JP2007003320A - Photodetector - Google Patents

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Inventor
Takao Okado
孝夫 岡戸
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Shimadzu Corp
株式会社島津製作所
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent bedewing in a photodetector having a cooling mechanism and suppress the consumption of a purge gas.
SOLUTION: The photodetector comprises: a light guide path guiding the light from the spectroscope to a photodetector element; a cooling mechanism for cooling the photodetector element, a case shielding the temperature control mechanism from the air; and a purge mechanism for purging the gas inside the case through a ventilation hole by providing the ventilation hole in the case. Sensors for measuring the humidity are provided. After purging from the case inside until the humidity in the case comes down to a preset value or lower, cooling by the cooling mechanism is initiated.
COPYRIGHT: (C)2007,JPO&INPIT

Description

本発明は、ICP(高周波誘導結合プラズマ)発光分光分析等に用いられる分光光度計に関し、さらに詳細には、分光光度計の光路をガス置換するガスパージ機構を有する光検出器に関する。 The present invention, ICP relates spectrophotometer used (inductively coupled plasma) emission spectroscopy or the like, more particularly, the optical path of the spectrophotometer to an optical detector having a gas purge mechanism for gas replacement.

ICP発光分光分析装置は、溶液化された試料をプラズマトーチに導入して試料を発光させ、試料から放射された光を分光器で各元素のスペクトル光に分光した後、各スペクトル光の強度を光検出器で測定して試料に含まれる各元素の定性・定量を行う装置であり、高周波誘導結合プラズマを光源とした発光分析法は溶液試料の分析に適し、分析試料数や分析元素数の増大に伴ってICP発光分光分析の迅速性や高精度さが評価され、JISやISOをはじめ、水道法等の公定法でも多く採用されている。 ICP emission spectral analyzer, a solution of the sample is introduced into the plasma torch to emit a sample, after separated into spectral light of each element in the spectrometer the light emitted from the sample, the intensity of each spectral light a device for performing qualitative and quantitative determination of each element contained in the sample is measured by a photodetector, emission spectrometry method using high-frequency inductively coupled plasma as a light source suitable for the analysis of the solution sample, and the number analysis element number of analytical sample are evaluated rapidity and precision of with increasing ICP emission spectroscopy, including JIS and ISO, it is often employed in the official method of the water method. (非特許文献1) (Non-Patent Document 1)

ICP発光分光分析装置を含め分光光度計を用いて試料を測定する際に、吸収線を持たないガスで分光器内をガス置換する場合がある。 When measuring the sample using a spectrophotometer including ICP emission spectrophotometer, and the inside of the spectrometer sometimes gas replaced by a gas having no absorption line. 分析対象となる元素が硫黄、燐、炭素、臭素等である場合には、これらの元素の発光スペクトルは、その波長が200nm以下(いわゆる真空紫外領域)にあり、大気中の酸素の存在下では酸素によるスペクトルの吸収が起こり、十分な分析感度を得ることができなくなるためである。 If the analyzed element is sulfur, phosphorus, carbon, bromine, etc., the emission spectra of these elements is in its wavelength 200nm or less (so-called vacuum ultraviolet region), in the presence of atmospheric oxygen occurs spectral absorption of by oxygen, it becomes impossible to obtain sufficient assay sensitivity. したがって、そのような元素を分析対象とする場合には、分光器内部を真空ポンプで減圧するか、窒素ガスやアルゴンガスで置換(パージ)することにより大気中の酸素による光の吸収の影響を低減している。 Therefore, in case of analyzing such elements, either vacuum spectrometer inside a vacuum pump, the effect of absorption of light by oxygen in the atmosphere by replacing (purging) with nitrogen gas or argon gas It is reduced. さらに、分光器内部だけではなく、分光器を出た光が検出器の受光面に至るまでの空間(導光路)についても、同様にパージを行うことで高感度の検出が期待される。 Further, the spectroscope not internally only, the light exiting the spectrometer for the spatial (guiding path) up to the light receiving surface of the detector, the detection of high sensitivity by performing the same purge expected.

光を検出するための光検出素子には、例えば、半導体検出素子(分割アレイ型CCD検出素子)が使用されている。 The light detecting element for detecting light, for example, a semiconductor detection element (divided array type CCD detector element) is used. ノイズを低減させて感度を向上させるために、光検出器に冷却機構(例えば、ペルチェ素子)を備えて温度調節を行っている。 Thereby reducing the noise in order to improve the sensitivity, the cooling mechanism for optical detectors (e.g., a Peltier device) and the temperature was adjusted with a. しかし、冷却機構を備えた光検出素子を分光器内部に設置することは構造上困難であり、また、冷却機構を備えた光検出素子を分光器の外に設置して分光器から光検出器へ光を導く導光路をする構造では大気中での冷却により結露が生じ光検出器周辺の電気部品に漏電等故障の危険をきたす。 However, it is structurally difficult to install the light detecting element with a cooling mechanism spectrometer therein, also, the light detector from the spectroscope by installing a light detecting element with a cooling mechanism outside of the spectrometer to cause the risk of electric leakage fault to the electrical components of the ambient light detector condensation occurs by cooling in the atmosphere in the structure of the light guide path for guiding light. そこで、光検出器の内部の高湿度の空気をパージガスで置換する構成にしたICP発光分光分析装置が提案されている(非特許文献2)。 Accordingly, ICP emission spectrometer for the high humidity of the air inside was configured to replace with a purge gas of the photodetector has been proposed (Non-Patent Document 2).

図3に非特許文献2に係るICP発光分光分析装置の構成概略図を示した。 Showing the configuration schematic diagram of an ICP emission spectrophotometer according to Non-Patent Document 2 in FIG. この構成は、分光器10と導光路20と光検出器30(容積約0.8L)とに分割して、分光器10を真空にする一方で導光路20及び光検出器30をパージするという運用を可能にし、さらに導光路20及び光検出器30を別のものと適宜取り替えるという柔軟な運用を可能にしている。 This configuration operation that is divided into the spectroscope 10 and the light guide path 20 and the photodetector 30 (volume about 0.8 L), purging the light path 20 and a photodetector 30 the spectrometer 10 while a vacuum which enables a flexible operation that the permit, replaced more light guiding path 20 and photodetector 30 as appropriate with another. また、分割することで、パージガスで置換しなければならない容積を小さくし、また、部品の配置により置換されにくくなる部分(デッドボリュウム)を少なくしている。 Further, by dividing, and reduce the volume that must be replaced with a purge gas, also with less hardly becomes part substituted (dead Boryuumu) the arrangement of parts. 光検出素子31に設置される冷却機構のうち低温(-20〜-10 ℃)になる部分は導光路20の外側に設置している。 Areas of low temperature (-20 to-10 ° C.) of the cooling mechanism installed in the light-detecting element 31 is placed on the outside of the light guide path 20. 光検出素子31の集光面の反対側に設置される冷却機構(ペルチェ素子32、放熱板33、熱交換部35)及び電気回路を形成した基板34は光検出器30の筐体に内包されている。 Cooling mechanism is installed on the opposite side of the light collecting surface of the light-detecting element 31 (the Peltier element 32, the heat radiating plate 33, the heat exchange section 35) and the substrate 34 to form an electrical circuit is enclosed in a casing of the photodetector 30 ing. 光検出器30と導光路20を連通し、ともにパージを行っている。 Communicating the optical detector 30 and the light conducting path 20, are both performed purge. パージガスはガス源40から供給され、操作者がガス流量調整弁41の開度を調整することでガス流量が調整される。 The purge gas supplied from the gas source 40, the operator gas flow rate is adjusted by adjusting the opening of the gas flow control valve 41.

ICP発光分光分析装置のプラズマトーチからの光は、真空に保たれた分光器10で分光され、分光器出口窓11より導光路20を経て光検出素子31の受光面に入射する。 Light from the plasma torch of an ICP emission spectrophotometer is spectroscope 10 kept at a vacuum, via the light guiding path 20 from the spectrometer exit window 11 is incident on the light receiving surface of the photodetector element 31. 受光面に入射した光は光電変換され、信号として制御や信号処理を行う制御部(図示しない)へ伝達される。 The light incident on the light receiving surface is photoelectrically converted, is transmitted the control unit for controlling and signal processing as the signal to (not shown). 光検出素子31の受光面の反対側には、ペルチェ素子32が設置されており、光検出素子31の熱を光検出素子31とは反対の面に熱を移動させる。 On the opposite side of the light-receiving surface of the photodetector element 31 is the Peltier element 32 is disposed, to transfer heat to the opposite side from the thermal photodetector element 31 of the photodetecting element 31. ペルチェ素子32には放熱を促進するためにL字型の伝熱板33(アルミニウム等の熱伝導率が高い材質製)が設置され、熱交換部35にて冷却を行っている。 The Peltier element 32 L-shaped heat transfer plate 33 (made of a high thermal conductivity such as aluminum material) is installed to facilitate heat dissipation, and to cool in the heat exchange portion 35. 水冷の場合には、熱交換部35を冷却するための冷水の流入口と流出口があり(図示せず)、外部の冷却装置(図示せず)に接続され冷却水が冷却される。 In the case of water cooling, there are cold water inlet and an outlet for cooling the heat exchange portion 35 (not shown) is connected to an external cooling device (not shown) the cooling water is cooled. 基板34がL字型内側に搭載され、光検出器の制御・処理の一部を担っている。 Substrate 34 is mounted on the L-shaped inner, it plays a part of the control and processing of the photodetector.

ICP発光分光分析装置を用いて分析を行う前にパージガスが、導光路20に設けられた通気孔A、導光路20、導光路20から光検出器30に通じる通気孔B、光検出器30、光検出器30に設けられた通気孔Cを順に経て、大気中に排気される。 Purge gas prior to performing the analysis using ICP emission spectroscopic analysis apparatus, vents A, the light conducting path 20 provided in the light guiding path 20, the vent hole B, the light detector 30 leading from the light conducting path 20 to the photodetector 30, through the vent hole C provided on the light detector 30 in this order, and is exhausted to the atmosphere. これにより、導光路20及び光検出器30内のガスはパージガスで置換され、酸素による吸収の影響を受けることがない高感度な分析を行うことができる状態になる。 Thus, the gas guiding path 20 and the optical detector 30 is replaced with a purge gas, a state capable of performing high-sensitivity analysis is not affected by the absorption by oxygen.

上述のような構成の場合、熱交換部35の冷却能力が過剰であるときやパージ機構の故障等によりパージガスの供給が遮断されたとき、光検出器内部の結露水が発生し、電気部品がショートする等の故障が発生するおそれがある。 For the above-described configuration, when a failure, such as a supply of purge gas through the or purging mechanism when the cooling capacity of the heat exchange unit 35 is excessive is blocked, the photodetector internal dew condensation water is generated, the electrical components there is a fear that a failure such as a short circuit occurs. 光検出器30の内部をパージするだけで、光検出器30内部の湿度を下げた状態、特に分析時にできるだけ短い準備時間で高感度な分析ができる状態にするには、パージし続けておかなければならない。 Simply purging the interior of the light detector 30, a state of lowering the optical detector 30 inside the humidity in a state in which especially highly sensitive analysis shortest possible preparation time during analysis, be kept continually purged shall. 冷却装置の設定温度を上げて結露を抑制することも不可能ではないが、不十分な冷却により光検出素子31におけるノイズの低減が不十分となる。 Not impossible to suppress the condensation by raising the set temperature of the cooling device, but the reduction of noise in the photodetector element 31 becomes insufficient due to insufficient cooling. これでは高感度な分析を行うことができず、不適切である。 This can not be to perform a high-sensitivity analysis, it is inappropriate.

上記課題に鑑みなされた本発明は、分光器からの光を光検出素子に導く導光路と、前記光検出素子を冷却する冷却機構と、前記冷却機構を外気から遮断する筐体と、前記筐体に通気孔を設け前記通気孔を経て前記筐体内のガスをパージするパージ機構を具備する光検出器において、前記筐体内の湿度を測定するセンサーを設け、前記筐体内の湿度があらかじめ定めた湿度以下になるまで前記筐体内のパージを行った後、前記冷却機構により冷却を開始することを特徴とする。 The present invention was made in view of the above problems, a light guide path for guiding the light from the spectroscope light detecting element, a cooling mechanism for cooling the light detecting element, a housing for blocking the cooling mechanism from the outside air, said housing in body through the vent hole is provided vents photodetector having a purging mechanism for purging the enclosure of the gas, a sensor for measuring the humidity of the housing is provided, the humidity of the housing is predetermined after purging of the housing until the moisture following, characterized in that cooling is started by the cooling mechanism. この構成により、湿度を測定するセンサーを設けることによって、光検出器の筐体内部の湿度を測定することができ、さらに、湿度を測定してセンサーの出力信号に基づいて冷却機構を調節すれば光検出器の筐体内に発生する結露を防止することができ、光検出器の電気回路の損傷を回避することができる。 With this configuration, by providing a sensor for measuring the humidity, it is possible to measure the humidity of the inside of the casing of the photodetector, further, by adjusting the cooling mechanism based on the sensor output signal by measuring the humidity it is possible to prevent dew condensation occurring in the housing of the optical detector, it is possible to avoid damage to the electrical circuits of the photodetector.

さらに、前記センサーが測定した湿度に基づいて前記パージ機構によるガス流量が設定されることを特徴とする。 Further characterized in that the gas flow rate is set by the purge mechanism on the basis of humidity the sensor was measured. センサーの出力信号に基づいてパージ機構によるガス流量を設定することで、冷却により湿度が上昇した光検出器内の空気をより効率的にパージすることができる。 By setting the gas flow rate by the purge mechanism on the basis of the sensor output signal can be more efficiently purged of air in the photodetector humidity rises by cooling. パージ機構のみを有する場合と比較して、積極的に光検出器の筐体内のパージを行うことができる。 As compared with the case having only purge mechanism, positively it can be performed in the housing of the purge of the photodetector.

さらに、前記筐体を透明な部材で構成したことを特徴とする。 Further characterized by being configured the housing of a transparent material. 光検出器の筐体を透明な部材で構成することによって、光検出器の内部を視認することができ、パージのためのガス流量や光検出器の冷却温度が適切であるかどうかを確認することができる。 By forming the housing of the optical detector a transparent member, it is possible to visually recognize the inside of the light detector, the cooling temperature of the gas flow rate and the light detector for the purge to see if it is suitable be able to.

本発明に係る光検出器においては、高感度に分析を行うために光路上のガスを置換する際に、湿度を下げるためのパージガスの流量を少なくすることができる。 In the optical detector according to the present invention, when replacing the optical path of the gas for analysis with high sensitivity, it is possible to reduce the flow rate of purge gas to reduce the humidity. また、万一、センサーが破損した場合には結露が頻発する可能性があり、光検出器内部の状態を即座に確認することができる。 Also, the event that the sensor is damaged there is a possibility that dew condensation occurs frequently, it is possible to check the state of the internal optical detector immediately. 本発明に係る光検出器を用いると、高感度に分析を行うための状態が確保されているため、分析結果に対する信頼性が向上する。 With optical detector according to the present invention, since the state for performing an analysis with high sensitivity is ensured, reliability of analysis results is improved.

図1に本発明に係るICP発光分光分析装置の構成概略図を示し、図3と共通の部分には同じ符号を付した。 It shows a schematic diagram of the structure of the ICP emission spectroscopic analysis apparatus according to the present invention in FIG. 1, the same parts as in FIG. 3 are denoted by the same reference numerals. 本発明では、図3のICP発光分光分析装置の光検出器30の筐体内部で冷却されて結露しやすく制御用の基板類34に影響を与える部分にセンサーSを設置し、ガス源40から導光路20にパージガスを導入する配管にはガス流量制御器42が設置されている。 In the present invention, the sensor S is placed in the portion that affects the ICP emission spectrophotometer of the photodetector 30 of the casing substrate such 34 for control inside likely to be cooled by condensation of 3, from the gas source 40 the pipe for introducing a purge gas into the light guide path 20 is installed a gas flow controller 42. センサーSは結露センサーであり、湿度に対する出力情報として、湿度100%RHで200kΩ、93%RHで100kΩ、75%で20kΩの抵抗値を示す。 Sensor S is condensation sensor, shown as output information to humidity, 200 k [Omega] at a humidity 100% RH, 100 k.OMEGA at 93% RH, the resistance value of 20kΩ 75%. センサーSの出力情報は、制御部50に随時伝達され、制御部50はセンサーS付近の現在の湿度や結露状態、冷却の開始の可否を判定し、判定に基づいてペルチェ素子32の動作を決定する。 The output information of the sensor S is needed transmitted to the control unit 50, determines the current humidity and dew condensation in the vicinity of the control unit 50 the sensor S, determines whether the start of cooling, the operation of the Peltier element 32 based on the determination to.

図2は、冷却開始のタイミングと光検出器30の筐体内に設置したセンサーの値の関係を示した図である。 Figure 2 is a diagram showing the installed sensors value relationships in a housing of the timing of starting the cooling and the light detector 30. パージは乾燥したアルゴンガス0.5L/minで行い、(a)はパージを始めると同時に冷却を開始した時の湿度の変化、(b)はパージを始めて5分後に冷却を開始したときの湿度の変化を表している。 Purge was performed with dry argon gas 0.5L / min, (a) the change of humidity at the start of cooling at the same time begin to purge, the moisture at the start of cooling (b) is begun purged after 5 minutes it represents the change. 冷却が開始されるとペルチェ素子32は光検出素子31を冷却し、周囲の湿度が上昇する。 When the cooling is started Peltier element 32 the light-detecting element 31 is cooled, ambient humidity is increased. 冷却とパージを同時に開始した場合(a)には湿度が上昇する光検出器30の筐体内のガスをパージガスで置換することができず、冷却開始2分後に湿度100%RH(抵抗値:200kΩ)に達している。 Cooling and purging the housing of the gas of the photodetector 30 which humidity rises can not be replaced with a purge gas in the case (a) which was started at the same time, cooling start humidity 100% RH after 2 minutes (resistance value: 200 k [Omega] ) to have reached. 抵抗値がこのような値を示していれば結露が生じているのが明らかであり、光検出器30の故障を防ぐために冷却を停止し、光検出器30への電源供給を停止した。 That the resistance value is condensation occurs if indicates such values ​​are apparent, the cooling in order to prevent malfunction of the photodetector 30 is stopped, and stops the power supply to the light detector 30. 一方、パージを5分間行った後に冷却を開始した場合(b)には徐々に湿度が低下し(0〜6分)、一旦湿度が上昇する(6〜8分)が、再度湿度は低下している。 On the other hand, if the cooling was begun after the purge for 5 minutes in (b) gradually humidity decreases (0-6 minutes), once the humidity rises is (6-8 minutes), again humidity decreases ing. 光検出器30の筐体内で結露を発生させず、光検出器30の筐体内のガスをパージガスで置換することができていることを示している。 Without generating condensation in the housing of the optical detector 30, and the housing of the gas of the photodetector 30 indicates that the can be replaced with a purge gas.

先に光検出器30の筐体内のパージを行い、基準とする湿度に達した時点(本実施例では結露センサの抵抗値として1.5kΩ、湿度で50%RH程度)で冷却を開始すれば、一時的に湿度が上昇するものの、結露には至らないことを見出した。 Previously performed housing of purging of the photodetector 30, (1.5 k as the resistance value of the dew sensor in this embodiment, about 50% RH in humidity) upon reaching the humidity of a reference by starting the cooling, the although temporarily humidity rises, we found that not lead to condensation. このことを利用すれば、パージガスの流量を時間的に変化させて結露を抑制することができる。 By utilizing this fact, the flow rate of the purge gas temporally varied can be suppressed condensation. すなわち、パージガス流量を必要時に多く不要時に少なくすることができるので、分析を行う期間の全体としてパージガスの消費量を少なくすることができる。 That is, since it is possible to reduce the time of many unnecessary when necessary purge gas flow rate, it is possible to reduce the consumption of purge gas as a whole of the period for analysis. 例としては、パージの最初にパージガスの流量を0.7L/min.、結露センサーSの出力が、冷却を開始し湿度が高くなり始めたところでパージガスの流量を1.2L/min.にし、再度湿度が低くなり基準の湿度に達したところでパージガスの流量を0.5L/min.にする、何らかの原因で再度湿度が上昇することがあれば流量を増す、というようにパージガスの流量を制御する、ということが可能である。 Examples include a first purge gas flow rate of the purge 0.7 L / min., The output of the condensation sensor S is, the flow rate of the purge gas at the humidity starts cooling began increased to 1.2 L / min., Humidity again the flow rate of the purge gas was reached humidity lower becomes the reference in 0.5 L / min., increasing the flow if it again humidity for some reason is increased, to control the flow rate of the purge gas and so, is that possible it is. 制御は、センサーSの出力情報を得た制御部50がガス流量制御器42内の弁の開度を調整することで行われる。 Control, the control unit 50 to obtain output information of the sensor S is performed by adjusting the opening degree of the valve in the gas flow controller 42. ここで、パージガスの流量を増す動作が行われても、湿度が下がらないのであれば、冷却を停止するようにしても良い。 Here, be performed the operation to increase the flow rate of the purge gas, if the humidity does not drop, it is also possible to stop the cooling. 冷却が停止されている状態では、冷却が不十分で高感度な分析ができなかったり、図2(a)のように冷却停止後も直ちに湿度が低下するわけではなく結露に至った場合には基板に故障をきたしたりする。 In the state where the cooling is stopped, cooling may not be insufficient and sensitive analysis, if immediately humidity even after cooling is stopped as shown in FIG. 2 (a) reaches the condensation rather than necessarily decreases or Kitaichi the failure to the substrate. 冷却が停止されている状態では、適宜表示を行い操作者に注意を促すようにすれば良い。 In the state where the cooling is stopped, it suffices to call attention to the operator to display properly.

表示は、制御部50として使用するコンピュータの表示部に表示させたり、光検出器30の筐体の視認しやすいところにLED(発光ダイオード)を設置して点灯させたりすることで可能である。 Display, or is displayed on the display unit of the computer to be used as the control unit 50, it is possible by or is lit by installing a LED (light emitting diode) in place easily visible in the housing of the optical detector 30.

結露によって冷却を停止した後、放置或いはパージガスを流すようにしておけば、いずれ結露が解消し、図2(c)のように徐々に湿度が低下し、再び使用可能の状態になる。 After stopping the cooling by condensation, if made to flow the left or purge gas, either eliminated condensation, and decreases gradually the humidity as shown in FIG. 2 (c), the again it becomes a usable state. 湿度の基準値(上限値)を設定して、湿度が湿度の上限値を下回った場合には前記表示を解除するようにしておくと良い。 Set a reference value of humidity (upper limit value), it is advisable so as to release the display if the humidity is below the upper limit of the humidity.

本発明を実施するためには、センサーSは結露センサーに限定されることはなく、高い湿度を測定できる湿度センサーであれば良い。 To carry out the present invention, the sensor S is not limited to dew condensation sensor, it may be a humidity sensor capable of measuring a high humidity.

光検出素子31の受光面は導光路20に露出しており、光検出器30側から光は受光面に入らなければ良いので、光検出器30の筐体は、光検出器30内部の結露の状態を視認できるように透明な部材(例えば、ポリカーボネートやアクリル樹脂)で形成されていても良い。 Receiving surface of the photodetector element 31 is exposed to the light guide path 20, since the optical detector 30 side light may be entered on the light receiving surface, the housing of the optical detector 30, light detector 30 inside the condensation a transparent member so as to be seen the state (for example, polycarbonate or acrylic resin) may be formed by.

上記実施例は本発明の単に一例にすぎず、本発明の趣旨の範囲で適宜変更や修正したものも本発明に包含されることは明らかである。 The above examples are merely examples of the present invention, those appropriately changes and modifications within the spirit of the present invention also encompassed by the present invention are apparent.

冷却機構及びパージ機構を有する装置(紫外可視分光光度計等)に利用することができる。 It can be utilized in the apparatus having a cooling mechanism and a purge mechanism (ultraviolet-visible spectrophotometer, etc.).

本願発明に係る光検出器の概略図である。 It is a schematic view of an optical detector according to the present invention. 冷却を開始する条件の違いによる結露状態の違いを示す図である。 Is a diagram illustrating the difference in the dew condensation state due to differences in the condition for starting the cooling. 従来の光検出器の前記略図である。 Which is the schematic diagram of a conventional photodetector.

符号の説明 DESCRIPTION OF SYMBOLS

10・・・分光器 11・・・出口窓 20・・・導光路 30・・・光検出器 31・・・光検出素子 32・・・ペルチェ素子 33・・・伝熱板 34・・・基板類 35・・・熱交換部 40・・・ガス源 41・・・ガス流量調整弁 42・・・ガス流量制御器 50・・・制御部 S・・・・センサー A,B,C・・・通気孔 10 ... spectroscope 11 ... exit window 20 ... light guiding channel 30 ... photodetector 31 ... photodetector 32 ... Peltier device 33 ... transfer plates 34 ... substrate s 35 ... heat exchanger 40 ... gas source 41 ... gas flow rate adjusting valve 42 ... gas flow rate controller 50 ... control unit S · · · · sensors A, B, C ... vent

Claims (3)

  1. 分光器からの光を光検出素子に導く導光路と、 A light guide path for guiding the light from the spectroscope light detecting element,
    前記光検出素子を冷却する冷却機構と、 A cooling mechanism for cooling the light detecting element,
    前記温度調節機構を外気から遮断する筐体と、 A housing for blocking said temperature adjusting mechanism from the outside air,
    前記筐体に通気孔を設け前記通気孔を経て前記筐体内のガスをパージするパージ機構を具備する光検出器において、 In the photodetector having a purging mechanism for purging the enclosure to the said through vent housing of the gas provided ventilation holes,
    前記筐体内の湿度を測定するセンサーを設け、 It provided a sensor for measuring the humidity of the housing,
    前記筐体内の湿度があらかじめ定めた湿度以下になるまで前記筐体内のパージを行った後、 After the humidity of the enclosure is subjected to purging of the housing until the following humidity predetermined,
    前記冷却機構により冷却を開始することを特徴とする光検出器。 Photodetector, characterized in that cooling is started by the cooling mechanism.
  2. 請求項1に記載の光検出器において、 In the optical detector according to claim 1,
    前記センサーが測定した湿度に基づいて前記パージ機構によるガス流量が設定されることを特徴とする光検出器。 Photodetector, wherein a gas flow rate by the purge mechanism on the basis of humidity the sensor is measured is set.
  3. 請求項1から2いずれかに記載の光検出器において、 In the optical detector according to claim 1, 2 or,
    前記筐体を透明な部材で構成したことを特徴とする光検出器。 Photodetector, characterized in that it constitutes the housing of a transparent material.
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