. On the other hand, if the most significant bit of the stored data is “0”, the program operation is performed depending on whether the cell transistor is in the first state or the second state after the LSB program mode. This is indicated by the dotted line in FIG. If the most significant bit of stored data is “0” and the cell transistor exists in the first state after the LSB program mode, a program for shifting the threshold voltage of the cell transistor from the first state to the third state The action is executed. On the other hand, if the most significant bit of the stored data is “0” and the cell transistor is in the second state after the LSB program mode, the threshold voltage of the cell transistor is shifted from the second state to the fourth state. A program for progressing.

マルチ-ビットの不揮発性メモリの読み出し動作が次の図6及び7を参照して説明される。特に、図6はLSB読み出しモードで貯蔵されるデータの最下位ビットのロジック値が決まることを示す。LSB読み出しモードは第1LSB読み出し動作と条件部の第2LSB読み出し動作を含む。第1LSB読み出し動作で第1読み出し電圧Vreadがセルトランジスタのワードラインに印加される。その結果、セルトランジスタがターンオンされたら、セルトランジスタは第1状態“11”に存在する。セルトランジスタがオフ状態で残っていたら、第2読み出し電圧Vread2をセルトランジスタのワードラインに印加する第2LSB読み出し動作が実行される。ここで、第2LSB読み出し動作でもセルトランジスタがオフ状態にあれば、セルトランジスタは第4状態(“01”)に存在するのが確実になる。一方に、セルトランジスタが第2LSB読み出し動作でオン状態になれば、貯蔵されるデータの最下位ビットは“0”である。しかし、貯蔵されるデータの最上位ビットはまだ知ることができない。   The read operation of the multi-bit non-volatile memory will be described with reference to FIGS. 6 and 7 below. In particular, FIG. 6 shows that the logic value of the least significant bit of data stored in the LSB read mode is determined. The LSB read mode includes a first LSB read operation and a second LSB read operation of the condition part. In the first LSB read operation, the first read voltage Vread is applied to the word line of the cell transistor. As a result, when the cell transistor is turned on, the cell transistor is in the first state “11”. If the cell transistor remains off, a second LSB read operation is performed in which the second read voltage Vread2 is applied to the word line of the cell transistor. Here, even in the second LSB read operation, if the cell transistor is in the OFF state, it is certain that the cell transistor exists in the fourth state (“01”). On the other hand, when the cell transistor is turned on by the second LSB read operation, the least significant bit of the stored data is “0”. However, the most significant bit of the stored data is not yet known.

グレイ-コーディングの場合に、貯蔵されるデータの最上位ビットは一度の読み出し動作(a single read operation)によって分かる。これはセルトランジスタのワードラインに第3読み出し電圧Vread3を印加する読み出し動作を示す図7に図示されている。もし、セルトランジスタがオンになれば、貯蔵されるデータの最上ビットは“1”である。セルトランジスタがオフ状態に止まっていたら、貯蔵されるデータの最上位ビットは“0”である。   In the case of gray-coding, the most significant bit of stored data is known by a single read operation. This is illustrated in FIG. 7 showing a read operation in which a third read voltage Vread3 is applied to the word line of the cell transistor. If the cell transistor is turned on, the most significant bit of the stored data is “1”. If the cell transistor remains off, the most significant bit of the stored data is “0”.

上述したで分かるように、マルチ-ビット不揮発性メモリの多重ビット判別(detection)は単一-ビット不揮発性メモリの判別に比べて多少複雑である。個別的なセルトランジスタに多重ビットをプログラムし、読み出すための回路を開発してデザインすることに多くの努力が続いている。   As can be seen from the above, multi-bit detection for multi-bit non-volatile memory is somewhat more complicated than for single-bit non-volatile memory. Much effort continues to develop and design circuits for programming and reading multiple bits into individual cell transistors.

本発明の目的は、個別的なセルトランジスタに多重ビットをプログラムして読み出す不揮発性メモリ装置及び不揮発性メモリ装置の動作方法を提供することにある。   An object of the present invention is to provide a non-volatile memory device and a method for operating the non-volatile memory device by programming and reading multiple bits into individual cell transistors.

上述したような本発明の目的を果たすための本発明の特徴によると、不揮発性メモリ装置はメモリセルアレイとページバッファを含む。ページバッファは前記メモリセルアレイのビットラインに選択的に連結される感知ノードと、前記感知ノードに選択的に連結される第1メインラッチと、第2メインラッチを含むメインラッチ回路と、前記第1及び第2 メインラッチノードに選択的に連結されるラッチ入力ノードを含む。ページバッファ回路はまた、第1及び第2キャッシュラッチノードを含むキャッシュラッチ回路と、前記ラッチ入力ノードに前記第2キャッシュラッチノードを選択的に連結するスィッチ回路と、前記ラッチ入力ノードと参照電位との間に連結された共有感知回路を含む。ここで、前記共有感知回路は前記感知ノードの電圧及び前記第1キャッシュラッチノードの電圧に回答して、前記ラッチ入力ノードを前記参照電位に選択的に連結する。   According to the features of the present invention for achieving the above-described object, the nonvolatile memory device includes a memory cell array and a page buffer. The page buffer includes a sensing node selectively connected to a bit line of the memory cell array, a first main latch selectively connected to the sensing node, a main latch circuit including a second main latch, and the first buffer. And a latch input node selectively connected to the second main latch node. The page buffer circuit also includes a cache latch circuit including first and second cache latch nodes, a switch circuit that selectively connects the second cache latch node to the latch input node, the latch input node, and a reference potential. Including a shared sensing circuit coupled between the two. Here, the shared sensing circuit selectively connects the latch input node to the reference potential in response to the voltage of the sensing node and the voltage of the first cache latch node.

本発明の他の特徴によると、不揮発性メモリ装置のページバッファはメインラッチ回路、キャッシュラッチ回路と、共有感知回路を含む。共有感知回路は感知ノードとキャッシュラッチ回路の電圧に回答してメインラッチ回路を参照電位に選択的に連結する。   According to another aspect of the present invention, the page buffer of the nonvolatile memory device includes a main latch circuit, a cache latch circuit, and a shared sensing circuit. The shared sensing circuit selectively couples the main latch circuit to the reference potential in response to the voltages of the sensing node and the cache latch circuit.

本発明のまた他の特徴によると、不揮発性メモリ装置の動作方法が提供される。前記不揮発性メモリ装置は不揮発性メモリセルアレイ及びページバッファを含み、前記ページバッファは、(a)前記メモリセルアレイのビットラインに選択的に連結される感知ノードと、(b)前記感知ノードに選択的に連結されるメインラッチノードと第2メインラッチノードと、(c)前記第1及び第2メインラッチノードに選択的に連結されるラッチ入力ノード、(d)第1及び第2キャッシュラッチノードを含むキャッシュラッチ回路と、(e)前記ラッチ入力ノードに前記第2キャッシュラッチノードを選択的に連結するスィッチ回路と、(f)前記ラッチ入力回路と参照電位を間に連結された共有感知回路を含む。前記不揮発性メモリ装置の動作方法はLSBプログラム過程及び後に従うMSBプログラム過程を含むマルチレベルセルMLCプログラム動作を実行する段階を含む。ここで、前記MSBプログラム過程は(a)スィッチ回路が初期感知制御信号に回答して前記第2開示ラッチノードを前記ラッチ入力ノードに選択的に連結し、(b)前記共有感知回路が前記感知ノードの電圧に回答して前記ラッチ入力ノードを前記参照電位に選択的に連結する初期の読み出し動作を含む。   According to another aspect of the present invention, a method of operating a non-volatile memory device is provided. The nonvolatile memory device includes a nonvolatile memory cell array and a page buffer, wherein the page buffer is (a) a sensing node selectively connected to a bit line of the memory cell array; and (b) selective to the sensing node. A main latch node and a second main latch node connected to each other; (c) a latch input node selectively connected to the first and second main latch nodes; and (d) a first and second cache latch node. A cache latch circuit including: (e) a switch circuit that selectively couples the second cache latch node to the latch input node; and (f) a shared sensing circuit coupled between the latch input circuit and a reference potential. Including. The operation method of the non-volatile memory device includes performing a multi-level cell MLC program operation including an LSB program process and a subsequent MSB program process. Here, the MSB programming process includes: (a) a switch circuit responding to an initial sensing control signal to selectively connect the second disclosed latch node to the latch input node; and (b) the shared sensing circuit detects the sensing. An initial read operation for selectively coupling the latch input node to the reference potential in response to a node voltage;

本発明の他の特徴によると、不揮発性メモリ装置の動作方法は感知ノード及びキャッシュラッチ回路の電圧に回答してメインラッチ回路を参照電位に選択的に連結する共有感知回路を使う段階を含む。   According to another aspect of the present invention, a method of operating a non-volatile memory device includes using a shared sensing circuit that selectively couples a main latch circuit to a reference potential in response to a voltage of a sensing node and a cache latch circuit.

上述したように本発明によると、一つのページバッファ構造を利用して多様な機能を実行することができる。   As described above, according to the present invention, various functions can be executed using one page buffer structure.

以下本発明による実施形態を添付する図面を参照して詳しく説明する。しかし、本発明の実施形態は色々な形態で変形されることができ、本発明の範囲が下で詳述する実施形態によって限定されることと解釈されない。本発明の実施形態は当業者で平均的な知識を有する者に本発明をさらに完全に説明するために誇張されたことであり、図面上で同一な符号に表示された要素は同一な要素を意味する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. However, the embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention is not construed as being limited by the embodiments described in detail below. The embodiments of the present invention are exaggerated to more fully describe the present invention to those skilled in the art and have average knowledge, and elements denoted by the same reference numerals in the drawings represent the same elements. means.

図8を参照すると、不揮発性半導体メモリ装置はメモリセルアレイMCARR、ページバッファブロックPBB<63:0>、第1及び第2グローバル入力ラインGDI、nGDI、グローバル出力ラインGDOUT、yアドレス信号ラインYp<7:0>、Yq<7:0>、ラッチ信号ラインLCH<7:0>、そしてページバッファデコーダDECB<63:0>を含む。   Referring to FIG. 8, the nonvolatile semiconductor memory device includes a memory cell array MCARR, page buffer blocks PBB <63: 0>, first and second global input lines GDI and nGDI, global output lines GDOUT, and y address signal lines Yp <7. : 0>, Yq <7: 0>, latch signal line LCH <7: 0>, and page buffer decoder DECB <63: 0>.

メモリセルアレイMCARRはマトリックス形態のメモリセルと、ワードラインWL及びビットラインBLを含む。この実施形態で、メモリセルはナンドフラッシュメモリセルトランジスタである。   The memory cell array MCARR includes memory cells in a matrix form, word lines WL, and bit lines BL. In this embodiment, the memory cell is a NAND flash memory cell transistor.

内部入力ラインIDI<63:0>及びnIDI<63:0>、そして内部出力ラインIDOUT<63:0>は、dlのページバッファデコーダDECB<63:0>と、対応するページバッファブロックPBB<63:0>との間に連結される。   The internal input lines IDI <63: 0> and nIDI <63: 0> and the internal output lines IDOUT <63: 0> are connected to the page buffer decoder DECB <63: 0> of dl and the corresponding page buffer block PBB <63. : 0>.

読み出しモード、プログラムモード、消去モードのような所定の動作区間の間、第1グローバル入力ラインGDIと第2グローバル入力ラインnGDIは反対のロジック状態を有する入力及び制御データを伝送する。後に詳述するように、それぞれのページバッファデコーダDECB<63:0>はデータGDI、nGDIをyアドレスデータYp<7:0>、Yq<7:0>と共にデコーディングして内部入力ラインIDI<63:0>及び nIDI<63:0>のデータを出力する。   During a predetermined operation period such as a read mode, a program mode, and an erase mode, the first global input line GDI and the second global input line nGDI transmit input and control data having opposite logic states. As will be described in detail later, each page buffer decoder DECB <63: 0> decodes data GDI and nGDI together with y address data Yp <7: 0> and Yq <7: 0> to generate an internal input line IDI < Data of 63: 0> and nIDI <63: 0> are output.

また、ページバッファデコーダDECB<63:0>それぞれは内部出力ラインIDOUT<63:0>のデータに対応するデータをグローバル出力ラインGDOUTに提供する。   Each of the page buffer decoders DECB <63: 0> provides data corresponding to the data of the internal output line IDOUT <63: 0> to the global output line GDOUT.

図9は図8のマルチ-ビット不揮発性メモリ装置の単一ビットラインBLに連結された回路の概略的なブロック図である。図11にはメモリセルアレイ100(図8のメモリセルアレイMCARRの位置に対応する)と行デコーダ600(図8に図示しない)が図示されている。   FIG. 9 is a schematic block diagram of a circuit connected to a single bit line BL of the multi-bit nonvolatile memory device of FIG. FIG. 11 shows a memory cell array 100 (corresponding to the position of the memory cell array MCARR in FIG. 8) and a row decoder 600 (not shown in FIG. 8).

ナンドフラッシュメモリは直列連結されたフラッシュメモリセルトランジスタのストリングと複数の平行するストリングがフラッシュメモリのメモリブロックを形成する特徴を有する。それぞれのストリングはメモリブロックのビットラインBLに直列で連結された複数のフラッシュメモリセルトランジスタとメモリブロック内のセルトランジスタの行のそれぞれの制御ゲートに連結されたワードラインを含む。例えば、フラッシュメモリ装置はそれぞれのストリング内に16または32個のセルトランジスタを含み、それぞれのメモリブロックに4224個のストリング(B/L0 … B/L4223)を含む。   The NAND flash memory has a feature that a string of flash memory cell transistors connected in series and a plurality of parallel strings form a memory block of the flash memory. Each string includes a plurality of flash memory cell transistors connected in series to a bit line BL of the memory block and a word line connected to a respective control gate of a row of cell transistors in the memory block. For example, a flash memory device includes 16 or 32 cell transistors in each string, and 4224 strings (B / L0... B / L4223) in each memory block.

図9はそれぞれが偶数ビットラインBLeまたは奇数ビットラインBLoを通じてデータを貯蔵または出力する揃いのメモリセルMCストリングを示す。すなわち、本発明の一実施形態によると、それぞれのビットラインBLは偶数ビットラインBLe及び奇数ビットラインBLoで構成される。このような偶数または奇数ビットラインに接続することに対しては以下で詳しく説明する。   FIG. 9 shows a set of memory cell MC strings each storing or outputting data through even bit lines BLe or odd bit lines BLo. That is, according to an embodiment of the present invention, each bit line BL includes an even bit line BLe and an odd bit line BLo. The connection to such even or odd bit lines will be described in detail below.

個別的なストリングの両側の最後端にはストリング選択信号SSLとグラウンド選択信号GSLを入力される制御ゲートを有するストリング選択トランジスタが連結されている。一般的に、選択信号SSLとGSLはセルトランジスタの読み出し及びプログラム動作に利用される。さらに、個別的なストリング両側の最後端にはそれぞれのメモリブロックのセルトランジスタストリングのソースライン電圧を設定するコモンソースラインCSLが位置する。図示されたように、ワードライン信号WL<n:1>及び選択信号SSL、GSLは行アドレス信号RADDをデコーディングする行デコーダ600から供給される。   A string selection transistor having a control gate to which a string selection signal SSL and a ground selection signal GSL are input is connected to the last ends of both sides of each individual string. In general, the selection signals SSL and GSL are used for reading and programming operations of cell transistors. Further, a common source line CSL for setting the source line voltage of the cell transistor string of each memory block is located at the end of each of the individual strings. As illustrated, the word line signal WL <n: 1> and the selection signals SSL and GSL are supplied from a row decoder 600 that decodes the row address signal RADD.

図10を見れば、本発明の一実施形態によるマルチ-ビットの不揮発性メモリの多様な状態を形成するセルトランジスタ閾値電圧分布が現われている。図10に図示された電圧値はただし例示的なものである。   Referring to FIG. 10, there is a cell transistor threshold voltage distribution forming various states of a multi-bit nonvolatile memory according to an embodiment of the present invention. The voltage values illustrated in FIG. 10 are exemplary only.

本発明の実施形態によると、それぞれのセルトランジスタに貯蔵されたロジック値は四つの閾値電圧分布の中で少なくとも一つに対応される。すなわち、図10に図示されたように、本発明の一実施形態は四つの連続的な閾値電圧分布(すなわち、四つの他のデータ状態)に基づいて個別的に表示された11、10、00、01 のような2-ビットロジック値に対するグレイ-コーディング方法を採択する。   According to an embodiment of the present invention, the logic value stored in each cell transistor corresponds to at least one of the four threshold voltage distributions. That is, as illustrated in FIG. 10, one embodiment of the present invention is displayed 11, 10, 00 individually displayed based on four consecutive threshold voltage distributions (ie, four other data states). , 01 adopts a gray-coding method for 2-bit logic values.

この実施形態で、閾値電圧値は表1のようにそれぞれのデータ状態と関連される。   In this embodiment, the threshold voltage value is associated with each data state as in Table 1.

それぞれのデータ状態は第1データビット値と第2データビット値の組合で表現される。第1データビット値は最下位ビットLSBデータ値であり、第2データビット値は最上位ビットMSBデータ値である。このような表現は下の表2に記述されたことのようである。   Each data state is represented by a combination of a first data bit value and a second data bit value. The first data bit value is the least significant bit LSB data value, and the second data bit value is the most significant bit MSB data value. Such an expression appears to have been described in Table 2 below.

表2に記述されたように、第1及び第4データ状態は同一な第1ビットデータ値(すなわち、“1”)を有し、第2及び第3データ状態は同一な第1ビットデータ値(すなわち、“0”)を有する。また、第1及び第2データ状態は同一な第2ビットデータ値(すなわち、“1”)を有し、第3及び第4データ状態は同一な第2ビットデータ値(すなわち、“0”)を有する。   As described in Table 2, the first and fourth data states have the same first bit data value (ie, “1”), and the second and third data states have the same first bit data value. (Ie, “0”). Also, the first and second data states have the same second bit data value (ie, “1”), and the third and fourth data states have the same second bit data value (ie, “0”). Have

また図10を参照すると、第1、2、3読み出し電圧VR1、VR2、VR3はワードラインWLに印加されてセルトランジスタのデータ状態を決める。すなわち、2-ビット値の中でいずれかがセルトランジスタに貯蔵されるかを決める。読み出し電圧はデータ状態の閾値電圧分布の間の区間に設定される。本発明の実施形態で、読み出し電圧VR1、VR2、VR3はそれぞれ0V、1V、2Vである。   Referring to FIG. 10, the first, second and third read voltages VR1, VR2 and VR3 are applied to the word line WL to determine the data state of the cell transistor. That is, it determines which one of the 2-bit values is stored in the cell transistor. The read voltage is set in a section between threshold voltage distributions in the data state. In the embodiment of the present invention, the read voltages VR1, VR2, and VR3 are 0V, 1V, and 2V, respectively.

例えば、第3読み出し電圧VR3が選択されたメモリセルMCselに連結されたワードラインWL1に印加される場合の読み出し動作を仮定する。この場合に、選択されたメモリセルMCselが“11”、“10”、または“00”のデータ状態でプログラムされたら、メモリセルMCselは第3読み出し電圧VR3に回答してターンオンされ、対応するビットラインBLは接地電圧VSSで駆動される。逆に、メモリセルMCsel“01”のデータ状態でプログラムされたら、メモリセルMCselはターンオフ状態を維持し、対応するビットラインBLは初期電圧状態を維持する。後にさらに詳しく説明するが、選択されたメモリセルMCselに貯蔵されたデータ状態を決めるための読み出し動作モードで、読み出し電圧VR1、VR2、VR3は選択されたワードラインWL1に選択的に印加される。   For example, assume a read operation when the third read voltage VR3 is applied to the word line WL1 connected to the selected memory cell MCsel. In this case, if the selected memory cell MCsel is programmed with a data state of “11”, “10”, or “00”, the memory cell MCsel is turned on in response to the third read voltage VR3, and the corresponding bit The line BL is driven with the ground voltage VSS. Conversely, when programmed in the data state of the memory cell MCsel “01”, the memory cell MCsel maintains the turn-off state, and the corresponding bit line BL maintains the initial voltage state. As will be described in detail later, in the read operation mode for determining the data state stored in the selected memory cell MCsel, the read voltages VR1, VR2, and VR3 are selectively applied to the selected word line WL1.

図10には第1、2、3検証読み出し電圧(verify read voltage)VF1、VF2、VF3が図示されている。後に上述するが、第1及び第2ビットデータ値が選択されたメモリセルMCselに正確にプログラムされたか否かを確認するための検証読み出し動作で、このような検証電圧が使われる。検証読み出し電圧VF1、VF2、VF3それぞれは第2乃至第4閾値電圧分布で最小閾値電圧値と類似の値で設定される。検証読み出し電圧VF1、VF2、VF3それぞれは約0.3V、1.3V、2.3Vである。   FIG. 10 shows the first, second and third verification read voltages VF1, VF2 and VF3. As described later, such a verification voltage is used in a verification read operation for confirming whether or not the first and second bit data values are correctly programmed in the selected memory cell MCsel. Each of the verification read voltages VF1, VF2, and VF3 is set to a value similar to the minimum threshold voltage value in the second to fourth threshold voltage distributions. The verification read voltages VF1, VF2, and VF3 are about 0.3V, 1.3V, and 2.3V, respectively.

図11は本発明の一実施形態によるマルチ-ビット不揮発性メモリ装置を示すブロック図である。マルチ-ビット不揮発性メモリ装置はマルチ-レベルセルMLCモード及び単一-レベルセルSLCモードでそれぞれ動作が可能である。   FIG. 11 is a block diagram illustrating a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. The multi-bit non-volatile memory device can operate in a multi-level cell MLC mode and a single-level cell SLC mode, respectively.

図11を参照すると、参照符号100及び600はそれぞれメモリセルアレイと行デコーダを示し、図9を参照して説明したことと同一である。   Referring to FIG. 11, reference numerals 100 and 600 denote a memory cell array and a row decoder, respectively, which are the same as those described with reference to FIG.

図11にはバイアス及び選択回路400、メインラッチ200、キャッチラッチ300、スィッチ回路SW500、感知部700、プリチャージ800、出力駆動部900、そしてデコーダ1000が図示されている。このような各の構成要素の回路構成が図12に図示されている。   FIG. 11 shows a bias and selection circuit 400, a main latch 200, a catch latch 300, a switch circuit SW500, a sensing unit 700, a precharge 800, an output driving unit 900, and a decoder 1000. The circuit configuration of each such component is shown in FIG.

図11及び図12を参照すると、バイアス及び選択回路400偶数ビットラインBLeと奇数ビットラインBLoを選択し、読み出し、プログラム、及び消去動作モードで偶数ビットラインBLeと奇数ビットラインBLoを適切な電圧で設定する役目をする。図12に図示されたように、バイアス及び選択回路400はゲートがハイレベルの偶数シールド制御信号SHLDe_VDD及び奇数シールド制御信号SHLDo_VDDにそれぞれ連結された二つのトランジスタを含み、電源電圧VDDを偶数ビットラインBLe及び奇数ビットラインBLoに選択的に供給する。同様に、ローレベルの偶数シールド制御信号SHLDe_VDD及び奇数シールド制御信号SHLDo_VDDにそれぞれ連結されたゲートを有する二つのトランジスタを含んで接地電圧VSSを偶数及び奇数ビットラインBLe、BLoに選択的に供給する。また、偶数及び奇数ビットラインBLe、BLoを選択するのに使われる二つのトランジスタを含む。すなわち、二つのトランジスタは偶数及び奇数ビットラインBLe、BLoにそれぞれ連結され、それぞれのゲートが偶数ビットライン選択信号BLSLTeと奇数ビットライン選択信号BLSLToに連結される。   Referring to FIGS. 11 and 12, the bias and selection circuit 400 selects the even bit line BLe and the odd bit line BLo, and sets the even bit line BLe and the odd bit line BLo at appropriate voltages in the read, program, and erase operation modes. The role to set. As shown in FIG. 12, the bias and selection circuit 400 includes two transistors whose gates are respectively connected to an even shield control signal SHLDe_VDD and an odd shield control signal SHLDo_VDD having a high level. And selectively supplied to the odd bit lines BLo. Similarly, the ground voltage VSS is selectively supplied to the even and odd bit lines BLe and BLo including two transistors having gates respectively connected to the low level even shield control signal SHLDe_VDD and the odd shield control signal SHLDo_VDD. It also includes two transistors used to select the even and odd bit lines BLe and BLo. That is, the two transistors are connected to the even and odd bit lines BLe and BLo, respectively, and the gates thereof are connected to the even bit line selection signal BLSLTe and the odd bit line selection signal BLSLTo.

また、図12には感知ノード遮断(blocking)信号SOBLKを入力されるトランジスタが図示されている。このトランジスタはバイアス及び選択回路400とメインビットラインBLmの接続を制御する。   FIG. 12 shows a transistor to which a sensing node blocking signal SOPLK is input. This transistor controls the connection between the bias and selection circuit 400 and the main bit line BLm.

前記制御信号SHLDe_VDD、SHLDo_VDD、BLSLTe、BLSLTo、及びSOBLKは電源電圧VDDより高い高電圧ゲート信号である。   The control signals SHLDe_VDD, SHLDo_VDD, BLSLTe, BLSLTo, and SOPLK are high voltage gate signals higher than the power supply voltage VDD.

偶数ビットラインBLeと奇数ビットラインBLoの中で選択されないビットラインはインターフェースシールドラインの役目をする。しかし、本発明はこのような配列に制限されなく、単一ビットライン(すなわち、偶数及び奇数ビットラインBLe、BLoではなく)環境に適用されることもできる。   A bit line that is not selected among the even bit line BLe and the odd bit line BLo serves as an interface shield line. However, the present invention is not limited to such an arrangement and can be applied to a single bit line (ie, not even and odd bit lines BLe, BLo) environment.

図11及び12において、NSENは感知ノードを示し、ビットラインBLmの電圧レベルを反映する。図12に図示されたように、感知ノードNSENはビットライン遮断信号BLSHFに回答して動作する遮断トランジスタを通じてビットラインBLmに選択的に結合される。ビットライン遮断トランジスタは低電圧NMOSトランジスタである。   11 and 12, NSEN indicates a sense node, which reflects the voltage level of the bit line BLm. As shown in FIG. 12, the sensing node NSEN is selectively coupled to the bit line BLm through a blocking transistor that operates in response to the bit line blocking signal BLSHF. The bit line blocking transistor is a low voltage NMOS transistor.

プリチャージ部800は感知ノードNSENを所定のプリチャージ電圧で充電する。この実施形態で、プリチャージ電圧は電源電圧VDDである。選択されたメモリセル MCselが“オンセル”の場合に、感知ノードNSENの電圧レベルは接地電圧VSSに減少する。一方に、選択されたセルMCselが“オフセル”の場合に、感知ノード NSENはメインラッチ200及びキャッシュラッチ300(後述する予定)によって電源電圧VDDを維持するまたは維持しないこともある。   The precharge unit 800 charges the sensing node NSEN with a predetermined precharge voltage. In this embodiment, the precharge voltage is the power supply voltage VDD. When the selected memory cell MCsel is “on-cell”, the voltage level of the sense node NSEN decreases to the ground voltage VSS. On the other hand, when the selected cell MCsel is “off cell”, the sensing node NSEN may or may not maintain the power supply voltage VDD by the main latch 200 and the cache latch 300 (to be described later).

プリチャージ部800は電源電圧VDDに連結されたソース端及びプリチャージ信号LOADに連結されたゲートを有するPMOSトランジスタを含む。   The precharge unit 800 includes a PMOS transistor having a source terminal connected to the power supply voltage VDD and a gate connected to the precharge signal LOAD.

出力駆動部900はデコーダ100の出力に回答してイネーブルされる。内部出力ラインIDOUTはメインラッチノードNLATMに貯蔵されたメインラッチデータによって所定の出力駆動電圧で駆動される。内部出力ラインIDOUTはメインラッチノードNLATMと内部データ信号DI、nDIから電気的に絶縁されている。従って、意図しなく、メインラッチノードNLATMが内部出力ラインIDOUTにローディングされたデータによって駆動されることを防止する。   The output driver 900 is enabled in response to the output of the decoder 100. The internal output line IDOUT is driven with a predetermined output drive voltage by the main latch data stored in the main latch node NLATM. Internal output line IDOUT is electrically insulated from main latch node NLATM and internal data signals DI and nDI. Therefore, the main latch node NLATM is prevented from being driven by data loaded on the internal output line IDOUT unintentionally.

出力駆動部900は出力駆動電圧と内部出力ラインIDOUTの間に直列で連結された第1及び第2出力駆動トランジスタ220を含む。第1出力駆動トランジスタのゲートはメインラッチノードNLATMに連結され、第2出力駆動トランジスタのゲートはメインキャッシュ駆動信号DIO_M<7:0>に連結される。この場合に、出力駆動電圧は接地電圧VSSになる。   The output driver 900 includes first and second output driving transistors 220 connected in series between the output driving voltage and the internal output line IDOUT. The gate of the first output driving transistor is connected to the main latch node NLATM, and the gate of the second output driving transistor is connected to the main cache driving signal DIO_M <7: 0>. In this case, the output drive voltage becomes the ground voltage VSS.

メインラッチノードNLATMがロジック“H”ある時、内部出力ラインIDOUTはロジック“H”で遷移するデコーダ1000の出力に回答して接地電圧VSSに駆動される。一方に、メインラッチノードNLATMがロジック“L”である時、第1出力駆動トランジスタはオフされる。この場合に、デコーダ1000の出力電圧レベルがロジック“H”に変わるか否かに関係なく、内部出力ラインIDOUTは高電圧状態を維持する。内部出力ラインIDOUTの高電圧状態は電源電圧VDDである。   When the main latch node NLATM is at logic “H”, the internal output line IDOUT is driven to the ground voltage VSS in response to the output of the decoder 1000 that transitions at logic “H”. On the other hand, when the main latch node NLATM is logic “L”, the first output driving transistor is turned off. In this case, the internal output line IDOUT maintains the high voltage state regardless of whether or not the output voltage level of the decoder 1000 changes to logic “H”. The high voltage state of the internal output line IDOUT is the power supply voltage VDD.

メインラッチ部200及びキャッシュラッチ300は第1及び第2伝送トランジスタのようなラッチ回路を含む。メインラッチ部200の1及び第3伝送トランジスタはそれぞれのゲートにページバッファセット、リセット信号PBRST<0:7>とPBSET<0:7>をそれぞれ入力される。キャッシュラッチ300の第1及び第2伝送トランジスタはゲートに内部データ信号IDI、nIDIをそれぞれ入力される。また、メインラッチ駆動トランジスタは図12に図示されたように連結され、メインラッチ駆動信号 DIO_M<0:7>に回答してメインラッチ200を駆動する。一方に、キャッチラッチ駆動トランジスタはラッチ駆動信号DIO_C<0:7>に回答してキャッシュラッチ300を駆動する。一般的に、メインラッチ駆動信号DIO_M<0:7>とキャッシュラッチ駆動信号DIO_C<0:7>はy-アドレス信号をデコーディングして生成する。   The main latch unit 200 and the cache latch 300 include latch circuits such as first and second transmission transistors. The page buffer set and reset signals PBRST <0: 7> and PBSET <0: 7> are input to the gates of the 1 and third transmission transistors of the main latch unit 200, respectively. Internal data signals IDI and nIDI are input to the gates of the first and second transmission transistors of the cache latch 300, respectively. The main latch driving transistors are connected as shown in FIG. 12, and drive the main latch 200 in response to the main latch driving signals DIO_M <0: 7>. On the other hand, the catch latch driving transistor drives the cache latch 300 in response to the latch driving signal DIO_C <0: 7>. In general, the main latch driving signal DIO_M <0: 7> and the cache latch driving signal DIO_C <0: 7> are generated by decoding the y-address signal.

感知部700はラッチ信号LCH、ダンプ信号DUMP、感知ノードNSEN、そしてキャッシュラッチ700の制御によって動作する。例えば、感知部700は、図示されたように、メインラッチ200及び参照電位(接地電圧)との間に連結された四つのトランジスタを含む。後述するが、この回路はページバッファの共通感知及びダンプ部(common sense and dump unit)の機能をする。   The sensing unit 700 operates under the control of the latch signal LCH, the dump signal DUMP, the sensing node NSEN, and the cache latch 700. For example, the sensing unit 700 includes four transistors connected between the main latch 200 and a reference potential (ground voltage) as illustrated. As will be described later, this circuit functions as a common sense and dump unit for the page buffer.

スィッチ部500はメインラッチ部200とキャッシュラッチ部300の間に連結されたトランジスタを含む。このトランジスタは感知信号INIT_Sens<0:7>に回答して動作する。   Switch unit 500 includes a transistor connected between main latch unit 200 and cache latch unit 300. This transistor operates in response to the sensing signal INIT_Sens <0: 7>.

デコーダ1000はy-アドレス信号Yp<7:0>及びYq<0:7>による二つの基本機能を有する。第一、デコーダ1000は内部出力ラインIDOUTのデータに対応する出力データを外部出力データラインDataLineに伝送することを制御する。このような伝送制御はイネーブル信号nWOREnable及びy-アドレス信号Yp<7:0>及びYq<0:7>によって出力駆動部900に印加されたゲート電圧を発生することによって行われる。第二、ページバッファデコーダ1000は入力データDI、nDIに対応するデータを第1内部入力データIDI及び第2内部入力データnIDIにそれぞれデコーディングする。同様に、このようなデコーディングはアドレス信号Yp<7:0>及びYq<0:7>によって行われる。図12に図示された実施形態で、デコーダ1000は図12に図示されたように連結された二つのNORゲートと二つのNANDゲートを含む。しかし、他のロジック構成要素の組合が可能することは自明である。   The decoder 1000 has two basic functions based on y-address signals Yp <7: 0> and Yq <0: 7>. First, the decoder 1000 controls transmission of output data corresponding to the data of the internal output line IDOUT to the external output data line DataLine. Such transmission control is performed by generating a gate voltage applied to the output driver 900 by the enable signal nWOREable and the y-address signals Yp <7: 0> and Yq <0: 7>. Second, the page buffer decoder 1000 decodes data corresponding to the input data DI and nDI into the first internal input data IDI and the second internal input data nIDI, respectively. Similarly, such decoding is performed by the address signals Yp <7: 0> and Yq <0: 7>. In the embodiment illustrated in FIG. 12, the decoder 1000 includes two NOR gates and two NAND gates coupled as illustrated in FIG. However, it is obvious that other logic component combinations are possible.

図11及び12のマルチ-レベル不揮発性メモリの動作に対する説明を以下続く。   A description of the operation of the multi-level non-volatile memory of FIGS. 11 and 12 follows.

第一で、MLCページバッファ動作モードでのLSB読み出し動作が図13の流れ図及び図14乃至18の回路図、そして図31のタイミング図を参照して説明する。   First, the LSB read operation in the MLC page buffer operation mode will be described with reference to the flowchart of FIG. 13, the circuit diagrams of FIGS. 14 to 18, and the timing diagram of FIG.

MLCページバッファ動作モードでのLSB読み出し動作は図10の読み出し電圧VR1の第1感知動作及び後に従う図10の読み出し電圧VR3の第2感知動作によって特徴される。図14乃至18それぞれは閾値電圧分布グラフを含む。ここで、“A”は読み出し電圧VR1に対応し、“B”は読み出し電圧VR2に対応し、“C”は読み出し電圧 VR3に対応する。   The LSB read operation in the MLC page buffer operation mode is characterized by the first sensing operation of the read voltage VR1 of FIG. 10 and the second sensing operation of the read voltage VR3 of FIG. Each of FIGS. 14 to 18 includes a threshold voltage distribution graph. Here, “A” corresponds to the read voltage VR1, “B” corresponds to the read voltage VR2, and “C” corresponds to the read voltage VR3.

図13、14、31を参照すると、1301段階で、(メイン)ビットラインBLは放電され、ページバッファはリセットされる。一般的に、ページバッファリセット信号 PBRST及びメインラッチ駆動信号DIO_Mを活性化してページバッファをリセットする。従って、メインラッチノードNLATMはハイ(HIGH)になる。   Referring to FIGS. 13, 14, and 31, in step 1301, the (main) bit line BL is discharged and the page buffer is reset. In general, the page buffer reset signal PBRST and the main latch driving signal DIO_M are activated to reset the page buffer. Accordingly, the main latch node NLATM becomes high (HIGH).

次に、1302段階で、ビットラインは図16に現われたように構成される。ここで、制御信号BLSHFは非活性化され、従って、メインビットラインを偶数ビットラインBLeからシールド(遮断)する。   Next, in step 1302, the bit lines are configured as shown in FIG. Here, the control signal BLSHF is deactivated, and thus the main bit line is shielded (cut off) from the even bit line BLe.

次に、1304段階で、図17に図示されたように、感知及びラッチ動作は読み出し電圧“A”(図10のVR1)によって実行される。制御信号BLSHF、ページバッファセット信号PBSET、そしてラッチ信号LCHは活性化される。従って、感知ノードNLATMの状態によって、メインラッチ200はプリセット状態を維持するまたは論理的にフリップ(flip)される。   Next, in step 1304, as shown in FIG. 17, the sensing and latching operation is performed by the read voltage “A” (VR1 in FIG. 10). The control signal BLSHF, the page buffer set signal PBSET, and the latch signal LCH are activated. Therefore, depending on the state of the sensing node NLATM, the main latch 200 maintains a preset state or is logically flipped.

1305、1306及び1307段階が上述した1301、1302、1303段階と同様な方法で実行される。しかし、第2プリチャージ段階1305はメインラッチをリセットする動作を含まない。また、1307段階の感知及びラッチ動作は読み出し電圧“C”(図10のVR3)を参照して行われる。1307段階は図18に図示された読み出し電圧“C”の逆感知動作と同じである。制御信号BLSLTe、SOBLK、BLSHF、ページバッファリセット信号PBRST、ラッチ信号LCHは全て活性化される。従って、感知ノードNLATMの状態によって、メインラッチ200はプリセット状態を維持するまたは論理的にフリップされる。   Steps 1305, 1306, and 1307 are performed in the same manner as steps 1301, 1302, and 1303 described above. However, the second precharge stage 1305 does not include an operation of resetting the main latch. Further, the sensing and latching operation in step 1307 is performed with reference to the read voltage “C” (VR3 in FIG. 10). Step 1307 is the same as the reverse sensing operation of the read voltage “C” shown in FIG. Control signals BLSLTe, SOPLK, BLSHF, page buffer reset signal PBRST, and latch signal LCH are all activated. Accordingly, depending on the state of the sensing node NLATM, the main latch 200 maintains a preset state or is logically flipped.

図13の1308段階は1308段階の第2感知動作以後に発生する回復区間を示し、1309はメインラッチノードNLATに現われるデータが外部データラインDataLineに出力されるデータ出力段階を示す。   13 represents a recovery period that occurs after the second sensing operation of step 1308, and 1309 represents a data output step in which data appearing at the main latch node NLAT is output to the external data line DataLine.

以下、MLCページバッファ動作モードでのMSB読み出し動作が図19の流れ図、図 20の回路図、図32のタイミング図を参照して説明される。   Hereinafter, the MSB read operation in the MLC page buffer operation mode will be described with reference to the flowchart of FIG. 19, the circuit diagram of FIG. 20, and the timing diagram of FIG.

MLCページバッファ動作モードでのMSB読み出し動作は図10の読み出し電圧VR2での感知動作で特徴される。   The MSB read operation in the MLC page buffer operation mode is characterized by the sensing operation at the read voltage VR2 of FIG.

図19を参照すると、MLCページバッファ動作モードでのMSB読み出し動作はビットラインディスチャージ及びページバッファリセット段階1901、ビットラインプリチャージ段階1902、ビットライン形成(developmemt)段階1303、感知段階1904、回復段階1905、そしてデータ出力段階1906を含む。このような段階は読み出し電圧“B”(VR2)によって実行される感知段階1904を除外しては、図13を参照して説明した同じ名称の段階と同一である。図19に詳しく図示された事項は以下重複された説明であるから以下省略する。図20の回路図は感知段階1904を示す。参照の便宜性のために、図14乃至図18それぞれは閾値電圧分布図を含む。ここで、“A”は読み出し電圧VR1に対応し、“B”は読み出し電圧VR2に対応し、“C”は読み出し電圧VR3に対応する。制御信号BLSLTe、SOBLK、BLSHF、ページバッファリセット信号PBRST、ラッチ信号LCHは全て活性化される。従って、感知ノードNLATMの状態によって、メインラッチ200はプリセット状態を維持するまたは論理的にフリップされる。   Referring to FIG. 19, the MSB read operation in the MLC page buffer operation mode includes a bit line discharge and page buffer reset stage 1901, a bit line precharge stage 1902, a bit line formation stage 1303, a sensing stage 1904, and a recovery stage 1905. And a data output stage 1906. Such a step is identical to the step of the same name described with reference to FIG. 13 except for the sensing step 1904 performed by the read voltage “B” (VR2). Since the matters illustrated in detail in FIG. 19 are redundant descriptions below, they are omitted here. The circuit diagram of FIG. 20 shows the sensing stage 1904. For convenience of reference, each of FIGS. 14 to 18 includes a threshold voltage distribution diagram. Here, “A” corresponds to the read voltage VR1, “B” corresponds to the read voltage VR2, and “C” corresponds to the read voltage VR3. Control signals BLSLTe, SOPLK, BLSHF, page buffer reset signal PBRST, and latch signal LCH are all activated. Accordingly, depending on the state of the sensing node NLATM, the main latch 200 maintains a preset state or is logically flipped.

以下、MLCペイバッファ動作モードでのプログラム動作が図21、22の流れ図、図 23乃至27の回路図、そして図30のタイミング図を参照して説明される。   The program operation in the MLC pay buffer operation mode will be described below with reference to the flowcharts of FIGS. 21 and 22, the circuit diagrams of FIGS. 23 to 27, and the timing diagram of FIG.

不揮発性メモリセルは少なくとも第1、第2、第3及び第4閾値電圧状態の中でいずれか一つで選択的にプログラムされる。第1、第2、第3、第4閾値電圧状態はそれぞれデータ値“11”、“10”、“00”、そして“01”を有する。   The nonvolatile memory cell is selectively programmed in at least one of the first, second, third and fourth threshold voltage states. The first, second, third, and fourth threshold voltage states have data values “11”, “10”, “00”, and “01”, respectively.

MLCプログラム動作はLSBプログラムと後に従うMSBプログラム動作を含む。LSBプログラム動作は図21の流れ図に図示され、MSBプログラム動作は図22の流れ図に図示される。これら流れ図を比較したら、LSB及びMSBプログラム動作はMSBプログラム動作の初期読み出し段階2211及び二重読み出し検証段階2209a及び 2209bを除外しては同一である。   The MLC program operation includes an LSB program and a subsequent MSB program operation. The LSB program operation is illustrated in the flowchart of FIG. 21, and the MSB program operation is illustrated in the flowchart of FIG. Comparing these flowcharts, the LSB and MSB program operations are identical except for the initial read stage 2211 and the dual read verify stages 2209a and 2209b of the MSB program operation.

特に、LSBプログラム動作はキャッシュラッチ(2101段階)、データローディング動作(2102段階)、メインラッチセッティング動作(2103段階)、データダンプ動作(2104段階)、そして高電圧(HV)活性化動作(2105段階)を含む。また、LSBプログラム動作はビットラインBLセットアップ動作(2106段階)、プログラム実行動作(2107段階)、回復区間(2108段階)、読み出し検証動作(2109段階)、そしてスキャン区間(2110段階)を含む。   In particular, the LSB program operation includes a cache latch (step 2101), a data loading operation (step 2102), a main latch setting operation (step 2103), a data dump operation (step 2104), and a high voltage (HV) activation operation (step 2105). )including. The LSB program operation includes a bit line BL setup operation (step 2106), a program execution operation (step 2107), a recovery interval (step 2108), a read verification operation (step 2109), and a scan interval (step 2110).

図22の流れ図、図30のタイミング図、そして図23乃至27の回路図を参照してMSBプログラム動作を詳述する。   The MSB program operation will be described in detail with reference to the flowchart of FIG. 22, the timing diagram of FIG. 30, and the circuit diagrams of FIGS.

2201段階で、キャッシュラッチ300は開示ラッチ駆動信号DIO_Cの活性化及びデータ信号DIに回答して設定される。これは図24に図示されている。次に、2202段階で、データがキャッシュラッチ300に図23に図示されたようにロードされる。続いて、図3のタイミングドを参照すると、メインラッチが2103段階で設定され、2104段階でデータダンプ動作が実行される。   In operation 2201, the cache latch 300 is set in response to the activation of the disclosed latch driving signal DIO_C and the data signal DI. This is illustrated in FIG. Next, in step 2202, data is loaded into the cache latch 300 as illustrated in FIG. Subsequently, referring to the timing of FIG. 3, the main latch is set in step 2103, and the data dump operation is executed in step 2104.

次に、2211段階で、初期読み出し動作が実行され、スィッチ装置500が制御信号 INIT_Sensに回答してキャッシュラッチ回路300をメインラッチ回路200の入力ノードに連結する。また、ラッチ制御信号がターンオンされ、ダンプ制御信号がターンオフされる。初期読み出し動作は図25に図示される。   Next, in step 2211, an initial read operation is performed, and the switch device 500 responds to the control signal INIT_Sens to connect the cache latch circuit 300 to the input node of the main latch circuit 200. Also, the latch control signal is turned on and the dump control signal is turned off. The initial read operation is illustrated in FIG.

図30を参照して、初期読み出し動作の後に、高電圧活性化動作が2105段階で実行され、ビットラインBLが2106段階でセットアップされ、目標メモリセルが2107 段階でプログラムされる。プログラムは2108段階の回復区間に後に従って実行される。   Referring to FIG. 30, after the initial read operation, a high voltage activation operation is performed in step 2105, the bit line BL is set up in step 2106, and the target memory cell is programmed in step 2107. The program is executed after a recovery period of 2108 steps.

次に、2209a及び2209b段階で、第1及び第2読み出し検証動作が実行される。この実施形態で、第1読み出し検証動作は“00”検証動作で、ラッチ制御信号LCHがオフされ、ダンプ制御信号DUMPがオンされる。また、スィッチ部500はキャッシュラッチ回路300をメインラッチ回路200の入力ノードから分離する。第2読み出し検証は“01”検証動作で、ラッチ制御信号LCHがオンされ、ダンプ制御信号DUMPがオフされる。また、スィッチ部500はキャッシュラッチ回路300をメインラッチ回路 200の入力ノードから分離する。第1及び第2読み出し検証動作は図26及び27にそれぞれ図示される。   Next, in steps 2209a and 2209b, first and second read verification operations are performed. In this embodiment, the first read verification operation is a “00” verification operation in which the latch control signal LCH is turned off and the dump control signal DUMP is turned on. In addition, the switch unit 500 separates the cache latch circuit 300 from the input node of the main latch circuit 200. The second read verification is a “01” verification operation in which the latch control signal LCH is turned on and the dump control signal DUMP is turned off. The switch unit 500 separates the cache latch circuit 300 from the input node of the main latch circuit 200. The first and second read verify operations are illustrated in FIGS. 26 and 27, respectively.

2210段階はスキャン区間を現わし、第1及び第2読み出し検証動作の結果に基づいて目標メモリセルが適合にプログラムされたか否かを判断する。もし目標メモリセルが適切にプログラムされない場合には、プログラム動作はビットラインセット-アップ段階2206に戻って目標メモリセルが適切にプログラムされたことで検証される時が連続的なプロセスを進行する。   Step 2210 represents a scan period, and it is determined whether the target memory cell is properly programmed based on the results of the first and second read verification operations. If the target memory cell is not properly programmed, the program operation returns to the bit line set-up phase 2206 to proceed with a continuous process when it is verified that the target memory cell is properly programmed.

シングル-レベルセル(SLC)モード動作が以下図28及び29を参照して詳述される。   Single-level cell (SLC) mode operation is described in detail below with reference to FIGS.

図28はSLC動作モードの読み出し動作を図示する。SLCモードの読み出し動作は上述したMLC動作モードのMSB読み出し動作と同一な方法で実行される。従って、SLCモードの読み出し動作に対する詳細な技術は省略される。   FIG. 28 illustrates a read operation in the SLC operation mode. The read operation in the SLC mode is executed in the same manner as the MSB read operation in the MLC operation mode described above. Therefore, a detailed technique for the read operation in the SLC mode is omitted.

図29はSLC動作モードのプログラム動作を示す。SLCプログラム動作はプログラムデータをキャッシュラッチ回路300にあらかじめローディングする(事前ローディング)動作を進行することが特徴である。ロードパス(the load path)は図29に図示されたように共有された感知回路700及びメインラッチ回路200を通じて拡張される。プログラムデータをキャッシュラッチ300にあらかじめローディングする動作はSLCプログラム動作の動作速度を増加させる。   FIG. 29 shows a program operation in the SLC operation mode. The SLC program operation is characterized in that the program data is preloaded in the cache latch circuit 300 (preloading). The load path is extended through the shared sensing circuit 700 and the main latch circuit 200 as shown in FIG. The operation of preloading the program data into the cache latch 300 increases the operation speed of the SLC program operation.

本発明は本発明の実施形態を通じて説明されたが、多様な変更及び変化が可能するのは当業者に自明である。また、本発明が上述した実施形態によって制限されなく、本発明の思想及び範囲は上の請求範囲によって決まる。   Although the invention has been described through embodiments of the invention, it will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made. Further, the present invention is not limited by the above-described embodiments, and the spirit and scope of the present invention are determined by the above claims.

不揮発性メモリセルの閾値電圧特性を示す概略図である。It is the schematic which shows the threshold voltage characteristic of a non-volatile memory cell. 不揮発性メモリセルの回路記号の閾値電圧特性を示す概略図である。It is the schematic which shows the threshold voltage characteristic of the circuit symbol of a non-volatile memory cell. 不揮発性メモリセルの閾値電圧特性を示す概略図である。It is the schematic which shows the threshold voltage characteristic of a non-volatile memory cell. マルチ-ビット不揮発性メモリセルの閾値電圧分布状態を示す図面である。6 is a diagram illustrating a threshold voltage distribution state of a multi-bit nonvolatile memory cell. マルチ-ビット不揮発性メモリセルのフローグラム動作を説明するための閾値電圧分布図である。FIG. 6 is a threshold voltage distribution diagram for explaining a flowgram operation of a multi-bit nonvolatile memory cell. マルチ-ビット不揮発性メモリセルのフローグラム動作を説明するための閾値電圧分布図である。FIG. 6 is a threshold voltage distribution diagram for explaining a flowgram operation of a multi-bit nonvolatile memory cell. マルチ-ビット不揮発性メモリセルのフローグラム動作を説明するための閾値電圧分布図である。FIG. 6 is a threshold voltage distribution diagram for explaining a flowgram operation of a multi-bit nonvolatile memory cell. マルチ-ビット不揮発性メモリセルの読み出し動作を説明するための閾値電圧分布図である。FIG. 6 is a threshold voltage distribution diagram for explaining a read operation of a multi-bit nonvolatile memory cell. マルチ-ビット不揮発性メモリセルの読み出し動作を説明するための閾値電圧分布図である。FIG. 6 is a threshold voltage distribution diagram for explaining a read operation of a multi-bit nonvolatile memory cell. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置を示す概路図である。1 is a schematic diagram illustrating a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施形態によって行デコーダとメモリアレイを示す概路図である。FIG. 3 is a schematic diagram illustrating a row decoder and a memory array according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によるマルチ-ビット不揮発性メモリ装置の閾値電圧分布図である。1 is a threshold voltage distribution diagram of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention; FIG. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置を示すブロック図である。1 is a block diagram illustrating a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. FIG. 本発明の一実施形態によってページバッファと関連回路を示すブロック図である。FIG. 3 is a block diagram illustrating a page buffer and related circuits according to an exemplary embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでLSB読み出し動作を説明するための流れ図である。3 is a flowchart illustrating an LSB read operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでLSB読み出し動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating an LSB read operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでLSB読み出し動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating an LSB read operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでLSB読み出し動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating an LSB read operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでLSB読み出し動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating an LSB read operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでLSB読み出し動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating an LSB read operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでMSB読み出し動作を説明するための流れ図である。3 is a flowchart illustrating an MSB read operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでMSB読み出し動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating an MSB read operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでLSBプログラム動作とMSBプログラム動作をそれぞれ説明するための流れ図である。3 is a flowchart illustrating an LSB program operation and an MSB program operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでLSBプログラム動作とMSBプログラム動作をそれぞれ説明するための流れ図である。5 is a flowchart illustrating an LSB program operation and an MSB program operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでプログラム動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating a program operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでプログラム動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating a program operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでプログラム動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating a program operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでプログラム動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating a program operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のMLCモードでプログラム動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating a program operation in an MLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のSLCモードで読み出し動作を説明するための回路図である。FIG. 5 is a circuit diagram illustrating a read operation in an SLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置のSLCモードでプログラム動作を説明するための回路図である。FIG. 6 is a circuit diagram illustrating a program operation in an SLC mode of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置の動作を説明するためのタイミング図である。FIG. 6 is a timing diagram illustrating an operation of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置の動作を説明するためのタイミング図である。FIG. 6 is a timing diagram illustrating an operation of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention. 本発明の一実施形態によってマルチ-ビット不揮発性メモリ装置の動作を説明するためのタイミング図である。FIG. 6 is a timing diagram illustrating an operation of a multi-bit nonvolatile memory device according to an embodiment of the present invention.

符号の説明Explanation of symbols

100 メモリセルアレイ
200 メインラッチ
300 キャッチラッチ
400 バイアス及び選択回路
500 スィッチ回路
600 行デコーダ
700 感知部
800 プリチャージ
900 出力駆動部
1000 デコーダ
DESCRIPTION OF SYMBOLS 100 Memory cell array 200 Main latch 300 Catch latch 400 Bias and selection circuit 500 Switch circuit 600 Row decoder 700 Sensing part 800 Precharge 900 Output drive part 1000 Decoder

Claims (38)

不揮発性メモリセルアレイとページバッファを含む不揮発性メモリ装置において、前記ページバッファは、
前記メモリセルアレイのビットラインに選択的に連結される感知ノードと、
前記感知ノードに選択的に連結される第1メインラッチと第2メインラッチを含むメインラッチ回路と、
前記第1及び第2メインラッチノードに選択的に連結されるラッチ入力ノードと、
第1及び第2キャッシュラッチノードを含むキャッシュラッチ回路と、
前記ラッチ入力ノードに前記第2キャッシュラッチノードを選択的に連結するスィッチ回路と、
前記ラッチ入力ノードと参照電位との間に連結された共有感知回路を含み、前記共有感知回路は前記感知ノードの電圧及び前記第1キャッシュラッチノードの電圧に応じて、前記ラッチ入力ノードを前記参照電位に選択的に連結する不揮発性メモリ装置。
In a nonvolatile memory device including a nonvolatile memory cell array and a page buffer, the page buffer includes:
A sensing node selectively connected to a bit line of the memory cell array;
A main latch circuit including a first main latch and a second main latch selectively connected to the sensing node;
A latch input node selectively coupled to the first and second main latch nodes;
A cache latch circuit including first and second cache latch nodes;
A switch circuit that selectively couples the second cache latch node to the latch input node;
A shared sensing circuit coupled between the latch input node and a reference potential, wherein the shared sensing circuit refers to the latch input node according to a voltage of the sense node and a voltage of the first cache latch node; A non-volatile memory device selectively coupled to a potential.
前記共有感知回路は、
前記メインラッチ入力ノード及び中間ノードとの間に並列で連結された第1及び第2トランジスタと、
前記中間ノード及び参照電位との間に並列で連結された第3及び第4トランジスタを含むことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ装置。
The shared sensing circuit is
First and second transistors connected in parallel between the main latch input node and the intermediate node;
The nonvolatile memory device of claim 1, further comprising third and fourth transistors connected in parallel between the intermediate node and a reference potential.
前記第2トランジスタのゲートは前記第1キャッシュラッチノードに連結され、前記第 3トランジスタのゲートは前記感知ノードに連結されることを特徴とする請求項2に記載の不揮発性メモリ装置。   The non-volatile memory device of claim 2, wherein a gate of the second transistor is connected to the first cache latch node, and a gate of the third transistor is connected to the sensing node. 前記第2トランジスタのゲートはラッチ制御信号に連結され、前記第4トランジスタのゲートはダンプ制御信号に連結されることを特徴とする請求項3に記載の不揮発性メモリ装置。   The non-volatile memory device of claim 3, wherein a gate of the second transistor is connected to a latch control signal, and a gate of the fourth transistor is connected to a dump control signal. 前記メモリ装置は最下位ビットLSBプログラム過程及び最上位ビットMSBプログラム過程を含むマルチレベルセルMLCモードで動作し、
前記MSBプログラム過程は初期の読み出し動作を含み、
前記初期の読み出し動作は(a)前記スィッチ回路が初期感知制御信号に回答して前記第2キャッシュラッチノードを前記ラッチ入力ノードに連結し、(b)前記第1トランジスタが前記ラッチ制御信号に回答してターンオンされ、(c)第4トランジスタがダンプ制御信号に回答してターンオフされることを特徴とする請求項4に記載の不揮発性メモリ装置。
The memory device operates in a multi-level cell MLC mode including a least significant bit LSB programming process and a most significant bit MSB programming process;
The MSB program process includes an initial read operation;
The initial read operation includes: (a) the switch circuit responding to an initial sensing control signal to connect the second cache latch node to the latch input node; and (b) the first transistor responding to the latch control signal. 5. The non-volatile memory device according to claim 4, wherein the non-volatile memory device is turned on, and (c) the fourth transistor is turned off in response to the dump control signal.
前記MLCモードで、前記不揮発性メモリセルは第1、第2、第3、第4の閾値電圧状態の中で少なくとも一つの状態で選択的にプログラムされ、
前記第1、第2、第3、第4閾値電圧状態はそれぞれデータ値“11”、“10”、“00”、“01”を規定することを特徴とする請求項5に記載の不揮発性メモリ装置。
In the MLC mode, the nonvolatile memory cell is selectively programmed in at least one of first, second, third, and fourth threshold voltage states;
6. The non-volatile of claim 5, wherein the first, second, third, and fourth threshold voltage states define data values “11”, “10”, “00”, and “01”, respectively. Memory device.
前記MSBプログラム過程は前記初期の読み出しの動作以後に、メモリセルがプログラムされるMSBプログラムの実行動作及び前記プログラムされたメモリセルの閾値電圧が検証される少なくとも一度のMSB検証動作をさらに含むことを特徴とする請求項6に記載の不揮発性メモリ装置。   The MSB programming process further includes an MSB program execution operation in which a memory cell is programmed and an MSB verification operation in which a threshold voltage of the programmed memory cell is verified after the initial read operation. The non-volatile memory device according to claim 6. 前記少なくとも一度のMSB検証動作は“00”検証動作を含み、
前記“00”検証動作は(a)前記ラッチ制御信号及び前記ダンプ制御信号が前記第1及び第4トランジスタをターンオフさせ、(b)前記スィッチ回路が前記第2キャッシュラッチノードと前記ラッチ入力ノードを遮断することを特徴とする請求項7に記載の不揮発性メモリ装置。
The at least one MSB verification operation includes a “00” verification operation;
The “00” verification operation includes (a) the latch control signal and the dump control signal turning off the first and fourth transistors, and (b) the switch circuit connecting the second cache latch node and the latch input node. The nonvolatile memory device according to claim 7, wherein the nonvolatile memory device is cut off.
前記少なくとも一度のMSB検証動作は“01”検証動作を含み、
前記“01”検証動作は(a)前記ラッチ制御信号が前記第1トランジスタをターンオンさせ、(b)前記ダンプ制御信号が前記第4トランジスタをターンオフさせ、(c)前記スィッチ回路が前記第2キャッシュラッチノードと前記ラッチ入力ノードを遮断することを特徴とする請求項8に記載の不揮発性メモリ装置。
The at least one MSB verification operation includes a “01” verification operation;
The “01” verification operation includes: (a) the latch control signal turns on the first transistor; (b) the dump control signal turns off the fourth transistor; and (c) the switch circuit causes the second cache to turn on. 9. The nonvolatile memory device according to claim 8, wherein the latch node and the latch input node are cut off.
前記メモリ装置はシングル(単一)レベルセルSLCモード及びマルチレベルセルMLCモードで全部動作することを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ装置。   The non-volatile memory device of claim 1, wherein the memory device operates in a single level cell SLC mode and a multi-level cell MLC mode. 前記SLCモードはプログラムデータが前記キャッシュラッチ回路にあらかじめローディング(事前ロード)されるSLCプログラム過程を含むことを特徴とする請求項10に記載の不揮発性メモリ装置。   The non-volatile memory device of claim 10, wherein the SLC mode includes an SLC program process in which program data is preloaded into the cache latch circuit. 前記MLCモードはLSBプログラム過程と後に従うMSBプログラム過程を有する MLCプログラム動作を含むことを特徴とする請求項11に記載の不揮発性メモリ装置。   The nonvolatile memory device of claim 11, wherein the MLC mode includes an MLC program operation including an LSB program process and an MSB program process following the LSB program process. 前記MSBプログラム過程は初期読み出し動作を含み、
前記初期読み出しの動作は前記スィッチ回路が制御信号に回答して前記キャッシュラッチ回路を前記メインラッチ回路に連結し、共有感知回路は前記感知ノードの電圧に回答して前記メインラッチ回路を前記参照電位に選択的に連結することを特徴とする請求項12に記載の不揮発性メモリ装置。
The MSB program process includes an initial read operation;
In the initial read operation, the switch circuit responds to a control signal to connect the cache latch circuit to the main latch circuit, and the shared sensing circuit responds to the voltage of the sensing node to connect the main latch circuit to the reference potential. The nonvolatile memory device according to claim 12, wherein the nonvolatile memory device is selectively coupled to the non-volatile memory device.
前記MSBプログラム過程は前記初期の読み出し動作以後に、メモリセルをプログラムするMSBプログラム実行動作及び前記プログラムされたメモリセルの前記閾値電圧を検証する検証動作をさらに含むことを特徴とする請求項13に記載の不揮発性メモリ装置。   The method of claim 13, wherein the MSB programming process further includes an MSB program execution operation for programming a memory cell and a verification operation for verifying the threshold voltage of the programmed memory cell after the initial read operation. The nonvolatile memory device described. 前記不揮発性メモリセルアレイはナンドタイプフラッシュメモリセルであることを特徴とする請求項1に記載の不揮発性メモリ装置。   The nonvolatile memory device according to claim 1, wherein the nonvolatile memory cell array is a NAND type flash memory cell. メインラッチ回路と、
キャッシュラッチ回路と、
感知ノード及び前記キャッシュラッチ回路の電圧に回答して前記メインラッチ回路を参照電位に選択的に連結する共有感知回路とを含むことを特徴とする不揮発性メモリ装置のページバッファ。
A main latch circuit;
A cache latch circuit;
A page buffer of a non-volatile memory device, comprising: a sensing node and a shared sensing circuit that selectively couples the main latch circuit to a reference potential in response to a voltage of the cache latch circuit.
前記メモリ装置は単一レベルセルSLCモードとマルチレベルセルMLCモードの全部で動作することを特徴とする請求項16に記載の不揮発性メモリ装置のページバッファ。   The page buffer of claim 16, wherein the memory device operates in all of a single level cell SLC mode and a multi-level cell MLC mode. 前記SLCモードはプログラムデータが前記キャッシュラッチ回路にあらかじめローディング(事前ロード)されるSLCプログラム過程を含むことを特徴とする請求項17に記載の不揮発性メモリ装置のページバッファ。   The page buffer of claim 17, wherein the SLC mode includes an SLC program process in which program data is preloaded into the cache latch circuit. 前記MLCモードはLSBプログラム過程と後に従うMSBプログラム過程を含むMLCプログラム動作を含むことを特徴とする請求項17に記載の不揮発性メモリ装置のページバッファ。   The page buffer of claim 17, wherein the MLC mode includes an MLC program operation including an LSB program process and a subsequent MSB program process. 前記MSBプログラム過程は初期読み出し動作を含み、
前記初期読み出し動作はスィッチ回路が制御信号に回答して前記キャッシュラッチ回路を前記メインラッチ回路に連結し、前記共有感知回路が前記感知ノードの電圧に回答して前記メインラッチ回路を前記参照電位に選択的に連結することを特徴とする請求項19に記載の不揮発性メモリ装置のページバッファ。
The MSB program process includes an initial read operation;
In the initial read operation, a switch circuit responds to a control signal to connect the cache latch circuit to the main latch circuit, and the shared sensing circuit responds to a voltage of the sensing node to bring the main latch circuit to the reference potential. The page buffer of the non-volatile memory device according to claim 19, wherein the page buffer is selectively connected.
前記MSBプログラム過程は前記初期の読み出し動作以後に、メモリセルがプログラムされるMSBプログラム動作及び前記プログラムされたメモリセルを検証する少なくとも一度のMSB検証動作をさらに含むことを特徴とする請求項20に記載の不揮発性メモリ装置のページバッファ。   The method of claim 20, wherein the MSB programming process further includes an MSB program operation in which a memory cell is programmed after the initial read operation and at least one MSB verification operation to verify the programmed memory cell. A page buffer of the nonvolatile memory device described. 前記MLCモードで、前記不揮発性メモリセルは第1、第2、第3、第4閾値電圧の状態の中で少なくとも一つの状態で選択的にプログラムされ、
前記第1、第2、第3、第4閾値電圧状態はデータ値“11”、“10”、“00”、そして“01”をそれぞれ規定することを特徴とする請求項21に記載の不揮発性メモリ装置のページバッファ。
In the MLC mode, the nonvolatile memory cell is selectively programmed in at least one state among first, second, third, and fourth threshold voltage states;
The nonvolatile memory of claim 21, wherein the first, second, third, and fourth threshold voltage states define data values "11", "10", "00", and "01", respectively. Page buffer of a random memory device.
前記少なくとも一度のMSB検証動作は“00”検証動作を含み、
前記“00”検証動作は前記スィッチ回路が制御信号に回答して前記キャッシュラッチ回路と前記メインラッチ回路を遮断し、前記共有感知回路が前記感知ノード及び前記キャッシュラッチ回路の電圧に回答して前記メインラッチ回路を前記参照電位に選択的に連結することを特徴とする請求項22に記載の不揮発性メモリ装置のページバッファ。
The at least one MSB verification operation includes a “00” verification operation;
In the “00” verification operation, the switch circuit responds to a control signal to shut off the cache latch circuit and the main latch circuit, and the shared sensing circuit responds to voltages of the sensing node and the cache latch circuit. The page buffer of claim 22, wherein a main latch circuit is selectively coupled to the reference potential.
前記少なくとも一度のMSB検証動作は、前記スィッチ回路が前記キャッシュラッチ回路と前記メインラッチ入力回路を遮断する“01”検証動作を含むことを特徴とする請求項23に記載の不揮発性メモリ装置のページバッファ。   The page of the non-volatile memory device according to claim 23, wherein the at least one MSB verification operation includes a "01" verification operation in which the switch circuit shuts off the cache latch circuit and the main latch input circuit. buffer. 前記不揮発性メモリ装置はナンドタイプフラッシュメモリセルを含むことを特徴とする請求項16に記載の不揮発性メモリ装置のページバッファ。   The page buffer of claim 16, wherein the nonvolatile memory device includes NAND type flash memory cells. 不揮発性メモリセルアレイ及びページバッファを含み、前記ページバッファは、(a)前記メモリセルアレイのビットラインに選択的に連結される感知ノードと、(b)前記感知ノードに選択的に連結されるメインラッチノードと第2メインラッチノードと、(c)前記第1及び第2メインラッチノードに選択的に連結されるラッチ入力ノード、(d)第1及び第2キャッシュラッチノードを含むキャッシュラッチ回路と、(e)前記ラッチ入力ノードに前記第2キャッシュラッチノードを選択的に連結するスィッチ回路と、(f)前記ラッチ入力回路と参照電位を間に連結された共有感知回路を含む不揮発性メモリ装置の動作方法において、
LSBプログラム過程及び後に従うMSBプログラム過程を含むマルチレベルセルMLCプログラム動作を実行する段階を含み、
前記MSBプログラム過程は(a)スィッチ回路が初期感知制御信号に回答して前記第2キャッシュラッチノードを前記ラッチ入力ノードに選択的に連結し、(b)前記共有感知回路が前記感知ノードの電圧に回答して前記ラッチ入力ノードを前記参照電位に選択的に連結する初期読み出し動作を含むことを特徴とする不揮発性メモリ装置の動作方法。
A non-volatile memory cell array and a page buffer, the page buffer comprising: (a) a sense node selectively coupled to a bit line of the memory cell array; and (b) a main latch selectively coupled to the sense node. A node and a second main latch node; (c) a latch input node selectively coupled to the first and second main latch nodes; and (d) a cache latch circuit including first and second cache latch nodes; (E) a non-volatile memory device including: a switch circuit that selectively connects the second cache latch node to the latch input node; and (f) a shared sensing circuit that has a reference potential connected between the latch input circuit and a reference potential. In operation method,
Performing a multi-level cell MLC program operation including an LSB program process and a subsequent MSB program process,
The MSB programming process includes: (a) a switch circuit responding to an initial sensing control signal to selectively connect the second cache latch node to the latch input node; and (b) the shared sensing circuit detects a voltage of the sensing node. And an initial read operation of selectively coupling the latch input node to the reference potential.
前記MSBプログラム過程は前記初期の読み出し動作以後に、メモリセルをプログラムするMSBプログラム実行過程及び前記プログラムされたメモリセルの閾値電圧を検証する少なくとも一度のMSB検証動作をさらに含むことを特徴とする請求項26に記載の不揮発性メモリ装置の動作方法。   The MSB program process further includes an MSB program execution process for programming a memory cell and an at least one MSB verification operation for verifying a threshold voltage of the programmed memory cell after the initial read operation. Item 27. A method of operating a nonvolatile memory device according to Item 26. 前記少なくとも一度のMSB検証動作は“00”検証動作を含み、
前記“00”検証動作は(a)前記スィッチ回路が前記初期の感知制御信号に回答して前記第2キャッシュラッチノードと前記ラッチ入力ノードを遮断し、(b)前記共有感知回路が前記感知ノード及び第1キャッシュラッチノードの電圧に回答して前記ラッチ入力ノードを前記参照電位に選択的に連結することを特徴とする請求項27に記載の不揮発性メモリ装置の動作方法。
The at least one MSB verification operation includes a “00” verification operation;
The “00” verification operation is performed by: (a) the switch circuit responding to the initial sensing control signal to shut off the second cache latch node and the latch input node; and (b) the shared sensing circuit is the sensing node. 28. The method of claim 27, wherein the latch input node is selectively coupled to the reference potential in response to a voltage of the first cache latch node.
前記少なくとも一度のMSB検証動作は前記スィッチ回路が前記第2キャッシュラッチノードと前記ラッチ入力ノードを遮断する“01”検証動作を含むことを特徴とする請求項28に記載の不揮発性メモリ装置の動作方法。   29. The operation of the nonvolatile memory device according to claim 28, wherein the at least one MSB verification operation includes a "01" verification operation in which the switch circuit cuts off the second cache latch node and the latch input node. Method. SLCプログラム動作及びSLC読み動作を実行する段階をさらに含むことを特徴とする請求項26に記載の不揮発性メモリ装置の動作方法。   27. The method of claim 26, further comprising performing an SLC program operation and an SLC read operation. 前記SLCプログラム動作は前記キャッシュラッチにデータをプログラムする事前ロード動作を含むことを特徴とする請求項30に記載の不揮発性メモリ装置の動作方法。   32. The method of claim 30, wherein the SLC program operation includes a preload operation for programming data in the cache latch. 前記不揮発性メモリ装置はナンドタイプフラッシュメモリセルであることを特徴とする請求項15に記載の不揮発性メモリ装置の動作方法。   The method of claim 15, wherein the nonvolatile memory device is a NAND type flash memory cell. 感知ノード及びキャッシュラッチ回路の電圧に回答してメインラッチ回路を参照電位に選択的に連結する共有感知回路を用いる段階を含むことを特徴とする不揮発性メモリ装置の動作方法。   A method of operating a non-volatile memory device comprising using a shared sensing circuit that selectively couples a main latch circuit to a reference potential in response to voltages of a sensing node and a cache latch circuit. 単一レベルセルSLCモード及びマルチレベルセルMLCモード全部で記不揮発性メモリ装置を選択的に動作するようにする段階をさらに含むことを特徴とする請求項33に記載の不揮発性メモリ装置の動作方法。   The method of claim 33, further comprising selectively operating the nonvolatile memory device in all of the single level cell SLC mode and the multi-level cell MLC mode. . 前記SLCモードはプログラムデータを前記キャッシュラッチ回路にあらかじめローディングする(事前ローディング)するSLCプログラム過程を含むことを特徴とする請求項34に記載の不揮発性メモリ装置の動作方法。   35. The method of claim 34, wherein the SLC mode includes an SLC program process of preloading program data into the cache latch circuit (preloading). 前記MLCモードは少なくともLSBプログラム過程及び後に従うMSBプログラム過程を含むMLCプログラム動作を含むことを特徴とする請求項34に記載の不揮発性メモリ装置の動作方法。   35. The method of claim 34, wherein the MLC mode includes an MLC program operation including at least an LSB program process and a subsequent MSB program process. MSBプログラム過程はスィッチ回路が制御信号に回答して前記キャッシュラッチ回路を前記メインラッチ回路に連結し、前記共有感知回路が前記感知ノードの電圧に回答して前記メインラッチ回路を前記参照電位に選択的に連結する初期読み出し動作を含むことを特徴とする請求項36に記載の不揮発性メモリ装置の動作方法。   In the MSB program process, the switch circuit responds to the control signal to connect the cache latch circuit to the main latch circuit, and the shared sensing circuit responds to the voltage of the sensing node to select the main latch circuit as the reference potential. 37. The method of claim 36, further comprising an initial read operation that is connected to each other. 前記不揮発性メモリ装置はナンドタイプフラッシュメモリセルであることを特徴とする請求項33に記載の不揮発性メモリ装置の動作方法。   34. The method of claim 33, wherein the nonvolatile memory device is a NAND type flash memory cell.
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