JP2006513431A - 赤外線源及びガスセンサ - Google Patents
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Abstract
Description
主請求項の特徴部分記載の構成を有する本発明の赤外線源及びガスセンサは従来技術に対して次のような利点を有する。すなわち、センサの製造の際に付加的な取り付けコストが必要ではなく、それにもかかわらず広帯域フィルタが赤外線源と赤外線検出器との間に設けられるのである。これによって、有利には、赤外線源から来る放射が動作周波数領域の領域においてのみ照射され、ガスセンサの他の領域におけるエネルギーの散逸も低減されることが可能である。このことによって、赤外線源だけに主要な熱発生が存在することが可能である。この場合、熱発生は検出器サイドからは除去される。さらに、これによって、干渉フィルタの波長を中心とする狭い動作周波数領域における放射だけが特に検出器の方向に到達することが可能である。
本発明の実施例を図面に示し、以下の記述において詳しく説明する。
図2はマイクロメカニカルな赤外線放射体の形式の従来の赤外線源を示し、
図3は通常の干渉フィルタの透過曲線を示し、
図4は本発明の赤外線源から照射される放射のフィルタ透過曲線及び透過特性を示し、
図5は本発明の赤外線源を示し、
図6は第1の層の透過特性を示し、
図7は第2の層の透過特性を示し、
図8はフィルタ透過曲線と透過特性との結合を示し、
図9は本発明のガスセンサの原理的な構造を示す。
図9には本発明のガスセンサの原理的な構造が図示されている。第1の層102及び第2の層103を支持する参照符号10により示された赤外線源から、参照符号21の矢印で示された赤外線放射が検出器30の方向へと送出される。赤外線源10と検出器30との間の領域にはガスが存在し、このガスは参照符号20で示されている。ガスはガス成分を含み、これらのガス成分の濃度がガスセンサによって測定されうる。このようなガス成分としては例えば二酸化炭素CO2が挙げられる。検出器装置30は赤外線検出器31及びフィルタ32を含み、これら両方は保持部材33によって互いに相対的に固定されている。フィルタ32は本発明によればガス20において検出すべき測定ガス、例えばCO2の吸収波長に相応するような波長だけを通過させる。測定波長乃至は検出波長に対する赤外線源から来る赤外線放射21の減衰度から、ガス20における測定すべきガス、例えばCO2のガス濃度が導出される。このために本発明では、図9に図示されたガスセンサの装置の他にさらに基準装置(Referenzanordnung)を設けることが有効である。この基準装置では類似の赤外線検出器の前にフィルタが配置されており、このフィルタはより大きな波長領域において透過性を有し、この結果、これによって基準測定が実施可能である。
10 赤外線源
101 フィラメント
102 第1の層、ランプガラス体
103 第2の層
104 接続ワイヤ
11 赤外線源
111 基板
112 メンブレン領域
113 加熱構造体
114 接続端子面
20 ガス
21 赤外線放射
30 検出器装置
31 赤外線検出器
32 フィルタ
33 保持部材
50 横座標
53 第3の波長
54 第4の波長
55 第5の波長
56 第6の波長
57 第7の波長
58 第8の波長
500 本発明の赤外線源から照射される放射の特性
501 動作周波数乃至は動作波長の領域
510 第1の層の透過特性
520 第2の層の透過特性(ゲルマニウム)
521 第2の層の透過特性(シリコン)
61 第11の波長
62 第12の波長
63 第13の波長
64 第14の波長
65 第15の波長
600 透過曲線
610 第1のフィルタ透過部分曲線
620 第2のフィルタ透過部分曲線
630 第3のフィルタ透過部分曲線
640 第4のフィルタ透過部分曲線
650 第5のフィルタ透過部分曲線
70 縦座標
71 100%の第1の透過率
72 ほぼ90%の第2の透過率
Claims (6)
- 第1の層(102)を有するガスセンサのための赤外線源(10)において、
該赤外線源(10)は第2の層(103)を有し、前記第1の層(102)は第1の透過特性(510)を有し、前記第2の層(103)は第2の透過特性(520)を有し、前記第1の及び第2の透過特性(510、520)の結合は動作周波数領域(501)に対するバンドパスフィルタ特性(500)を惹起することを特徴とする、第1の層(102)を有するガスセンサのための赤外線源(10)。 - 第1の透過特性(510)は動作周波数領域(501)に関して比較的小さい波長に対して比較的大きな透過率を有し、第2の透過特性(520)は動作周波数領域(501)に関して比較的大きい波長に対して比較的大きな透過率を有することを特徴とする、請求項1記載の赤外線源(10)。
- 第1の層(102)としてガラスが設けられており、第2の層(103)としてシリコン又はゲルマニウムが設けられていることを特徴とする、請求項1又は2記載の赤外線源(10)。
- 赤外線源(10)と検出器(31)との間に干渉フィルタ(32)が設けられている、赤外線源(10)及び検出器(31)を有するガスセンサにおいて、
赤外線源(10)として請求項1〜3のうちの1項記載の赤外線源(10)が設けられていることを特徴とする、赤外線源(10)及び検出器(31)を有するガスセンサ。 - 赤外線源(10)の動作周波数領域(501)はちょうど干渉フィルタ(32)の透過周波数(61)を含むことを特徴とする、請求項4記載のガスセンサ。
- 干渉フィルタ(32)としてファブリ・ペロフィルタが設けられていることを特徴とする、請求項4又は5記載のガスフィルタ。
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