JP2006344965A - 配線構造の形成方法,配線構造およびデュアルダマシン構造 - Google Patents
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Abstract
【課題】応力が調整された配線構造とその製造方法を提供する。
【解決手段】 配線構造は、導電材料102を有する基板100から構成される。少なくとも1つの応力調整層106が内部に介在された複合誘電体層110が、基板100の上部に存在する。複合誘電体層110における導電機構Sが、少なくとも1つの応力調整層106を貫通し、導電部材102を電気的に接続する。
【選択図】図4
【解決手段】 配線構造は、導電材料102を有する基板100から構成される。少なくとも1つの応力調整層106が内部に介在された複合誘電体層110が、基板100の上部に存在する。複合誘電体層110における導電機構Sが、少なくとも1つの応力調整層106を貫通し、導電部材102を電気的に接続する。
【選択図】図4
Description
本発明は、半導体機構に関するものであり、とりわけ、集積回路用の配線構造に関するものである。
集積回路機構の寸法が低減されることにより、金属線のような導電配線間における水平方向の間隔が低減されるだけでなく、導電配線の各水平面が、垂直方向に互いにより近接して配置される結果をもたらしている。その結果、こうした導電部間でキャパシタンスが増加し、RC(抵抗×コンダクタンス)による遅延時間や、クロストークの影響が生じている。
この問題に対して提案される1つの対処法は、約4.0の誘電率(k)を有する従来の酸化シリコン(SiO2)誘電体を、他のより誘電率の低い絶縁材料に置き換えて、キャパシタンスを低減する方法である。しかし残念ながら、低k誘電体材料は、既存の集積回路における構造やプロセスに一体化させることが困難であるという種々の問題を有している。半導体の製造時に用いられる従来の誘電体と比較して、大部分の低k材料は、概ね高い引張り応力のような特性が存在する。このような高い引張り応力を、半導体構造に積み上げると、半導体構造に、そり或いは変形,亀裂,剥がれが生じ、或いは膜内に空洞が形成されて、膜を有する配線構造を損傷または破壊し、その結果、集積回路の信頼性に影響を与えることになる。従って、改良した応力調整を有する集積回路用の配線構造が必要とされる。
本発明は、応力が調整された配線構造とその製造方法を提供するものである。配線構造の代表的な実施例は、導電部材を有する基板を備えている。少なくとも1つの応力調整層が内部に介在される複合低k誘電体層が、基板上に存在する。この複合低k誘電体層に形成される導電機構は、少なくとも1つの応力調整層を貫通して、導電部材を電気的に接続する。
デュアルダマシン構造の代表的な実施例は、導電部材を有する基板を備えている。少なくとも1つの応力調整層が介在される複合低k誘電体層が、基板上に存在する。この複合低k誘電体層に形成される導電機構は、少なくとも1つの応力調整層を貫通して、導電部材を電気的に接続し、この導電機構は、その下部に存在する導電ビアと、前記導電ビアの上に積み重ねられて、その上部に存在する導電線とから構成される。
応力が調整された配線構造の製造方法における代表的な実施例は、基板上に導電部材を提供することからなる。少なくとも1つの応力調整層が内部に介在される複合低k誘電体層が、基板上に存在するように形成される。開口部は複合低k誘電体層に形成され、応力調整層を貫通して、導電部材の一部を露出させる。この開口部は導電材料で充填され、導電部材と電気的に接続する導電機構を形成する。
添付の図面を参照して、以下の実施例を詳細に説明する。
ここでは、応力が調整された配線構造とその製造方法を、詳細に説明する。代表的な実施例を説明するように、本発明の幾つかの実施例は、応力が調整された誘電体層を有する配線構造を潜在的に提供することができる。ある実施例において、この配線構造は、配線構造の誘電体層間に、少なくとも1つの応力調整層を介在させることにより達成され、この応力調整層が、配線構造の近傍にある導電機構を取り囲んでいると共に、好ましくは応力調整層が、近傍にある導電機構の底面または上面に接しないようになっている。
本明細書において、「基板の上部に存在する」,「層の上方に」或いは「膜の上に」などの表現は、中間層の存在を無視して、基準となる層の表面に対しての相対的な位置関係を単に示している。従って、これらの表現は、各層の直接的な接触を示しているだけでなく、一乃至複数の積層の非接触な状態をも示している。ここで「低誘電率(low dielectric constant)」或いは「低k(low-k)」という用語を使用しているが、これは従来の酸化シリコンの誘電率よりも低い誘電率(k値)を意味する。低kの誘電率は、約4.0よりも小さいことが好ましい。
図1〜図4は、代表的な実施例に基づき、応力が調整された配線構造の製造中における基板の一部分を示す断面図である。
図1において、例えばシリコン基板である半導体基板100が、半導体デバイスを有し、或いは、上部に存在する他の導電線を有して、最初に提供される。基板100は、ここでは簡単な平坦状の基板として説明する。図1に示すように、半導体基板100はさらに、下部に存在する半導体デバイスまたは導電線(双方とも図示せず)の1つに、電気的に接続する導電部材102が設けられている。
次に、第1種の応力を有する低k誘電体層104,108と、第2種の応力を有する応力調整層106が、基板100と導電部材102の全体を覆って交互に形成される。通常は、低k誘電体層における第1種の応力は、引張り応力を示し、応力調整層106における第2種類の応力は、第1種の応力とは反対に圧縮応力を示す。低k誘電体層104,108は、カーボンをドープされた二酸化シリコン材料,フッ化ケイ酸塩ガラス(FSG),有機ケイ酸塩ガラス(OSG),フッ素をドープした酸化シリコン,スピンオンガラス,シルセスキオキサン(silsesquioxane),ベンゾシクロブテン(BCB)基ポリマー誘電体,および低k誘電体を含有するあらゆるシリコンのような誘電体で構成してもよい。低k誘電体層104,108は、約100〜3000Å(オングストローム=1010m)の厚さと、100〜5000Åの厚さで、各々形成される。応力調整層106は、約200〜1000Åの厚さで形成され、それにより約50〜550MPaの圧縮応力を生じる結果、その上部と下部に存在する低k誘電体層(低k誘電体層104,108を参照)が提供する引張り応力を調整する。この結果、図1に示す複合膜110のそり或いは変形を防止し、更には、この複合膜110における亀裂,剥がれ,或いは空洞の形成を低減することができる。応力調整層106は、酸化物,オキシナイトライド,炭化シリコン,ナイトライド,酸素を含有する炭化シリコン(SiaCbOc),窒素を含有する炭化シリコン(SixCyNZ)のような誘電体で構成してもよい。ここで、上記a,b,c,x,y,zは、約0.8〜1.2,0.8〜1.2,0〜0.8,0.8〜1.2,0.8〜1.2,0〜0.6の値で各々形成される。好ましくは、応力調整層106は、酸素を含有する炭化シリコン(SiaCbOc),窒素を含有する炭化シリコン(SixCyNZ),およびナイトライド(窒化物)で構成される。応力調整層106は、例えばプラズマ化学気相堆積(PECVD:plasma-enhanced chemical vapor deposition)法により形成可能であり、低k誘電体層104と108の一方または両方の形成中に、その場(in-situ)で形成されるか、または堆積の追加により外部(ex-situ)で形成される。
図2において、例えば、下部ビア部112aと上部トレンチ部112bを有するデュアルダマシン開口部のような開口部112が、トレンチとビアのどちらかが先に形成される既知のデュアルダマシンプロセスを利用して、低k誘電体層104,108と応力調整層106とを貫通して形成される。開口部112の下部ビア部112aは、下部に存在する導電部材102の一部を露出させる。
開口部112は、連続フォトリソグラフィとエッチングの各ステップにより形成され、エッチング手段が適切なエッチング化学反応を利用する時間モードエッチングであることにより、従来は複合誘電体層110と基板100との間にあって、複合誘電体層110の低k誘電体層108に配置されるエッチング停止層(ESL)の利用を削減する。従って、複合層110としての全体的な誘電率の上昇が、防止可能である。
図3において、拡散バリア層114は、開口部112に適合して、且つ低k誘電体層108上を覆って、形成される。拡散バリア層114は、チタン(Ti),タンタル(Ta),窒化チタン(TiN),窒化タンタル(TaN),或いはこれらを組み合わせたものなどの導電材料で構成される。通常、拡散バリア層114は、約20〜200Åの厚さで形成される。次いで、銅または銅合金のような導電材料からなる導電層116が、開口部112内と低k誘電体層108上を覆って形成される。この導電層116は、導電材料として銅または銅合金をその内部で利用する場合、既知の電気化学メッキ(ECP)により形成可能である。
図4において、拡散バリア層114の一部分と開口部112上を覆う導電層116は、その後に例えば化学的機械研磨法(CMP)によって、平坦面での配線が残るように除去される。次に、さらに追加の導電キャップ118が、導電層116上を覆って選択的に形成され、上部からの密封が行われる。この導電キャップ118は、例えば無電解メッキ法により選択的に形成され、コバルト・タングステン(CoW),コバルト・リン(CoP),或いはコバルト・タングステン・リン(CoWP)などの導電材料で構成される。導電キャップ118は、約20〜200Åの厚さで形成可能である。こうして導電機構Sが形成されることで、導電機構Sを構成する例えば銅または銅合金などの導電材料から、近傍にある低k誘電体層への望ましくない中間層のイオン拡散を、除去或いは防止することができる。調整した応力を有する配線構造は、このようにして、形成される。
次に、低k誘電体層などの誘電体層120が、低k誘電体層108および導電機構S上を覆って形成される。誘電体層120上に、さらに継続してプロセスが行われ、集積回路の製造が完了する。
代表的な実施例において、導電プラグと導電線と有する導電機構Sを備えたデュアルダマシン構造として、ここでの配線構造を説明する。デュアルダマシン構造にて形成される応力調整層106は、主として低k誘電体層により提供される配線構造内の引張り応力を調整することができる。
さらに、応力調整層106の数と位置は変更が可能である。例えば、応力調整層106は、図4に示す以外のどの場所に配置してもよい。この応力調整層106は、図5に示すように、上部トレンチ部112aを囲む低誘電率体層108に形成可能である。さらに、2以上の応力調整層(応力調整層106a〜106cを参照)を、図6に示すように、導電機構Sを囲むようにして、複合層110の種々の場所に形成することができる。
このように、配線構造に対するエッチング停止層を追加する必要が無いので、製造を容易にするためには、応力調整層106を、配線構造Sの最上部面または最下部面から離れた位置に形成するのが好ましい。
さらに、エッチング停止層を所望する場合には、開口部112のビア部112aとトレンチ部112bの接合部から離れた位置に、応力調整層106を形成してもよく、それにより、こうしたエッチング停止層の形成位置が与えられる。
上記の代表的な実施例では、デュアルダマシン構造として配線構造を示されている。本発明は、ここでは簡単のために検討しなかったシングルダマシン構造にもまた適用可能であることは、当業者により理解されることである。
図4に示すように、応力を調整した配線構造の実施例を説明する。この配線構造は、導電部材を有する基板を含んでいる。内部に少なくとも1つの応力調整層を介在した複合低k誘電体層が、基板の上部に存在している。複合低k誘電率層に形成される導電機構は、少なくとも1つの応力調整層を貫通し、導電部材を電気的に接続する。
上記の代表的な実施例においては、圧縮応力を有する少なくとも1つの応力調整層を形成することにより、配線構造を構成する低k誘電層により生じる引張り応力は調整され、低k誘電体を利用する場合、配線構造の信頼性を向上しつつ、ダマシン構造に発生するような問題を防止することができる。
さらに、配線構造における導電機構Sの上部表面は、導電キャップ層により密封することができ、これにより配線構造のエレクトロ−マイグレーション(EM)性能のような各要因から配線構造を守りながら、エッチング停止層を使用する必要性を削減することができる。こうして、エッチング停止層を有しない配線構造が、簡単な製造工程と低コストを得ることができる。
本発明は、例を挙げて好ましい実施例に関して説明したが、本発明は、これらの実施例に限定されないことを、理解すべきである。これに対して、本発明は、種々の変形と同様の装置の範囲に及ぶことが、(当業者にとっては明らかなように)意図される。従って、添付の請求項の範囲は、このような変形と同様の装置を全て包含するように、広範な解釈を与えられるべきである。
100 基板
102 導電部材
104 低k誘電体層(第1の低k誘電体層)
106,106a,106b,106c 応力調整層
108 低k誘電体層(第2の低k誘電体層)
110 複合誘電体層
112 開口部
112a ビア部
112b トレンチ部
118 導電キャップ
S 導電機構
102 導電部材
104 低k誘電体層(第1の低k誘電体層)
106,106a,106b,106c 応力調整層
108 低k誘電体層(第2の低k誘電体層)
110 複合誘電体層
112 開口部
112a ビア部
112b トレンチ部
118 導電キャップ
S 導電機構
Claims (10)
- 基板の上部に導電部材を提供し、
前記基板上に存在し、少なくとも1つの応力調整層が内部に介在される複合低k誘電体層を形成し、
前記応力調整層を貫通し、前記導電部材の一部を露出させるように、前記複合低k誘電体に開口部を形成し、
前記導電部材を電気的に接続する導電機構を形成するために、導電材料を前記開口部に充填することを特徴とする配線構造の形成方法。 - 前記少なくとも1つの応力調整層が内部に介在される前記複合低k誘電体層の形成が、
(a)前記基板上に第1の低k誘電体層を形成し、
(b)前記第1の低k誘電体層上に応力調整層を形成し、
(c)前記第1の応力調整層上に第2の低k誘電体層を形成し、
以上の各ステップからなることを特徴とする請求項1に記載の方法。 - 前記(a)〜(c)の各ステップを少なくとも1回繰り返して、複数の応力調整層が介在される複合低k誘電体層を形成することを特徴とする請求項2に記載の方法。
- 前記第1の低誘電体層と前記第2の低誘電体層が引張り応力を有し、前記第1の応力調整層が圧縮応力を有することを特徴とする請求項2記載の方法。
- 前記(a)〜(c)の各ステップが、プラズマ化学気相堆積法により、その場で実行されることを特徴とする請求項2記載の前記方法。
- 導電部材を有する基板と、
前記基板上に存在し、少なくとも1つの応力調整層が内部に介在される複合低k誘電体層と、
前記複合低k誘電体層に形成され、前記少なくとも1つの応力調整層を貫通して、前記導電部材を電気的に接続する導電機構と、
から構成されることを特徴とする配線構造。 - 前記複合低誘電体層は、圧縮応力を有する少なくとも1つの応力調整層が挟まれ、引張り応力を有する複数の低k誘電体部から構成されることを特徴とする請求項6記載の前記配線構造。
- 前記導電機構の上部表面に選択的に形成される導電キャップを更に備えたことを特徴とする請求項7記載の前記配線構造。
- 導電部材を有する基板と、
前記基板上に存在し、少なくとも1つの応力調整層が介在される複合低k誘電体層と、
前記複合低k誘電体層に形成され、前記少なくとも1つの応力調整層を貫通して、前記導電部材を電気的に接続し、その下部に存在する導電ビアと、前記導電ビアの上に積み重ねられて、その上部に存在する導電線とから構成される導電機構と、
から構成されることを特徴とするデュアルダマシン構造。 - 前記複合低誘電体層は、圧縮応力を有する少なくとも1つの応力調整層が挟まれ、引張り応力を有する複数の低k誘電体部から構成されることを特徴とする請求項9記載のデュアルダマシン構造。
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